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1、(10)申请公布号 CN 102896824 A(43)申请公布日 2013.01.30CN102896824A*CN102896824A*(21)申请号 201110211737.4(22)申请日 2011.07.27B32B 9/04(2006.01)B32B 15/00(2006.01)C23C 14/35(2006.01)C23C 14/14(2006.01)C23C 14/06(2006.01)(71)申请人鸿富锦精密工业（深圳）有限公司地址 518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号申请人鸿海精密工业股份有限公司(72)发明人陈文荣 蒋焕梧 陈正士 李聪(54。
2、) 发明名称镀膜件及其制备方法(57) 摘要一种镀膜件，其包括基材、形成于基材表面的若干钼层和若干钛铝氮层，该若干钼层和若干钛铝氮层交替排布，其中与所述基材直接相结合的是钼层，最外层为钛铝氮层。所镀多层涂层具有高硬度，良好的耐腐蚀性及耐高温性能，从而有效提高镀膜件的使用寿命。此外，本发明还提供一种所述镀膜件的制备方法。(51)Int.Cl.权利要求书1页 说明书3页 附图1页(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请权利要求书 1 页 说明书 3 页 附图 1 页1/1页21.一种镀膜件，其包括基材，其特征在于：该镀膜件还包括形成于基材表面的若干钼层和若干钛铝氮层，该若干钼层和若。
3、干钛铝氮层交替排布，其中与所述基材直接相结合的是钼层，最外层为钛铝氮层。2.如权利要求1所述的镀膜件，其特征在于：所述若干钼层和若干钛铝氮层的总厚度为1.22.4m。3.如权利要求1所述的镀膜件，其特征在于：所述若干钼层和若干钛铝氮层的层数分别为4060层。4.如权利要求1所述的镀膜件，其特征在于：该基材的材质为金属、玻璃或陶瓷。5.如权利要求1所述的镀膜件，其特征在于：所述每一钼层的厚度为1520nm。6.如权利要求1所述的镀膜件，其特征在于：所述每一钛铝氮层的厚度为1520nm。7.如权利要求1所述的镀膜件，其特征在于：所述每一钛铝氮层中钛的原子百分含量为7582%，铝的原子百分含量为15。
4、17%，氮的原子百分含量为110%。8.一种镀膜件的制备方法，其包括如下步骤：提供基材；在该基材的表面形成钼层；在该钼层的表面形成钛铝氮层；交替重复上述形成钼层和钛铝氮层的步骤，且使镀膜件的最外层为钛铝氮层。9.如权利要求8所述的镀膜件的制备方法，其特征在于：形成所述钼层的方法为：采用磁控溅射法，使用钼靶，设置钼靶的电源功率为1015kw，以氩气为工作气体，氩气流量为400800sccm，对基材施加偏压为-150-500V，镀膜温度为60200，镀膜时间为0.51min。10.如权利要求8所述的镀膜件的制备方法，其特征在于：形成所述钛铝氮层的方法为：采用磁控溅射法，使用钛铝合金靶，该钛铝合金靶。
5、中钛的原子百分含量为7582%，剩余的为铝，设置所述钛铝合金靶的电源功率为812kw，以氮气为工作气体，氮气流量为100200sccm，以氩气为工作气体，氩气流量为400800sccm，对基材施加偏压为-150-500V，镀膜温度为60200，镀膜时间为0.51min。权 利 要 求 书CN 102896824 A1/3页3镀膜件及其制备方法技术领域0001 本发明涉及一种镀膜件及其制备方法。背景技术0002 过渡金属氮化物、碳化物和碳氮化物具有高硬度、高抗磨损性能和良好的化学稳定性等优异性能。因此，通常将过渡金属氮化物、碳化物和碳氮化物以薄膜的形式镀覆在刀具或模具表面，以此来提高刀具和模具的。
6、使用寿命。0003 然而，对于工作条件苛刻的刀具或模具，不仅要求镀覆在刀具或模具表面的膜层具有高抗磨损性能，还要求膜层具有较佳的耐腐蚀性及耐高温性能。因此，在刀具或者模具表面仅镀覆过渡金属氮化物、碳化物和碳氮化物层，无法满足要求。发明内容0004 有鉴于此，有必要提供一种有效解决上述问题的镀膜件。0005 另外，还有必要提供一种上述镀膜件的制备方法。0006 一种镀膜件，其包括基材、形成于基材表面的若干钼层和若干钛铝氮层，该若干钼层和若干钛铝氮层交替排布，其中与所述基材直接相结合的是钼层，最外层为钛铝氮层。0007 一种镀膜件的制备方法，其包括如下步骤：提供基材；在该基材的表面形成钼层；在该钼。
7、层的表面形成钛铝氮层；交替重复上述形成钼层和钛铝氮层的步骤，且使镀膜件的最外层为钛铝氮层。0008 本发明镀膜件在基材表面交替溅镀钼层和钛铝氮层形成钼/钛铝氮纳米多层膜，该纳米多层膜中的组份呈周期性变化，产生较强的界面效应、层间耦合效应，因此具有与单层涂层不同的特性；膜层界面的增多抑制了钼/钛铝氮纳米多层膜之间位错的产生，从而使镀膜件获得了高强硬度；同时，钼/钛铝氮纳米多层膜结构能够使膜层的晶粒细化，膜层更加致密，从而提高钼/钛铝氮纳米多层膜的耐腐蚀性；此外，由于钼层具有良好的耐高温性能，使所述镀膜件具有良好的耐高温性能，从而有效提高镀膜件的使用寿命。附图说明0009 图1为本发明一较佳实施例。
8、的镀膜件的剖视图；图2为本发明一较佳实施例真空镀膜机的俯视示意图。0010 主要元件符号说明镀膜件10基材11钼层13钛铝氮层15真空镀膜机20镀膜室21说 明 书CN 102896824 A2/3页4钼靶23钛铝合金靶24轨迹25真空泵30如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。具体实施方式0011 请参阅图1，本发明一较佳实施方式的镀膜件10包括基材11、形成于基材11表面的若干钼层13和若干钛铝氮层15，该若干钼层13和若干钛铝氮层15交替排布，其中与所述基材11直接相结合的是钼层13，最外层为钛铝氮层15。所述若干钼层13加上若干钛铝氮层15的总厚度可为1.22.4m。本实施例。
9、中，所述若干钼层13和若干钛铝氮层15的层数可分别为4060层。0012 该基材11的材质可为金属、玻璃或陶瓷。0013 该钼层13可以磁控溅射的方式形成，所述每一钼层13的厚度为1520nm。0014 该钛铝氮层15可以磁控溅射的方式形成，所述每一钛铝氮层15的厚度为1520nm。该钛铝氮层15中钛的原子百分含量为7582%，铝的原子百分含量为1517%，氮的原子百分含量为110%。0015 本明一较佳实施方式的镀膜件10的制备方法，其包括如下步骤：请参阅图2，提供一真空镀膜机20，该真空镀膜机20包括一镀膜室21及连接于镀膜室21的一真空泵30，真空泵30用以对镀膜室21抽真空。该镀膜室2。
10、1内设有转架(未图示)、相对设置的二钼靶23和相对设置的二钛铝合金靶24。转架带动基材11沿圆形的轨迹25公转，且基材11在沿轨迹25公转时亦自转。该钛铝合金靶24中钛的原子百分含量为7582%，剩余的为铝。0016 提供基材11，该基材11的材质可为金属、玻璃或陶瓷。0017 对该基材11进行表面预处理。该表面预处理可包括常规的对基材11进行无水乙醇超声波清洗及烘干等步骤。0018 采用磁控溅射法在经清洗后的基材11的表面溅镀钼层13。溅镀该钼层13在所述真空镀膜机20中进行。将基材11放入镀膜室21内，将该镀膜室21抽真空至810-3Pa，并加热所述镀膜室21至温度为60200。溅镀时，开。
11、启钼靶23的电源，设置钼靶23的电源功率为1015kw，通入工作气体氩气，氩气流量为400800sccm，对基材11施加-150-500V的偏压。溅镀钼层13的时间为0.51min。0019 保持氩气流量、基材11的偏压、镀膜室21的温度等参数不变，继续采用磁控溅射法在所述钼层13的表面溅镀钛铝氮层15。关闭钼靶23的电源，开启钛铝合金靶24，设置钛铝合金靶24的电源功率为812kw；并通入反应气体氮气，氮气流量为100200sccm。溅镀钛铝氮层15的时间为0.51min。0020 重复上述步骤，以交替溅镀钼层13和钛铝氮层15。0021 下面通过实施例来对本发明进行具体说明。0022 实施。
12、例1本实施例所使用的真空镀膜机20为中频磁控溅射镀膜机。0023 本实施例所使用的基材11的材质为模具钢。说 明 书CN 102896824 A3/3页50024 溅镀钼层13：钼靶23的功率为10kw，氩气流量为400sccm，基材11的偏压为-200V，镀膜室21的温度温度为82，镀膜时间为0.5min；该钼层13的厚度为15nm；溅镀钛铝氮层15：钛铝合金靶24的功率为10kw，氩气流量、偏压、镀膜室21的温度等工艺参数与溅镀钼层13的相同，镀膜时间为0.5min；该钛铝氮层15的厚度为15nm。0025 重复上述交替溅镀钼层13和钛铝氮层15的步骤，交替溅镀钼层13和钛铝氮层15的次数。
13、总共为55次。0026 实施例2本实施例所使用的真空镀膜机20为中频磁控溅射镀膜机。0027 本实施例所使用的基材11的材质为模具钢。0028 溅镀钼层13：钼靶23的功率为10kw，氩气流量为500sccm，基材11的偏压为-200V，镀膜室21的温度温度为82，镀膜时间为1min；该钼层13的厚度为20nm；溅镀钛铝氮层15：钛铝合金靶24的功率为10kw，氩气流量、偏压、镀膜室21的温度等工艺参数与溅镀钼层13的相同，镀膜时间为1min；该钛铝氮层15的厚度为20nm。0029 重复上述交替溅镀钼层13和钛铝氮层15的步骤，交替溅镀钼层13和钛铝氮层15的次数总共为55次。0030 本发明镀膜件10在基材11表面交替溅镀钼层13和钛铝氮层15形成钼/钛铝氮纳米多层膜，该纳米多层膜中的组份呈周期性变化，产生较强的界面效应、层间耦合效应，因此具有与单层涂层不同的特性；膜层界面的增多抑制了钼/钛铝氮纳米多层膜之间位错的产生，从而使镀膜件10获得了高强硬度；同时，钼/钛铝氮纳米多层膜结构能够使膜层的晶粒细化，膜层更加致密，从而提高钼/钛铝氮纳米多层膜的耐腐蚀性；此外，由于钼层13具有良好的耐高温性能，使所述镀膜件10具有良好的耐高温性能，从而有效提高镀膜件10的使用寿命。说 明 书CN 102896824 A1/1页6图1图2说 明 书 附 图CN 102896824 A。