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1、(10)申请公布号 CN 102828937 A(43)申请公布日 2012.12.19CN102828937A*CN102828937A*(21)申请号 201210171557.2(22)申请日 2012.05.292011-133705 2011.06.15 JPF04B 43/02(2006.01)(71)申请人多田塑料工业株式会社地址日本大阪府(72)发明人藤田学(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司 11127代理人党晓林 王小东(54) 发明名称流体用隔膜泵(57) 摘要本发明的流体用隔膜泵具有马达、偏心旋转台、轴部件、摇动板、隔膜组件、外壳部件、保持部件、中盖体、吸入。
2、阀膜组件和上盖体。中盖体通过与隔膜紧贴而形成泵室，中盖体具有将泵室的内部和外部连通的通孔、通过泵室的容积变小而将泵室内的流体向上侧吐出的排出孔和从通孔附近朝向上侧突出的圆筒状的吸入阀座部，且中盖体与保持部件连接。吸入阀座部的外周面具有朝向上侧越来越细的锥面。本发明的流体用隔膜泵部件数少，可容易地进行组装。并且，能够获得噪音小且具有优异的开闭阀稳定性和可靠性的流体用隔膜泵。(30)优先权数据(51)Int.Cl.权利要求书2页 说明书8页 附图8页(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请权利要求书 2 页 说明书 8 页 附图 8 页1/2页21.一种流体用隔膜泵，其特征在于，该。
3、流体用隔膜泵包括：马达，其具有朝向中心轴线方向上侧延伸的轴；偏心旋转台，其与所述轴共同旋转；轴部件，其相对于所述偏心旋转台被支撑于在径向离开所述中心轴线的位置，且被支撑为朝向所述中心轴线倾斜；摇动板，其被支撑在所述轴部件的上侧的端部；隔膜组件，其通过将朝向上侧开口且保持于所述摇动板的多个隔膜以所述中心轴线为中心进行配置并作为一体部件连接为一体而构成；外壳部件，其收纳所述摇动板，且固定于所述马达并呈圆筒状；保持部件，其配置在所述隔膜组件和所述摇动板之间，且保持所述隔膜组件，并与所述外壳部件连接；中盖体，其通过与所述隔膜紧贴而构成泵室，所述中盖体具有将所述泵室的内部和外部连通的通孔、通过所述泵室的。
4、容积变小而将所述泵室内的流体向上侧吐出的排出孔和从所述通孔附近向上侧突出的呈圆筒状的吸入阀座部，且所述中盖体与所述保持部件连接；吸入阀膜组件，其配置在所述中盖体的上侧，且具有平板部和多个呈圆筒状的吸入阀膜，所述吸入阀膜相对于所述吸入阀座部的外周面以能够自由紧贴和分离的方式接触，所述平板部具有在流体排出时与所述排出孔在上下方向重合的吐出孔，并具有在所述吐出孔的周围与所述中盖体紧贴的环状区域，且所述平板部与所述吸入阀膜一体连接；以及上盖体，其具有吐出路、吸入路、外部分隔壁部和呈圆环状的分隔壁部，所述吐出路在上下方向贯通所述上盖体，所述分隔壁部在所述吐出路的周围朝向下侧突出，且分隔所述吸入阀膜的内周。
5、面侧的区域和所述吐出路，所述吸入路在上下方向贯通所述上盖体，所述外部分隔壁部配置在比所述吸入阀膜靠径向外侧的位置，且朝向下侧突出，并与所述平板部的上表面接触，在所述外部分隔壁部和所述分隔壁部之间构成吸进路，所述上盖体配置在所述吸入阀膜组件的上侧，并与所述中盖体连接，所述吸入阀座部的外周面具有朝向上侧越来越细的锥面。2.根据权利要求1所述的流体用隔膜泵，在所述吸入阀座部的外周面配置有上下方向延伸的纵槽。3.根据权利要求2所述的流体用隔膜泵，在所述吸入阀座部的周向，所述纵槽与所述通孔配置在相同的位置。4.根据权利要求1至3中任一项所述的流体用隔膜泵，所述吸入阀膜组件具有排出阀，所述排出阀从所述吸入。
6、阀膜组件的对所述吐出孔进行限定的内周面朝向所述吐出孔的内侧延伸，且从所述中心轴线观察覆盖所述排出孔。5.根据权利要求1至3中任一项所述的流体用隔膜泵，所述中盖体的下表面具有朝向下侧突出的呈圆筒状的吐出阀座部，所述隔膜具有从开口边缘部朝向上侧延伸的呈圆筒状的吐出阀膜，所述通孔位于所述吐出阀座部的底板部，且所述吐出阀膜相对于所述吐出阀座部的外周面以能够自由紧贴和分离的方式接触。6.根据权利要求5所述的流体用隔膜泵，所述吸入阀座部从所述吐出阀座部的底板部的上表面朝向上侧突出。权 利 要 求 书CN 102828937 A2/2页37.根据权利要求6所述的流体用隔膜泵，所述吐出阀座部的底板部的下表面在。
7、与所述吸入阀座部的中央在上下方向重合的位置具有朝向上侧凹陷的凹部。8.根据权利要求5至7中任一项所述的流体用隔膜泵，在所述中盖体的下表面配置有从所述排出孔的周围朝向下侧突出的多个支柱部，各个所述支柱部的下端在与所述排出孔在上下方向重合的位置被连接起来，且所述支柱部的下端与所述隔膜组件接触。9.根据权利要求1至8中任一项所述的流体用隔膜泵，所述上盖体的下表面具有由朝向下侧突出的多个圆弧壁部构成的支撑壁部组，且所述支撑壁部组的下端朝向下侧按压所述平板部。10.根据权利要求9所述的流体用隔膜泵，所述吸入阀膜组件还具有多个吸入孔，所述吸入阀膜从所述平板部的对所述吸入孔进行限定的内周面的下端部朝向下侧延。
8、伸，多个所述支撑壁部组分别与各个所述吸入阀膜同轴配置，且包围所述吸入孔的周围，最靠近所述中心轴线的所述圆弧壁部与所述分隔壁部成为一体。权 利 要 求 书CN 102828937 A1/8页4流体用隔膜泵技术领域0001 本发明涉及一种流体用隔膜泵。背景技术0002 以往作为隔膜泵，具备具有形成为伞状的可动部的吸入用阀体的隔膜泵被使用。如日本特开2007-162472号公报所公开的隔膜泵具有一体形成多个隔膜部的隔膜、多个吸入用阀体和安装吸入用阀体的阀座。吸入用阀体由橡胶等具有弹性的材料形成，并由轴部、设在轴部的中央部的膨出部和形成在轴部一端的可动部构成。吸入用阀体一边使膨出部弹性变形一边将其强制。
9、地插入到设置在阀座的贯通孔，通过使轴嵌合于贯通孔，来将该吸入用阀体安装在阀座。泵室由阀座和各隔膜部构成有多个。0003 但是，如果使用伞状的吸入用阀体，部件数就会变多，组装操作比较费事。并且，在泵室内为了防止隔膜部和吸入用阀体的干涉，有必要扩大泵室。并且，由于使用小型的多个吸入用阀体，容易发生故障。甚至有工作可靠性低、开闭操作时噪音大的问题。发明内容0004 因此，本发明的目的为提供一种部件数少、组装容易、低噪音且具有优异的开闭阀稳定性和可靠性的流体用隔膜泵。0005 本发明所示例的流体用隔膜泵包括：马达，其具有朝向中心轴线方向上侧延伸的轴；偏心旋转台，其与所述轴共同旋转；轴部件，其相对于所述。
10、偏心旋转台被支撑于在径向离开所述中心轴线的位置，且被支撑为朝向所述中心轴线倾斜；摇动板，其被支撑在所述轴部件的上侧的端部；隔膜组件，其通过将朝向上侧开口且保持于所述摇动板的多个隔膜以所述中心轴线为中心进行配置并作为一体部件连接为一体而构成；外壳部件，其收纳所述摇动板，且固定于所述马达并呈圆筒状；保持部件，其配置在所述隔膜组件和所述摇动板之间，且保持所述隔膜组件，并与所述外壳部件连接；中盖体，其通过与所述隔膜紧贴而构成泵室，所述中盖体具有将所述泵室的内部和外部连通的通孔、通过所述泵室的容积变小而将所述泵室内的流体向上侧吐出的排出孔和从所述通孔附近朝向上侧突出的圆筒状的吸入阀座部，且所述中盖体与所。
11、述保持部件连接；吸入阀膜组件，其配置在所述中盖体的上侧，且具有平板部和多个呈圆筒状的吸入阀膜，所述吸入阀膜相对于所述吸入阀座部的外周面以能够自由紧贴和分离的方式接触，所述平板部具有与所述排出孔在上下方向重合的吐出孔，并具有在所述吐出孔的周围与所述中盖体紧贴的环状区域，且所述平板部与所述吸入阀膜一体连接；以及上盖体，其具有吐出路、吸入路、外部分隔壁部和呈圆环状的分隔壁部，所述吐出路在上下方向贯通所述上盖体，所述分隔壁部在所述吐出路的周围朝向下侧突出，且分隔所述吸入阀膜的内周面侧的区域和所述吐出路，所述吸入路在上下方向贯通所述上盖体，所述外部分隔壁部配置在比所述吸入阀膜靠径向外侧的位置，且朝向下侧。
12、突出，并与所述平板部的上表面接触，在所述外部分隔壁部和所述分隔壁部之间构成吸进路，所述上盖体配置在所述吸入阀膜组件的上侧，并与所述中盖体连接，所述吸入阀座部的说 明 书CN 102828937 A2/8页5外周面具有朝向上侧越来越细的锥面。0006 本发明的流体用隔膜泵部件数少，可使组装变得容易。并且，能够获得噪音小且具有优异的开闭阀稳定性和可靠性的流体用隔膜泵。附图说明0007 图1为流体用隔膜泵的分解立体图。0008 图2为流体用隔膜泵的主要部分剖视图。0009 图3为隔膜泵组件的立体图。0010 图4为中盖体的后视图。0011 图5为从下侧观察中盖体的立体图。0012 图6为中盖体的主视。
13、图。0013 图7为从上侧观察中盖体的立体图。0014 图8为吸入阀膜组件的后视图。0015 图9为从下侧观察吸入阀膜组件的立体图。0016 图10为上盖体的后视图。0017 图11为从下侧观察上盖体的立体图。0018 符号说明0019 1流体用隔膜泵0020 2保持部件0021 3隔膜组件0022 4中盖体0023 5吸入阀膜组件0024 6上盖体0025 11外壳部件0026 12摇动板0027 13偏心旋转台0028 14轴部件0029 15马达0030 30隔膜0031 32吐出阀膜0032 33隔膜驱动部0033 34平板膜部0034 42吸入阀座部0035 45吐出阀座部0036 。
14、46排出孔0037 47排出路0038 51吸入孔0039 52吸入阀膜0040 54平板部说 明 书CN 102828937 A3/8页60041 55排出阀0042 56吐出孔0043 61吸入路0044 62吸进路0045 66吐出路0046 L1上侧0047 L2下侧0048 15a轴具体实施方式0049 以下，关于本发明所示例的实施方式，参照附图进行说明。另外，以下将流体用隔膜泵1的中心轴线称作“中心轴线L”。并且，把沿中心轴线L的方向作为上下方向，相对于流体用隔膜泵1，将配置吐出口部65的一侧称作“上侧L1”，将配置马达15的一侧称作“下侧L2”。但这是为了方便说明而定义的上下方向。
15、，并不是限定本发明所示例的流体用隔膜泵1在使用时的姿势。并且，把与中心轴线L垂直相交的方向作为径向。0050 图1为本发明的实施方式所涉及的流体用隔膜泵1的分解立体图。图2为本发明的实施方式所涉及的流体用隔膜泵1的主要部分剖视图。如图1所示，流体用隔膜泵1具有外壳部件11、摇动板12、马达15、偏心旋转台13和轴部件14。0051 马达15具有朝向上侧L1延伸的轴15a。轴15a的上端从马达15朝向上侧L1突出。外壳部件11收纳摇动板12、轴部件14和偏心旋转台13。外壳部件11为沿上下方向延伸的有底大致圆筒状的部件，且向上侧L1开口。外壳部件11的圆筒部的上侧L1的端部具有向下侧L2凹陷的外。
16、壳凹部11a。在外壳部件11的底面的大致中央处具有上下方向贯通的贯通孔11b。外壳部件11的下侧L2的部位即底部固定于马达15。另外，外壳部件11不限定为有底大致圆筒状的部件，为圆筒状部件也可。轴15a的上侧L1的端部通过贯通孔11b配置在外壳部件11的内部。在轴15a的上侧L1的端部固定有偏心旋转台13。偏心旋转台13与轴15a共同旋转。轴部件14相对于偏心旋转台13被支撑于在径向离开中心轴线L的位置，且被支撑为朝向中心轴线L倾斜。摇动板12被支撑在轴部件14的上侧L1的端部。摇动板12具有从支撑轴部件14的部位朝向径向外侧延伸的隔膜保持部12a。隔膜保持部12a包含上下方向贯通的孔。后述的。
17、隔膜30保持在摇动板12。具体地说，在隔膜保持部12a处保持有隔膜30的下端。摇动板12通过马达15的旋转而以与马达15的旋转轴不同的轴部件14为旋转轴旋转。轴部件14的旋转轴相对于马达15的旋转轴倾斜。0052 如图1所示，流体用隔膜泵1还具有保持部件2、隔膜组件3、中盖体4、吸入阀膜组件5和上盖体6。如图1和图2所示，流体用隔膜泵1从中心轴线L的上方朝向下方，以上盖体6、吸入阀膜组件5、中盖体4、隔膜组件3、保持部件2、外壳部件11和马达15的顺序依次配置。0053 如图1所示，保持部件2具有上下贯通的3个保持贯通孔21。保持贯通孔21以中心轴线L为中心沿周向大致等间隔，即沿周向以120度。
18、间隔配置。在本实施方式中，保持贯通孔21有3个，与后述隔膜30的数量相同。也就是说，隔膜30有4个的情况下，保持贯通孔21由4个构成。保持贯通孔21既可为2个，也可为4个以上。说 明 书CN 102828937 A4/8页70054 如图2所示，保持部件2配置在隔膜组件3和摇动板12之间，并保持隔膜组件3，且与外壳部件11的上侧L1的端部连接。0055 隔膜组件3具有3个隔膜30、平板膜部34、3个吐出阀膜32和3个隔膜驱动部33。隔膜组件3为由橡胶等弹性部件形成的一体部件。即，隔膜30、平板膜部34、吐出阀膜32和隔膜驱动部33作为一体部件连接为一体。也就是说，隔膜组件3不是由多个部件，而是。
19、由一个部件构成的。0056 并且，图3为本发明的实施方式所涉及的隔膜组件3的立体图。如图2和图3所示，隔膜30呈大致碗型，且朝向上侧L1开口。平板膜部34沿径向延伸，且具有上下贯通的3个贯通孔36。形成于平板膜部34的3个贯通孔36以中心轴线L为中心沿周向大致等间隔，即沿周向以120度间隔配置。隔膜30的开口边缘部分别与平板膜部34的对形成于平板膜部34的3个贯通孔36进行限定的内周面的下端部连接。也就是说，隔膜30以中心轴线L为中心沿周向大致等间隔，即沿周向以120度间隔配置。吐出阀膜32呈大致圆筒状。3个吐出阀膜32分别从平板膜部34的对形成于平板膜部34的贯通孔36进行限定的内周面的上端。
20、部向上侧L1延伸。即，吐出阀膜32从隔膜30的开口边缘部朝向上侧L1延伸。吐出阀膜32以中心轴线L为中心沿周向大致等间隔，即沿周向以120度间隔配置。3个隔膜驱动部33分别从隔膜30的下部向下侧L2延伸。隔膜30和隔膜驱动部33从保持部件2的上侧L1贯穿插入于保持贯通孔21。隔膜驱动部33通过贯穿插入于摇动板12的隔膜保持部12a而被支撑。也就是说，隔膜驱动部33安装于摇动板12。由于轴部件14的旋转轴相对于马达15的旋转轴倾斜，所以伴随轴15a的旋转，摇动板12的隔膜保持部12a进行上下运动。其结果是，隔膜驱动部33进行上下往复运动（活塞运动），使隔膜30弹性变形。0057 如图3所示，平板。
21、膜部34具有沿上侧L1的面（上表面34a）的径向外端部向上侧L1突出的膨出条部35。（即，膨出条部35的轴向厚度比平板膜部34的轴向厚度厚。）膨出条部35呈闭环状。另外，如图2所示，隔膜组件3夹在中盖体4和保持部件2之间，由此，膨出条部35被中盖体4按压，并弹性变形至与平板膜部34大致相同的厚度。由此，可保持泵内部相对于泵外部的气密性。0058 中盖体4与保持部件2的上端部22连接。上端部22为从保持部件2的上表面向上侧L1突出的部位。隔膜组件3夹在中盖体4和保持部件2之间。由此，中盖体4紧贴在隔膜组件3，在隔膜30的内部构成泵室。中盖体4为树脂部件。由于上述隔膜驱动部33进行上下往复运动，所。
22、以隔膜驱动部33使隔膜30的内部空间变窄或变宽。其结果是，泵室的内部空间的体积发生变化。由于泵室的内部空间的体积发生变化，流体被吸入泵室或从泵室排出。0059 图4为本发明的实施方式所涉及的中盖体4的后视图。并且，图5为从下侧L2观察本发明的实施方式所涉及的中盖体4的立体图。如图4和图5所示，中盖体4呈短圆柱状，且在大致中央处具有上下贯通的排出孔46。通过泵室内的体积变小，泵室内的流体被从排出孔46向上侧L1吐出。在中盖体4的下表面，配置有从排出孔46的周围朝向下侧L2突出的3个支柱部46a。支柱部46a的下端分别在与排出孔46在上下方向重合的位置被连接起来。另外，支柱部46a不一定是3个，是。
23、2个以上即可。支柱部46a的下端与隔膜组件3的平板膜部34接触。在不阻碍流体从排出孔46排出的情况下，可设置防止隔膜组件3从保持部件2浮起的支柱部46a。说 明 书CN 102828937 A5/8页80060 并且，图6为本发明的实施方式所涉及的中盖体4的主视图。图7为从上侧L1观察本发明的实施方式所涉及的中盖体4的立体图。中盖体4具有3个圆环状凹槽44和3个凹陷部49。圆环状凹槽44和凹陷部49配置在中盖体4的上侧L1的面（上表面4a），且朝向下侧L2凹陷。圆环状凹槽44和凹陷部49以中心轴线L为中心沿周向大致等间隔，即沿周向以120度间隔配置。并且，各个圆环状凹槽44分别与相对应的各个凹。
24、陷部49同轴配置。并且，凹陷部49配置在圆环状凹槽44的内侧。在圆环状凹槽44的底面具有上下贯通的通孔48。每一个圆环状凹槽44具有3个通孔48。另外，1个吐出阀座部45至少有1个通孔48即可。并且，形成于中盖体4的通孔48连通泵室的内部和外部。0061 中盖体4的下表面具有向下侧L2突出的呈圆筒状的3个吐出阀座部45。通孔48位于吐出阀座部45的底板部。也就是说，圆环状凹槽44的底面构成该底板部的上表面的一部分。中盖体4的下表面配置在各吐出阀座部45的周围。而且，中盖体4的下表面具有从外缘朝向下侧L2突出的闭环状的中盖分隔壁部40a。中盖分隔壁部40a与平板膜部34的上表面34a接触。并且，。
25、将由中盖分隔壁部40a的内周面围起来的间隙限定为排出路47。排出路47与排出孔46连通。并且，吐出阀膜32相对于吐出阀座部45的外周面以能够自由紧贴和分离的方式接触。通过泵室的体积变小，泵室内的流体使吐出阀座部45和吐出阀膜32分离，并且该流体从吐出阀座部45和吐出阀膜32之间的间隙排出至排出路47。0062 圆环状凹槽44的内周面和凹陷部49的外周面之间的部位42（以下称之为吸入阀座部42）呈大致圆筒状。中盖体4具有3个吸入阀座部42。吸入阀座部42从通孔48附近朝向上侧L1突出。即，吸入阀座部42从吐出阀座部45的底板部的上表面朝向上侧L1突出。吐出阀座部45的底板部的下表面在与吸入阀座部。
26、42的大致中央在上下方向重合的位置具有朝向上侧L1凹陷的凹部41。中盖体4由树脂形成。由此，通过设置凹部41，可防止射出成型时的缩痕，能够高精度地成型吸入阀座部42。并且，通过在吐出阀座部45的内侧配置吸入阀座部42，可缩小流体用隔膜泵1的轴向的高度。0063 吸入阀座部42的外周面具有朝向上侧L1越来越细的锥面42a。并且，在吸入阀座部42的外周面配置有上下延伸的纵槽42b。纵槽42b从吸入阀座部42的外周面的中间部朝向上侧L1延伸。在吸入阀座部42的周向，纵槽42b和通孔48配置在大致相同的位置。比中间部靠下侧L2的锥面42a与比中间部靠上侧L1的锥面42a相比，相对于中心轴线L的倾斜较缓。
27、和。上述纵槽42b的下端配置在中间部附近。并且，后述吸入阀膜52的内周面的下端延伸至比纵槽42b的下端靠下侧L2的位置，且延伸至比中间部靠下侧L2的位置。0064 如图2所示，吸入阀膜组件5配置在中盖体4的上侧L1。图8为本实施方式所涉及的吸入阀膜组件5的后视图。并且，图9为从下侧观察本实施方式所涉及的吸入阀膜组件5的立体图。如图8和图9所示，吸入阀膜组件5具有平板部(平膜部)54、吐出孔56、3个吸入孔51和3个吸入阀膜52。吸入阀膜组件5为由橡胶等弹性部件形成的一体部件。即，平板部54、吐出孔56、吸入孔51和吸入阀膜52作为一体部件连接为一体。0065 吸入阀膜52插入于圆环状凹槽44的。
28、槽内部。吸入阀膜52相对于吸入阀座部42的外周面以能够自由紧贴和分离的方式接触。采用以往的伞状的吸入用阀体的情况下，在伞状阀体和阀座部紧贴的时候，会产生阀的敲打声。本实施方式所涉及的流体用隔膜泵1中，阀膜（吸入阀膜52或吐出阀膜32）与阀座部（吸入阀座部42或吐出阀座部45）紧贴时的声音是安静的，可以得到低噪音的流体用隔膜泵1。说 明 书CN 102828937 A6/8页90066 并且，如之前所述，通过在吸入阀座部42的外周面形成朝向上侧L1越来越细的锥面42a，吸入阀座部42容易插入到吸入阀膜52的下端开口。其结果是，组装操作的操作性提高，组装变得容易。并且，能够在锥面42a和吸入阀膜5。
29、2之间构成空间。因此，在泵工作时，流体存在于锥面42a和吸入阀膜52之间。通过泵室内部的体积变大，泵室内部的压力下降。然后，通孔48和吸入阀膜52的外周面的压力下降。吸入阀膜52内侧和外侧之间产生压力差，对吸入阀膜52向远离吸入阀座部42的方向作用有力。由此，流体从吸入阀膜52和吸入阀座部42之间通过通孔48被吸入泵室内。0067 并且，如之前所述，由于纵槽42b配置在吸入阀座部42的外周面，所以当存在于吸入阀膜52的径向外侧的流体的压力下降时，容易产生纵槽42b内的流体与存在于吸入阀膜52的径向外侧的流体之间的压力差。因此，吸入阀膜52容易离开吸入阀座部42，可顺利地进行流体的引导。由此，可。
30、减低流体用隔膜泵工作时马达的电力消耗。0068 并且，如之前所述，由于纵槽42b和通孔48配置在大致相同的位置，槽内流动的流体在吸入阀膜52从吸入阀座部42离开后马上通过通孔48被吸入泵室内。0069 平板部54为径向延展的平板状的部位。平板部54具有上下贯通的吐出孔56和3个吸入孔51。平板部54的下表面具有在吐出孔56的周围与中盖体4紧贴的环状区域。吐出孔56配置在平板部54的大致中央处，且在流体排出时与排出孔46在上下方向重合。平板部54具有从吸入阀膜组件5的对吐出孔56进行限定的内周面朝向吐出孔56的内侧延伸的排出阀55。吐出孔56呈大致圆弧状。排出阀55沿吐出孔56配置。排出阀55呈。
31、大致半圆形。排出阀55从中心轴线L观察覆盖中盖体4的排出孔46。由此，可将防止流体从后述吐出路66逆流的阀与吸入阀膜组件5构成为一体。由此可防止部件数的增加。0070 吸入孔51配置在比吐出孔56靠径向外侧的位置，且以中心轴线L为中心沿周向大致等间隔地配置。也就是说，吸入孔51沿周向以120度间隔配置。排出阀55在上下方向与排出孔46重合。3个吸入阀膜52呈大致圆筒状，且分别从平板部54的对吸入孔51进行限定的内周面的下端部向下侧L2延伸。也就是说，吸入阀膜52以中心轴线L为中心沿周向大致等间隔、即沿周向以120度间隔配置，且从平板部54的下侧L2的面（下表面54b）向下侧L2延伸。吸入阀膜5。
32、2相对于吸入阀座部42的外周面以能够自由紧贴和分离的方式接触。0071 如图8和图9所示，吸入阀膜组件5的平板部54具有从下表面54b朝向上侧L1凹陷的3个定位凹部53。各个定位凹部53分别与各个吸入阀膜52大致同轴配置。定位凹部53呈大致环状。各个定位凹部53配置在比吸入阀膜52靠径向外侧的位置。0072 并且，平板部54具有沿下表面54b的径向外端部向下侧L2突出的凸条部59。（也就是说，凸条部59的轴向厚度比平板部54的轴向厚度厚。）凸条部59形成为闭环状。另外，如图2所示，吸入阀膜组件5夹在中盖体4和上盖体6之间，由此，凸条部59被中盖体4按压，且弹性变形至与平板膜部34大致相同的厚度。
33、。由此，可保持泵内部相对于泵外部的气密性。0073 如图1所示，平板部54具有沿上表面54a的端部向上侧L1突出的闭环状的突条部58。0074 突条部58由外侧突条部58b和内侧突条部58a构成。外侧突条部58b沿平板部54的上表面54a的径向外端部向上侧L1突出。内侧突条部58a沿平板部54的上表面54a说 明 书CN 102828937 A7/8页10的径向内端缘向上侧L1突出。另外，如图2所示，吸入阀膜组件5夹在中盖体4和上盖体6之间，由此，突条部58（58a，58b）被上盖体6按压，且弹性变形至与平板部54大致相同的厚度。由此，可保持排出路径相对于吸入路径的气密性和泵内部相对于外部的气。
34、密性。0075 图10为本实施方式所涉及的上盖体6的后视图。并且，图11为从下侧观察本实施方式所涉及的上盖体6的立体图。如图11所示，上盖体6配置在吸入阀膜组件5的上侧L1。上盖体6与中盖体4连接。由上盖体6和中盖体4夹住吸入阀膜组件5。0076 如图2所示，上盖体6具有吸入口部60和吐出口部65。上盖体6沿径向延展。上盖体6在大致中央位置具有：上下贯通的贯通孔；和从限定该贯通孔的面的上端部向上侧L1延伸的呈大致圆筒状的吐出口部65。吐出路66由形成于上盖体6的大致中央位置的贯通孔和吐出口部65的内周面构成。吐出路66在上下方向贯通上盖体6。上盖体6在比形成于大致中央位置的贯通孔靠径向外侧的位。
35、置还具有：上下贯通的贯通孔；和从限定该贯通孔的面的上端部向上侧L1延伸的呈大致圆筒状的吸入口部60。吸入路61由在比形成于上盖体6的大致中央位置的贯通孔靠径向外侧的位置形成的贯通孔和吸入口部60的内周面构成。也就是说，上盖体6具有上下方向贯通的吸入路61。吸入口部60和吐出口部65呈大致圆筒状。0077 上盖体6的下表面具有呈圆环状的分隔壁部67，该分隔壁部67在吐出路66的周围向下侧L2突出，且将吸入阀膜52的内周面侧区域和吐出路66分隔。并且，上盖体6的下表面具有外部分隔壁部61b，该外部分隔壁部61b配置在比吸入阀膜52靠径向外侧的位置，且向下侧L2突出，并与平板部54的上表面54a接触。
36、。并且，在外部分隔壁部61b和分隔壁部67之间构成吸进路62。0078 上盖体6的下表面具有3个由朝向下侧L2突出的3个圆弧壁部68a构成的支撑壁部组68。也就是说，在本实施方式中，上盖体6的下表面具有9个圆弧壁部68a。另外，1个支撑壁部组68至少有1个圆弧壁部68a即可。更具体地说，外部分隔壁部61b、分隔壁部67和支撑壁部组68的下端朝向下侧L2按压平板部54。由于支撑壁部组68的下端向下方按压平板部54，因此可防止平板部54从中盖体4浮起。并且，由上盖体6和中盖体4夹住吸入阀膜组件5。3个支撑壁部组68分别与各个吸入阀膜52大致同轴配置，且包围吸入孔51的周围。在构成与各个吸入阀膜52。
37、同轴配置的各个支撑壁部组68的3个圆弧壁部68a中，最靠近中心轴线L的圆弧壁部68a与分隔壁部67成为一体。由于1个支撑壁部组68由多个圆弧壁部68a构成，因此可顺利地将从吸入路61吸入的流体从相邻的圆弧壁部68a之间引导至吸入阀膜52的内侧。0079 接下来对上述本发明的流体用隔膜泵1的作用进行说明。泵室通过将中盖体4紧贴于隔膜组件3而构成。并且，在比保持部件2靠上侧L1的位置，形成由吸入路61、吸进路62、吸入孔51、圆环状凹槽44和通孔48构成的吸入流路，并且在吸入流路设置由吸入阀膜52和吸入阀座部42构成的吸入阀。并且，在比保持部件2靠上侧L1的位置，形成由吐出路66、吐出孔56、排出孔46和排出路47构成的吐出流路，并且在吐出流路设置由吐出阀膜32和吐出阀座部45构成的吐出阀。并且，3个圆环状凹槽44互相不连通，且可通过吸入阀与吸进路62连通。并且，圆环状凹槽44通过通孔48与相对应的泵室连通。并且，由于轴15a旋转，所以摇动板12摇动，由此，摇动板12、偏心旋转台13、轴部件14和马达15使隔膜驱动部33作往复运动。说 明 书CN 102828937 A10。