单晶炉夹取装置.pdf

上传人:1520****312 文档编号:1661993 上传时间:2018-07-02 格式:PDF 页数:6 大小:184.53KB
返回 下载 相关 举报
摘要
申请专利号:

CN201310682255.6

申请日:

2013.12.12

公开号:

CN104711681A

公开日:

2015.06.17

当前法律状态:

撤回

有效性:

无权

法律详情:

发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):C30B 35/00申请公布日:20150617|||公开

IPC分类号:

C30B35/00

主分类号:

C30B35/00

申请人:

常州市天龙光电设备有限公司

发明人:

潘燕萍

地址:

213000江苏省常州市新北区通江工业园港溪大道16号

优先权:

专利代理机构:

常州市维益专利事务所32211

代理人:

何学成

PDF下载: PDF下载
内容摘要

本发明涉及单晶炉装置技术领域,特别涉及单晶炉夹取装置。利用升降杆的上部套装有一机械手,该机械手包括前端安装的手臂、以及末端安装的液压缸;所述液压缸和手臂之间通过连杆连接;所述机械手底部设有一固定杆,该固定杆起点连接手臂尾端底部,终点连接液压缸底部;位于手臂与连杆之间的固定杆上设有一通孔;所述升降杆的下部设有两个挡块;使得单晶硅晶棒在被取出的过程中不会断裂,从而保证了操作的安全;而机械手夹取时,方便快捷并且现成本低,提高了工作效率。

权利要求书

权利要求书
1.  单晶炉夹取装置,包括机架和升降杆;所述机架上固定有上下两块夹持板;所述升降杆穿过两块夹持板上的通孔;所述升降杆底部连有油缸;其特征在于,所述升降杆的上部套装有一机械手,该机械手包括前端安装的手臂、以及末端安装的液压缸;所述液压缸和手臂之间通过连杆连接;所述机械手底部设有一固定杆,该固定杆起点连接手臂尾端底部,终点连接液压缸底部;位于手臂与连杆之间的固定杆上设有一通孔;所述升降杆的下部设有两个挡块。

2.  根据权利要求1所述的单晶炉夹取装置,其特征在于,所述升降杆与两个挡块的连接处各开有一个环形凹槽,所述两个挡块的一端套在环形凹槽上,使挡块与升降杆活动连接。

3.  根据权利要求1所述的单晶炉夹取装置,其特征在于,所述手臂包括两个竖杆与横杆形成“卜”字形的夹取杆、以及固定夹取杆的底座;所述两个夹取杆通过横杆上的螺孔水平连接于底座上。

说明书

说明书单晶炉夹取装置
技术领域
本发明涉及单晶炉装置技术领域,特别涉及单晶炉夹取装置。 
背景技术
目前将单晶硅晶棒取出的方法一般是由操作人员带上手套,用钳子将晶棒夹出。然而这样的操作方式不仅存在危险性,而且单晶硅晶棒的破裂强度与抗拉强度均较小,且晶棒在下降过程中存在一定的晃动,因此晶棒很容易出现断裂,以及人工操作随意性交大,效率缓慢。 
发明内容
本发明的目的是提供一种方便快捷且安全的单晶炉夹取装置。 
实现本发明的技术方案如下: 
单晶炉夹取装置,包括机架和升降杆;所述机架上固定有上下两块夹持板;所述升降杆穿过两块夹持板上的通孔;所述升降杆底部连有油缸;所述升降杆的上部套装有一机械手,该机械手包括前端安装的手臂、以及末端安装的液压缸;所述液压缸和手臂之间通过连杆连接;所述机械手底部设有一固定杆,该固定杆起点连接手臂尾端底部,终点连接液压缸底部;位于手臂与连杆之间的固定杆上设有一通孔;所述升降杆的下部设有两个挡块。 
所述升降杆与两个挡块的连接处各开有一个环形凹槽,所述两个挡块的一端套在环形凹槽上,使挡块与升降杆活动连接。方便将挡块固定在升降杆上 
所述手臂包括两个竖杆与横杆形成“卜”字形的夹取杆、以及固定夹取杆的底座;所述两个夹取杆通过横杆上的螺孔水平连接于底座上。利用“卜”字形夹取单晶硅晶棒更牢固。 
本发明的有益效果是:机架放置于地面上,用发动机械手夹住单晶硅晶棒的上部,再将两个挡块一左一右夹持住晶棒下部,随后松开两块夹持板,在利用底部的油缸推动升降杆上升,从而取出单晶硅晶棒。这样便能方便地将单晶硅晶棒取出,同时取出晶棒时不会抖动,使得单晶硅晶棒在被取出的过程中不会断裂,从而保证了操作的安全;而机械手夹取时,方便快捷并且成本低,又提高了工作效率。 
附图说明
通过下面结合附图的详细描述,本发明前述的和其他的目的、特征和优点将变得显而易见。 
其中:图1为发明结构示意图; 
图2为本发明升降杆结构示意图; 
图3为本发明手臂结构示意图; 
图4为本发明手臂未夹持单晶硅晶棒时的结构示意图; 
附图中,1为机架,2为升降杆,3为夹持板,4为油缸,5为机械手,6为手臂,7为液压缸,8为连杆,9为固定杆,10为通孔,11为挡块,12为环形凹槽,13为夹取杆,14为底座,15为竖杆,16为横杆。 
具体实施方式
参见图1-图4所示,单晶炉夹取装置,包括机架1和升降杆2;所述机架上固定有上下两块夹持板3;所述升降杆穿过两块夹持板上的通孔;所述升降杆底部连有油缸4;所述升降杆的上部套装有一机械手5,该机械手包括前端安装的手臂6、以及末端安装的液压缸7;所述液压缸和手臂之间通过连杆8连接;所述机械手底部设有一固定杆9,该固定杆起点连接手臂尾端底部,终点连接液压缸底部;位于手臂与连杆之间的固定杆上设有一通孔10;所述升降杆的下部设 有两个挡块11。 
利用机械手,升降杆的下部设有两个挡块,以及升降杆底部连有油缸。使用时将机架放置于单晶炉旁的地面上,用打开液压缸,推动机械手夹住单晶硅晶棒的上部,随后将两个挡块左右转动,夹持住单晶硅晶棒的下部,使其不会晃动,随后松开两块夹持板,并用油缸推动升降杆上升,从而取出单晶硅晶棒这样便能方便地将单晶硅晶棒取出,并且可以保证操作人员的安全,同时取出晶棒时不会抖动,使得单晶硅晶棒在被取出的过程中不会碰到单晶炉,从而保证了单晶硅晶棒的质量;而利用机械手代替人工操作不仅安全而且操作方便有效快捷,大大提高了劳动效率。 
优选的,参见图2所示,升降杆2与两个挡块11的连接处各开有一个环形凹槽12,所述两个挡块的一端套在环形凹槽12上,使挡块与升降杆活动连接。方便将挡块固定在升降杆上。 
优选的,参见图3-图4所示,手臂包括两个竖杆15与横杆16形成“卜”字形的夹取杆13、以及固定夹取杆的底座14;所述两个对称的夹取杆13通过横杆上的螺孔水平连接于底座14上。利用“卜”字形夹取单晶硅晶棒更牢固。 

单晶炉夹取装置.pdf_第1页
第1页 / 共6页
单晶炉夹取装置.pdf_第2页
第2页 / 共6页
单晶炉夹取装置.pdf_第3页
第3页 / 共6页
点击查看更多>>
资源描述

《单晶炉夹取装置.pdf》由会员分享,可在线阅读,更多相关《单晶炉夹取装置.pdf(6页珍藏版)》请在专利查询网上搜索。

本发明涉及单晶炉装置技术领域,特别涉及单晶炉夹取装置。利用升降杆的上部套装有一机械手,该机械手包括前端安装的手臂、以及末端安装的液压缸;所述液压缸和手臂之间通过连杆连接;所述机械手底部设有一固定杆,该固定杆起点连接手臂尾端底部,终点连接液压缸底部;位于手臂与连杆之间的固定杆上设有一通孔;所述升降杆的下部设有两个挡块;使得单晶硅晶棒在被取出的过程中不会断裂,从而保证了操作的安全;而机械手夹取时,方便。

展开阅读全文
相关资源
猜你喜欢
相关搜索

当前位置:首页 > 化学;冶金 > 晶体生长〔3〕


copyright@ 2017-2020 zhuanlichaxun.net网站版权所有
经营许可证编号:粤ICP备2021068784号-1