快速原位包装稀土纳米粉电弧法制备设备及方法.pdf

摘要
申请专利号：	CN201110407129.0	申请日：	2011.12.09
公开号：	CN103157802A	公开日：	2013.06.19
当前法律状态：	授权	有效性：	有权
法律详情：	授权\|\|\|实质审查的生效IPC(主分类):B22F 9/14申请日:20111209\|\|\|公开
IPC分类号：	B22F9/14	主分类号：	B22F9/14
申请人：	沈阳工业大学
发明人：	李志杰; 孙维民; 史桂梅; 冯昊阳
地址：	110870 辽宁省沈阳市经济技术开发区沈辽西路111号
优先权：
专利代理机构：	沈阳智龙专利事务所(普通合伙) 21115	代理人：	宋铁军
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内容摘要

快速—原位包装稀土纳米粉电弧法制备设备，包括电源和控制柜，其特征在于：所述设备还包括圆筒状的生成室侧壁中部安装有辅助室，生成室侧壁上部安装有水冷阴极，水冷阴极下面安装水冷阳极，水冷阴极与水冷阳极相互对应；生成室底部连接捕集罐，捕集罐安装在处理室中，生成室和处理室通过管道与抽气系统连接；生成室通过管道与分之泵相连，处理室通过另一根管道与分之泵相连。本发明可连续大量制备活性极高的多种稀土金属纳米粉、弧形可控、粉体粒径分布窄、生成速度及种类可控、结构新颖、操作简捷而有效、启弧的剩余稀土料可达豪克级。

权利要求书

权利要求书快速—原位包装稀土纳米粉电弧法制备设备，包括电源（1）和控制柜（2），其特征在于：所述设备还包括圆筒状的生成室（6）侧壁中部安装有辅助室（5），生成室（6）侧壁上部安装有水冷阴极（3），水冷阴极（3）下面安装水冷阳极（4），水冷阴极（3）与水冷阳极（4）相互对应；生成室（6）底部连接捕集罐（7），捕集罐（7）安装在处理室（8）中，生成室（6）和处理室（8）通过管道与抽气系统连接；生成室（6）通过管道（9）与分之泵（11）相连，处理室（8）通过另一根管道（10）与分之泵（11）相连。
根据权利要求1所述快速—原位包装稀土纳米粉电弧法制备设备，其特征在于：所述水冷阴极（3）可自由精确三维移动。
根据权利要求1所述快速—原位包装稀土纳米粉电弧法制备设备，其特征在于：所述水冷阳极（4）底部安装有阳极座（12），阳极座（12）可连接不同形状的坩埚型的阳极盖（13）。
根据权利要求1所述快速—原位包装稀土纳米粉电弧法制备设备，其特征在于：所述捕集罐（7）可以随时从生成室（6）上更换，且可原位密封罐装纳米粉。
根据权利要求1所述快速—原位包装稀土纳米粉电弧法制备设备，其特征在于：所述生成室（6）与捕集罐（7）通过法兰（14）相连，且可用捕集罐（7）密封分割。
根据权利要求1所述快速—原位包装稀土纳米粉电弧法制备设备，其特征在于：所述水冷阳极（4）的位置可以调节。
根据权利要求1所述快速—原位包装稀土纳米粉电弧法制备设备，其特征在于：所述辅助室（5）可以对生成室（6）中原料和粉体进行处理。
一种利用权利要求1‑7中任一项所述设备制取稀土纳米粉的方法，其特征在于：该方法的具体步骤如下：
（1）在纯稀土块的中央钻孔放置直径为2‑10mm的钨球，然后将纯稀土块置于辅助室中备料待蒸发，关闭好各法兰与管道阀；
（2）把步骤（1）中待蒸发的纯稀土块置于水冷阳极上，以钨棒作为水冷阴极；将生成室利用抽真空的方法抽成气压为2×10‑3Pa的环境；
（3）用氩气将生成室内冲洗两次，然后再充入氦氩混合气体，氦氩混合气体的总压强为1×103Pa ～0.95×105Pa，其中氩气与氦气的压强比为PAr:PH2=1:1～1：5；
（4）打开循环水和电源，用高频启弧，电弧参数设定电流为200～250A，电压为30～45V，调节水冷阴极使弧形成扫把型，点弧时间1～4h；
（5）停弧后，打开辅助室，清理生成室；然后关闭辅助室，打开处理室，取下捕集罐，再封住生成室，同时密封捕集罐，制得的纳米粉储存于捕集罐中；
（6）用0.1～1×104Pa空气和9～8×104Pa氩气的混合气体在生成室中循环钝化1～4h，停1h后充入0.9～1×104Pa空气，再循环钝化1h，开生成室取剩料和清洗。

说明书

说明书快速—原位包装稀土纳米粉电弧法制备设备及方法
技术领域
本发明属于纳米材料制备技术领域，具体指一种快速—原位包装稀土纳米粉电弧法制备设备及方法。
背景技术
现有的等离子体电弧法制备金属纳米粉的设备和所制备的金属纳米粉，纯度高、易于制备单一金属的纳米粉。其缺点是收粉率低、一次制备量少、生成室粉体不能原位包装，特别是制备稀土金属纳米粉时浪费较大，稀土没蒸发的剩料较多、不易钝化，开启生成室时危险大。
发明内容
本发明的目的是针对上述技术中存在的不足，提供一种快速—原位包装稀土纳米粉电弧法制备设备及方法，该设备结构新颖,操作简捷而有效，原位包装，冷却水温可控，纳米粉体的性价比高，并且可以长时间连续制备稀土纳米粉，一次可制备多种稀土纳米粉和稀土合金纳米粉，启弧的剩余稀土料可达豪克级，减少开启生成室危险性。
为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：
快速—原位包装稀土纳米粉电弧法制备设备，包括电源和控制柜，其特征在于：所述设备还包括圆筒状的生成室侧壁中部安装有辅助室，生成室侧壁上部安装有水冷阴极，水冷阴极下面安装水冷阳极，水冷阴极与水冷阳极相互对应；生成室底部连接捕集罐，捕集罐安装在处理室中，生成室和处理室通过管道与抽气系统连接；生成室通过管道与分之泵相连，处理室通过另一根管道与分之泵相连。
所述水冷阴极可自由精确三维移动。
所述水冷阳极底部安装有阳极座，阳极座可连接不同形状的坩埚型的阳极盖。
所述捕集罐可以随时从生成室上更换，且可原位密封罐装纳米粉。
所述生成室与捕集罐通过法兰相连，且可用捕集罐密封分割。
所述水冷阳极的位置可以调节。
所述辅助室可以对生成室中原料和粉体进行处理。
一种制取稀土纳米粉的方法，其特征在于：该方法的具体步骤如下：
（1）在纯稀土块的中央钻孔放置直径为2‑10mm的钨球，然后将稀土备料于辅助室等待蒸发，关闭好各法兰与管道阀；
（2）把待蒸发的纯稀土块置于水冷阳极上，以钨棒作为水冷阴极；将生成室利用抽真空的方法抽成气压为2×10‑3Pa的环境；
（3）用氩气将生成室内冲洗两次，然后再充入氦氩混合气体，氦氩混合气体的总压强为1×103Pa ～0.95×105Pa，其中氩气与氦气的压强比为PAr:PH2=1:1～1：5；
（4）打开循环水和电源，电弧电流为200～250A，电压为30～45V，调节水冷阴极使弧形成扫把型，点弧时间1～4h；
（5）停弧后，关闭联通阀，打开辅助室，清理生成室；然后关闭辅助室，打开处理室，取下捕集罐，再封住生成室，同时密封捕集罐，制得的纳米粉储存于捕集罐中；
（6）用0.1～1×104Pa空气和9～8×104Pa氩气的混合气体在生成室中循环钝化1～4h，停1h后充入0.9～1×104空气，再循环钝化1h，即可制成稀土纳米粉。
本发明的优点是：
（1）可连续大量制备活性极高的多种稀土金属纳米粉；
（2）弧形可控、粉体粒径分布窄、生成速度及种类可控；
（3）结构新颖、操作简捷而有效；
（4）启弧的剩余稀土料可达豪克级。
附图说明：
图1是本发明的设备结构示意图；
图2是本发明的阴极结构示意图；
图3是本发明的坩埚型、组合式的阳极的侧视图；
图4是本发明的连接生成室和处理室的捕集罐结构示意图；
附图标记说明：
1.电源、2.控制柜、3.水冷阴极、4.水冷阳极、5.辅助室、6.生成室、7.捕集罐、8.处理室、9.管道、10.另一根管道、11.分之泵、12.阳极座、13.阳极盖、14.法兰。
具体实施方式：
本发明的工作原理是，在氩和氦混合气体中，通过高频式引弧，阴极与阳极起弧后产生高温，使金属蒸发，原子态的金属无规则热运动，相互碰撞而凝结成纳米颗粒，这些纳米颗粒受工作电弧参数、工作气体、冷却温度影响。自然沉积四壁进入捕集罐中，将要停弧时，改变弧形和电弧参数使剩余料减小规定大小，停弧。停弧后，原位捕集罐四壁上稀土金属纳米粉进入捕集罐中，最后在处理室里进行原位处理。
下面结合附图对本发明进行详细说明。
图1是本发明的设备结构示意图，如图所示，快速—原位包装稀土纳米粉电弧法制备设备包括用于启弧的电源1和控制柜2，还包括圆筒状的生成室6侧壁中部安装有辅助室5，辅助室5可连续供料、提供钨极和原位清洗生成室6，对生成室6中原料和粉体进行处理。生成室6侧壁上部安装有可自由精确三维移动的水冷阴极3，水冷阴极3结构如图2所示。水冷阴极3下面安装坩埚型、组合式水冷阳极4，水冷阳极4底部安装有阳极座12，阳极座12可连接不同形状的坩埚型的阳极盖13，如图3所示，水冷阳极4的位置可以调节。水冷阴极3与水冷阳极4相互对应。生成室6底部通过法兰14连接捕集罐7，且可用捕集罐（7）密封分割。捕集罐7安装在处理室8中，捕集罐7可以随时从生成室6上更换，且可原位密封罐装纳米粉。捕完粉后在处理室8中进行原位包装。一次可制备多种稀土纳米粉和稀土合金纳米粉，启弧的剩余稀土料可达豪克级，减少开启生成室6的危险性。生成室6和处理室8通过管道与抽气系统连接；生成室6通过管道9与分之泵11相连，处理室8通过另一根管道10与分之泵11相连。
利用该设备制取稀土纳米粉的方法，具体步骤如下：
（1）在纯稀土块的中央钻孔放置直径为2‑10mm的钨球，然后将纯稀土块置于辅助室中备料待蒸发，关闭好各法兰与管道阀；
（2）把步骤（1）中待蒸发的纯稀土块置于水冷阳极上，以钨棒作为水冷阴极；将生成室利用抽真空的方法抽成气压为2×10‑3Pa的环境；
（3）用氩气将生成室内冲洗两次，然后再充入氦氩混合气体，氦氩混合气体的总压强为1×103Pa ～0.95×105Pa，其中氩气与氦气的压强比为PAr:PH2=1:1～1：5；
（4）打开循环水和电源，电弧电流为200～250A，电压为30～45V，调节水冷阴极使弧形成扫把型，点弧时间1～4h；
（5）停弧后，打开辅助室，清理生成室；然后关闭辅助室，打开处理室，取下捕集罐，再封住生成室，同时密封捕集罐，制得的纳米粉储存于捕集罐中；
（6）用0.1～1×104Pa空气和9～8×104Pa氩气的混合气体在生成室中循环钝化1～4h，停1h后充入0.9～1×104Pa空气，再循环钝化1h，开生成室取剩料和清洗。
下面为本发明方法的具体实施例：
实施例1：
（1）在纯稀土块的中央钻孔放置直径为2mm的钨球，然后将纯稀土块置于辅助室中备料待蒸发，关闭好各法兰与管道阀；
（2）把步骤（1）中待蒸发的纯稀土块置于水冷阳极上，以钨棒作为水冷阴极；将生成室利用抽真空的方法抽成气压为2×10‑3Pa的环境；
（3）用氩气将生成室内冲洗两次，然后再充入氦氩混合气体，氦氩混合气体的总压强为0.95×105Pa，其中氩气与氦气的压强比为PAr:PH2=1:1；
（4）打开循环水和电源，用高频启弧，电弧参数设定电弧电流为200A，电压为30V，调节水冷阴极使弧形成扫把型，点弧时间1h；
（5）停弧后，打开辅助室，清理生成室；然后关闭辅助室，打开处理室，取下捕集罐，再封住生成室，同时密封捕集罐，制得的纳米粉储存于捕集罐中；
（6）用0.1×104Pa空气和9×104Pa氩气的混合气体在生成室中循环钝化1h，停1h后充入0.9×104Pa空气，再循环钝化1h，开生成室取剩料和清洗。
实施例2：
（1）在纯稀土块的中央钻孔放置直径为10mm的钨球，然后将纯稀土块置于辅助室中备料待蒸发，关闭好各法兰与管道阀；
（2）把步骤（1）中待蒸发的纯稀土块置于水冷阳极上，以钨棒作为水冷阴极；将生成室利用抽真空的方法抽成气压为2×10‑3Pa的环境；
（3）用氩气将生成室内冲洗两次，然后再充入氦氩混合气体，氦氩混合气体的总压强为1×103Pa，其中氩气与氦气的压强比为PAr:PH2=1：5；
（4）打开循环水和电源，用高频启弧，电弧参数设定电弧电流为250A，电压为45V，调节水冷阴极使弧形成扫把型，点弧时间4h；
（5）停弧后，打开辅助室，清理生成室；然后关闭辅助室，打开处理室，取下捕集罐，再封住生成室，同时密封捕集罐，制得的纳米粉储存于捕集罐中；
（6）用1×104Pa空气和8×104Pa氩气的混合气体在生成室中循环钝化4h，停1h后充入0.9×104Pa空气，再循环钝化1h，开生成室取剩料和清洗。
实施例3：
（1）在纯稀土块的中央钻孔放置直径为5mm的钨球，然后将纯稀土块置于辅助室中备料待蒸发，关闭好各法兰与管道阀；
（2）把步骤（1）中待蒸发的纯稀土块置于水冷阳极上，以钨棒作为水冷阴极；将生成室利用抽真空的方法抽成气压为2×10‑3Pa的环境；
（3）用氩气将生成室内冲洗两次，然后再充入氦氩混合气体，氦氩混合气体的总压强为0.95×105Pa，其中氩气与氦气的压强比为PAr:PH2=1:3；
（4）打开循环水和电源，用高频启弧，电弧参数设定电弧电流为220A，电压为35V，调节水冷阴极使弧形成扫把型，点弧时间2.5h；
（5）停弧后，打开辅助室，清理生成室；然后关闭辅助室，打开处理室，取下捕集罐，再封住生成室，同时密封捕集罐，制得的纳米粉储存于捕集罐中；
（6）用1×104Pa空气和9×104Pa氩气的混合气体在生成室中循环钝化3h，停1h后充入0.9×104Pa空气，再循环钝化1h，开生成室取剩料和清洗。
实施例4：
（1）在纯稀土块的中央钻孔放置直径为8mm的钨球，然后将纯稀土块置于辅助室中备料待蒸发，关闭好各法兰与管道阀；
（2）把步骤（1）中待蒸发的纯稀土块置于水冷阳极上，以钨棒作为水冷阴极；将生成室利用抽真空的方法抽成气压为2×10‑3Pa的环境；
（3）用氩气将生成室内冲洗两次，然后再充入氦氩混合气体，氦氩混合气体的总压强为0.95×105Pa，其中氩气与氦气的压强比为PAr:PH2=1:4；
（4）打开循环水和电源，电弧电流为230A，电压为40V，调节水冷阴极使弧形成扫把型，点弧时间3.5h；
（5）停弧后，打开辅助室，清理生成室；然后关闭辅助室，打开处理室，取下捕集罐，再封住生成室，同时密封捕集罐，制得的纳米粉储存于捕集罐中；
（6）用0.5×104Pa空气和8×104Pa氩气的混合气体在生成室中循环钝化2h，停1h后充入0.9×104Pa空气，再循环钝化1h，开生成室取剩料和清洗。
实施例5：
（1）在纯稀土块的中央钻孔放置直径为5mm的钨球，然后将纯稀土块置于辅助室中备料待蒸发，关闭好各法兰与管道阀；
（2）把步骤（1）中待蒸发的纯稀土块置于水冷阳极上，以钨棒作为水冷阴极；将生成室利用抽真空的方法抽成气压为2×10‑3Pa的环境；
（3）用氩气将生成室内冲洗两次，然后再充入氦氩混合气体，氦氩混合气体的总压强为5×104Pa，其中氩气与氦气的压强比为PAr:PH2=1:1；
（4）打开循环水和电源，电弧电流为200A，电压为30V，调节水冷阴极使弧形成扫把型，点弧时间2h；
（5）停弧后，打开辅助室，清理生成室；然后关闭辅助室，打开处理室，取下捕集罐，再封住生成室，同时密封捕集罐，制得的纳米粉储存于捕集罐中；
（6）用0.1×104Pa空气和9×104Pa氩气的混合气体在生成室中循环钝化2h，停1h后充入0.9×104Pa空气，再循环钝化1h，开生成室取剩料和清洗。
实施例6：
（1）在纯稀土块的中央钻孔放置直径为5mm的钨球，然后将纯稀土块置于辅助室中备料待蒸发，关闭好各法兰与管道阀；
（2）把步骤（1）中待蒸发的纯稀土块置于水冷阳极上，以钨棒作为水冷阴极；将生成室利用抽真空的方法抽成气压为2×10‑3Pa的环境；
（3）用氩气将生成室内冲洗两次，然后再充入氦氩混合气体，氦氩混合气体的总压强为1×104Pa，其中氩气与氦气的压强比为PAr:PH2=1:1；
（4）打开循环水和电源，电弧电流为200A，电压为30V，调节阴极使弧形成扫把型，点弧时间2h；
（5）停弧后，打开辅助室，清理生成室；然后关闭辅助室，打开处理室，取下捕集罐，再封住生成室，同时密封捕集罐，制得的纳米粉储存于捕集罐中；
（6）用0.1×104Pa空气和9×104Pa氩气的混合气体在生成室中循环钝化2h，停1h后充入0.9×104Pa空气，再循环钝化1h，开生成室取剩料和清洗。

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1、(10)申请公布号 CN 103157802 A(43)申请公布日 2013.06.19CN103157802A*CN103157802A*(21)申请号 201110407129.0(22)申请日 2011.12.09B22F 9/14(2006.01)(71)申请人沈阳工业大学地址 110870 辽宁省沈阳市经济技术开发区沈辽西路111号(72)发明人李志杰孙维民史桂梅冯昊阳(74)专利代理机构沈阳智龙专利事务所(普通合伙) 21115代理人宋铁军(54) 发明名称快速原位包装稀土纳米粉电弧法制备设备及方法(57) 摘要快速原位包装稀土纳米粉电弧法制备设备，包括电源和控制柜，其特征在。

2、于：所述设备还包括圆筒状的生成室侧壁中部安装有辅助室，生成室侧壁上部安装有水冷阴极，水冷阴极下面安装水冷阳极，水冷阴极与水冷阳极相互对应；生成室底部连接捕集罐，捕集罐安装在处理室中，生成室和处理室通过管道与抽气系统连接；生成室通过管道与分之泵相连，处理室通过另一根管道与分之泵相连。本发明可连续大量制备活性极高的多种稀土金属纳米粉、弧形可控、粉体粒径分布窄、生成速度及种类可控、结构新颖、操作简捷而有效、启弧的剩余稀土料可达豪克级。(51)Int.Cl.权利要求书1页说明书5页附图4页(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请权利要求书1页说明书5页附图4页(10)申请公布号。

3、 CN 103157802 ACN 103157802 A1/1页21.快速原位包装稀土纳米粉电弧法制备设备，包括电源（1）和控制柜（2），其特征在于：所述设备还包括圆筒状的生成室（6）侧壁中部安装有辅助室（5），生成室（6）侧壁上部安装有水冷阴极（3），水冷阴极（3）下面安装水冷阳极（4），水冷阴极（3）与水冷阳极（4）相互对应；生成室（6）底部连接捕集罐（7），捕集罐（7）安装在处理室（8）中，生成室（6）和处理室（8）通过管道与抽气系统连接；生成室（6）通过管道（9）与分之泵（11）相连，处理室（8）通过另一根管道（10）与分之泵（11）相连。2.根据权利要求1所述快速原位包装稀土纳米粉。

4、电弧法制备设备，其特征在于：所述水冷阴极（3）可自由精确三维移动。3.根据权利要求1所述快速原位包装稀土纳米粉电弧法制备设备，其特征在于：所述水冷阳极（4）底部安装有阳极座（12），阳极座（12）可连接不同形状的坩埚型的阳极盖（13）。4.根据权利要求1所述快速原位包装稀土纳米粉电弧法制备设备，其特征在于：所述捕集罐（7）可以随时从生成室（6）上更换，且可原位密封罐装纳米粉。5.根据权利要求1所述快速原位包装稀土纳米粉电弧法制备设备，其特征在于：所述生成室（6）与捕集罐（7）通过法兰（14）相连，且可用捕集罐（7）密封分割。6.根据权利要求1所述快速原位包装稀土纳米粉电弧法制备设备，其特征在于。

5、：所述水冷阳极（4）的位置可以调节。7.根据权利要求1所述快速原位包装稀土纳米粉电弧法制备设备，其特征在于：所述辅助室（5）可以对生成室（6）中原料和粉体进行处理。8.一种利用权利要求1-7中任一项所述设备制取稀土纳米粉的方法，其特征在于：该方法的具体步骤如下：（1）在纯稀土块的中央钻孔放置直径为2-10mm的钨球，然后将纯稀土块置于辅助室中备料待蒸发，关闭好各法兰与管道阀；（2）把步骤（1）中待蒸发的纯稀土块置于水冷阳极上，以钨棒作为水冷阴极；将生成室利用抽真空的方法抽成气压为210-3Pa的环境；（3）用氩气将生成室内冲洗两次，然后再充入氦氩混合气体，氦氩混合气体的总压强为1103Pa 0。

6、.95105Pa，其中氩气与氦气的压强比为PAr:PH2=1:11：5；（4）打开循环水和电源，用高频启弧，电弧参数设定电流为200250A，电压为3045V，调节水冷阴极使弧形成扫把型，点弧时间14h；（5）停弧后，打开辅助室，清理生成室；然后关闭辅助室，打开处理室，取下捕集罐，再封住生成室，同时密封捕集罐，制得的纳米粉储存于捕集罐中；（6）用0.11104Pa空气和98104Pa氩气的混合气体在生成室中循环钝化14h，停1h后充入0.91104Pa空气，再循环钝化1h，开生成室取剩料和清洗。权利要求书CN 103157802 A1/5页3快速原位包装稀土纳米粉电弧法制备设备及方法技。

7、术领域0001 本发明属于纳米材料制备技术领域，具体指一种快速原位包装稀土纳米粉电弧法制备设备及方法。背景技术0002 现有的等离子体电弧法制备金属纳米粉的设备和所制备的金属纳米粉，纯度高、易于制备单一金属的纳米粉。其缺点是收粉率低、一次制备量少、生成室粉体不能原位包装，特别是制备稀土金属纳米粉时浪费较大，稀土没蒸发的剩料较多、不易钝化，开启生成室时危险大。发明内容0003 本发明的目的是针对上述技术中存在的不足，提供一种快速原位包装稀土纳米粉电弧法制备设备及方法，该设备结构新颖,操作简捷而有效，原位包装，冷却水温可控，纳米粉体的性价比高，并且可以长时间连续制备稀土纳米粉，一次可制备多种稀土纳。

8、米粉和稀土合金纳米粉，启弧的剩余稀土料可达豪克级，减少开启生成室危险性。0004 为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：快速原位包装稀土纳米粉电弧法制备设备，包括电源和控制柜，其特征在于：所述设备还包括圆筒状的生成室侧壁中部安装有辅助室，生成室侧壁上部安装有水冷阴极，水冷阴极下面安装水冷阳极，水冷阴极与水冷阳极相互对应；生成室底部连接捕集罐，捕集罐安装在处理室中，生成室和处理室通过管道与抽气系统连接；生成室通过管道与分之泵相连，处理室通过另一根管道与分之泵相连。0005 所述水冷阴极可自由精确三维移动。0006 所述水冷阳极底部安装有阳极座，阳极座可连接不同形状的坩埚型的阳极盖。0007 所。

9、述捕集罐可以随时从生成室上更换，且可原位密封罐装纳米粉。0008 所述生成室与捕集罐通过法兰相连，且可用捕集罐密封分割。0009 所述水冷阳极的位置可以调节。0010 所述辅助室可以对生成室中原料和粉体进行处理。0011 一种制取稀土纳米粉的方法，其特征在于：该方法的具体步骤如下：（1）在纯稀土块的中央钻孔放置直径为2-10mm的钨球，然后将稀土备料于辅助室等待蒸发，关闭好各法兰与管道阀；（2）把待蒸发的纯稀土块置于水冷阳极上，以钨棒作为水冷阴极；将生成室利用抽真空的方法抽成气压为210-3Pa的环境；（3）用氩气将生成室内冲洗两次，然后再充入氦氩混合气体，氦氩混合气体的总压强为1103Pa 。

10、0.95105Pa，其中氩气与氦气的压强比为PAr:PH2=1:11：5；（4）打开循环水和电源，电弧电流为200250A，电压为3045V，调节水冷阴极使弧形成扫把型，点弧时间14h；说明书CN 103157802 A2/5页4（5）停弧后，关闭联通阀，打开辅助室，清理生成室；然后关闭辅助室，打开处理室，取下捕集罐，再封住生成室，同时密封捕集罐，制得的纳米粉储存于捕集罐中；（6）用0.11104Pa空气和98104Pa氩气的混合气体在生成室中循环钝化14h，停1h后充入0.91104空气，再循环钝化1h，即可制成稀土纳米粉。0012 本发明的优点是：（1）可连续大量制备活性极高的多种稀土。

11、金属纳米粉；（2）弧形可控、粉体粒径分布窄、生成速度及种类可控；（3）结构新颖、操作简捷而有效；（4）启弧的剩余稀土料可达豪克级。0013 附图说明：图1是本发明的设备结构示意图；图2是本发明的阴极结构示意图；图3是本发明的坩埚型、组合式的阳极的侧视图；图4是本发明的连接生成室和处理室的捕集罐结构示意图；附图标记说明：1.电源、2.控制柜、3.水冷阴极、4.水冷阳极、5.辅助室、6.生成室、7.捕集罐、8.处理室、9.管道、10.另一根管道、11.分之泵、12.阳极座、13.阳极盖、14.法兰。0014 具体实施方式：本发明的工作原理是，在氩和氦混合气体中，通过高频式引弧，阴极与阳极起弧后产生。

12、高温，使金属蒸发，原子态的金属无规则热运动，相互碰撞而凝结成纳米颗粒，这些纳米颗粒受工作电弧参数、工作气体、冷却温度影响。自然沉积四壁进入捕集罐中，将要停弧时，改变弧形和电弧参数使剩余料减小规定大小，停弧。停弧后，原位捕集罐四壁上稀土金属纳米粉进入捕集罐中，最后在处理室里进行原位处理。0015 下面结合附图对本发明进行详细说明。0016 图1是本发明的设备结构示意图，如图所示，快速原位包装稀土纳米粉电弧法制备设备包括用于启弧的电源1和控制柜2，还包括圆筒状的生成室6侧壁中部安装有辅助室5，辅助室5可连续供料、提供钨极和原位清洗生成室6，对生成室6中原料和粉体进行处理。生成室6侧壁上部安装有可自。

13、由精确三维移动的水冷阴极3，水冷阴极3结构如图2所示。水冷阴极3下面安装坩埚型、组合式水冷阳极4，水冷阳极4底部安装有阳极座12，阳极座12可连接不同形状的坩埚型的阳极盖13，如图3所示，水冷阳极4的位置可以调节。水冷阴极3与水冷阳极4相互对应。生成室6底部通过法兰14连接捕集罐7，且可用捕集罐（7）密封分割。捕集罐7安装在处理室8中，捕集罐7可以随时从生成室6上更换，且可原位密封罐装纳米粉。捕完粉后在处理室8中进行原位包装。一次可制备多种稀土纳米粉和稀土合金纳米粉，启弧的剩余稀土料可达豪克级，减少开启生成室6的危险性。生成室6和处理室8通过管道与抽气系统连接；生成室6通过管道9与分之泵11相。

14、连，处理室8通过另一根管道10与分之泵11相连。0017 利用该设备制取稀土纳米粉的方法，具体步骤如下：（1）在纯稀土块的中央钻孔放置直径为2-10mm的钨球，然后将纯稀土块置于辅助室中备料待蒸发，关闭好各法兰与管道阀；说明书CN 103157802 A3/5页5（2）把步骤（1）中待蒸发的纯稀土块置于水冷阳极上，以钨棒作为水冷阴极；将生成室利用抽真空的方法抽成气压为210-3Pa的环境；（3）用氩气将生成室内冲洗两次，然后再充入氦氩混合气体，氦氩混合气体的总压强为1103Pa 0.95105Pa，其中氩气与氦气的压强比为PAr:PH2=1:11：5；（4）打开循环水和电源，电弧电流为20。

15、0250A，电压为3045V，调节水冷阴极使弧形成扫把型，点弧时间14h；（5）停弧后，打开辅助室，清理生成室；然后关闭辅助室，打开处理室，取下捕集罐，再封住生成室，同时密封捕集罐，制得的纳米粉储存于捕集罐中；（6）用0.11104Pa空气和98104Pa氩气的混合气体在生成室中循环钝化14h，停1h后充入0.91104Pa空气，再循环钝化1h，开生成室取剩料和清洗。0018 下面为本发明方法的具体实施例：实施例1：（1）在纯稀土块的中央钻孔放置直径为2mm的钨球，然后将纯稀土块置于辅助室中备料待蒸发，关闭好各法兰与管道阀；（2）把步骤（1）中待蒸发的纯稀土块置于水冷阳极上，以钨棒作为水冷阴极。

16、；将生成室利用抽真空的方法抽成气压为210-3Pa的环境；（3）用氩气将生成室内冲洗两次，然后再充入氦氩混合气体，氦氩混合气体的总压强为0.95105Pa，其中氩气与氦气的压强比为PAr:PH2=1:1；（4）打开循环水和电源，用高频启弧，电弧参数设定电弧电流为200A，电压为30V，调节水冷阴极使弧形成扫把型，点弧时间1h；（5）停弧后，打开辅助室，清理生成室；然后关闭辅助室，打开处理室，取下捕集罐，再封住生成室，同时密封捕集罐，制得的纳米粉储存于捕集罐中；（6）用0.1104Pa空气和9104Pa氩气的混合气体在生成室中循环钝化1h，停1h后充入0.9104Pa空气，再循环钝化1h，开生成。

17、室取剩料和清洗。0019 实施例2：（1）在纯稀土块的中央钻孔放置直径为10mm的钨球，然后将纯稀土块置于辅助室中备料待蒸发，关闭好各法兰与管道阀；（2）把步骤（1）中待蒸发的纯稀土块置于水冷阳极上，以钨棒作为水冷阴极；将生成室利用抽真空的方法抽成气压为210-3Pa的环境；（3）用氩气将生成室内冲洗两次，然后再充入氦氩混合气体，氦氩混合气体的总压强为1103Pa，其中氩气与氦气的压强比为PAr:PH2=1：5；（4）打开循环水和电源，用高频启弧，电弧参数设定电弧电流为250A，电压为45V，调节水冷阴极使弧形成扫把型，点弧时间4h；（5）停弧后，打开辅助室，清理生成室；然后关闭辅助室，打开处。

18、理室，取下捕集罐，再封住生成室，同时密封捕集罐，制得的纳米粉储存于捕集罐中；（6）用1104Pa空气和8104Pa氩气的混合气体在生成室中循环钝化4h，停1h后充入0.9104Pa空气，再循环钝化1h，开生成室取剩料和清洗。0020 实施例3：（1）在纯稀土块的中央钻孔放置直径为5mm的钨球，然后将纯稀土块置于辅助室中备说明书CN 103157802 A4/5页6料待蒸发，关闭好各法兰与管道阀；（2）把步骤（1）中待蒸发的纯稀土块置于水冷阳极上，以钨棒作为水冷阴极；将生成室利用抽真空的方法抽成气压为210-3Pa的环境；（3）用氩气将生成室内冲洗两次，然后再充入氦氩混合气体，氦氩混合气体的。

19、总压强为0.95105Pa，其中氩气与氦气的压强比为PAr:PH2=1:3；（4）打开循环水和电源，用高频启弧，电弧参数设定电弧电流为220A，电压为35V，调节水冷阴极使弧形成扫把型，点弧时间2.5h；（5）停弧后，打开辅助室，清理生成室；然后关闭辅助室，打开处理室，取下捕集罐，再封住生成室，同时密封捕集罐，制得的纳米粉储存于捕集罐中；（6）用1104Pa空气和9104Pa氩气的混合气体在生成室中循环钝化3h，停1h后充入0.9104Pa空气，再循环钝化1h，开生成室取剩料和清洗。0021 实施例4：（1）在纯稀土块的中央钻孔放置直径为8mm的钨球，然后将纯稀土块置于辅助室中备料待蒸发，关闭。

20、好各法兰与管道阀；（2）把步骤（1）中待蒸发的纯稀土块置于水冷阳极上，以钨棒作为水冷阴极；将生成室利用抽真空的方法抽成气压为210-3Pa的环境；（3）用氩气将生成室内冲洗两次，然后再充入氦氩混合气体，氦氩混合气体的总压强为0.95105Pa，其中氩气与氦气的压强比为PAr:PH2=1:4；（4）打开循环水和电源，电弧电流为230A，电压为40V，调节水冷阴极使弧形成扫把型，点弧时间3.5h；（5）停弧后，打开辅助室，清理生成室；然后关闭辅助室，打开处理室，取下捕集罐，再封住生成室，同时密封捕集罐，制得的纳米粉储存于捕集罐中；（6）用0.5104Pa空气和8104Pa氩气的混合气体在生成室中循。

21、环钝化2h，停1h后充入0.9104Pa空气，再循环钝化1h，开生成室取剩料和清洗。0022 实施例5：（1）在纯稀土块的中央钻孔放置直径为5mm的钨球，然后将纯稀土块置于辅助室中备料待蒸发，关闭好各法兰与管道阀；（2）把步骤（1）中待蒸发的纯稀土块置于水冷阳极上，以钨棒作为水冷阴极；将生成室利用抽真空的方法抽成气压为210-3Pa的环境；（3）用氩气将生成室内冲洗两次，然后再充入氦氩混合气体，氦氩混合气体的总压强为5104Pa，其中氩气与氦气的压强比为PAr:PH2=1:1；（4）打开循环水和电源，电弧电流为200A，电压为30V，调节水冷阴极使弧形成扫把型，点弧时间2h；（5）停弧后，打开。

22、辅助室，清理生成室；然后关闭辅助室，打开处理室，取下捕集罐，再封住生成室，同时密封捕集罐，制得的纳米粉储存于捕集罐中；（6）用0.1104Pa空气和9104Pa氩气的混合气体在生成室中循环钝化2h，停1h后充入0.9104Pa空气，再循环钝化1h，开生成室取剩料和清洗。0023 实施例6：（1）在纯稀土块的中央钻孔放置直径为5mm的钨球，然后将纯稀土块置于辅助室中备说明书CN 103157802 A5/5页7料待蒸发，关闭好各法兰与管道阀；（2）把步骤（1）中待蒸发的纯稀土块置于水冷阳极上，以钨棒作为水冷阴极；将生成室利用抽真空的方法抽成气压为210-3Pa的环境；（3）用氩气将生成室内冲。

23、洗两次，然后再充入氦氩混合气体，氦氩混合气体的总压强为1104Pa，其中氩气与氦气的压强比为PAr:PH2=1:1；（4）打开循环水和电源，电弧电流为200A，电压为30V，调节阴极使弧形成扫把型，点弧时间2h；（5）停弧后，打开辅助室，清理生成室；然后关闭辅助室，打开处理室，取下捕集罐，再封住生成室，同时密封捕集罐，制得的纳米粉储存于捕集罐中；（6）用0.1104Pa空气和9104Pa氩气的混合气体在生成室中循环钝化2h，停1h后充入0.9104Pa空气，再循环钝化1h，开生成室取剩料和清洗。说明书CN 103157802 A1/4页8图1说明书附图CN 103157802 A2/4页9图2说明书附图CN 103157802 A3/4页10图3说明书附图CN 103157802 A10。

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