包括焦距调整结构的光学模块和光学模块的制造.pdf

制造光学装置可包括将多个单切透镜系统安装于衬底之上；调整所述衬底在至少一些所述透镜系统下方的厚度，以提供用于所述透镜系统的相应焦距校正；以及随后将所述衬底分成多个光学模块，所述光学模块中的每一个包括被安装于所述衬底的一部分之上的所述透镜系统中的一个。调整所述衬底的厚度可包括例如微机械加工所述衬底以在至少一些所述透镜系统下方形成相应孔洞，或在至少一些所述透镜系统下方添加一或多个层，以便校正所述透镜系统的焦距的变化。

权利要求书1.  一种制造光学装置的方法，所述方法包括： 将多个单切透镜系统安装于衬底之上； 调整所述衬底在至少一些所述透镜系统下方的厚度，以提供用于所述透镜 系统的相应焦距校正；以及 随后将所述衬底分成多个光学模块，所述光学模块中的每一个包括被安装 在所述衬底的一部分之上的所述透镜系统中的一个。 2.  如权利要求1所述的方法，其中调整所述衬底的厚度包括：使用微机械 加工以在至少一些所述透镜系统下方形成相应孔洞，以便校正所述透镜系统的 所述焦距的变化。 3.  如权利要求1所述的方法，其中调整所述衬底的厚度包括在至少一些所 述透镜系统下方添加一或多个层，以便校正所述透镜系统的所述焦距的变化。 4.  如权利要求1所述的方法，其中所述透镜系统中的每一个包括透镜堆叠。 5.  如权利要求1所述的方法，其中所述衬底包括不同材料的多个层。 6.  如权利要求5所述的方法，其中调整所述衬底的厚度包括在所述衬底的 最远离所述透镜系统的层中形成相应孔洞。 7.  如权利要求1所述的方法，其包括在晶片级工艺中制造所述透镜系统， 并且将晶片堆叠分离来形成所述多个单切透镜系统，之后将所述单切透镜系统 安装于所述衬底上。 8.  如权利要求1所述的方法，其包括由不透明材料至少部分地填充相邻透 镜系统之间的间隙，以便由不透明壁围绕每一个透镜系统。 9.  如权利要求1所述的方法，其中所述衬底由对预定波长或波长范围的光 为实质上透明的材料构成。 10.  如权利要求9所述的方法，其中所述衬底由一或多种玻璃或聚合物材 料构成。 11.  如权利要求1所述的方法，其中所述衬底的表面包括一或多个光学滤 光层，所述方法包括将所述透镜系统安装在所述一或多个光学滤光片所在的位 置处。 12.  一种制造光学装置的方法，所述方法包括：将多个单独透镜堆叠放置 在衬底上； 在所述透镜堆叠中的一或多个下方的位置处微机械加工所述衬底，以便调 整至少一些所述透镜堆叠的焦距；以及 随后将所述衬底切成多个光学模块，所述光学模块中的每一个包括在所述 衬底的相应部分上的所述透镜堆叠中的一或多个。 13.  如权利要求12所述的方法，其包括： 将交叉通道杂散光减少元件提供于所述衬底上、介于所述透镜堆叠中的相 邻透镜堆叠之间，以及 将所述衬底切成多个光学模块，所述光学模块中的每一个包括由所述交叉 通道杂散光减少元件分离的所述透镜堆叠中的两个。 14.  如权利要求13所述的方法，其中所述交叉通道杂散光减少元件包括 在黑色涂层顶部上的黑色间隔件。 15.  如权利要求12所述的方法，其中所述衬底的表面包括一或多个光学 滤光层，所述方法包括将所述透镜系统安装于所述一或多个光学滤光片上。 16.  如权利要求15所述的方法，其中所述一或多个光学滤光片包括滤色 片。 17.  如权利要求15所述的方法，其中所述一或多个光学滤光片包括红外 线滤光片。 18.  如权利要求15所述的方法，其包括将所述衬底切成多个光学模块， 所述光学模块中的每一个包括所述透镜堆叠中的两个，其中每一个被安装于具 有不同光学性质的滤光片上。 19.  如权利要求12所述的方法，其包括：将所述衬底切成多个光学模块， 所述光学模块中的每一个包括所述透镜堆叠中的两个，其中所述衬底的在所述 模块中所述透镜堆叠中的每一个下方的微机械加工量彼此不同。 20.  如权利要求12所述的方法，其中所述衬底包括不同材料的多个层。 21.  如权利要求20所述的方法，其包括：将黑色涂层提供至所述衬底的 底表面、所述衬底的所述层中的一或多个的底表面，和/或所述衬底的相邻层之 间。 22.  一种设备，其包括： 衬底，其具有从所述衬底的一个区域到另一个区域有所变化的厚度； 安装在所述衬底之上的多个单切光学系统，其中所述光学系统中的相应光 学系统被设置在所述衬底的不同区域之上，以便对至少一些所述光学系统提供 焦距校正。 23.  如权利要求22所述的设备，其中安装在所述衬底之上的所有所述光 学系统的校正焦距实质上彼此相同。 24.  如权利要求22所述的设备，其中所述光学系统中的每一个包括透镜 堆叠。 25.  如权利要求22所述的设备，其中所述衬底包括不同材料的多个层。 26.  如权利要求25所述的设备，其包括黑色涂层，所述黑色涂层处于所 述衬底的第一表面上、所述衬底的所述层中的一或多个的表面上，和/或所述衬 底的相邻层之间。 27.  如权利要求22所述的设备，其包括交叉通道杂散光减少元件，所述 交叉通道杂散光减少元件处于所述衬底上、介于所述透镜堆叠中的相邻透镜堆 叠之间。 28.  如权利要求27所述的设备，其中所述交叉通道杂散光减少元件包括 在黑色涂层顶部上的黑色间隔件。 29.  如权利要求27所述的设备，其中相邻光学模块被安装于彼此具有不 同光学性质的相应滤光片上。 30.  如权利要求22所述的设备，其中所述衬底的第二表面包括一或多个 光学滤光层，并且其中所述光学系统被安装于所述一或多个光学滤光片上。 31.  如权利要求30所述的设备，其中所述一或多个光学滤光片包括滤色 片。 32.  如权利要求30所述的设备，其中所述一或多个光学滤光片包括红外 线滤光片。 33.  一种制造光学装置的方法，所述方法包括： 将多个透镜系统附接到衬底的第一侧，所述衬底由对预定波长或波长范围 的光为实质上透明的材料构成； 将通道FFL校正层提供于所述衬底的第二侧上；以及 除去所述通道FFL校正层的选定部分，以便调整至少一些所述透镜系统的 相应焦距变化。 34.  如权利要求33所述的方法，其中所述通道FFL校正层的所述选定部 分由光刻技术除去。 35.  如权利要求33所述的方法，其中所述通道FFL校正层的所述选定部 分通过微机械加工除去。 36.  如权利要求33所述的方法，其进一步包括： 测量每一个透镜系统的相应焦距；以及 基于所述透镜系统的所述测量的焦距，除去所述通道FFL校正层的不同位 置处的相应量。 37.  如权利要求33所述的方法，其包括：将所述衬底切片以形成多个模 块，所述模块中的每一个包括多个透镜堆叠。 38.  如权利要求33所述的方法，其包括：将所述衬底切片以形成多个模 块，所述模块中的每一个包括多个透镜堆叠，其中每一个透镜堆叠具有由相应 滤色层相交的光轴。 39.  如权利要求33所述的方法，其进一步包括： 将间隔件附接在所述衬底的所述第二侧处；以及 调整至少一些所述间隔件的相应高度以补偿所述透镜系统的FFL变化。 40.  一种光学模块，其包括： 衬底，其由对波长范围的特定波长的光为透明的材料构成； 多个透镜系统，其被附接到所述衬底的第一侧之上，其中每一个透镜系统 具有相应光轴，所述光轴与所述衬底相交并且对应于所述模块中的相应光学通 道； 多个滤色片，其被设置所述在衬底的不同区域之上，其中每一个透镜系统 的所述光轴与所述滤色层的相应滤色层相交； 间隔件，其被设置在所述衬底之上、介于相应一对所述滤色层之间，其中 所述间隔件对波长范围的所述特定波长的光为实质上不透明的； 通道FFL校正层，其中所述透镜系统中的至少一个的所述光轴与所述通道 FFL校正层相交；以及 图像传感器，其被附接到所述衬底的第二侧之上。 41.  如权利要求40所述的光学模块，其中所述通道FFL校正层由玻璃或 聚合物材料构成。 42.  如权利要求40所述的光学模块，其中不到全部的所述透镜系统的所 述光轴与所述通道FFL校正层相交。 43.  如权利要求40所述的光学模块，其中多个所述透镜系统的所述光轴 与所述通道FFL校正层相交，并且其中所述通道FFL校正层的由所述光轴相交 的相应部分彼此具有不同的厚度。 44.  如权利要求40所述的光学模块，其中所述通道FFL校正层被设置在 所述衬底的所述第二侧之上。 45.  如权利要求40所述的光学模块，其中所述通道FFL校正层被设置在 所述衬底的所述第一侧之上。 46.  如权利要求40所述的光学模块，其进一步包括在所述衬底的所述第 一侧之上的IR滤光层。 47.  如权利要求46所述的光学模块，其中所述多个滤色层被设置在所述 IR滤光层上。 48.  如权利要求40所述的光学模块，其包括第一滤色层和第二滤色层， 所述滤色层中的每一个允许不同波长或波长范围通过，其中所述透镜系统中的 第一个的所述光轴与所述第一滤色层相交，并且所述透镜系统中的第二个的所 述光轴与所述第二滤色层相交。 49.  如权利要求40所述的光学模块，其进一步包括在所述衬底的所述第 二侧上的涂层，其中所述涂层对波长范围的所述特定波长的光为实质上不透明 的，并且被设置在一对所述光学通道之间。 50.  如权利要求40所述的光学模块，其进一步包括间隔件，所述间隔件 将所述衬底的所述第二侧与所述图像传感器分离。 51.  一种制造光学装置的方法，所述方法包括： 将多个单切透镜系统安装于衬底上； 在所述衬底中、在至少一些所述透镜系统下方形成相应孔洞，以提供用于 所述透镜系统的相应焦距调整；以及 随后将所述衬底分成多个光学模块，所述光学模块中的每一个包括被安装 于所述衬底的一部分上的所述透镜系统中的一个。 52.  一种设备，其包括： 衬底，其具有在其表面的第一个表面中的孔洞； 多个单切光学系统，其被安装于所述衬底上、处于其表面的第二个表面上， 所述第二表面处于所述衬底的与所述第一表面相反的侧上，其中所述光学系统 的相应光学系统被设置在所述衬底的在所述孔洞中的每一个上方的区域上，以 便提供对所述光学系统的焦距的调整。

说明书包括焦距调整结构的光学模块和光学模块的制造
技术领域
本公开涉及用于照相机和其它装置的光学模块。本发明也涉及使用晶片级 制造步骤来制造这类模块的方法。
背景技术
在装置尤其是光学装置的制造期间，例如由于工艺步骤的一或多个中的或 多或少不可避免的变化或不准确度，可能存在制造不规则性或制造偏差。例如， 当光学装置包括一或多个透镜元件时，晶片(称为光学晶片)上大量的这类透镜元 件尽管具有相同的标称焦距，但仍将典型地具有稍微变化的焦距。在一些情况 下，焦距可对应于法兰焦距(FFL)，它指的是装置的最后物理平面(即，装置中最 靠近传感器的物理平面)与装置的透镜系统的焦平面之间的距离。更一般来说， 焦距可指代任何焦距参数(例如，有效焦距(EFL))。在任何情况下，焦距的变化 可造成透镜系统的焦平面偏离图像传感器平面，从而可导致低劣的图像质量。
发明内容
本公开描述光学装置和制造光学装置的方法。描述了各种方法，所述方法 提供用于透镜系统的焦距调整，以便校正透镜系统的焦距的变化。
例如，在一个方面中，制造光学装置的方法包括将多个单切透镜系统安装 于衬底之上；调整衬底在至少一些透镜系统下方的厚度，以提供用于透镜系统 的相应焦距校正；以及随后，将衬底分成多个光学模块，所述光学模块中的每 一个包括被安装在衬底的一部分之上的透镜系统中的一个。在一些实施方式中， 调整衬底的厚度可包括微机械加工以在至少一些透镜系统下方形成相应孔洞， 以便校正透镜系统的焦距的变化。在一些实施方式中，调整衬底的厚度可包括 在至少一些透镜系统下方添加一或多个层，以便校正透镜系统的焦距的变化。
在另一个方面中，制造光学装置的方法包括将多个单独透镜堆叠放置在衬 底上；在透镜堆叠中的一或多个下方的位置处微机械加工衬底，以便调整透镜 堆叠的焦距；以及随后，将衬底切成多个光学模块，所述光学模块中的每一个 包括在衬底的相应部分上的透镜堆叠中的一或多个。
所描述的制造技术可在一些实施方式中为有利的，因为所述制造技术允许 在单独透镜系统被安装于法兰焦距(flange focal length；FFL)校正衬底上之前测试 所述单独透镜系统。这种测试允许只有那些满足指定要求(例如，通过光学或其 它测试)的透镜堆叠被选择用于后续制造步骤，并且被安装于FFL校正衬底上。
根据另一方面，制造光学装置的方法包括将多个透镜系统附接到衬底的第 一侧(即，透镜堆叠侧)，所述衬底由对预定波长或波长范围的光为实质上透明的 材料构成；将通道FFL校正层提供于衬底的第二侧(即，传感器侧)上；以及除去 通道FFL校正层的选定部分，以便调整至少一些透镜系统的相应焦距变化。在 一些实施方式中，代替除去通道FFL校正层的选定部分以便调整相应焦距变化， 在需要校正焦距变化的位置提供一或多个通道FFL校正层。
根据另一态样，设备包括具有厚度的衬底，所述厚度从衬底的一个区域到 另一个区域有所变化。多个单切光学系统被安装在衬底之上，其中光学系统中 的相应光学系统被设置在衬底的不同区域之上，以便对至少一些光学系统提供 焦距校正。可提供衬底的不同区域的厚度，例如以便校正透镜系统的焦距的变 化。
在另一个方面中，光学模块包括衬底，所述衬底由对波长范围的特定波长 的光为透明的材料构成；以及多个透镜系统，其附接到衬底的第一侧之上，其 中每一个透镜系统具有相应光轴，所述光轴与衬底相交，并且对应于模块中的 相应光学通道。模块包括设置在衬底的不同区域之上的多个滤色层，其中每一 个透镜系统的光轴与滤色层的相应滤色层相交。间隔件被设置在衬底之上、介 于相应一对滤色层之间，并且间隔件对波长范围的特定波长的光为实质上不透 明的。也可在衬底的底表面上提供不透明(例如，黑色)涂层。模块包括通道FFL 校正层，其中透镜系统中的至少一个的光轴与通道FFL校正层相交。也可提供 模块FFL校正层。图像传感器被附接到衬底的第二侧之上。
描述包括多个光学通道的模块以及单通道模块。在一些情况下，FFL校正 衬底的厚度可按需要调整，以提供用于多通道模块的单独通道的FFL校正，并 且可提供间隔件来总体上提供用于模块的FFL校正。在模块仅包括单个光学通 道的情形中，可提供间隔件，并且调整它们的高度来提供用于光学通道的所需 FFL校正。
在一些情况下，代替将单切透镜系统安装于FFL校正衬底上，将包括多个 透镜堆叠的光学器件/间隔件堆叠附接到FFL校正衬底。
其它方面、特征和优点将根据以下详述、附图以及权利要求书而明白。
附图说明
图1是根据本发明的方法的流程图。
图2至图5示出根据第一制造工艺的步骤。
图6是从第一制造工艺得到的光学模块的实例。
图7至图9示出根据第二制造工艺的步骤。
图10和图11示出FFL校正层上的透镜堆叠阵列的实例。
图12和图13示出包括多个FFL校正层的FFL校正衬底的实例。
图14和图15示出FFL多层衬底上的透镜堆叠阵列的实例。
图16和图17示出具有另外特征的FFL校正衬底的实例。
图18-24、图24A-24B、图25、图25A和图26-29示出用于制造传感器模块 的制造工艺的实例，所述传感器模块包括安装在FFL校正结构上的透镜堆叠阵 列。
图30至图32示出包括具有FFL校正结构的透镜堆叠阵列的模块的其它实 例。
图33示出根据本发明的单通道模块的实例。
图34示出用于制造单通道模块的晶片级技术。
图35至图38示出用于形成光学器件/间隔件堆叠的晶片级技术，所述光学 器件/间隔件堆叠包括多个透镜堆叠。
具体实施方式
如由图1所示，制造多个光学模块的方法可包括以晶片级执行各种步骤， 并且在每一个装置中并入用于校正或以其它方式调整光学元件的焦距变化的特 征结构。在本发明的情形中，晶片可例如由以下材料构成：聚合物材料(例如， 可硬化材料，如可热固化或可紫外固化的聚合物)、玻璃材料、半导体材料或包 含金属和聚合物或聚合物和玻璃材料的复合材料。一般来说，晶片涉及实质上 盘状或板状形状物品，以使得其在一个方向(z方向或垂直方向)上的尺寸相对于 其在其它两个方向(x方向和y方向或侧向方向)上的延伸范围较小。多个类似的 结构或物品可被布置或提供在(非空白)晶片上或所述晶片中，例如，矩形栅格上。 晶片可具有开口(即，孔洞)，并且晶片甚至可在其侧向区域的主要部分中不含材 料。
如由图1所示，可例如作为晶片级工艺的一部分来制造多个透镜堆叠(方框 20)。使用切片或其它技术将透镜堆叠彼此分成单独的透镜堆叠(方框22)。然后 将单独透镜堆叠中的一些或所有安装(例如，附接)于FFL校正衬底上(方框24)， 如以下所解释的，所述FFL校正衬底可包括一或多个FFL校正层。透镜堆叠可 例如使用如胶合剂或环氧树脂的粘结材料安装于FFL校正衬底上。作为焦距变 化校正或调整的一部分，每一个透镜堆叠的焦距可被单独地测量。例如通过微 机械加工FFL校正衬底来调整或校正透镜堆叠的焦距变化(方框26)。微机械加 工步骤可包括例如研磨、钻进、激光烧蚀、蚀刻和/或光刻法以及其它技术。然 后可通过切片或一些其他工艺来分离单独透镜堆叠(方框28)。
尽管前述步骤中的一些是以晶片级来执行，但将单独透镜堆叠安装于FFL 校正衬底上(即，方框24)优选地通过将单独(即，单切的)透镜堆叠放置在FFL校 正衬底上来执行。这种方法可为有利的，因为它允许单独透镜堆叠在被安装于 FFL校正衬底上之前进行测试。这种测试允许只有那些满足指定要求(例如，通 过光学或其它测试)的透镜堆叠被选择用于后续制造步骤，并且被安装于FFL校 正衬底上。然而，可将一个、两个或更多个透镜堆叠同时地放置于FFL校正衬 底上。
图2-5示出用于制造多个光学模块的方法的实例。如图2所示，晶片级工艺 用于通过将多个晶片附接来形成晶片堆叠而形成多个透镜堆叠40。在这个实例 中，每一个透镜堆叠40包括一个垂直于另一个来布置的成对无源光学部件，如 塑料透镜42A-42C和44A-44C。复制或其它技术可用于在光学晶片46A、46B 的相应表面上形成透镜，所述光学晶片可通过间隔晶片48A、48B彼此附接。透 镜可例如通过折射和/或通过衍射将光重新导向。因此，透镜可具有大体上凸面 形状，或透镜可为不同形状，例如，大体上或部分地为凹面。透镜42A-42C和 44A-44C中的每一个可具有标称焦距；例如，透镜42A-42C可具有相同的第一 标称焦距，并且透镜44A-44C可具有相同的第二标称焦距，以便每一个透镜堆 叠的总焦距大约相同。然而，在实际应用中，透镜的焦距可偏离其相应标称焦 距(例如，由于制造限制而造成)。
在所示的实例中，在每一个透镜堆叠40的顶部处，围绕开口提供挡板50。 挡板50可防止不合需要的光以特定角度进入或离开透镜堆叠40。挡板50可例 如由实质上衰减或阻挡特定波长下或一定波长范围中的光的材料构成。
图2的晶片堆叠然后被切片成单独透镜堆叠40，图3中示出所述单独透镜 堆叠的实例。然后可测试单独透镜堆叠40，并且将满足任何测试要求或其它规 范的那些透镜堆叠安装于FFL校正衬底52上，如图4所示。光学通道的光轴由 虚线41指示。FFL校正衬底52可例如由具有指定性质(例如，允许特定波长或 特定波长范围内的光通过而很少衰减或无衰减)的透明材料(例如，玻璃)构成。
测量安装于FFL校正衬底52上的每一个透镜堆叠40的焦距，并且测定相 对于传感器的图像平面的偏移量。基于所得测量值，将FFL校正衬底52微机械 加工(如果需要)，以校正每一个透镜堆叠40的焦距变化。微机械加工可包括在 特定透镜堆叠40下方的FFL校正衬底52的传感器侧中形成孔洞或其它开口54。 孔洞54的深度可有所变化，并且在一些情况下，透镜堆叠40中的一或多个可 不需要孔洞(例如，如果不需要校正或调整焦距)。孔洞提供空气空间，其产生对 透镜堆叠的相应焦距变化的调整。衬底52的材料的折射率不同于(例如，大于) 孔洞54中真空或空气的折射率。因此，通过依赖于相关联光学部件的焦距与相 应标称焦距的偏差来调整每一个孔洞54的深度，可至少在某种程度上补偿偏差。 可选择孔洞的深度，例如，以便所有透镜堆叠的所得焦距实质上彼此相同。替 代地，FFL校正层可通过光刻技术来调整，当使用数个层FFL校正层时(参见图 26和图27)，所述光刻技术可为尤其有益的。这例如对包括透镜阵列的光学装置 的制造来说可为尤其有用的。
在将透镜堆叠40安装于FFL校正衬底52上之后，相邻透镜堆叠之间的间 隙可利用不透明材料56(例如，黑色环氧树脂)来填充(或部分地填充)，以便每一 个透镜堆叠由不透明壁围绕，从而有助于防止杂散光在后续使用期间进入透镜 堆叠。然后将FFL校正衬底52(和不透明材料56，如果存在的话)切片或以其它 方式分离以便形成单独光学模块，所述单独光学模块中的每一个包括具有FFL 校正结构的透镜堆叠40。图6中示出这种光学模块60的实例。
在图2-6的实例中，每一个透镜堆叠40包括彼此垂直对准的透镜阵列。在 其它实施方式中，透镜堆叠可包括不同数量的透镜、不同类型的透镜或不同布 置的透镜。因此，透镜堆叠40是透镜系统的实例，所述透镜系统可被并入光学 模块60中。透镜系统可包括一或多个透镜或可为聚焦或非聚焦的其它无源光学 元件。
在图2-6的实例中，透镜堆叠40是使用晶片级工艺制造，所述晶片级工艺 包括将多个衬底晶片以一个在另一个顶部的方式堆叠以形成晶片堆叠，随后进 行切片以提供单独透镜堆叠。在其它实施方式中，透镜堆叠可使用注塑成型技 术来制造。例如，如图7和图8所示，通过注塑成型制造的一或多个塑料透镜 70、72被引入透镜镜筒或其它透镜支架74中以形成透镜系统，在这种情况下为 透镜堆叠80。透镜镜筒74可例如由如热塑性材料(例如，具有填料的聚碳酸酯 或具有玻璃纤维的液晶聚合物)的不透明材料形成，并且透镜镜筒74在其顶端处 包括开口76以允许光进入或退出。
然后可将透镜堆叠80以类似于以上结合图4所述的方式安装于FFL校正衬 底52上(即，将单独单切的透镜堆叠80安装于FFL校正衬底52上)。测量安装 于FFL校正衬底52上的每一个透镜堆叠80的焦距，并且基于所得测量值，将 FFL校正衬底52微机械加工(如果需要)以调整每一个透镜堆叠80的焦距变化。 如以上结合图5所述，微机械加工可包括在特定透镜堆叠80下方的FFL校正衬 底52的传感器侧表面中形成孔洞54(参见图9)。孔洞54的深度可有所变化，并 且在一些情况下，透镜堆叠80中的一或多个可不需要孔洞(例如，如果不需要校 正或调整焦距)。然后将FFL校正衬底52切片或以其它方式分离以便形成单独 光学模块，所述单独光学模块中的每一个包括具有FFL校正结构的透镜堆叠80。
在前文说明的实例中，每一个模块包括单个透镜堆叠。然而，在其它实施 方式中，每一个模块可包括两个或更多个透镜堆叠。在一些情况下，每一个模 块包括透镜堆叠的阵列(例如，2x2阵列、3x3阵列、4x4阵列或MxN阵列，其 中M和N是正整数，它们可为相同或彼此不同的)。在这些实施方式中，透镜 堆叠的MxN阵列可如例如图10和图11所示附接到FFL校正衬底52。例如， 图10示出以晶片级技术制造的透镜堆叠40的MxN阵列，而图11示出通过注 塑成型技术形成的透镜堆叠40的MxN阵列。在将FFL校正层52切片之后，每 一个模块将包括并排对准的多个透镜堆叠。
FFL校正衬底52可由单层构成，如图5和图9的实例。然而，在其它实施 方式中，FFL校正衬底52可包括不同材料的多个层，这取决于所得光学模块的 所需光学性质。例如，图12示出FFL校正衬底由底部层52A和顶部层52B构 成的实例。在所示的实例中，用于FFL校正的孔洞形成在底部层52A中。图13 示出FFL校正层包括底部层52C、中间层52D和顶部层52E的实例。在所示的 实例中，用于FFL校正的孔洞54形成在底部层52C中。各种FFL层可例如由 玻璃材料和/或聚合物材料构成。透镜堆叠的MxN阵列也可被安装于多层FFL 校正衬底上。图14和图15中示出实例，图中分别示出在FFL校正衬底52上的 由不同材料的多个层52A、52B构成的透镜堆叠40的MxN阵列。在一些实施 方式中，FFL校正衬底可由多于两个的不同层构成。
在一些实施方式中，一或多个滤色片和/或红外线(IR)滤光片可被提供在FFL 校正衬底52上，以便获得所得光学模块的所需光学性质。滤色片可包括例如单 色红色、绿色和蓝色滤光片或拜耳型滤光片。此外，在一些实施方式中，可提 供IR滤光片或中性密度滤光片。图16中示出实例，所示实例包括FFL校正衬 底52的透镜堆叠侧上的IR滤光层90和IR滤光层上的滤色片92。滤色片被设 置在对应于每一个透镜堆叠(例如，透镜堆叠40或80)的光学通道的位置处。因 此，透镜堆叠40(或80)可例如安装在滤色片92中的每一个上或之上。
此外，在一些实施方式中，每一个光学模块包括多个透镜堆叠。例如，第 一透镜堆叠可与发光元件(例如，LED)对准，并且第二透镜堆叠可与光检测元件 (例如，光电二极管)对准。在这种情况下，FFL校正衬底52上的滤色片92可具 有彼此不同的光学性质，并且交叉通道杂散光减少特征结构可被提供在两个通 道之间。如图16中所示，交叉通道杂散光减少可通过黑色涂层94顶部上的黑 色间隔件96来实现。在一些实施方式中，黑色间隔件96被直接应用于FFL校 正衬底52或IR滤光层90(即，无黑色涂层94)。黑色间隔件96和黑色涂层94 是对预定波长范围内(例如，光谱的可见光部分，光谱的IR部分，和/或光谱的 UV部分中)的光实质上不透明的。适合的涂布技术包括例如旋涂、喷涂和溅镀。 这类涂布技术可用于提供黑色涂层94、IR滤光层90和/或滤色涂层92。多个透 镜堆叠40(或80)可被安装于单个FFL校正衬底52上，然后可将FFL校正衬底 52微机械加工以调整相应焦距变化。FFL校正衬底52然后可在适当位置被切片， 以便每一个模块包括一对透镜堆叠而不仅仅是单个透镜堆叠。
在一些实施方式中，黑色(即，不透明)涂层可被添加至FFL校正衬底的底部 (即，传感器侧)表面，添加至FFL校正层中一或多个的底表面，和/或添加在相 邻FFL校正层之间。图17示出玻璃FFL校正衬底52的实例，所述玻璃FFL校 正衬底52具有IR滤光片90、滤色片92和在黑色涂层94的顶部上的黑色间隔 件96，以用于FFL校正衬底52的透镜堆叠侧上的交叉通道杂散光减少。衬底 52的传感器侧包括通道FFL校正层100和模块FFL校正层102。通道FFL校正 层100可提供针对两个通道(即，C1和C2)而言不同的FFL校正或调整。模块 FFL校正层102可提供对所有光学通道相等应用的另一FFL校正或其它调整。 黑色涂层104可被提供来帮助减少光学模块中的杂散光。涂布技术(例如，旋涂、 喷涂和溅镀)可用于提供黑色涂层104和/或通道FFL校正层100。在特定实施方 式中，FFL校正层的厚度大致如下：400μm的FFL校正衬底52、25μm的FFL 校正层100，和150μm的FFL校正层102。
图18至图29示出用于制造传感器模块的示例性制造工艺，所述传感器模 块包括安装于FFL校正结构上的透镜堆叠阵列，所述FFL校正结构具有类似于 图17的那些特征的各种特征。如图18所示，玻璃或其它衬底202用作第一FFL 校正衬底。虚垂直线204指示光学通道的光轴的位置。IR滤光层206可被涂布 在衬底202的透镜堆叠侧(即，将要安装透镜堆叠的侧面)上。如图19所示，FFL 衬底202的整个传感器侧(即，将要附接传感器的侧面)由黑色涂层208(即，吸收 入射在其表面上的所有或实质量的光的材料，或对特定波长或波长范围为实质 上不透明的材料)涂布。涂层208可有助于减少由杂散光引起的光学串扰或干扰。 光刻技术可用于除去涂层208的部分，以便在光学通道的附近提供开口210，如 图20所示。
如图21中所示，FFL衬底202的透镜堆叠侧由第一滤色层212涂布。接着， 第一滤色层212的部分例如通过光刻技术除去，通道开口210的选定开口之上 的区域除外(参见图22)。对第二滤色层214重复前述步骤，以使得如图23所示， 每一个通道开口210由第一滤色层212或第二滤色层214中的一个覆盖。在所 示的实例中，通道开口210上的区域由第一滤色层212或第二滤色层214交替 地覆盖。第一滤色层和第二滤色层允许选定波长或波长范围(例如，红色、绿色 或蓝色)通过。在一些实施方式中，应用多于两个的不同滤色片。例如，在一些 情况下，应用三色滤光片以便获得红色、绿色和蓝色通道。
如图24所示，黑色间隔件216(即，由吸收入射于其表面上的所有或实质量 的光的材料或对特定波长或波长范围中的实质上所有光为不透明的材料构成)提 供于FFL衬底202的透镜堆叠侧上、介于成对的相邻滤色片212、214之间。可 例如由真空注入技术形成的黑色间隔件216可有助于减少交叉通道杂散光。在 这种情况下，FFL校正晶片可位于真空吸盘上，并且可使具有间隔件区段的 PDMS工具与FFL校正晶片接触。施加真空，并且将不透明、可固化环氧树脂 材料注入工具中以在FFL校正晶片上形成间隔件。环氧树脂材料可通过施加UV 辐射硬化。替代地，压花技术可用于形成黑色间隔件216。在一些实施方式中， 另外的黑色间隔件216A可被提供于滤色片212、214的侧面上，以使得黑色间 隔件216A以栅格状方式围绕滤色片，如图24A和图24B所示。黑色间隔件216 的大小和位置可取决于将要放置在衬底202上的上覆透镜堆叠的尺寸。
如图25所示，单独透镜堆叠或透镜堆叠的MxN阵列218被附接在FFL衬 底202的透镜堆叠侧之上。如果IR滤光层206不存在，那么MxN阵列218可 被直接附接到FFL衬底202的透镜堆叠侧。另外，MxN阵列218可被附接到IR 滤光层206的上表面。如果黑色间隔件216如图24A围绕滤色片，那么透镜堆 叠可被直接安装于黑色间隔件216上，如图25A所示。
接着，测量MxN阵列218中每一个透镜堆叠的FFL。然后将通道FFL校正 层220附接或涂覆(例如，通过涂布技术，如旋涂、喷涂或溅镀)到FFL衬底202 的传感器侧，如图26中所示。通道FFL层220可例如由玻璃材料和/或聚合物 材料构成。基于每一个透镜堆叠的FFL测量值，使用光刻技术来除去通道FFL 校正层220在各种透镜堆叠下方的部分，以便实现透镜堆叠的所需FFL值。因 为透镜堆叠可具有不同FFL值，所以可需要不同量的通道FFL校正层220来实 现各种透镜堆叠的校正FFL值(参见图27)。对一些透镜堆叠来说，可不需要FFL 校正，在这种情况下，可整体除去通道FFL校正层220在那些特定透镜堆叠下 方的区域。在其它情况下，可除去通道FFL校正层220在特定透镜堆叠下方的 区域中的一部分。在其它情况下，可不除去通道FFL校正层220在特定透镜堆 叠下方的部分。因此，取决于实施方式，可存在用于所有透镜系统或仅一些透 镜系统中的通道FFL校正层220。此外，最终通道FFL校正层220的厚度可在 一个透镜系统与下一个透镜系统之间变化，这取决于每一个透镜系统需要的FFL 校正量。
接着，如图28所示，可例如在FFL衬底202的传感器侧处附接间隔件222 (例如，附接到黑色涂层208的下表面)，从而可增加模块的稳定性。在一些实施 方式中，间隔件222通过真空注入技术来提供。间隔件222可用作模块FFL校 正层。间隔件222的高度可针对每一个模块(例如，透镜堆叠的每一个2x2阵列) 单独调整，以便补偿FFL变化。这些调整可例如使用微机械加工技术来执行。 单个模块可例如通过沿切片线224进行切片而分离。
然后可将图像传感器226附接到间隔件222的下侧，如图29所示。图像传 感器226可包括例如多个发光元件和/或感光元件，它们分别与模块中的不同光 学通道204对准。每一个透镜系统上部是相应的开口228，所述开口228实质上 与透镜系统的特定透镜系统的光轴204对准，并且允许光进入或退出模块。前 述技术可提供具有一或多个透镜堆叠的模块，所述透镜堆叠具有使用FFL校正 结构调整来实现有效期待值的FFL值。
在一些实施方式中，图18-29的各种步骤可以不同次序执行。例如，有可能 在涂覆黑色涂层208之前处理滤色片212、214和黑色间隔件216。也可能在透 镜堆叠被附接到FFL校正结构之前单独地测量透镜堆叠的FFL，并且在不附接 透镜堆叠的情况下继续进行后续处理步骤(例如，如图26、图27、图28、图 30或图31)。在一些情况下，一些步骤可省略或可增加另外的步骤。取决于实施 方式，涂层206、208、212、214可涂覆于FFL校正衬底202或通道FFL校正 层220的透镜侧或传感器侧。
取决于特定透镜堆叠所需的FFL补偿量，可提供多个通道FFL校正层220A、 220B。图30中示出实例，图中示出：使用第一通道FFL校正层用于一些透镜堆 叠，并且使用第一通道FFL校正层220A和第二通道FFL校正层220B用于其它 透镜堆叠。
代替使用光刻技术除去通道FFL校正层220的部分(参见，以上结合图26 和图27的描述)，微机械加工技术可用于除去通道FFL校正层220的部分(参见 图31)。在这种情况下，用于模块的FFL校正间隔件222可被附接到通道FFL 校正层220(参见图31)，代替被附接到黑色涂层208。
在前述实例中，通道FFL校正层220被附接在FFL校正衬底202的传感器 侧处(即，图像传感器侧上)。在一些实施方式中，通道FFL校正层220可被附接 到FFL校正衬底202的透镜堆叠侧。例如，如图32中所示，通道FFL校正层 220可被提供在滤色层212、214之上、处于需要FFL校正的那些透镜堆叠的特 定光学通道中。通道FFL校正层220可例如在安装透镜堆叠之前添加。光刻技 术可用于形成通道FFL校正层220。这类技术可例如在透镜堆叠显示相对均匀 和可再现的FFL变化的情况下尤其有用。
如以上结合图28对包括多个光学通道的模块所述，可按需要添加FFL校正 层202来提供用于单独通道的FFL校正，并且可添加间隔件222来总体上提供 用于模块的FFL校正。在模块仅包括单个光学通道(而不是多个通道)的情形中， 可将间隔件附接到透明衬底202，并且调整它们的高度来提供用于光学通道的所 需FFL校正。因为模块仅包括单个光学通道，所以不需要包括独立的FFL校正 层220。图33中示出这种模块的实例，图中示出经由第一间隔件216A附接到 透明盖件202的透镜堆叠40。经由第二间隔件222将透明盖件202的传感器侧 附接到包括光检测元件(例如，光电二极管)240的图像传感器238。在以上所述 的这个和其他实施方式中，间隔件216A、222可例如为环状，并且可例如通过 真空注入来形成。图像传感器238被安装在衬底242上。
图33的单通道模块可例如使用晶片级技术来制造。如图34所示，第一间 隔件352被附接到透明晶片354的一侧，并且第二间隔件356被附接到透明晶 片404的第二侧。间隔件晶片可用于提供第一间隔件352和第二间隔件356。在 一些实施方式中，间隔件352、356通过真空注入技术形成于透明晶片354上。 透明晶片354可例如由玻璃或聚合物材料构成，而间隔件352、356可例如由不 透明材料构成。单切注塑成型透镜堆叠40被附接到第一间隔件352。然后测量 每一个透镜堆叠40的FFL，并且在需要时，附接透镜堆叠40的间隔件356的 高度可被调整来提供用于光学通道的FFL校正。间隔件356的高度可例如通过 微机械加工或其它技术来调整。然后将传感器侧间隔件晶片356附接到安装于 衬底晶片(例如，印刷电路板晶片)358上的相应图像传感器238。所得堆叠可被 分离(例如，通过切片分离)以获得单通道模块。
在前述实例中，将透镜堆叠安装于FFL校正衬底上优选地通过将单独(即， 单切的)透镜堆叠放置在FFL校正衬底上来执行。然而，在一些实施方式中，代 替将单切透镜堆叠放置在FFL校正衬底上，可将透明光学晶片304的堆叠302(每 一个光学晶片具有多个透镜306)放置在FFL校正衬底308上(参见图35)。光学 晶片304的堆叠302可包括不透明的间隔件310A、310B，所述间隔件将光学晶 片304彼此分离并且与FFL校正衬底308分离。
间隔件/光学器件堆叠302可使用例如热稳定粘着剂附接到FFL校正衬底 308。为防止杂散光，如沟槽312的开口形成在透镜堆叠之间，并且随后由不透 明材料填充(参见图36)。沟槽312应全部延伸穿过两个晶片304的厚度，并且优 选地，沟槽312应至少部分地延伸到下间隔件310B中。在一些情况下，沟槽312 可延伸至FFL校正衬底308的上表面。沟槽312可例如通过切片、微机械加工 或激光切割技术来形成。如以下所解释，沟槽312随后可由不透明材料填充， 以便在透明晶片304的各种部分的侧壁上提供不透明层。
如图37所示，真空注入PDMS工具314被放置在间隔件/光学器件堆叠302 之上，以便促进由不透明材料(例如，具有炭黑的环氧树脂)填充沟槽312。真空 吸盘316被提供在间隔件/光学器件堆叠302下方并且围绕所述间隔件/光学器件 堆叠，以便在真空注入工具314与FFL校正衬底308之间施加真空。可将不透 明材料注入真空吸盘316中的入口318中。接近真空吸盘316的出口的真空泵 320促进所注入不透明材料的流动。不透明材料的实例包括含有炭黑(或另一暗 色颜料)或无机填料或染料的UV固化环氧树脂或热固化环氧树脂(或其它聚合 物)。在一些实施方式中，将添加剂嵌入环氧树脂(或其它聚合物)中。
在由不透明材料、在真空下填充沟槽312之后，使材料硬化(例如，通过UV 或热固化来硬化)，并且从间隔件/光学器件堆叠302移去工具314。如图38所示， 结果是：不透明区域322(例如，具有炭黑的环氧树脂)形成在透明光学晶片304 的相邻部分之间。不透明区域322的顶部部分可实质上与透明光学晶片304的 各种部分的外表面齐平，并且不透明区域322的顶部部分可由与间隔件310A、 310B相同的不透明材料或不同的不透明材料构成。在一些实施方式中，由不透 明材料构成的挡板晶片被附接到光学器件/间隔件堆叠302之上。在其它实施方 式中，可省略挡板晶片。
在形成不透明区域322并且除去真空注入工具314之后，可如上所述处理 FFL校正衬底308。因此，例如，制造光学装置的方法可包括将包括多个透镜系 统的光学器件/间隔件堆叠附接到透明FFL校正衬底之上。在一些情况下，穿过 光学器件/间隔件堆叠的部分形成如沟槽的开口，所述开口将透镜系统彼此分离， 并且然后用不透明材料填充开口。可调整衬底在至少一些透镜系统下方的厚度， 以提供用于透镜系统的相应焦距校正。调整衬底的厚度可包括在至少一些透镜 系统下方除去FFL校正衬底的选定部分，或添加一或多个层，以便校正透镜系 统的焦距的变化。随后，FFL校正衬底可被分成多个光学模块，所述光学模块 中的每一个包括被安装在FFL校正衬底的一部分之上的透镜系统中的一或多 个。由不透明材料覆盖所得模块的侧面，包括透明衬底上形成有透镜的侧面， 所述不透明材料可有助于减少杂散光进入模块。
其它实施方式在权利要求书的范围内。
权利要求书(按照条约第19条的修改)
1.一种制造光学装置的方法，所述方法包括：
将多个单切透镜系统安装于衬底之上；
调整所述衬底在至少一些所述透镜系统下方的厚度，以提供用于所述透镜 系统的相应焦距校正；以及
随后将所述衬底分成多个光学模块，所述光学模块中的每一个包括被安装 在所述衬底的一部分之上的所述透镜系统中的一个。
2.如权利要求1所述的方法，其中调整所述衬底的厚度包括：使用微机械 加工以在至少一些所述透镜系统下方形成相应孔洞，以便校正所述透镜系统的 所述焦距的变化。
3.如权利要求1所述的方法，其中调整所述衬底的厚度包括在至少一些所 述透镜系统下方添加一或多个层，以便校正所述透镜系统的所述焦距的变化。
4.如权利要求1所述的方法，其中所述透镜系统中的每一个包括透镜堆叠。
5.如权利要求1所述的方法，其中所述衬底包括不同材料的多个层。
6.如权利要求5所述的方法，其中调整所述衬底的厚度包括在所述衬底的 最远离所述透镜系统的层中形成相应孔洞。
7.如权利要求1所述的方法，其包括在晶片级工艺中制造所述透镜系统， 并且将晶片堆叠分离来形成所述多个单切透镜系统，之后将所述单切透镜系统 安装于所述衬底上。
8.如权利要求1所述的方法，其包括由不透明材料至少部分地填充相邻透 镜系统之间的间隙，以便由不透明壁围绕每一个透镜系统。
9.如权利要求1所述的方法，其中所述衬底由对预定波长或波长范围的光 为实质上透明的材料构成。
10.如权利要求9所述的方法，其中所述衬底由一或多种玻璃或聚合物材 料构成。
11.如权利要求1所述的方法，其中所述衬底的表面包括一或多个光学滤 光层，所述方法包括将所述透镜系统安装在所述一或多个光学滤光片所在的位 置处。
12.一种制造光学装置的方法，所述方法包括：将多个单独透镜堆叠放置 在衬底上；
在所述透镜堆叠中的一或多个下方的位置处微机械加工所述衬底，以便调 整至少一些所述透镜堆叠的焦距；以及
随后将所述衬底切成多个光学模块，所述光学模块中的每一个包括在所述 衬底的相应部分上的所述透镜堆叠中的一或多个。
13.如权利要求12所述的方法，其包括：
将交叉通道杂散光减少元件提供于所述衬底上、介于所述透镜堆叠中的相 邻透镜堆叠之间，以及
将所述衬底切成多个光学模块，所述光学模块中的每一个包括由所述交叉 通道杂散光减少元件分离的所述透镜堆叠中的两个。
14.如权利要求13所述的方法，其中所述交叉通道杂散光减少元件包括 在黑色涂层顶部上的黑色间隔件。
15.如权利要求12所述的方法，其中所述衬底的表面包括一或多个光学 滤光层，所述方法包括将所述透镜系统安装于所述一或多个光学滤光片上。
16.如权利要求15所述的方法，其中所述一或多个光学滤光片包括滤色 片。
17.如权利要求15所述的方法，其中所述一或多个光学滤光片包括红外 线滤光片。
18.如权利要求15所述的方法，其包括将所述衬底切成多个光学模块， 所述光学模块中的每一个包括所述透镜堆叠中的两个，其中每一个被安装于具 有不同光学性质的滤光片上。
19.如权利要求12所述的方法，其包括：将所述衬底切成多个光学模块， 所述光学模块中的每一个包括所述透镜堆叠中的两个，其中所述衬底的在所述 模块中所述透镜堆叠中的每一个下方的微机械加工量彼此不同。
20.如权利要求12所述的方法，其中所述衬底包括不同材料的多个层。
21.如权利要求20所述的方法，其包括：将黑色涂层提供至所述衬底的 底表面、所述衬底的所述层中的一或多个的底表面，和/或所述衬底的相邻层之 间。
22.一种设备，其包括：
衬底，其具有从所述衬底的一个区域到另一个区域有所变化的厚度；
安装在所述衬底之上的多个单切光学系统，其中所述光学系统中的相应光 学系统被设置在所述衬底的不同区域之上，以便对至少一些所述光学系统提供 焦距校正。
23.如权利要求22所述的设备，其中安装在所述衬底之上的所有所述光 学系统的校正焦距实质上彼此相同。
24.如权利要求22所述的设备，其中所述光学系统中的每一个包括透镜 堆叠。
25.如权利要求22所述的设备，其中所述衬底包括不同材料的多个层。
26.如权利要求25所述的设备，其包括黑色涂层，所述黑色涂层处于所 述衬底的第一表面上、所述衬底的所述层中的一或多个的表面上，和/或所述衬 底的相邻层之间。
27.如权利要求22所述的设备，其包括交叉通道杂散光减少元件，所述 交叉通道杂散光减少元件处于所述衬底上、介于所述透镜堆叠中的相邻透镜堆 叠之间。
28.如权利要求27所述的设备，其中所述交叉通道杂散光减少元件包括 在黑色涂层顶部上的黑色间隔件。
29.如权利要求27所述的设备，其中相邻光学模块被安装于彼此具有不 同光学性质的相应滤光片上。
30.如权利要求22所述的设备，其中所述衬底的第二表面包括一或多个 光学滤光层，并且其中所述光学系统被安装于所述一或多个光学滤光片上。
31.如权利要求30所述的设备，其中所述一或多个光学滤光片包括滤色 片。
32.如权利要求30所述的设备，其中所述一或多个光学滤光片包括红外 线滤光片。
33.一种制造光学装置的方法，所述方法包括：
将多个透镜系统附接到衬底的第一侧，所述衬底由对预定波长或波长范围 的光为实质上透明的材料构成；
将通道FFL校正层提供于所述衬底的第二侧上；以及
除去所述通道FFL校正层的选定部分，以便调整至少一些所述透镜系统的 相应焦距变化。
34.如权利要求33所述的方法，其中所述通道FFL校正层的所述选定部 分由光刻技术除去。
35.如权利要求33所述的方法，其中所述通道FFL校正层的所述选定部 分通过微机械加工除去。
36.如权利要求33所述的方法，其进一步包括：
测量每一个透镜系统的相应焦距；以及
基于所述透镜系统的所述测量的焦距，除去所述通道FFL校正层的不同位 置处的相应量。
37.如权利要求33所述的方法，其包括：将所述衬底切片以形成多个模 块，所述模块中的每一个包括多个透镜堆叠。
38.如权利要求33所述的方法，其包括：将所述衬底切片以形成多个模 块，所述模块中的每一个包括多个透镜堆叠，其中每一个透镜堆叠具有由相应 滤色层相交的光轴。
39.如权利要求33所述的方法，其进一步包括：
将间隔件附接在所述衬底的所述第二侧处；以及
调整至少一些所述间隔件的相应高度以补偿所述透镜系统的FFL变化。
40.一种光学模块，其包括：
衬底，其由对特定波长或波长范围的光为透明的材料构成；
多个透镜系统，其被附接到所述衬底的第一侧之上，其中每一个透镜系统 具有相应光轴，所述光轴与所述衬底相交并且对应于所述模块中的相应光学通 道；
多个光学滤光片，其每一个与所述光轴的相应光轴相交；
间隔件，其被设置在所述衬底之上，其中所述间隔件对波长范围的所述特 定波长的光为实质上不透明的；
通道FFL校正层，其中所述透镜系统中的至少一个的所述光轴与所述通道 FFL校正层相交；以及
图像传感器，其被附接到所述衬底的第二侧之上。
41.如权利要求40所述的光学模块，其中所述通道FFL校正层由玻璃或 聚合物材料构成。
42.如权利要求40所述的光学模块，其中不到全部的所述透镜系统的所 述光轴与所述通道FFL校正层相交。
43.如权利要求40所述的光学模块，其中多个所述透镜系统的所述光轴 与所述通道FFL校正层相交，并且其中所述通道FFL校正层的由所述光轴相交 的相应部分彼此具有不同的厚度。
44.如权利要求40所述的光学模块，其中所述通道FFL校正层被设置在 所述衬底的所述第二侧之上。
45.如权利要求40所述的光学模块，其中所述通道FFL校正层被设置在 所述衬底的所述第一侧之上。
46.如权利要求40所述的光学模块，其进一步包括在所述衬底的所述第 一侧之上的IR滤光层。
47.如权利要求46所述的光学模块，其中所述多个滤色层被设置在所述 IR滤光层上。
48.如权利要求40所述的光学模块，其包括第一滤色层和第二滤色层， 所述滤色层中的每一个允许不同波长或波长范围通过，其中所述透镜系统中的 第一个的所述光轴与所述第一滤色层相交，并且所述透镜系统中的第二个的所 述光轴与所述第二滤色层相交。
49.如权利要求40所述的光学模块，其进一步包括在所述衬底的所述第 二侧上的涂层，其中所述涂层对波长范围的所述特定波长的光为实质上不透明 的，并且被设置在一对所述光学通道之间。
50.如权利要求40所述的光学模块，其进一步包括间隔件，所述间隔件 将所述衬底的所述第二侧与所述图像传感器分离。
51.一种制造光学装置的方法，所述方法包括：
将多个单切透镜系统安装于衬底上；
在所述衬底中、在至少一些所述透镜系统下方形成相应孔洞，以提供用于 所述透镜系统的相应焦距调整；以及
随后将所述衬底分成多个光学模块，所述光学模块中的每一个包括被安装 于所述衬底的一部分上的所述透镜系统中的一个。
52.一种设备，其包括：
衬底，其具有在其表面的第一个表面中的孔洞；
多个单切光学系统，其被安装于所述衬底上、处于其表面的第二个表面上， 所述第二表面处于所述衬底的与所述第一表面相反的侧上，其中所述光学系统 的相应光学系统被设置在所述衬底的在所述孔洞中的每一个上方的区域上，以 便提供对所述光学系统的焦距的调整。
53.如权利要求40所述的光学模块，其中所述光学滤光片包括IR滤光片。
54.如权利要求40所述的光学模块，其中所述多个光学滤光片包括滤色 片。
55.如权利要求40所述的光学模块，其中所述多个光学滤光片包括用于 不同颜色的多个滤色片。
56.如权利要求40所述的光学模块，其中所述多个光学滤光片包括IR滤 光片和滤色片。