通电检查夹具用触点的制造方法、以及由此制造出的通电检查夹具用触点、以及具备其的通电检查夹具.pdf

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1、(10)申请公布号 CN 102753980 A(43)申请公布日 2012.10.24CN102753980A*CN102753980A*(21)申请号 201180008947.1(22)申请日 2011.01.272010-029354 2010.02.12 JPG01R 1/067(2006.01)C23F 1/02(2006.01)C25D 1/02(2006.01)(71)申请人陆士康股份有限公司地址日本京都(72)发明人小岛袈裟雄 市川裕(74)专利代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038代理人许海兰(54) 发明名称通电检查夹具用触点的制造方法、以及由此制造出的。

2、通电检查夹具用触点、以及具备其的通电检查夹具(57) 摘要更高精度地、更精密地制造具备弹簧构造的极细、薄壁的通电检查夹具用触点。在芯材的外周通过镀敷形成了金或者金合金的镀敷层之后，在所形成的该镀敷层的外周通过电铸形成Ni电铸层，在所述Ni电铸层的外周形成了抗蚀剂层之后，通过激光曝光而在所述抗蚀剂层中形成螺旋状的槽条，将所述抗蚀剂层作为掩模材料而进行蚀刻，去除在所述抗蚀剂层中形成了螺旋状的槽条的部分的Ni电铸层，去除所述抗蚀剂层，并且去除所述Ni电铸层被去除的螺旋状的槽条部分的所述镀敷层，在使所述镀敷层在所述Ni电铸层的内周残留了的状态下仅去除所述芯材。(30)优先权数据(85)PCT申请进入国。

3、家阶段日2012.08.10(86)PCT申请的申请数据PCT/JP2011/051560 2011.01.27(87)PCT申请的公布数据WO2011/099371 JA 2011.08.18(51)Int.Cl.权利要求书1页 说明书8页 附图7页(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请权利要求书 1 页 说明书 8 页 附图 7 页1/1页21.一种制造通电检查夹具用触点的方法，上述通电检查夹具用触点具备电铸制的弹簧构造，上述制造通电检查夹具用触点的方法的特征在于：在芯材的外周通过镀敷形成了金或者金合金的镀敷层之后，在所形成的该镀敷层的外周通过电铸形成Ni电铸层，在所述N。

4、i电铸层的外周形成了抗蚀剂层之后，通过激光曝光而在所述抗蚀剂层中形成螺旋状的槽条，将所述抗蚀剂层作为掩模材料进行蚀刻，去除在所述抗蚀剂层中形成了螺旋状的槽条的部分的Ni电铸层，去除所述抗蚀剂层，并且去除所述Ni电铸层被去除的螺旋状的槽条部分的所述镀敷层，在使所述镀敷层在所述Ni电铸层的内周残留的状态下仅去除所述芯材。2.一种通电检查夹具用触点，其特征在于：将通过权利要求1所述的方法制造出的具备电铸制的弹簧构造的通电检查夹具用触点的一端侧作为向检体的接触端，将另一端侧作为向通电检查夹具的连接部。3.一种通电检查夹具，其特征在于：具备权利要求2所述的通电检查夹具用触点。权 利 要 求 书CN 10。

5、2753980 A1/8页3通电检查夹具用触点的制造方法、 以及由此制造出的通电检查夹具用触点、 以及具备其的通电检查夹具技术领域0001 本发明涉及通电检查装置中使用的通电检查夹具，特别涉及在通电检查夹具中配备并对通电检查的检体弹性地接触的通电检查夹具用触点。背景技术0002 以往，在各种技术领域中，进行通电检查。作为进行通电检查的设备，例如有半导体集成电路、平板显示器（FPD）等电子器件基板、电路布线基板等。在它们的小型化、高密度化、高性能化发展的过程中，在通电检查中使用的通电检查夹具中配备并对检体弹性地接触的接触式探头等通电检查夹具用触点中，也要求极细化、微细化。0003 本申请发明者等。

6、提出了作为与这样的极细化、微细化对应的通电检查夹具用触点在一部分中具备弹簧构造的Ni电铸管子（专利文献1）。0004 专利文献1的在一部分中具备弹簧构造的Ni电铸管子的外径是32m500m、内径是30m450m这样的极细、薄壁，且能够发挥高的弹性特性。其是应用本申请发明者等提出的电铸管的制造法（专利文献2）而制造的。0005 另外，关于极细的弹簧构造，提出了在中空的极细管子的外周形成抗蚀剂层，并对该抗蚀剂层照射曝光波束而在上述抗蚀剂层中形成了均匀的槽宽的螺旋状槽条之后，将上述抗蚀剂层作为掩模材料进行蚀刻而去除形成了上述槽条的部分的极细管子壁的制造方法（专利文献3）。0006 专利文献1：日本特。

7、开200825833号公报0007 专利文献2：日本特开2004115838号公报0008 专利文献3：日本特开2009160722号公报发明内容0009 在专利文献1中提出的在一部分中具备弹簧构造的Ni电铸管子极细、薄壁，且能够发挥高的弹性特性，所以有可能广泛应用于检体的小型化、高密度化、高性能化发展的各种技术领域中的通电检查。0010 在进行通电检查的检体的小型化、高密度化、高性能化发展的过程中，对于由在一部分中具备弹簧构造的Ni电铸管子构成的通电检查夹具用触点，也要求更高精度、更精密地制造。0011 因此，本发明的目的在于提供一种能够更高精度地、更精密地制造具备电铸制的弹簧构造的极细、薄。

8、壁的通电检查夹具用触点的通电检查夹具用触点的制造方法、以及由此制造出的通电检查夹具用触点、以及具备其的通电检查夹具。0012 第1发明提供一种制造通电检查夹具用触点的方法，其特征在于，0013 在芯材的外周通过镀敷形成了金或者金合金的镀敷层之后，在所形成的该镀敷层的外周通过电铸形成Ni电铸层，说 明 书CN 102753980 A2/8页40014 在所述Ni电铸层的外周形成了抗蚀剂层之后，通过激光曝光而在所述抗蚀剂层中形成螺旋状的槽条，0015 将所述抗蚀剂层作为掩模材料进行蚀刻，去除在所述抗蚀剂层中形成了螺旋状的槽条的部分的Ni电铸层，0016 去除所述抗蚀剂层，并且去除所述Ni电铸层被去。

9、除的螺旋状的槽条部分的所述镀敷层，0017 在使所述镀敷层在所述Ni电铸层的内周残留的状态下仅去除所述芯材，0018 而制造出具备电铸制的弹簧构造的通电检查夹具用触点。0019 第2发明提供一种通电检查夹具用触点，其特征在于，将通过第1发明所述的方法制造出的具备电铸制的弹簧构造的通电检查夹具用触点的一端侧作为向检体的接触端，将另一端侧作为向通电检查夹具的连接部。0020 第3发明提供一种通电检查夹具，其特征在于，具备第2发明所述的通电检查夹具用触点。0021 根据本发明，能够更高精度地、更精密地制造具备电铸制的弹簧构造的极细、薄壁的通电检查夹具用触点。该通电检查夹具用触点在内侧具备金或者金合金。

10、的镀敷层，所以能够发挥优良的通电性。另外，能够提供具备这样精度高且精密地制造而能够发挥优良的通电性的通电检查夹具用触点的通电检查夹具。附图说明0022 图1是概略说明实施直至在芯材的外周通过镀敷形成了镀敷层之后在所形成的镀敷层的外周通过电铸形成Ni电铸层为止的工序的连续处理装置的配置结构的一个例子的图，（a）是俯视图、（b）是侧面图。0023 图2是概略说明本发明的制造方法的框图。0024 图3是说明本发明的制造工序的图，（a）是示出在抗蚀剂层中形成了螺旋状的槽条的状态的侧面图，是将XX、YY、ZZ部分中的说明芯材、镀金层、Ni电铸层的层叠状态的一部分省略了的放大端面图，（b）是示出通过蚀刻在。

11、抗蚀剂层中形成了螺旋状的槽条的部分的Ni电铸层被去除了的状态的侧面图，且是将XX、YY、ZZ部分中的说明芯材、镀敷层、Ni电铸层的层叠状态的一部分省略了的放大端面图，（c）是示出抗蚀剂层以及Ni电铸层被去除了的螺旋状的槽条部分的镀敷层被去除了的状态的侧面图，且是将XX、YY、ZZ部分中的说明芯材、镀敷层、Ni电铸层的层叠状态的一部分省略了的放大端面图，（d）是示出芯材被去除了的状态的侧面图，且是将XX、YY部分中的说明镀敷层、Ni电铸层的层叠状态的一部分省略了的放大端面图。0025 图4（a）、（b）是示出通过本发明的制造方法制造的通电检查夹具用触点的一个例子的侧面图。0026 图5是图4（a。

12、）图示的通电检查夹具用触点的剖面图。0027 图6（a）、（b）是示出通过本发明的制造方法制造的通电检查夹具用触点的其他例子的侧面图。0028 图7是示出通过本发明的制造方法制造的通电检查夹具用触点的其他例子的剖面图。说 明 书CN 102753980 A3/8页50029 图8（a）、（b）、（c）、（d）是将表示通过本发明的制造方法制造的通电检查夹具用触点的与检体接触的一侧的前端形状的一部分省略了的侧面图。0030 （符号说明）0031 11：SUS线（芯材）；12：镀金层；13：Ni电铸层；14：螺旋构造部；30：抗蚀剂层；31：螺旋状的槽条；31a：螺旋状的槽（狭缝）；20、20a、2。

13、1、22：通电检查夹具用触点。具体实施方式0032 能够如下所述制造具备电铸制的弹簧构造的极细、薄壁的本发明的通电检查夹具用触点。0033 在芯材的外周通过镀敷形成了金或者金合金的镀敷层之后，在所形成的该镀敷层的外周通过电铸形成Ni电铸层。0034 在芯材中，能够使用外径5m以上的极细的金属线、树脂线。作为金属线，能够使用不锈钢线、铝线等。0035 作为树脂线，能够使用由尼龙树脂、聚乙烯树脂等构成的合成树脂线。0036 另外，在芯材中采用了树脂线的情况下，需要通过无电解镀敷形成金或者金合金的镀敷层。因此，在考虑了生产性的情况下，优选在芯材中使用金属线，通过电解镀敷形成金或者金合金的镀敷层。00。

14、37 金或者金合金的镀敷层以厚壁0.2m1m的厚度形成，在其外周通过电铸形成的Ni电铸层的厚壁优选为5m35m。0038 通过本发明的制造方法制造的通电检查夹具用触点以及具备其的通电检查夹具例如被用作LSI等集成电路的制造中的基板检查用的接触式探头以及具备其的通电检查夹具。即，应用于实现小型化、高密度化、高性能化进程中的电子器件基板、电路布线基板等通电检查、其他极微细、高密度的检体的通电检查。因此，在所制造的通电检查夹具用触点的尺寸中，要求外径20m500m、厚壁2.5m50m程度的极细、薄壁。金或者金合金的镀敷层、Ni电铸层的上述厚壁对应于所制造的通电检查夹具用触点的上述尺寸，另外并且，如后。

15、所述通过蚀刻使Ni电铸层的规定部位溶解去除，并且通过之后的处理使上述镀敷层的规定部位溶解去除而正确地、精密地形成期望的形状、尺寸的螺旋形状的槽条，由此，根据形成具有正确的、精密的尺寸的槽宽（狭缝宽）的螺旋构造的观点确定。0039 接下来，在外周形成有金或者金合金的镀敷层、Ni电铸层的芯材的外周形成抗蚀剂层（厚壁是2m50m）。0040 在抗蚀剂层的形成中，例如，将在外周形成有金或者金合金的镀敷层、Ni电铸层的上述芯材在收容有光刻抗蚀剂液的光刻抗蚀剂槽中浸渍规定时间而形成。0041 这样在上述Ni电铸层的外周形成抗蚀剂层之后，用激光进行曝光而在上述抗蚀剂层中形成螺旋状的槽条。0042 在利用激光。

16、的曝光中，以形成有抗蚀剂层的芯材的中心轴为旋转中心而使芯材旋转，同时以规定的速度使芯材在铅直方向朝上、或者在铅直方向朝下移动。其另一方面，对在芯材的长度方向上应形成螺旋构造的规定的长度方向的范围的芯材外周照射激光波束。0043 另外，在使用了正片型光刻抗蚀剂的情况下，用激光曝光了的部分在显影液中溶解而在抗蚀剂层中形成螺旋状的槽条。另一方面，在使用了负片型光刻抗蚀剂的情况下，用说 明 书CN 102753980 A4/8页6激光曝光了的部分在显影液中不溶，所以未被激光曝光的部分在显影液中溶解，而在抗蚀剂层中形成螺旋状的槽条。对其考虑后照射激光波束。0044 这样，通过在抗蚀剂层中形成螺旋状的槽条。

17、，使在抗蚀剂层中形成了螺旋状的槽条的部位处的Ni电铸层的外周露出。0045 接下来，将在Ni电铸层的外周剩余的抗蚀剂层作为掩模材料而进行蚀刻，去除在抗蚀剂层中形成了螺旋状的槽条的部分的Ni电铸层。0046 例如，将如上所述那样在Ni电铸层的外周形成的抗蚀剂层中形成有螺旋状的槽条的芯材在酸性的电解研磨液中浸渍并进行电解研磨。由此，将在Ni电铸层的外周残留的抗蚀剂层作为掩模材料进行蚀刻，去除在抗蚀剂层中形成了螺旋状的槽条的部分的Ni电铸层。0047 接下来，去除抗蚀剂层，并且去除Ni电铸层被去除了的螺旋状的槽条部分的金或者金合金的镀敷层。0048 例如，通过将在螺旋状的槽条中去除了Ni电铸层的芯材。

18、在规定的溶液中进行超声波洗净处理，而去除上述镀敷层。0049 最后，使金或者金合金的镀敷层仅在Ni电铸层的内侧残留地去除芯材。0050 为了使金或者金合金的镀敷层仅在Ni电铸层的内侧残留地去除芯材，能够采用将芯材从一方或者两方拉伸而以使剖面积变小的方式使其变形，并在芯材外周与上述镀敷层内周之间形成隙间而抽拔芯材的方法。另外，能够在溶解液中浸渍芯材，使芯材化学性地或者电气化学性地溶解来去除。0051 在芯材中使用了不锈钢线、树脂线的情况下，能够通过前者的抽拔方法去除，在芯材中使用了铝线的情况下，能够采用后者的化学性的、电气化学性的去除方法。在该情况下，在溶解液中，能够使用对电沉积物几乎不造成影响。

19、的氢氧化钠、氢氧化钾等强碱液。0052 根据本发明的制造方法，作为抗蚀剂材料，虽然还依赖于采用负片型、正片型中的某一个，基本上，能够通过激光曝光，设定螺旋构造部分中的槽（狭缝）的宽度。因此，不仅能够在极细、薄壁的Ni电铸管中任意地设定形成螺旋构造部分的区域，而且还能够任意地设定螺旋构造部分中的槽（狭缝）的宽度，能够提供具有精度高的弹性特性的通电检查夹具用触点。0053 根据本发明的制造方法，如上所述，通过将在Ni电铸层的外周残留的抗蚀剂层作为掩模材料进行蚀刻，去除在抗蚀剂层中形成有螺旋状的槽条的部分的Ni电铸层。0054 此时，由于在Ni电铸层的内侧存在金或者金合金的镀敷层，所以能够防止蚀刻液。

20、绕入到形成螺旋状槽条的部分以外的Ni电铸层部分。由此，仅在Ni电铸层中形成螺旋状的槽条的部分被蚀刻液浸渍溶解。其结果，能够使在去除了芯材时形成的Ni电铸管的螺旋构造部分中的槽宽成为通过激光曝光形成的精密的槽宽，能够使螺旋构造部分的槽宽（狭缝宽）成为期望的均匀的槽宽。0055 如果螺旋构造部分中的槽（狭缝）的宽度是期望的均匀的槽宽，则使所制造出的通电检查夹具用触点的一端侧接近通电检查夹具，使另一端侧抵接到检体而接触时的弹性特性提高。0056 另外，根据本发明的制造方法，在蚀刻时，在Ni电铸层的内侧存在金或者金合金的镀敷层，所以能够防止蚀刻液到达至芯材。如果蚀刻液与芯材接触，则芯材被侵蚀，在芯说 。

21、明 书CN 102753980 A5/8页7材去除时使用抽拔法的情况下，产生芯材的中途破断等，而难以实现完美的芯材去除。0057 在本申请发明中，如上所述，最初，在芯材的外周通过镀敷形成金或者金合金的镀敷层，接下来，在所形成的镀敷层的外周通过电铸形成Ni电铸层。0058 在这样Ni电铸层的内侧形成金或者金合金的镀敷层的意义在之后的“将抗蚀剂层作为掩模材料进行蚀刻，去除在抗蚀剂层中形成了螺旋状的槽条的部分的Ni电铸层”这样的工序中发挥。0059 即，如上所述，在Ni电铸层的内侧存在金或者金合金的镀敷层，所以能够防止蚀刻液绕入到形成螺旋槽条的部分以外的Ni电铸层部分。另外，能够使螺旋构造部分的槽宽。

22、（狭缝宽）成为期望的均匀的槽宽。0060 在本申请发明中，在蚀刻时，应作为弹簧构造部分而残留的Ni电铸层部分（在抗蚀剂层中形成了螺旋槽条的部分以外的Ni电铸层部分）的外侧是抗蚀剂层，内侧是金或者金合金的镀敷层，其分别被掩蔽。因此，通过蚀刻，能够以设计尺寸的厚度（厚壁）形成弹簧构造部分。0061 特别，由于是在内侧的金或者金合金的镀敷层的外周通过电铸形成了Ni电铸层的构造，所以蚀刻液浸入上述镀敷层与Ni电铸层的接触面（蚀刻液绕入）而使Ni电铸层的内侧的与槽（狭缝）面对的端部以及其内侧被蚀刻液侵蚀的情况不会发生。0062 由此，能够使螺旋构造部分的槽宽（狭缝宽）成为期望的均匀的槽宽，并且，能够使螺。

23、旋构造部分的厚壁成为基于设计尺寸的精密的厚度。0063 对于螺旋构造部分的槽宽（狭缝宽）形成为期望的均匀的槽宽、并且厚壁形成为期望的厚度（一定的厚度），在使弹簧部发挥期望的弹性特性、并且即使如探测器那样反复多次（几十万次百万次）的收缩运动也发挥稳定的耐久性上是非常重要的。0064 在本申请发明中，在将抗蚀剂层作为掩模材料进行蚀刻，而去除在上述抗蚀剂层中形成了螺旋状的槽条的部分的Ni电铸层的工序中，如上所述，为了未然地防止蚀刻液浸入Ni电铸层的内侧（蚀刻液绕入）而Ni电铸层的内侧的与槽（狭缝）面对的端部以及其内侧被蚀刻液侵蚀，在芯材的外周形成Ni电铸层之前，在芯材的外周形成在蚀刻处理工序中作为抗。

24、蚀剂、掩模材料而发挥功能的部件所构成的层。0065 另外，这样，在芯材的外周形成Ni电铸层之前在芯材的外周形成的层在形成了螺旋构造部分之后也不得不残留于Ni电铸层的内侧，所以考虑导电性，采用金或者金合金，形成金或者金合金的镀敷层。0066 实施例10067 说明在芯材中使用直径（5m至450m）的SUS线来制造具备电铸制的弹簧构造的极细、薄壁的通电检查夹具用触点20的方法的一个例子。0068 图1是概略说明实施直至在芯材的外周通过镀敷形成了镀金层12之后在所形成的镀金层12的外周通过电铸形成Ni电铸层13为止的工序的连续处理装置的配置结构的一个例子的图，图2是说明本发明的制造方法的一个例子的框。

25、图。0069 在供给单元1中具备卷绕成为芯材的SUS线11的卷盘10。0070 通过收纳单元5中的搬送辊14，从供给单元1的卷盘10抽出SUS线11，经由洗净单元2、通电搬送单元3，搬送到镀金单元4。0071 在洗净单元2中装入规定的弱碱液或者弱酸性液，在此，SUS线11的外周被洗净。说 明 书CN 102753980 A6/8页80072 在镀金单元4中，预先放入规定的电解液、例如无氰Au液，在镀金单元4内搬送的SUS线11的外周，通过镀敷形成规定的厚壁（0.2m1m）的镀金层12。0073 接下来，通过具备未图示的切断单元的收纳单元9中的搬送辊15，将在外周形成了镀金层12的SUS线11经。

26、由洗净单元6、通电搬送单元7搬送到镍电铸单元8。0074 在洗净单元6中，收容规定的弱碱液或者弱酸性液，在此，镀金层12的外周被洗净。0075 在镍电铸单元8中，放入规定的电解液、例如磺酸镍液，在镍电铸单元8内搬送的SUS线11的镀金层12的外周，通过电铸形成规定的厚壁（3m50m）的Ni电铸层13。0076 根据在SUS线11的外周形成何种程度的厚壁的镀金层12、Ni电铸层13，调整收纳单元5、9中的搬送辊14、15的搬送速度。0077 这样，在外周层叠了镀金层12、Ni电铸层13的SUS线11通过收纳单元9中具备的切断单元（未图示）被切断为期望的长度、例如30mm。0078 接下来，将在外。

27、周形成了镀金层12、Ni电铸层13的SUS线11在收容了正片型光刻抗蚀剂液的光刻抗蚀剂槽中浸渍规定时间，在Ni电铸层13的外周形成规定的厚壁（2m30m）的抗蚀剂层30。0079 接下来，以形成有抗蚀剂层30的SUS线11的中心轴为旋转中心而使芯材向箭头40或者箭头41方向旋转，同时以规定的速度使SUS线11在铅直方向朝上（箭头42）或者在铅直方向朝下（箭头43）移动。同时，对在SUS线11的长度方向上应形成螺旋构造部14（图3（d）的规定的长度方向的范围的外周照射激光波束。0080 之后，浸渍到显影液，使在激光下曝光了的部分的抗蚀剂层30溶解，在抗蚀剂层30中形成螺旋状的槽条31（图3（a）。

28、。通过在抗蚀剂层30中形成螺旋状的槽条31，形成了该螺旋状的槽条31的部位处的Ni电铸层13的外周露出（图3（a）。0081 接下来，将在Ni电铸层13的外周形成的抗蚀剂层30中形成有螺旋状的槽条31的状态的SUS线11浸渍到酸性的电解研磨液中而进行电解研磨。由此，将在Ni电铸层13的外周残留的抗蚀剂层30作为掩模材料进行蚀刻，去除在抗蚀剂层30中形成了螺旋状的槽条31的部分的Ni电铸层13（图3（b）。这样，形成了螺旋状的槽条31的部位处的镀金层12的外周露出（图3（b）。0082 接下来，去除抗蚀剂层30，并且针对SUS线11在比常温高的温度（50度左右）的净水中进行超声波洗净，从而去除与。

29、Ni电铸层13被去除的螺旋状的槽条31对应的部分的镀金层12（图3（c）。由此、形成了螺旋状的槽条31的部位处的SUS线11的外周露出（图3（c）。0083 最后，将SUS线11从一方或者双方拉伸使其变形以使剖面积变小，并在SUS线11的外周与镀金层12的内周之间形成隙间而抽拔SUS线11，从而在使镀金层12在Ni电铸层13的内侧残留了的状态下去除SUS线11，成为具备Ni电铸制的弹簧构造的极细、薄壁的通电检查夹具用触点20（图3（d）、图4（a）、图5）。0084 这样制造出的通电检查夹具用触点20是如图3（d）、图4（a）、图5图示，在内侧具备镀金层12，并在一部分中具有螺旋构造部分14的。

30、薄壁的Ni电铸管。从在成为芯材的SUS线11的外周形成的镀金层12、Ni电铸层13，在使镀金层12在Ni电铸层13的内侧残留的状态下，去除SUS线11，从而形成在其内侧具备镀金层12的薄壁的Ni电铸管。说 明 书CN 102753980 A7/8页90085 然后，通过蚀刻使Ni电铸层13的与螺旋状的槽条31对应的部分溶解，从而在Ni电铸层13中形成螺旋状的槽（狭缝）31a，从而形成螺旋构造部分14。0086 图4（a）是示出通过本发明的制造方法制造的具备电铸制的弹簧构造的极细、薄壁的通电检查夹具用触点20的一个例子的侧面图，符号14表示的弹簧构造部分形成于一部分中。0087 另外，还能够成为。

31、如图6图示，具备由在内侧具备镀金层的Ni电铸层构成的管状部分23、和多个弹簧构造部分24a、24b、25a、25b、25c的通电检查夹具用触点21、22。0088 能够使用外径21m的SUS线11，通过上述工序，制造全长L1为1mm、由在内侧具备镀金层12的Ni电铸层13构成的管状部分的长度L2、L4分别为0.1mm、弹簧构造部分14的长度L3为0.8mm、外径为35m、内径为21m的本发明的通电检查夹具用触点20。0089 另外，上述数值L1、L2、L3、L4、能够设定为与设计条件符合的数值。0090 在这样制造微小的长度L1的触点20的情况下，在将由在内侧形成有镀金层12的Ni电铸层13构。

32、成的管体针对每1mm长进行了切断之后去除SUS线11，从而能够同时制造多个触点20。0091 即，如上所述，在将全长30mm的SUS线11用作芯材的情况下，以从一方的端起0.1mm的范围成为管状、接着0.8mm的范围成为弹簧构造部分、接着0.2mm的范围成为管状、接着0.8mm的范围成为弹簧构造部分的方式，通过激光曝光，形成弹簧构造部分14。然后，在去除图3（c）图示的工序之后的SUS线11之前，使用激光针对每1mm进行切断，之后，去除SUS线11，从而能够同时制造30个触点20。在如上所述将SUS线11从一方或者双方拉伸而去除的情况下，需要考虑在端部侧必要的夹持部，但即使在该情况下，也能够同。

33、时制造2526个全长L1为1mm的触点20。0092 另外，还能够制造具备图4（b）图示的Ni电铸制的弹簧构造的极细、薄壁的通电检查夹具用触点20a。在该情况下，以在全长30mm的SUS线11的全长形成弹簧构造部分14的方式进行激光曝光，在去除SUS线11之前，通过激光切断为希望的长度，之后，去除SUS线11，而能够同时制造多个触点20a。0093 图3（d）、图4（a）、图5图示的是在一部分中具备弹簧构造的通电检查夹具用触点，图4（b）图示的是整体由弹簧构造构成的通电检查夹具用触点。0094 不论在哪一个的情况下，根据本发明的制造方法，通过将利用激光曝光形成了螺旋形状的槽条31的抗蚀剂层30。

34、作为掩模的蚀刻，使Ni电铸层13的规定部位溶解去除，之后，去除与Ni电铸层13被去除的螺旋状的槽条31对应的部分的镀金层12而形成弹簧构造部分14。因此，正确地、精密地形成期望的形状、尺寸的螺旋形状的槽条31，由此，能够形成具有由正确的、精密的尺寸的槽宽（狭缝宽）构成的螺旋状的槽（狭缝）31a的螺旋构造。0095 通过本发明的制造法制造的具备电铸制的弹簧构造的极细、薄壁的通电检查夹具用触点20、20a（图4）能够发挥优良的弹性特性。其是根据如上所述由于螺旋构造部分中的槽（狭缝）31a的宽度是期望的均匀的槽宽而发挥的特性之一。0096 通过上述本发明的制造法制造的在内侧具备镀金层的Ni电铸层13。

35、的厚壁是10m、外径是80m、弹簧构造部分14的长度L3是2mm、卷绕数：25次的本发明的通电检查夹具用触点的弹簧荷重是2gf/0.2mm。另外，在内侧具备镀金层的Ni电铸层13的厚壁是10m、外径是50m、弹簧构造部分14的长度L3是2mm、卷绕数：40次的本发明的通说 明 书CN 102753980 A8/8页10电检查夹具用触点的弹簧荷重是4gf/0.2mm。0097 通过本发明的制造法制造的具备电铸制的弹簧构造的极细、薄壁的通电检查夹具用触点20、20a（图4）的一端侧被用作向检体的接触端、另一端侧被用作向通电检查夹具的连接部。0098 在该情况下，在图4（a）中能够将符号17表示的一。

36、端侧用作向检体的接触端，将符号16表示的另一端侧用作向通电检查夹具的连接部。0099 另外，如图7图示，在内部插入导电性的销26，将通电检查夹具用触点20的与前端17侧的销26的前端27作为向检体的接触端，从而还能够使通电检查夹具用触点20的一端侧成为向检体的接触端。0100 在图7图示的方式的情况下，在图中，在符号18表示的部分中，能够通过压接、焊接、粘接剂等手段固定销26。0101 另外，在图7图示的方式的情况下，插入到内部的导电性的销26能够是导电性良好的金属线、例如由铂铑或者它们的合金构成的极细线、或者在Ni镀敷之上镀敷了Au的钨、BeCu（铍铜）制的极细线。0102 在使通电检查夹具。

37、用触点20的符号17表示的一端侧成为向检体的接触端的情况、或者使通电检查夹具用触点20的与一端侧相对的销26的前端27成为向检体的接触端的情况中的任意一个的情况下，接触端的形状也能够是圆锥形状（图8（a）、有弯曲半径R的弯曲形状（图8（b）、平坦的平板状（图8（c）、王冠（冠）状（图8（d）等各种形状。0103 通电检查夹具用触点20、20a（图4、图7）能够用作LSI等集成电路的制造中的基板检查用的接触式探头。另外，具备该通电检查夹具用触点20、20a（图4、图7）的通电检查夹具不仅使用于电子器件基板、电路布线基板等的通电检查，而且还能够应用于其他极微细、高密度的检体的通电检查。0104 以上、参照附图说明了本发明的优选的实施方式，但本发明不限于上述实施方式，而能够在权利要求书的技术范围内实施各种变更。例如，在上述实施例中，在成为芯材的SUS线11的外周通过镀敷形成了镀金层12，但也可以代替镀金层而形成金合金的镀敷层。说 明 书CN 102753980 A10。