利用近场光的磁头悬架组件及具备它的信息记录再现装置 【技术领域】
本发明涉及利用对光进行会聚后的点光 (spot light) 来在记录介质中记录再现 各种信息的磁头悬架组件 (head gimbal assembly) 及具备它的信息记录再现装置。背景技术
近年来， 受到希望进行更大量且更高密度的信息的记录再现等的需求的影响， 要 求计算机设备中的硬盘驱动器等信息记录再现装置实现进一步的高密度化。因此， 为了将 相邻磁区之间的影响和热扰动抑制为最小限度， 开始采用矫顽力强的材料作为记录介质。 因此， 很难将信息记录到记录介质中。
因此， 为了消除上述的不良情况， 提供了下述混合型磁记录方式的信息记录再现 装置， 即： 利用对光进行会聚后的点光、 或对光进行会聚后的近场光， 对磁畴进行局部加热， 使矫顽力暂时降低， 在该期间内对磁盘进行写入。 特别是在利用近场光的情况下， 能够处理 现有光学系统中被视为极限的光波长以下的区域中的光学信息。因此， 能够实现超越现有 的光信息记录再现装置等的记录比特的高密度化。 作为上述混合型磁记录方式的信息记录再现装置， 已提出了各种装置， 作为其中 之一， 公知有如下的信息记录再现装置 ： 其向近场光元件供给用于生成近场光的光， 由此， 由近场光元件生成足够大的近场光， 能够实现超高分辨率的再现记录、 高速记录再现、 高 SN 比化。该信息记录再现装置使具备近场光元件的滑块在记录介质上扫描， 将滑块配置到记 录介质上的期望位置。 然后， 使从光源放射的近场光与从滑块产生的记录磁场协调工作， 由 此能够将信息记录到记录介质中。
这里， 作为混合型磁记录方式中的光的供给方式， 例如专利文献 1 所示， 公知有在 悬浮体上设置光波导线路的磁头悬架组件的结构。并且， 如专利文献 2 所示， 公知有使用光 纤和光棱镜来供给光的结构。
专利文献 1 ： 日本特许第 4162697 号公报
专利文献 2 ： 日本特开 2002-298302 号公报
但是， 上述现有技术的磁头悬架组件中， 不能充分地进行光的供给。在专利文献 1 中， 如图 2 所示， 未设想到对来自光波导线路的光进行会聚。因此， 不能将充分的能量汇集 到相当于 1 比特数据的微小区域中， 不能实现混合型磁记录的记录比特的高密度化。为了 产生充分小的光点并将其照射至磁盘， 希望在滑块内设置聚光元件或近场光元件， 但在该 情况下， 需要使光入射到滑块的预定位置。在专利文献 1 中， 由于光波导线路和滑块均设置 在基础绝缘层 ( 柔性基板 ) 上， 因此很难使光入射到滑块的预定位置。
另外， 为了不妨碍控制滑块稳定悬浮的悬浮体的动作， 光波导线路以小曲率半径 而弯曲， 但在这种小曲率半径的弯曲的情况下， 光波导线路很难将光保持在其芯体内。 其结 果是， 当在记录介质中进行信息记录时， 不能充分地对磁畴进行加热， 可能导致信息记录失 败。
另外， 在如专利文献 2 的结构中， 虽然光的传播没有很大问题， 但需要将光棱镜那
样的部件固定在滑块或悬浮体中， 可能因制造成本增加及重量增加而导致滑块的悬浮性能 恶化。 发明内容 本发明是考虑到这样的情况而完成的， 其目的在于， 提供一种利用近场光的记录 用磁头悬架组件及具备该记录用磁头悬架组件的信息记录再现装置， 其能够同时实现滑块 内的近场光元件与滑块外的光源之间的高效连接、 以及滑块的稳定悬浮。
为了达成上述目的， 本发明提供以下手段。
本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于， 该磁头悬架组件具有 ： 挠曲部， 其构成沿着记录介质的表面延伸设置的悬浮体的一部分 ； 柔性基板， 其设置在挠曲 部上 ； 滑块， 其以与记录介质的表面相对的方式固定在柔性基板的至少一部分上， 使用光束 来产生近场光 ； 以及光供给部， 其固定在挠曲部上， 其中， 柔性基板的至少一部分构成相对 于所述光供给部的光轴倾斜的镜面， 光供给部经由镜面与滑块以光学方式结合。
在本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件中， 通过将柔性基板侧面形成为镜 面， 能够实现紧凑的光转向构造。另外， 能够将用于光转向的追加部件抑制到最小限度， 因 此能够以低成本实现光转向构造， 磁头悬架组件的性能因重量增加而降低的程度减轻。
另外， 本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于， 该磁头悬架组件 还具有设置于柔性基板的电配线。
另外， 本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于， 电配线设置在柔 性基板内， 与所述挠曲部绝缘。
另外， 本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于， 柔性基板的一部 分为光供给部。
另外， 本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于， 柔性基板与光供 给部的载置于挠曲部上的部分中的至少一部分是以相同厚度及相同材料形成的。
在本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件中， 可利用光刻法等对同一树脂模 进行加工而得到柔性基板以及光供给部中的载置于挠曲部上的部分， 因此能够以低成本进 行制造。
另外， 本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于， 光供给部的至少 一部分是由供光束通过的芯体和覆盖所述芯体的覆盖层构成的光波导线路。
另外， 本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于， 柔性基板包含芯 体和覆盖层。
在本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件中， 光波导线路与电配线可一体形 成为光电复合配线， 因此能够高效率地进行制造。
另外， 本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于， 光供给部的至少 一部分为激光器。
另外， 本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于， 电配线中的至少 一方与光供给部连接。
另外， 本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于， 具有设置在镜面 上的金属膜。
在本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件中， 能够提高镜面的反射率， 因此 能够将来自光供给部的光高效率地传递到滑块。
另外， 本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于， 柔性基板具有切 口， 切口具有所述镜面。
另外， 本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于， 切口由 V 形槽构 成， 该 V 形槽由第 1 面及第 2 面构成， 第 1 面为镜面， 第 2 面为光供给部的光出射端。
在本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件中， 仅通过在柔性基板上设置切 口， 即可形成对光进行反射的功能， 因此能够简化整体的结构， 提高制造的容易性。
另外， 本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于， 该磁头悬架组件 具有 ： 设置于柔性基板的电配线 ； 以及设置于所述柔性基板的连接焊盘， 其用于对滑块与 电配线进行电连接， 其中， 相比于连接焊盘与电配线之间的连接点， 切口被设置在悬浮体的 前端侧。
在本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件中， 无需切断电配线即可形成切 口。由此， 能够与滑块进行稳定的电信号的通信并向近场光产生元件供给高强度且稳定的 光。因此， 能够实现高密度、 稳定的改写记录。 另外， 本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于， 该磁头悬架组件 具有 ： 设置在挠曲部上的导向部， 其用于在挠曲部上对光供给部进行定位， 以与柔性基板相 同的材料及相同厚度构成。
在本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件中， 可利用光刻法等对同一树脂模 进行加工来得到柔性基板以及导向部， 因此无需另行地加工导向部， 能够以低成本得到光 供给部的固定构造。
另外， 本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于， 柔性基板与导向 部是一体的。
在本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件中， 能够用导向部将光供给部固定 到镜面附近。 因此， 来自光供给部的出射光的光轴不易发生错乱， 能够高效率地将能量传递 到近场光元件。
另外， 本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于， 导向部的侧面中 的至少一个面是相对于光供给部的光轴倾斜的。
在本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件中， 在形成倾斜预定角度的镜面的 情况下， 可以使用具有 V 形截面或梯形截面的刃的切割刀片。因此， 能够容易且低成本地进 行构造的加工。 并且， 能够减小导向部与镜面之间的距离， 因此能够用导向部将光供给部固 定到镜面附近。 因此， 来自光供给部的出射光的光轴不易发生错乱， 能够高效率地将能量传 递到近场光元件。
另外， 本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于， 光供给部具有与 挠曲部的厚度相同的厚度或比挠曲部的厚度薄的厚度。
另外， 本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于， 悬浮体具有设置 在挠曲部周围的一部分上的开口， 光波导线路被设置为跨过开口。
另外， 本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件的特征在于， 柔性基板由树脂 构成。
另外， 本发明的信息记录再现装置的特征在于， 该信息记录再现装置由上述本发 明的利用近场光的记录用磁头悬架组件以及所述记录介质构成。
在本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件中， 在使记录介质旋转后， 使支架 绕枢轴旋转， 使支承在悬浮体上的滑块进行扫描。 然后， 将滑块配置在记录介质上的期望位 置。然后， 从光源向光波导线路内入射光束。由此， 能够利用磁头悬架组件的滑块， 在记录 介质中进行各种信息的记录再现。
特别是， 由于具备本发明的磁头悬架组件， 因此能够准确且高密度地进行信息的 记录再现， 实现高质量化。另外， 能够低成本地制造性能稳定的信息记录再现装置。
根据本发明的利用近场光的记录用磁头悬架组件， 能够同时实现滑块内的近场光 元件与滑块外的光源之间的高效连接、 以及滑块的稳定悬浮。 由此， 能够提供高性能的信息 记录再现装置。 附图说明
图 1 是示出本发明第 1 实施方式的信息记录再现装置的结构图。 图 2 是图 1 所示的磁头悬架组件的立体图。图 3 是图 2 所示的磁头悬架组件的放大图。
图 4 是沿图 3 的 A-A’ 线的截面图。
图 5 是示出本发明第 2 实施方式的磁头悬架组件的图。
图 6 是示出本发明第 3 实施方式的磁头悬架组件的图。
图 7 是示出本发明第 4 实施方式的磁头悬架组件的图。
图 8 是示出本发明第 5 实施方式的磁头悬架组件的立体图。
图 9 是沿图 8 的 B-B’ 线的截面图。
图 10 是沿图 8 的 C-C’ 线的截面图。
图 11 是图 8 所示的磁头悬架组件的放大图。
图 12 是示出本发明第 6 实施方式的磁头悬架组件的立体图。
图 13 是图 12 所示的磁头悬架组件的放大图。
图 14 是示出本发明第 7 实施方式的磁头悬架组件的结构图。
图 15 是说明本发明第 7 实施方式的磁头悬架组件的截面图。
图 16 是示出本发明第 7 实施方式的磁头悬架组件的制造方法的说明图。
图 17 是说明本发明第 8 实施方式的磁头悬架组件的截面图。
图 18 是说明本发明第 9 实施方式的磁头悬架组件的截面图。
图 19 是说明本发明第 10 实施方式的磁头悬架组件的截面图。
图 20 是示出本发明第 11 实施方式的磁头悬架组件的制造方法的说明图。
图 21 是说明本发明第 12 实施方式的磁头悬架组件一例的结构图。
图 22 是说明本发明第 12 实施方式的磁头悬架组件一例的截面图。
图 23 是说明本发明第 12 实施方式的磁头悬架组件一例的截面图。
标号说明
D 记录介质 ； 1 信息记录再现装置 ； 2 滑块 ； 3 悬浮体 ； 11 支架 ； 12 磁头悬架组件 ； 13 柔性配线 ； 204 挠曲部 (flexure) ； 204a 垫盘 (pad) 部 ； 206 光纤 ； 301 柔性基板 ； 301a 镜面 ；304 光纤导向部 ； 1203 激光器 ； 1204 激光导向部。 具体实施方式
( 第 1 实施方式 )
下面， 参照图 1 至图 4 来说明本发明的第 1 实施方式。图 1 是示出本实施方式的 信息记录再现装置 1 的结构图。并且， 本实施方式的信息记录再现装置 1 是以热辅助磁记 录方式来对具有磁记录层的记录介质 D 进行写入的装置。
如图 1 所示， 在本实施方式的信息记录再现装置 1 中， 固定有滑块 2 的悬浮体 3 被 固定在支架 11 上。将滑块 2 与悬浮体 3 合称为磁头悬架组件 12。圆盘状的记录介质 D 通 过主轴电机 7 向预定方向旋转。支架 11 能够以枢轴 (pivot)10 为中心旋转。支架 11 通过 致动器 6 进行旋转， 该致动器 6 受来自控制部 5 的控制信号的控制。支架 11 能够将滑块 2 配置到记录介质 D 表面上的预定位置处。壳体 9 由铝等构成， 呈箱状 ( 为了易于理解说明， 在图 1 中省略了包围壳体 9 的周围的周壁 )。壳体 9 将上述部件收纳在其内部。主轴电机 7 被固定在壳体 9 的底面。滑块 2 具有 ： 朝向记录介质 D 产生磁场的磁极 ( 省略图示 )、 产 生近场光点的近场光元件 ( 省略图示 )、 以及对记录在记录介质 D 中的信息进行再现的再现 元件 ( 省略图示 )。磁极和再现元件经由沿悬浮体 3 及支架 11 铺设的柔性配线 13、 设在支 架 11 侧面的接线端子 14、 以及扁平线缆 4 而与控制部 5 连接。 记录介质 D 可以为 1 个， 但也可以如图 1 所示那样设置有多个。如果记录介质 D 的个数增加， 则磁头悬架组件 12 的个数也增加。图 1 中示出了仅在记录介质 D 的单面侧设 置有磁头悬架组件 12 的结构， 但也可以在双面均设置磁头悬架组件 12。因此， 磁头悬架组 件 12 的个数最大为记录介质 D 的个数的 2 倍。由此， 能够增加每个信息记录再现装置的记 录容量。
图 2 是第 1 实施方式的磁头悬架组件 12 的放大图。 悬浮体 3 由以不锈钢薄板为材 料的基板 201、 枢接部 (hinge)202、 承载梁 (load beam)203、 挠曲部 (flexure)204 构成。 基 板 201 通过设在其一部分中的安装孔 201a 而固定在支架 11 上。枢接部 202 连接基板 201 和承载梁 203。枢接部 202 比基板 201 和承载梁 203 薄， 悬浮体 3 能够以枢接部 202 为中心 而挠曲。挠曲部 204 是固定在承载梁 203 和枢接部 202 上的细长部件， 比承载梁 203 和基 板 201 薄， 易于挠曲。挠曲部 204 的前端固定有大致长方体形状的滑块 2。
滑块 2 的表面中的与固定在挠曲部 204 上的面相反的面是面向记录介质 D 的面。 该面是利用由旋转的记录介质 D 产生的气流的粘性来产生用于使滑块 2 悬浮的压力的面。 该面被称为 ABS(Air Bearing Surface ： 空气支承面 )。 ABS 上设有省略了图示的凹凸形状。 ABS 在滑块 2 与记录介质 D 之间产生期望的压力分布。利用欲使滑块 2 远离记录介质 D 的 正压、 欲使滑块 2 靠近记录介质 D 的负压以及悬浮体 3 的推压力之间的平衡， 滑块 2 以期望 的状态而悬浮。记录介质 D 与滑块 2 之间的间隙的最小值为 10nm 左右或 10nm 以下。悬浮 体 3 的推压力主要是由枢接部 202 的弹性来产生的。并且， 枢接部 202 及挠曲部 204 与记 录介质 D 的表而的起伏对应地发生挠曲， 由此能够保持期望的悬浮状态。
挠曲部 204 上设有柔性配线 13。挠曲部 204 具有大致コ字状的开口部。在挠曲 部 204 中， 在被该开口部围住而成为舌状的垫盘部 204a 上固定有滑块 2。滑块 2 的端部中 的靠悬浮体 3 的根部侧 ( 支架 11 侧 ) 的端部称为流入端。将与其相反的靠悬浮体 3 的前
端侧的端部称为滑块 2 的流出端。它们是基于由上述记录介质 D 引起的气流的方向而命名 的。磁极 ( 省略图示 )、 近场光元件 ( 省略图示 ) 以及再现元件 ( 省略图示 ) 设置在滑块 2 的流出端侧的侧面上。从悬浮体 3 的根部侧延伸设置出来的柔性配线 13 从途中分支为两 根， 以绕过上述开口部及滑块 2 的两侧的方式， 与流出端侧的磁极以及再现元件连接。
激光器 205 设置在挠曲部 204 的载置于基板 201 上的部分的一部分上。 激光器 205 与柔性配线 13 电连接， 激光器 205 根据控制部 5 的电信号进行发光动作。在激光器 205 的 出射端以光学方式连接有光纤 206。光纤 206 的另一端与设在滑块 2 中的近场光元件 ( 省 略图示 ) 以光学方式结合。由此， 来自激光器 205 的光经由光纤 206 被导入到近场光元件 中。并且， 使用套管 207 以在光纤 206 的长度方向上畅通的方式支承光纤 206。如上所述， 在信息记录再现装置 1 工作时， 枢接部 202 及挠曲部 204 与记录介质 D 的起伏对应地发生 挠曲。但是， 通过由套管 207 支承光纤 206， 能够减轻光纤 206 对枢接部 206 及挠曲部 204 的挠曲的妨碍， 使滑块 2 稳定地悬浮。
图 3 是第 1 实施方式的垫盘部 204a 附近的放大图。图 4 是图 3 的 A-A’ 截面。柔 性配线 13 由柔性基板 301、 以及载置于该柔性基板 301 上的 4 根金属配线 302 构成。柔性 基板 301 由聚酰亚胺 (polyimide) 等树脂构成。金属配线 302 由铜构成， 其表面实施了镀 金。柔性基板 301 将金属配线 302 与挠曲部 204 之间绝缘。另外， 没有图示， 出于保护的目 的而用聚酰亚胺等树脂覆盖了金属配线 302 的一部分。4 根金属配线 302 分别与设置在滑 块 2 中的磁极 ( 省略图示 ) 及再现元件 ( 省略图示 ) 各连接 2 根。另外， 金属配线 302 的 根数不限定于 4 根， 可根据需要进行增减。
在垫盘 204a 上， 以与柔性基板 301 相同的材料及相同的厚度， 设有光纤导向部 303 和垫片 (spacer)304。光纤导向部 303 为 2 对俯视呈长方形的形状， 光纤 206 以夹在 2 对光 纤导向部 303 之间的方式被定位在垫盘部 204a 上。以将滑块 2 载置在柔性基板 301 的未 载置有金属配线 302 的部分中的一部分、 光纤导向部 303 以及垫片 304 上的方式， 对滑块 2 进行了粘接固定。由于柔性基板 301、 光纤导向部 303 及垫片 304 为相同厚度， 因此能够稳 定地固定滑块 2。适当设置垫片 304 以使滑块 2 稳定地固定在垫盘部 204a 上。这里， 在滑 块 2 的流入端侧设置了 2 对垫片 304。柔性基板 301 的端面中的、 与光纤 206 及光纤导向部 303 相对的面是相对于光纤 206 的长度方向倾斜 45 度的倾斜平面。 通过在该倾斜平面上进 行金属覆膜而形成镜面 301a。覆膜的金属使用铝或金。由此， 从设置为夹在滑块 2 与垫盘 部 204a 之间的光纤 206 出射的光在镜面 301a 上转向 90 度， 从而被导入到设在滑块 2 内部 的近场光元件 ( 省略图示 ) 中。优选的是， 柔性基板 301、 光纤导向部 303 以及垫片 304 的 厚度等于或小于光纤 206 的直径。光纤 206 的直径为几十 μm 到 125μm。光纤 206 的直径 越小， 则越能够减小滑块 2 与垫盘部 204a 之间的距离， 从而滑块 2 的悬浮性能越好。并且， 也可以仅减小光纤 206 中的载置于垫盘部 204a 上的部分的直径。
根据这样的结构， 通过使用镜面 301a， 能够实现紧凑的光转向构造。并且， 通过将 柔性基板 301 的一部分改用作镜面， 能够以低成本实现光转向构造。并且， 能够将用于实现 光转向的追加部件抑制为最小限度， 因此， 磁头悬架组件性能因重量增加而降低的程度得 到减轻。
另外， 可利用光刻法等对同一树脂膜进行加工来得到柔性基板 301、 光纤导向部 303 及垫片 304， 因此， 无需另外对光纤导向部 303 和垫片 304 进行加工， 从而能够以低成本得到光纤固定构造。
( 第 2 实施方式 )
下面， 参照图 5 来说明本发明的第 2 实施方式。对与第 1 实施方式相同的部分标 注相同标号， 并省略详细的说明。
本实施方式与第 1 实施方式的不同之处在于， 柔性基板 301 的端面中的与光纤 206 相对的部分被切除出矩形， 在该切口部的侧面中的与光纤 206 相对的面上设置有镜面 501。 与第 1 实施方式相同， 镜面 501 是对相对于光纤 206 长度方向倾斜 45 度的倾斜平面进行金 属覆膜而成的。
根据这样的结构， 既能确保柔性基板 301 的供载置滑块 2 的区域的大小， 又能在尽 量接近滑块 2 的流出端的位置处将光导入。由于能够将滑块 2 稳定地固定在柔性基板 301 上， 因此能够提高组装的成品率， 且能够防止滑块 2 与挠曲部 204 之间的振动特性的恶化。 另外， 由于能够将设在滑块 2 中的近场光元件设在靠近流出端的地方， 因此滑块的制造变 得容易。
( 第 3 实施方式 )
下面， 参照图 6 来说明本发明的第 3 实施方式。对与第 1 实施方式相同的部分标 注相同标号， 并省略详细的说明。本实施方式与第 1 实施方式的不同之处在于， 光纤导向部 601 的端面中的与镜面 301a 相对的面为倾斜平面 602。 根据这样的结构， 在形成镜面 301a 的倾斜平面时， 可以使用具有 V 字截面或梯形 截面的刃的切割刀片。由此， 能够容易且低成本地进行构造的加工。并且， 由于能够减小光 纤导向部 601 与镜面 301a 之间的距离， 因此可以利用光纤导向部 601 将光纤 206 固定到镜 面 301a 附近。因此， 来自光纤 206 的出射光的光轴不易发生错乱， 从而能够高效率地将能 量传递到近场光元件。
( 第 4 实施方式 )
下面， 参照图 7 来说明本发明的第 4 实施方式。对与第 1 实施方式及第 2 实施方 式相同的部分标注相同标号， 并省略详细的说明。本实施方式与第 2 实施方式的不同之处 在于， 光纤导向部 701 与柔性基板 702 形成为一体。
根据这样的结构， 可以利用光纤导向部 701 将光纤 206 固定到镜面 501 附近。因 此， 来自光纤 206 的出射光的光轴不易发生错乱， 从而能够高效率地将能量传递到近场光 元件。
( 第 5 实施方式 )
下面， 参照图 8 至图 11 来说明本发明的第 5 实施方式。对与第 1 实施方式相同的 部分标注相同标号， 并省略详细的说明。
与第 1 实施方式的不同之处在于， 在挠曲部 204 上设置有光电复合配线 801 来替 代柔性配线。在光电复合配线 801 上配置有激光器 205， 该激光器 205 与光电复合配线 801 以电气方式、 光学方式连接。另外， 激光器 205 也可以配置在支架 11 或控制部 5 的附近。
图 9 是沿着图 8 的 B-B’ 线的、 挠曲部 204 和光电复合配线 801 的截面图。光电复 合配线 801 与第 1 实施方式的柔性配线的结构十分相似， 而不同之处在于， 在柔性基板 802 内设置有矩形截面的波导芯体 803。波导芯体 803 的截面的一边为几 μm 到几百 u m， 由具 有透光性的树脂材料形成。例如可以使用透光性的聚酰亚胺。并且， 柔性基板 802 的折射
率比波导芯体 803 的折射率小， 该柔性基板 802 为非导电性的树脂材料。柔性基板 802 也 可以使用透光性的聚酰亚胺。在柔性基板 802 上设有 4 根金属配线。
图 10 是沿着图 8 的 C-C’ 线的、 挠曲部 204 和光电复合配线 801 的截面图。与第 1 实施例的相同之处在于， 金属配线 302 被分为 2 组， 绕过形成垫盘部 204a 的挠曲部的开口 部， 与滑块 2 的流出端侧连接， 不过在本实施例中， 还分支出由波导芯体 803 和包住该波导 芯体 803 的柔性基板 802 构成的波导线路 804。即， 从悬浮体 3 的根部延伸设置出的光电 复合配线 801 在途中被分为 2 组金属配线和 1 条波导线路共 3 支而配置到垫盘部 204a 上。 波导线路 804 从滑块 2 的流入端侧插入。其原因在于， 一般情况下， 与电配线相比， 光波导 线路不容易弯曲， 不能进行绕过滑块 2 那样的配线。
图 11 是本实施方式的垫盘部 204a 附近的放大图。从滑块 2 的流入端侧配置到垫 盘部 204a 上的波导线路 804 在垫盘部 204a 上具有端部 805。在端部 805 中， 波导芯体 803 露出， 从而来自激光器 205 的光放射出来。在载置着金属配线 302 的柔性基板 802 的与端 部 805 相对的端面上， 与第 1 实施方式相同地形成有镜面 301a。从波导芯体 803 出射的光 在镜面 301a 上转向 90 度而导入到设在滑块 2 内部的近场光元件 ( 省略图示 ) 中。由此， 通过来自控制部 5 的电信号来驱动激光器 205， 并通过光电复合配线 801 内的波导芯体 803 及镜面 301a 将来自激光器 205 的光导入到设在滑块 2 中的近场光元件中。以将滑块 2 载 置在镜面 301a 附近的柔性基板 802、 端部 805 附近的波导线路 804 及垫片 304 上的方式， 对 滑块 2 进行粘接固定。由于在波导线路 804 上施加负荷时， 会对波导性能产生不良影响， 因 此为了分散负荷而增大了波导线路 804 的载置滑块 2 的部分中的至少一部分的宽度。 根据这样的结构， 除在第 1 实施方式的效果以外， 由于波导芯体 803 与金属配线 302 一体地形成为光电复合配线 801， 因此还可高效地进行制造。
( 第 6 实施方式 )
下面， 参照图 12 至图 13 来说明本发明的第 6 实施方式。对与第 1 实施方式相同 的部分标注相同标号， 并省略详细的说明。本实施方式与第 1 实施方式的不同之处在于， 去 除了光纤， 从而变更了激光器的位置。
图 12 是第 6 实施方式的磁头悬架组件 12 的放大图。在挠曲部 204 上设有柔性配 线 1201。
图 13 是第 6 实施方式的垫盘部 204a 附近的放大图。柔性配线 1201 由柔性基板 301 以及载置在该柔性基板 301 上的 6 根金属配线 1202 构成。金属配线 1202 由铜构成， 其表面实施了镀金。柔性基板 301 将金属配线 1202 与挠曲部 204 之间绝缘。另外， 未作 图示， 出于保护的目的而用聚酰亚胺等树脂覆盖了金属配线 1202 的一部分。6 根金属配线 1202 中的 4 根分别与设在滑块 2 中的磁极 ( 省略图示 ) 及再现元件 ( 省略图示 ) 各连接 2 根。在垫盘部 204a 上配置有激光器 1203。另外， 在垫盘部 204a 上配置有俯视呈コ字状的 激光导向部 1204。激光导向部 1204 与柔性基板 301 为相同的材料及相同的厚度。因此， 可同时形成激光导向部 1204 和柔性基板 301。激光器 1203 嵌入到俯视呈コ字状的激光导 向部 1204 中， 容易进行定位。激光器 1203 为端面发光激光器， 因此激光从其侧面出射。激 光导向部 1204 不会妨碍来自激光器 1203 侧面的激光的出射。激光器 1203 的厚度等于或 小于激光导向部 1204 的厚度。以将滑块 2 载置在柔性基板 301 的一部分、 激光器 1203、 以 及激光导向部 1204 上的方式， 对滑块 2 进行固定。6 根金属配线 1202 中的、 未与磁极及再
现元件连接的 2 根经由滑块 2 表面的电极 ( 省略图示 ) 与激光器 1203 连接， 以驱动激光器 1203。由此， 从设置为夹在滑块 2 与垫盘部 204a 之间的激光器 1203 出射的光在镜面 301a 上转向 90 度而被导入到设在滑块 2 的内部的近场光元件 ( 省略图示 ) 中。根据这样的结 构， 即使变更了激光器的安装位置也能得到第 1 实施方式的效果。
( 第 7 实施方式 )
下面， 参照图 14 至图 16 来说明本发明的第 7 实施方式。对与第 1 实施方式相同 的部分标注相同标号， 并省略详细的说明。本实施方式与第 1 实施方式的不同之处在于， 在 柔性基板内部设置了光波导线路， 并在此处形成了切口， 由此来实现镜面。
在挠曲部 204 上设有柔性配线 2013， 柔性配线 2013 由柔性基板 2301、 和载置于 该柔性基板 2301 上的电配线 3302 构成。在柔性基板 2301 的内部设有光波导线路的芯体 3303。以跨越挠曲部 204 的开口 205 的方式来设置光波导线路的芯体 3303， 并且在滑块 2 侧的芯体 3303 的端面处设有切口 3310。并且， 电配线 3302 与连接焊盘 3320 连接。相比 于电配线 3302 与连接焊盘 3320 的连接点， 切口 3310 被设置在悬浮体 3 的前端 ( 自由端 ) 侧。由此， 可以在不使电配线 3302 切断或变形的情况下形成切口 3310。并且， 切口 3310 构 成镜面。 柔性配线 2013 的电配线 3302 经由连接焊盘 3320 与滑块 2 电连接， 芯体 3303 经 由切口 3310 以光学方式与滑块 2 连接。由于柔性配线 2013 的电配线 3302 和芯体 3303 分 别以电气方式及光学方式与控制部 5 连接， 因此控制部 5 的电路及激光器与滑块 2 以电气 方式及光学方式连接。
图 15 是挠曲部 204、 柔性配线 2013 及滑块 2 的截面图。其表示与图 14 中的 YZ 平 面平行的面上的截面。柔性配线 2013 由以下部分构成 ： 形成在挠曲部 204 上的基础覆盖层 (base clad layer)3301、 形成在基础覆盖层 3301 上的芯体 3303、 覆盖芯体 3303 的遮蔽覆 盖层 (cover cladlayer)3305、 形成在遮蔽覆盖层 3305 上的电配线 3302、 覆盖电配线 3302 的遮蔽层 (cover layer)3304、 以及设置在芯体 3303 的端部处的切口 3310。基础覆盖层 3301 与遮蔽覆盖层 3305 为相同的光折射率， 通过准确地管理光折射率来形成芯体 3303、 基 础覆盖层 3301 和遮蔽覆盖层 3305， 由此构成光波导线路。电配线 3302 由铜、 铝、 金等材料 构成。遮蔽覆盖层 3305 和遮蔽层 3304 承担电配线 3302 的绝缘的功能。基础覆盖层 3301、 遮蔽层 3304、 芯体 3303、 遮蔽覆盖层 3305 均由聚酰亚胺等树脂构成。 切口 3310 的斜面 ( 镜 面 ) 相对于挠曲部 204 具有 45°的角度， 在斜面的表面上设置有金、 铝等的薄膜而构成反射 膜 3311。
另外， 柔性配线 2013 内部的芯体 3303 为直线状或是以大曲率半径弯曲的结构， 因 此在芯体 3303 内部传播的光在传播到切口 3310 之前几乎不会发生衰减。
从芯体 3303 出射的光在通过空气而传播到切口 3310 内之后， 在设于切口 3310 的 斜面上的反射膜 3311 上发生反射， 进而入射到设在滑块 2 内的近场光产生元件 210 中。入 射到近场光元件 210 中的光在滑块 2 的 ABS 面上生成近场光， 对记录介质 D 上的微小区域 进行加热。
电配线 3302 经过焊锡凸块 3401 与设在滑块 2 侧面的电焊盘、 磁极以及再现元件 ( 省略图示 ) 电连接。
由此， 可通过来自控制部 5 的电路的信号来控制设在滑块 2 中的磁极及再现元件。
另外， 可通过设在磁极附近的近场光产生元件 210 的近场光来对记录介质 D 的期望区域进 行加热， 因此能够对记录介质 D 的信息进行记录再现。
图 16 示出了本发明的磁头悬架组件的制造工序， 特别是柔性配线 2013 的制造方 法、 以及柔性配线 2013 与滑块 2 之间的连接固定方法。图 16 示出了与图 14 中的 YZ 平面 平行的面上的截面。
在不锈钢的薄板上涂敷感光性聚酰亚胺。进行曝光及显影， 形成基础覆盖层 3301( 图 16(a))。 在其上涂敷抗蚀剂， 进行曝光及显影， 然后， 形成芯体 3303( 图 16(b))。 在 除去抗蚀剂后， 涂敷感光性聚酰亚胺， 进行曝光及显影， 形成遮蔽覆盖层 3305( 图 16(c))。 接着， 使用单侧具有 45° 倾斜的切割刀具， 切除基础覆盖层 3301、 芯体 3303、 遮蔽覆盖层 3305， 在预定位置处形成切口 3310( 图 16(d))。在用抗蚀剂将斜面部分以外的部分保护起 来之后， 在斜面部分上进行铝的蒸镀， 形成反射膜 3311( 图 16(e))。除去抗蚀剂后， 涂敷另 外的抗蚀剂， 进行曝光及显影， 然后， 用铜形成电配线 3302( 图 16(f))。 在除去抗蚀剂后， 涂 敷感光性聚酰亚胺， 进行曝光及显影， 形成遮蔽层 3304( 图 16(g))。由此， 形成了柔性配线 2013。
用抗蚀剂等将柔性配线 2013 的整体保护起来之后， 对不锈钢的薄板进行蚀刻， 形 成挠曲部 204( 图 16(h))。 在除去抗蚀剂后， 通过激光焊接对另行制作的悬浮体的承载梁与 挠曲部 204 进行固定。在电配线 3302 的露出部分上印刷焊锡凸块 3401， 在遮蔽 3304 上涂 敷热硬化性的粘接剂 3402( 图 16(i))。将滑块 2 定位在柔性配线 2013 的预定位置处， 进行 加热。焊锡凸块 3401 发生熔解， 从而电配线 3302 与滑块 2 的电配线电连接， 滑块 2 通过粘 接剂 3402 固定在遮蔽层 3304 上 ( 图 16(j))。
根据这样的结构， 来自激光器的光能够在几乎发生不衰减的情况下入射到近场光 产生元件中， 从而能够从滑块发出高强度的近场光。 并且， 由于在滑块上未搭载有大的光学 部件， 因此滑块的总高度几乎没有变化。因此， 能够实现滑块的稳定悬浮， 能够使滑块与记 录介质相接近。由此， 能够使磁极、 近场光元件以及再现元件与记录介质 D 之间的距离保持 为恒定， 因此能够实现准确且稳定的记录再现。另外， 柔性配线 2013 可一体地形成电配线、 光波导及与近场光产生元件之间的连接部件， 因此能够实现低成本的结构。
( 第 8 实施方式 )
下面， 参照图 17 来说明本发明的第 8 实施方式。对与第 7 实施方式相同的部分标 注相同标号， 并省略详细的说明。本实施方式与第 7 实施方式的不同之处在于构成为， 在切 口 3310 中填充了粘接剂 3402。
根据这样的结构， 滑块 2 与柔性配线 2013 之间的粘接面积扩大， 能够增大粘接强 度。并且， 关于粘接剂 3402， 通过使用光学用粘接剂， 特别是具有与光波导线路的芯体 3303 相同的折射率的粘接剂， 由此， 芯体 3303 端面处的反射光变小， 入射到切口 3310 及近场光 产生元件 210 的光量变大， 能够生成更强的近场光。
( 第 9 实施方式 )
下面， 参照图 18 来说明本发明的第 9 实施方式。对与第 7 实施方式相同的部分标 注相同标号， 并省略详细的说明。本实施方式与第 7 实施方式的不同之处在于， 切口 3310 的斜面的角度不同。
如图 18 所示， 切口 3310 的斜面不限于 45°， 也可以构成为 60°左右。此时， 通过在近场光产生元件 210 内设置光栅， 能够使相对于近场光产生元件 210 倾斜地入射的光的 行进方向成为与滑块 2 的 ABS 面垂直的方向来进行传播。同时， 能够在切口 3310 与连接焊 盘 3320 之间确保有设置电配线 3302 的区域。因此， 在形成切口 3310 时， 可用切割刀具等 一并加工多个柔性配线 2013。
并且， 通过将切口 3310 的斜面形成为凹状， 能够构成凹面镜， 从而能够在对光进 行会聚后使其入射到近场光产生元件 210 中。
另外， 以上使用切口 3310 作为镜面的一例进行了说明， 但显然并不限于此。例如， 也可以倾斜地切断芯体 3303 的前端， 由此利用其前端的斜面来进行光的反射。另外， 优选 的是， 斜面相对于光轴的角度是在全反射条件下对光进行反射的角度。
( 第 10 实施方式 )
下面， 参照图 19 来说明本发明的第 10 实施方式。对与第 7 实施方式相同的部分 标注相同标号， 并省略详细的说明。本实施方式与第 7 实施方式的不同之处在于， 将光波导 线路的芯体 3303 的端面形成为斜面。
如图 19 所示， 光波导线路的芯体 3303 的端面构成为设有几度左右的倾斜。根据 这样的结构， 虽然在芯体 3303 中传播来的光在端面上发生反射， 但由于不是光波导线路的 传播模式， 因此反射光不会传播到激光器。 因此， 激光的振荡稳定， 因此， 能够将稳定的光供 给到光波导线路、 乃至近场光产生元件中， 从而能够生成稳定的近场光。
( 第 11 实施方式 )
下面， 参照图 20 来说明本发明的第 11 实施方式。对与第 7 实施方式相同的部分 标注相同标号， 并省略详细的说明。本实施方式与第 7 实施方式的不同之处在于柔性配线 2013 内的芯体 3303 与电配线 3302 之间的位置关系。
图 20 示出了用于在同一平面上构成芯体 3303 与电配线 3302 的底面的制造工序。 这里， 图 20 示出了与图 14 中的 XZ 平面平行的面上的截面。
具体而言， 在不锈钢的薄板上涂敷感光性聚酰亚胺。进行曝光及显影， 形成基础 覆盖层 3301( 图 20(a))。在其上涂敷抗蚀剂， 进行曝光及显影， 然后， 形成芯体 3303( 图 20(b))。在除去抗蚀剂后， 涂敷另外的抗蚀剂， 进行曝光及显影， 然后， 用铜形成电配线 3302( 图 20(c))。在除去抗蚀剂后， 涂敷感光性聚酰亚胺， 进行曝光及显影， 形成遮蔽覆盖 层 3305( 图 20(d))。之后的制造工序与上述制造工序相同， 使用单侧具有 45°倾斜的切割 刀具， 针对每个电配线 3302， 切除基础覆盖层 3301、 芯体 3303、 遮蔽覆盖层 3305， 在预定位 置处形成切口 3310。 然后， 对不锈钢的薄板进行蚀刻， 形成挠曲部。 通过激光焊接对挠曲部 与悬浮体的承载梁进行固定。在电配线 3302 的露出部分上印刷焊锡凸块， 在遮蔽层 3304 上涂敷热硬化性粘接剂， 对滑块进行固定和电连接。
由此， 在柔性配线 2013 中， 芯体 3303 与电配线 3302 的配置不限于第 7 实施方式 的结构， 可通过任意方式的配置来构成。并且， 能够将柔性配线 2013 构成得较薄， 柔性配线 2013 的刚性对挠曲部 204 的变形的阻碍减小。 因此， 能够使滑块跟随于记录介质， 所以能够 使滑块在非常接近记录介质的状态下悬浮。
( 第 12 实施方式 )
下面， 参照图 21 及图 22 来说明本发明的第 12 实施方式。对与第 7 实施方式相同 的部分标注相同标号， 并省略详细的说明。本实施方式与第 7 实施方式的不同之处在于， 在柔性配线 2013 内设置有光供给部 3330。
图 21 示出了本实施方式的挠曲部 204 的一部分， 图 22 示出了柔性配线 2013 和滑 块 2 的部分的截面 ( 图 21 中的 YZ 平面 )。
具体而言， 在柔性配线 2013 内部设有光供给部 3330、 多个电配线 3302 和滑块接 合部 3340。光供给部 3330 由光波导线路的芯体 3303 及半导体激光器 3331 构成。电配线 3302 分别与连接焊盘 3320 和激光用连接焊盘 3321 电连接。滑块接合部 3340 设置在半导 体激光器 3331 的周围， 其高度比半导体激光器 3331 的 Z 方向的高度高。由此， 滑块接合部 3340 形成为 ： 滑块接合部 3340 的与滑块 2 相对的面比半导体激光器 3331 的与滑块 2 相对 的面更向滑块 2 侧突出。
滑块 2 通过与滑块接合部 3340 和遮蔽覆盖层 3305 粘接而固定在柔性配线 2013 上。
激光用连接焊盘 3321 与半导体激光器 3331 电连接， 半导体激光器 3331 根据从激 光用连接焊盘 3321 供给的电信号进行振荡而射出光。从半导体激光器 3331 出射的光入射 到光波导路径的芯体 3303， 并在切口 3310 处发生反射而入射到设在滑块 2 中的近场光产生 元件 210 中。 另外， 如图 23 所示， 也可以仅由半导体激光器 3331 构成光供给部 3330。 由半导体 激光器 3331 振荡并射出的光直接入射到切口 3310， 并入射到设置在滑块 2 中的近场光产生 元件 210 中。
根据这样的结构， 作为光源的半导体激光器 3331 与近场光产生元件 210 之间的光 路长度变短， 能够向近场光产生元件 210 供给很高的光能。因此， 能够生成高强度的近场 光。并且， 去除了光波导线路的芯体跨越挠曲部 204 的开口 205 的结构， 能够降低滑块 2 的 支承刚性。因此， 滑块 2 容易跟随于记录介质的振动， 能够使滑块 2 在非常接近记录介质的 状态下悬浮。由此， 能够实现稳定且可靠的信息记录。并且， 由于半导体激光器 3331 与滑 块 2 未被直接固定在一起， 因此不会出现滑块 2 的运动对半导体激光器 3331 施加负荷等的 应力情况。因此， 能够供给稳定且高强度的光。
另外， 本发明的技术范围不限于上述实施方式， 还包含在不脱离本发明的主旨的 范围内对上述实施方式加以各种变更而得到的方式。即， 上述实施方式中举出的结构等只 不过是一例， 可以适当地进行变更。并且， 也可对上述各实施方式进行适当组合。
另外， 优选的是 ： 光供给部被设置在柔性配线 2013 的内部， 且具有与柔性配线 2013 的厚度相同的厚度或比其薄的厚度。