液晶显示装置用玻璃基板的制造方法.pdf

提供一种液晶显示装置用玻璃基板的制造方法，与以往的做法相比，能够大幅地减低在通过喷出气流除去洗涤剂等液体之后产生水渍(watermark)的频度。在洗净步骤，对玻璃基板3的表面吹送洗涤剂等液体以进行洗净。然后，在除去步骤，对玻璃基板3的表面从空气喷出装置1的喷嘴组装体10的狭缝10g供给延伸较长的喷出气流，以除去洗涤剂等液体。此时，从狭缝10g所喷射的喷出气流的风速，是使用风速测量装置40与风速测量治具30，在延伸方向调整成均匀。

权利要求书一种液晶显示装置用玻璃基板的制造方法，包含：
成形步骤，将熔融玻璃成形为玻璃基板；
洗净步骤，使用洗涤剂洗净该玻璃基板的表面；以及
冲洗步骤，利用液体冲洗在该洗净步骤洗净后的该玻璃基板的表面；其特征在于：
该洗净步骤是包含：
吹送步骤，将洗涤剂吹送至该玻璃基板的表面；以及
除去步骤，对该玻璃基板的表面供给延伸的喷出气流以除去该洗涤剂；
在该除去步骤，该喷出气流的风速在延伸方向上调整成均匀。
根据权利要求1所述的液晶显示装置用玻璃基板的制造方法，其中，该玻璃基板涂布有黑底。
根据权利要求1或2所述的液晶显示装置用玻璃基板的制造方法，其中，在该除去步骤，该喷出气流的风速的偏差的绝对值，是该喷出气流的风速的平均值的15％以下。
根据权利要求1至3中任意一项所述的液晶显示装置用玻璃基板的制造方法，其进一步包含：
干燥步骤，使在该冲洗步骤冲洗后的该玻璃基板干燥；
检查步骤，检查在该干燥步骤干燥后的该玻璃基板的品质；以及
喷出气流调整步骤，根据在该检查步骤检查后的该玻璃基板的品质，调整该除去步骤中的该喷出气流的风速。
根据权利要求4所述的液晶显示装置用玻璃基板的制造方法，其中，在该检查步骤，将微小水滴吹送至该玻璃基板的表面，测量附着于该玻璃基板表面的该水滴的接触角，根据该接触角的斑纹检查该玻璃基板的品质。

说明书液晶显示装置用玻璃基板的制造方法
技术领域
本发明涉及一种液晶显示装置用玻璃基板的制造方法。
背景技术
作为液晶显示装置或等离子显示装置等平面显示器的显示部的零件使用平坦的玻璃板。以下的说明中，是将此种玻璃板称为平面显示器用玻璃基板，或仅称为玻璃基板。
例如，在液晶显示装置中，使施加在封入玻璃基板间的液晶的电场变化，以使液晶的配向变化，藉此能够显示动画。由于液晶显示装置在显示影像时必需使电场变化，因此在玻璃基板形成用以施加电压的透明电极。
为了控制施加在玻璃基板上的电极的电压的on(开)/off(关)，在需要高品质显示的电视接收机等所使用的液晶显示装置中，是采用使用薄膜电晶体(TFT)的主动矩阵方式的控制。此TFT亦形成在玻璃基板上。
以此方式，由于在平面显示器用玻璃基板的玻璃面上，藉由极薄的金属膜或半导体形成电极或主动元件，因此玻璃基板的玻璃表面要求极高的平坦性与极高的洁净性。
平面显示器用玻璃基板，例如用于液晶显示装置的(以下，称为液晶用玻璃基板)，是呈薄长方形的板状的形态。液晶用玻璃基板，通常厚度为0.5mm～0.7mm左右，比1mm还薄，而且大型化的要求逐年持续在升高。
液晶用玻璃基板，是以被称为母玻璃(motherglass)的形态，供给至液晶显示装置的制造工程，而该母玻璃是具有相当于多片用于制造一个液晶显示装置所需的大小的玻璃基板的大小。此母玻璃的大小，习惯上是以所谓世代的称呼来表现，例如，第6世代的母玻璃的大小是1500mm×1850mm。母玻璃是藉由将成形为板状的玻璃板切断成既定大小所制得。此外，为了去除在玻璃板切断时所产生的脏污或碎屑等，必需洗净母玻璃即液晶用玻璃基板。
在此种状况下所进行的液晶用玻璃基板的玻璃表面的洗净过程中，使用纯水、界面活性剂等洗涤剂、以及氟化合物等各种液体。使用于玻璃表面的洗净后的液体，是藉由喷出气流除去，结束洗净步骤后，经过检查步骤等再予以出货。不过在成为制品后的液晶用玻璃基板的表面上，有时却会残留被称为水渍(watermark)的隐约的痕迹。
若发生此种水渍，则会因水渍而在形成于玻璃基板上的电极或元件产生不良，而成为液晶显示装置故障的原因。此外，在液晶用玻璃基板上形成液晶显示所需的构件时，虽然也会进行洗净，不过即使在此种情况下所进行的洗净，亦会产生水渍发生的问题。
针对此问题，为了防止水渍的发生，例如专利文献1(日本特开2009－6299号公报)所记载，以往是进行藉由气刀(airknife)等薄平面状的喷出气流，从洗净后的液晶用玻璃基板的玻璃表面，除去洗净时所使用的洗涤剂等液体。
发明内容
发明要解决的技术问题
然而，由于喷出气流是由空气的流动所形成，因此即使通过喷出气流从玻璃表面除去洗净时所使用的洗涤剂等液体，亦无法完全防止水渍的发生。
本发明的课题，是在于提供一种液晶显示装置用玻璃基板的制造方法，与以往的做法相比，能够大幅地减低在藉由喷出气流除去洗涤剂等液体之后产生水渍(watermark)的频度。
解决该问题的技术方案
本发明的液晶显示装置用玻璃基板的制造方法，包含：成形步骤，将熔融玻璃成形为玻璃基板；洗净步骤，使用洗涤剂洗净玻璃基板的表面；以及冲洗步骤，是用液体冲洗在洗净步骤洗净后的玻璃基板的表面。洗净步骤包含：吹送步骤，将洗涤剂吹送至玻璃基板的表面；以及除去步骤，对玻璃基板的表面供给延伸的喷出气流以除去洗涤剂。在该除去步骤，该喷出气流的风速在延伸方向上调整成均匀。
在洗净步骤所使用的洗涤剂，由于是利用在延伸方向风速均匀的喷出气流从玻璃基板的表面同样地除去，因此能够抑制在玻璃基板表面的水渍的发生。此处，所谓均匀的风速，由于有风速测量装置的误差或测量误差等的影响，因此是指在预先所决定的值的范围内。
本发明的液晶显示装置用玻璃基板的制造方法中，较佳为玻璃基板是涂布黑底(blackmatrix)。涂布有黑底的玻璃基板是作为液晶显示装置的彩色滤光片(colorfilter)使用。
本发明的液晶显示装置用玻璃基板的制造方法的除去步骤中，较佳为喷出气流的风速的偏差的绝对值，是喷出气流的风速的平均值的15％以下。例如，在喷出气流的风速的平均值为8.0m/s时，喷出气流的风速为6.8m/s～9.2m/s的范围内为比较理想。
本发明的液晶显示装置用玻璃基板的制造方法中，较佳为进一步包含：干燥步骤、检查步骤、以及喷出气流调整步骤。干燥步骤中，使在冲洗步骤冲洗后的玻璃基板干燥。检查步骤中，检查在干燥步骤干燥后的玻璃基板的品质。喷出气流调整步骤中，根据在检查步骤检查后的玻璃基板的品质，调整除去步骤中的喷出气流的风速。在除去步骤，当藉由喷出气流并未能均匀地除去洗涤剂的情况下，会因呈现于玻璃基板表面的水渍而降低玻璃基板的品质。检查步骤中，判定玻璃基板的品质，喷出气流调整步骤中，根据判定结果调整喷出气流的风速，以均匀地除去洗涤剂。
本发明的液晶显示装置用玻璃基板的制造方法中，较佳为在检查步骤是将微小水滴吹送至玻璃基板的表面，测量附着于玻璃基板表面的水滴的接触角，根据该接触角的斑纹检查玻璃基板的品质。藉此，在检查步骤即能够判别发生于玻璃基板表面的水渍。此外，由于水滴的接触角的斑纹与在玻璃基板的表面涂布黑底时所产生的斑纹外观类似，因此通过减低水滴的接触角的斑纹，即能够减低在玻璃基板的表面涂布黑底时所产生的斑纹。
发明效果
本发明的液晶显示装置用玻璃基板的制造方法，由于是藉由喷出气流均匀地除去洗涤剂等液体，因此与以往的做法相比，能够大幅减低在除去洗涤剂等液体后产生水渍的频度。此外，本发明的液晶显示装置用玻璃基板的制造方法，能够减低在玻璃基板的表面涂布黑底时所产生的斑纹。
附图说明
图1为用以说明玻璃基板的制造方法的概要的流程图；
图2为用以说明本发明的一实施例的玻璃基板的洗净步骤的概略俯视图；
图3为用以说明一实施例的玻璃基板的洗净步骤的概略图；
图4为图2所示的空气喷出装置的正视图；
图5(a)为表示空气喷出装置的风速测量状态的局部放大俯视图，(b)则为表示空气喷出装置的风速测量状态的局部放大立体图；
图6(a)为用以说明习知的风速测量时的气流的概念图，(b)则为用以说明本发明的风速测量时的气流的概念图；
图7为关于喷出气流的风速测量值与水蒸气检查的水雾不均的发生的关系的表；
图8为表示测量附着于玻璃基板表面的水的接触角的点的概念图；
图9为关于附着于玻璃基板表面的水的接触角的实施例1的测量结果的表；
图10为关于附着于玻璃基板表面的水的接触角的实施例2的测量结果的表。
具体实施方式
＜玻璃基板的制造工程的概要＞
图1是表示母玻璃(motherglass)的状态的液晶用玻璃基板，从原料的熔融至供给至在玻璃表面实施加工的下一步骤为止的步骤的概略。图1的熔解/成形步骤S1中，首先秤量/混合构成原料的矽砂等各种粉体，再投入熔融炉。此粉体是在高温熔融炉的中被熔化而成为玻璃熔融液。然后，藉由脱泡/搅拌等而被均质化后的玻璃熔融液即成形为板状。成形为板状后的玻璃，冷却后即切断成规定尺寸而成为素板。
切断步骤S2中，为了形成适合液晶显示装置的制造的大小，进一步切断素板。从此素板所切取的玻璃基板是与母玻璃的尺寸一致。下一去角步骤S3中，为了使其切口平滑，而研磨所切取的玻璃基板。下一洗净步骤S4中，藉由洗净来除去玻璃基板的玻璃表面的微细异物或脏污。接着，下一检查步骤S5中，进行有无气泡或伤痕等微细缺陷的检查，无法使用于液晶显示装置者是当作不良品予以排除，良品则成为母玻璃。针对检查步骤S5的详细将于后述。然后，当例如在远方的其他工厂于母玻璃的玻璃表面实施加工等的情况下，母玻璃是被包装成能够运送的形态来运送。
平面显示器用玻璃基板的洗净，是在从玻璃基板的制造工程开始至平面显示器的制造工程结束为止的各种场合进行。图1所示的玻璃基板的制造工程中，是在洗净步骤S4实施洗净。
洗净时，为了除去附着在玻璃表面的各种脏污，是使用各种洗净液。
此外，一般以中性洗涤剂等洗净液作为洗净液洗净之后，在最后阶段使用纯水等不发生析出物的液体作为冲洗液(rinseliquid)，进行玻璃基板的冲洗。
在洗净母玻璃或平面显示器用玻璃基板等切断成既定形状的较大玻璃板的情况下，一般是一边搬送一边暴露于洗净液，以避免玻璃板破损并且能够洗净玻璃板全体。因此，若针对洗净而言，在母玻璃或平面显示器用玻璃基板等较大的玻璃板，基本的处理是共通。因此，以下的说明中，是将母玻璃或平面显示器用玻璃基板等已切断成既定形状的玻璃板称为玻璃基板，针对共通的洗净方法或洗净装置的构造加以说明。
＜玻璃基板的洗净的概要＞
一般，在必需最洁净地将玻璃基板的玻璃表面加以精加工的步骤之一，即母玻璃的洗净步骤中，是进行利用喷出气流从玻璃表面除去洗涤剂或冲洗液。因此，以下平面显示器用玻璃基板的洗净步骤的说明中，是举母玻璃出货前的洗净步骤为例加以说明。然而，本发明并非限制于母玻璃出货前的洗净步骤，而能够应用于从平面显示器用玻璃基板的制造工程起开始至平面显示器的制造工程结束为止的各种场合的洗净步骤，并非限制于以下的实施例。
上述洗净步骤S4中，如图2所示，在洗涤剂槽T1进行洗涤剂的多次洗净后，为了洗去此洗涤剂是在纯水槽T2进行冲洗液的洗净。
然后，在干燥槽T3进行玻璃基板3的干燥。
玻璃基板3是在洗净时，一边藉由平行地配置的多个搬送滚筒5搬送，一边通过洗净装置100的3个槽亦即洗涤剂槽T1、纯水槽T2、以及干燥槽T3。进行以液体使玻璃基板3润湿，以喷出气流除去液体的作业，在洗涤剂槽T1与纯水槽T2是共通。
在此，于图3为了简化说明是表示用以洗净玻璃基板的各种步骤中，洗涤剂槽T1中的玻璃基板3的1次洗净步骤、以及干燥槽T3中的干燥步骤。亦即，于图3是表示利用洗涤剂清洗玻璃基板3的洗涤剂槽T1的洗净步骤Pr1、利用喷出气流除去玻璃基板3上的洗涤剂的洗涤剂槽T1的除去步骤Pr2、以及在干燥槽T3利用喷出气流使残留在玻璃基板3表面的纯水干燥的干燥步骤Pr3，其他步骤则予以省略。
在图2及图3所示的步骤前，是有调整喷出气流的喷出气流调整步骤。喷出气流调整步骤中，是调整在洗涤剂槽T1及纯水槽T2的除去步骤或干燥槽T3的干燥步骤所使用的喷出气流。喷出气流调整步骤是包含用以调整均匀风速的喷出气流的风速测量与风速调节的步骤。接着，进行了一次用以调整喷出气流的调节之后，在至必需再次调节为止的期间，是反覆进行洗净步骤或除去步骤或干燥步骤。针对此喷出气流调整步骤，之后再加以详述。
又，除了喷出气流调整步骤以外，虽从图2及图3省略了例如搬入或搬出玻璃基板3的步骤等，不过此等被省略的公知的步骤，是能够根据需要而与喷出气流调整步骤、洗净步骤、除去步骤、以及干燥步骤适当加以组合。
在图3所示的洗净步骤Pr1是进行洗净，在除去步骤Pr2是进行洗涤剂的除去，在干燥步骤Pr3则进行纯水的干燥。于各步骤，是利用多个搬送滚筒5来搬送玻璃基板3。各个搬送滚筒5是绕中心轴往相同方向以相同速度旋转。又，各个搬送滚筒5是以中心轴排列于水平的同一平面上的方式配置，且具有相同的径。因此，玻璃基板3是藉由搬送滚筒5以相同速度平滑地以水平搬送。搬送玻璃基板3的速度，是选自例如3m/min～15m/min间的一定的值。
首先，于最初的洗净步骤Pr1，是配置有将洗涤剂吹送至玻璃基板3的表面的莲蓬头(showernozzle)4。
莲蓬头4是扩及较玻璃基板3所通过的区域的宽度还宽的宽度以水平设置。莲蓬头4是将洗涤剂吹送于玻璃基板的宽度方向。
在洗净步骤Pr1中，玻璃基板3的表面是以洗涤剂液润湿。又，利用未图示的洗净刷等刷洗以洗涤剂液润湿的玻璃基板3上，藉此除去玻璃基板3表面的脏污。
在下一除去步骤Pr2中，为了除去附着于玻璃基板3表面的洗涤剂，而使用空气喷出装置1。空气喷出装置1是扩及较玻璃基板3所通过的区域的宽度还宽的宽度以水平设置。又，藉由空气喷出装置1所形成的喷出气流，是沿着空气喷出装置1的长边方向呈直线状，喷射于俯视相对于玻璃基板3的行进方向正交的方向(参照图2)。此外，喷出气流是以侧视与玻璃基板3的行进方向所成的角为锐角的方式以斜向喷出(参照图3)。亦即，喷出气流是调整成朝向玻璃基板3搬送过来的方向喷射空气。针对从此时的侧面所观看的喷出气流的角度，在说明空气喷出装置1时将加以叙述。此外，与搬送过来的玻璃基板3是否通过喷出气流的形成区域无关，随时皆以一定风速从空气喷出装置1喷射喷出气流。
随着藉由搬送滚筒5的玻璃基板3的搬送，玻璃基板3是对喷出气流相对地移动。藉此，从玻璃基板3的端部依序利用喷出气流削除玻璃基板3上的洗涤剂。
然后，为了在玻璃基板的表面上不使其发生水渍(watermark)，在除去步骤Pr2重要的点，是均匀地除去玻璃基板3表面的洗涤剂。水渍是因残留在玻璃基板3表面的洗涤剂的成分，不均匀地残留在干燥步骤Pr3后的玻璃基板3的表面所发生的斑纹。
在下一干燥步骤Pr3中，为了使玻璃基板3干燥是使用空气喷出装置2。在纯水槽T2的除去步骤，纯水虽被除去，不过在分子层级并非被完全地除去。因此，紧接在纯水槽T2的除去步骤之后，设有干燥步骤Pr3，纯水是藉由空气喷出装置2完全地干燥而被除去。
空气喷出装置2是扩及较玻璃基板3所通过的区域的宽度还宽的宽度以水平设置。又，利用空气喷出装置2所形成的喷出气流，亦沿着空气喷出装置2的长边方向呈直线状，配置成俯视相对于玻璃基板3的行进方向呈斜向(参照图2)。此外，喷出气流是以侧视与玻璃基板3的行进方向所成的角为锐角的方式形成为斜向(参照图3)。亦即，空气喷出装置1及空气喷出装置2，是皆朝向玻璃基板3搬送过来的方向喷射空气。
此外，上述的说明中，针对利用纯水槽T2的莲蓬头4供给冲洗液(纯水)及利用空气喷出装置2除去冲洗液，由于是与利用洗涤剂槽T1的莲蓬头4及利用空气喷出装置1的洗涤剂的供给与除去相同，因此省略其说明。
＜空气喷出装置的说明＞
图4是空气喷出装置1的正视图。本实施例中，图2及图3所示的用以使冲洗液干燥的空气喷出装置2，与用以除去洗涤剂的空气喷出装置1，基本上是呈相同的构造。然而，空气喷出装置2是以与空气喷出装置1不同位置及角度设置在洗净装置100。如上述，由于空气喷出装置1,2的不同仅在于设置方式，因此使用图4仅说明空气喷出装置1的构造。
如图4所示，空气喷出装置1主要是由空气供给部6与喷嘴组装体10所构成。喷嘴组装体10是以例如不锈钢等金属或塑胶等不易生锈且具有高刚性的材料构成。将空气供给至喷嘴组装体10的空气供给部6，主要是具备压缩机等空气供给装置(图示省略)、用以连接至空气供给装置的连接器7、以及将空气从连接器7导引至喷嘴组装体10的导管8a,8b。以空气供给装置加压至高压的空气，是通过连接于连接器7的导管8a，导引至沿着喷嘴组装体10配置的导管8b。导管8b是在其两端部及将导管8b大致6等分的5个位置连接于腔室10f。腔室10f是沿着喷嘴组装体10的长边方向，形成于嘴组装体10内部的空间。从空气供给部6所供给的空气，是透过导管8a及8b供给至腔室10f。供给至腔室10f的空气，是沿着喷嘴组装体10的长边方向，朝向设于喷嘴组装体10的前端部的狭缝10g流动。通过狭缝10g后的空气，是从喷嘴组装体10所喷出的空气。
此外，从空气供给部6所供给的空气，是藉由过滤器除去尘埃等后的洁净空气，温度保持于室温且未加湿的干燥空气。从空气供给部6送来的空气，是藉由空气供给装置加压至在例如0.02Mpa～0.15Mpa之间所选择的一定的值。
喷嘴组装体10，如图4所示，是以螺丝21固定于托架20，而且托架20以螺丝22固定于空气喷出装置1。
＜风速测量装置的说明＞
图5(a)是表示于喷嘴组装体10安装有风速测量装置40的状态的俯视图，图5(b)则为从斜向观看图5(a)的状态的立体图。风速测量装置40，主要是由具有感测风速的风速感测器45的探针(probe)43、以及将从探针43送来的电气讯号加以处理以显示风速的风速计本体(未图示)所构成。探针43是呈直径约10mm、长度约150mm的圆筒形的外观。于探针43的前端，是形成有俯视大致长方形状的开口部44，于开口部44的靠中央前端则配置有由热线构成的风速感测器45。藉由将此风速感测器45置放于待测量的喷出气流的中，即能够测量喷出气流的风速。
此探针43，是具备有用以与风速同时地测量空气的温度的温度感测器(未图示)，而且亦具备有用以补偿因空气的温度变化所产生的风速测量的误差的温度补偿感测器(未图示)。
风速的测量值是藉由以探针43测量因风速而从风速感测器45(热线)所夺取的热量，再以风速计本体进行根据热量与风速的关系的计算而求出。风速的测量结果，是显示在风速计本体的显示装置。
作为此种风速测量装置，例如能够使用日本KANOMAX股份有限公司制的Anemomaster风速计MODEL6115等。
＜风速测量治具的说明＞
其次，针对风速测量治具加以说明。图5(a)及图5(b)所示的风速测量治具30，是直方体的金属加工成用以将上述风速测量装置40的探针43固定于空气喷出装置1,2的形状而成。
风速测量治具30是具备有左侧壁31及右侧壁32。此外，左侧壁31及右侧壁32，是以前方梁33与后方梁34结合。因此，从风速测量治具30的上部朝向下部形成开口部30a。此等左侧壁31、右侧壁32、前方梁33、以及后方梁34的高度是相同，上面30d为同一面高。
由于插入圆筒状的探针43，故左侧壁31及右侧壁32的内面是经过刮刨并且前方梁33及后方梁34的下方亦经过刮刨而形成有嵌合部30c。为了在插入圆筒状的探针43后的状态下稳定地固定，攻有母螺纹的螺孔是以通至嵌合部30c的方式形成于左侧壁31及右侧壁32。
于左侧壁31及右侧壁32的缘部31a,32a，是形成有梯形状的凹处，以在风速测量治具30紧靠在空气喷出装置1,2的喷嘴组装体10的狭缝10g附近时，能够稳定地保持风速测量治具30接触喷嘴组装体10的状态，而不会形成额外的空气的通道。
＜喷出气流调整步骤的说明＞
在喷出气流调整步骤，是反覆进行喷出气流的风速的测量、以及空气喷出装置1,2的狭缝10g的间隔的调节，而该调节是根据该测量值以修正风速。调整时，是以最初测量的所有测量点的风速的值的平均值为基准。接着，以工具调整狭缝10g的间隙，使其接近基准值。藉由此种操作，空气喷出装置1,2的狭缝10g的间隔，是在0.1mm～1mm之间调整，喷出气流的风速便被调节至所欲的值。
亦即，在测量值小于所欲的风速时，是藉由扩大狭缝10g的宽度，使导管8a,及8b的配管阻力降低来加大风速。反的，在测量值大于所欲的风速时，则藉由缩小狭缝10g的宽度，使导管8a,及8b的配管阻力增加来降低风速。
此外，狭缝10g的间隔，沿着喷嘴组装体10的长边方向(亦即，玻璃基板3的宽度方向)，并不一定均匀。其原因在于供给至狭缝10g的空气的压力，是在接近导管8b与腔室10f的连接部的点较高，在腔室10f的两端部等远离该连接部的点较低之故。亦即，即使将狭缝10g的间隔在喷嘴组装体10的长边方向的各点设为均匀，从狭缝10g所喷射的喷出气流的风速，在喷嘴组装体10的长边方向的各点亦不会均匀。因此，本实施例中，为了使喷出气流的风速均匀，狭缝10g的间隔是沿着喷嘴组装体10的长边方向经过微调。具体而言，如图4所示，由于狭缝10g是沿着喷嘴组装体10的长边方向延伸较长，因此一边使风速测量装置40沿着狭缝10g的长边方向移动，一边反覆进行狭缝10g的间隔的调节。
在测量风速时，如图5(a)所示，于喷嘴组装体10的狭缝10g的延长上，是配置风速测量装置40的风速感测器45。此时，探针43是以螺丝38固定于风速测量治具30。由于探针43是呈圆筒形，因此以其中心轴为中心对嵌合部30c旋转。因此，在以螺丝38固定时，是以探针43的开口部44与平行于风速测量治具30的上面30d的面相对向的状态为基准来安装。接着，以正确地重现风速感测器45与狭缝10g的位置关系的方式，喷嘴组装体10与探针43，是藉由风速测量治具30正确地定位。
上述般的喷嘴组装体10与探针43所以能正确地定位，如图5(b)所示，是因风速测量治具30的左侧壁31的缘部31a具有与狭缝10g附近的喷嘴组装体10的外形一致的外形之故。于图式虽未表示，不过右侧壁32的缘部32a亦与左侧壁31的缘部31a同样地，具有与狭缝10g附近的喷嘴组装体10的外形一致的外形。
藉由使用此种风速测量治具30来测量，相较于仅将测量探针43置放在喷出气流的空气的流动中来测量的情形，能够提升风速测量的精度及准确度。使用图6(a)及图6(b)简单地说明风速测量的精度及准确度提升的原因。在图6(a)及图6(b)中，是以箭头概念地表示空气的流动。图6(a)是表示仅将探针43置放在空气的流动的中的情形。此时，由于探针43会扰动空气，因此受流过所欲测量的区域50两侧的区域51,52的空气的影响，而妨碍精度及准确度较高的风速测量。由于喷出气流的空气的流动快速且空气的层流的厚度较薄，因此依探针43的形状受扰动的影响会变大。另一方面，如图6(b)所示，若藉由左侧壁31及右侧壁32，使两侧的区域51,52的空气的流动不会影响及所欲测量的区域50，则导引至探针43内部的空气气流即会齐致，而能够进行精度及准确度较高的风速测量。
＜水渍(watermark)的检查＞
作为液晶显示装置的母玻璃(motherglass)使用的玻璃基板3，例如是使用在彩色滤光片(colorfilter)的制造。彩色滤光片的制造工程中，最初是于玻璃基板3上涂布黑底(blackmatrix)，其次于黑底膜上以微细图案涂布着色材而形成着色画素。黑底是具有遮光性，以防止黑色显示时的漏光、及相邻的着色画素彼此的混色。着色画素是做为使红色、绿色、蓝色的光透射的滤光片发挥功能。
在除去步骤Pr2中，当未均匀地除去玻璃基板3表面的洗涤剂的情况下，于干燥步骤Pr3后的玻璃基板3的表面便会发生水渍(watermark)。本案的发明人发现若于已发生水渍的玻璃基板3涂布黑底，则于玻璃基板3的表面便会发生黑底的斑纹(以下，称为「BM斑纹」)。由于BM斑纹是以目视即能够判别，因此在使用此玻璃基板3来制造液晶显示装置的情况下，该液晶显示装置便具有会呈现于外观的缺陷。因此，为了在将黑底涂布于玻璃基板3上之前，事先即选别并排除发生BM斑纹的玻璃基板3，较佳为判别已发生水渍的玻璃基板3。
本实施例中，藉由在检查步骤S5进行水蒸气检查，即能够有效率地判别已发生水渍的玻璃基板3。水蒸气检查中，是对玻璃基板3的表面吹送水蒸气使微小水滴附着，以使玻璃基板3的表面全体呈现水雾。接着，对玻璃基板3表面的水雾情况，检查是否有斑纹。若于已发生水渍的玻璃基板3吹送水蒸气，则于玻璃基板3的表面会呈现因水滴不均匀地附着所产生的水雾的斑纹。
检查步骤S5中的水蒸气检查，是根据因洗涤剂并未被均匀地除去导致水对已发生水渍的玻璃基板3的表面的接触角，是依玻璃基板3表面的点而异。亦即，在玻璃基板3表面的洗涤剂未被均匀地除去的情况下，在洗涤剂已完全地除去的玻璃基板3表面上的区域、与洗涤剂些微残留的玻璃基板3表面上的区域，水对玻璃基板3的表面的接触角是不同。在水的接触角较小的区域，由于附着于玻璃基板3表面的水滴的高度较小，因此水滴以目视是呈接近透明的状态。另一方面，对水的接触角较大的区域，由于附着于玻璃基板3表面的水滴的高度较大，因此水滴以目视是呈水雾(白浊)的状态。亦即，在玻璃基板3表面的洗涤剂并未被均匀地除去的情况下，由于水对玻璃基板3的表面的接触角，是依玻璃基板3表面的点而异，因此于玻璃基板3的表面即发生水雾的斑纹。
因此，检查步骤S5的水蒸气检查中，藉由目视吹送水蒸气后的玻璃基板3的表面，即能够确认在玻璃基板3表面所产生的水雾的斑纹，亦即在玻璃基板3表面所呈现的水渍，藉此即能够预先选别BM斑纹会发生的玻璃基板3。
＜喷出气流的风速的测量资料＞
将在除去步骤Pr2除去附着于玻璃基板3表面的洗涤剂的空气喷出装置1的喷出气流的风速的测量值、以及在水蒸气检查于玻璃基板3表面有无发生水雾的斑纹的关系表示于图7。图7中，「喷出气流的风速的偏差」是沿着狭缝10g的长边方向的多个点各自的喷出气流的风速与喷出气流的风速的平均值的差，是一种表示风速的差异的指标。
于图7是表示分别针对「实施例1」、「实施例2」、及「比较例」的喷出气流的风速的平均值及偏差。如图7所示，「比较例」中的喷出气流的风速的偏差，是大于「实施例1」及「实施例2」中的喷出气流的风速的偏差。此外，喷出气流的风速的偏差较大的「比较例」中，由于发生水蒸气检查的水雾的斑纹，因此判定为于玻璃基板3有发生水渍。另一方面，「实施例1」及「实施例2」中，如上述般，由于并未发生水蒸气检查的水雾的斑纹，因此判定为于玻璃基板3未发生水渍。
＜接触角的测量资料＞
作为参考，针对水对玻璃基板3表面的接触角的测量资料加以说明。
水的接触角的测量是在自干燥槽T3的干燥步骤完成时起经过24小时之后，如图8所示，沿着玻璃基板3的宽度方向在位于大致等间隔的9个部位的点P1～P9进行。具体而言，使微小水滴附着于玻璃基板3的表面，在经过10秒之后，开始水的接触角的测量。水的接触角是自测量开始起在4秒期间测量10次。于图9及图10，是分别表示上述图7的「实施例1」及「实施例2」中，水对玻璃基板3的接触角的测量结果。于图9及图10的表，是分别表示点P1～P9中水的接触角的10次测量值、以及该10次的测量值的平均值。从图9，「实施例1」中水的接触角的10次测量平均值，在点P7是呈现最小值28.6，在点P1则呈现最大值34.4。
从图10，「实施例2」中水的接触角的10次测量平均值，在点P7是呈现最小值25.2，在点P2则呈现最大值33.1。
从上述喷出气流的风速及水的接触角的测量资料，空气喷出装置1的喷出气流的风速，较佳为沿着狭缝10g尽能够能地均匀，从图7，喷出气流的风速的偏差的绝对值，更佳为喷出气流的风速的平均值的15％以下。例如，在喷出气流的风速为8.0m/s的情况下，喷出气流的风速的差异范围较佳为8.0m/s±1.2m/s(亦即，6.8m/s～9.2m/s)。
此外，本实施例中，在检查步骤S5的水蒸气检查，当判定为玻璃基板3表面的洗涤剂未被均匀地除去的情况下，在喷出气流调整步骤，空气喷出装置1的喷出气流的风速是调整成均匀。例如，调整狭缝10g的间隔，以使喷出气流的风速的偏差的绝对值为喷出气流的风速的平均值的15％以下。藉由调整空气喷出装置1的喷出气流的风速，而从玻璃基板3的表面均匀地除去洗涤剂，结果而言，在水蒸气检查即能够减低呈现于玻璃基板3表面的水雾的斑纹的发生。亦即，以减低在水蒸气检查所发生的水雾的斑纹的方式，调整空气喷出装置1的喷出气流的风速，藉此即能够从玻璃基板3的表面均匀地除去洗涤剂。
＜特征＞
(a)在洗净步骤Pr1，由于是藉由以均匀的风速从空气喷出装置1所喷射的空气(喷出气流)，从玻璃基板3的表面除去洗涤剂，因此即能够从玻璃基板3的表面均匀地除去洗涤剂。因此，不易产生洗涤剂除去的斑纹，而能够大幅地减低呈现于玻璃基板3表面上的水渍的发生。
为了同样地除去洗涤剂，虽必需使喷出气流的风压一定，不过由于风压是与风速的平方成正比，因此藉由使风速一定，即能够进行洗涤剂的无斑纹的除去。
此外，上述实施例中，虽已针对洗涤剂的除去加以说明，不过以喷出气流除去的液体，即使是其他洗净液或剥离液亦能够。又，在洗净步骤Pr1，洗涤剂虽藉由莲蓬头4吹送至玻璃基板3的表面，不过亦能够藉由其他机器来润湿玻璃基板3的表面。
由于是以从空气喷出装置1的狭缝10g的测量区域50所喷射的空气的风速成为均匀的方式调节狭缝10g的间隔，因此狭缝的间隔虽不一定要均匀，不过空气的风速在狭缝10g的任何部位皆会相同。藉由使用此种风速均匀的喷出气流，即能够极为有效地减低水渍的发生。
又，藉由空气喷出装置1从玻璃基板3所除去的洗涤剂，是能够予以再利用，而能够使洗涤剂的损耗减少。
(b)在除去步骤Pr2，截至以喷出气流除去洗涤剂为止，针对玻璃基板3的宽度方向，是以洗涤剂同样地润湿玻璃基板3的表面。如果，并未以洗涤剂同样地润湿玻璃基板3的表面时，在已润湿的处与未润湿的处，于喷出气流的接触方式产生差。此外，亦因喷出气流的接触方式的差，而成为洗涤剂的除去处理方式紊乱的原因。藉由以洗涤剂玻璃基板表面同样地润湿，即能够避免前述的不良而无斑纹地除去洗涤剂，以进一步减低水渍的发生，而更扩大水渍发生减低的效果。
(c)以风速测量治具30具有左侧壁31及右侧壁32(间隔构件)，在测量从狭缝10g所喷射的空气的风速时，不受从测量区域50的左右两侧的区域51,52所喷射的空气的影响的方式构成。因此，能够避免测量区域50的风速的测量值因其左右两侧的区域51,52的影响而使其变化，相较于在受左右两侧的区域51,52的影响的状态的调节，均匀地调整从狭缝喷射的风速即变得容易。
又，左侧壁31及右侧壁32具有与空气喷出装置的狭缝周边的形状一致的缘部31a,32a。藉此，由于左侧壁31及右侧壁32的缘部31a,32a是与空气喷出装置1的狭缝10g周边的形状一致，因此能够防止在缘部31a,32a与狭缝10g周边的形状之间产生间隙而发生空气的扰动。因此，由于能够形成不受从测量区域50的左右两侧的区域51,52所喷射的空气的影响的状况，因此能够在多数个测量点以高准确度测量喷出气流的风速，而易于形成均匀风速的喷出气流。
在风速测量时，由于仅将风速测量治具30接触空气喷出装置1的喷嘴组装体10，因此能够迅速地进行风速的测量，而能够缩短喷出气流调整步骤所需的时间。又，藉由使用风速测量治具30，能够减低因测量者所造成的测量误差，能够提高空气的风速调节的准确度，而易于抑制水渍的发生。
前方梁33及后方梁34，是使左侧壁31及右侧壁32隔着一定长度结合。此等左侧壁31、右侧壁32、前方梁33、以及后方梁34，是具有嵌入风速测量装置40的探针43的嵌合部30c。此外，左侧壁31与右侧壁32是配置成以探针43嵌合于嵌合部30c的状态，无间隙地接触探针43的侧面。因此，由于在探针43与左侧壁31及右侧壁32之间不形成间隙，因此在探针43的侧面即能够排除因空气扰动所造成的影响，而能以高精度进行风速的比较测量，所以易于形成均匀风速的喷出气流。
前方梁33、后方梁34、左侧壁31及右侧壁32，是配置成以相同高度包围测量开口部44的四方。藉由与左侧壁31及右侧壁32相同高度的前方梁33与后方梁34，能够防止空气从前方或后方迂回进入测量区域，而缩小风速的比较测量的误差，因此易于形成均匀风速的喷出气流。
(d)在喷出气流调整步骤，为了抑制喷出气流的风速的差异使喷出气流的风速均匀，而调整空气喷出装置1的狭缝10g的间隔，以在检查步骤S5中的水蒸气检查减低呈现于玻璃基板3表面的水雾的斑纹。藉此，由于能够减低呈现于玻璃基板3表面的水渍，因此亦能够减低呈现于玻璃基板3表面的BM斑纹。因此，由于发生BM斑纹的玻璃基板3的生产量即降低，所以能够使液晶显示装置的作为母玻璃使用的作为玻璃基板3的制品的能够靠性提升。
＜变形例＞
(1)上述实施例中，为了除去玻璃基板3表面的洗涤剂或冲洗液，虽仅使用1个空气喷出装置1，不过亦能够将2个以上的空气喷出装置1并列使用。
(2)上述实施例中，虽使用风速测量治具30除去流经所欲测量的区域50以外的区域51,52的空气所造成的误差，不过亦能够藉由其他方法来缩小测量误差。
(3)上述实施例中，虽已针对以特定的风速测量装置40来测量风速的情形加以说明，不过风速的测量并非局限于在上述实施例所说明的方法。
(4)上述实施例中，空气喷出装置1及空气喷出装置2，虽皆朝向玻璃基板3搬送过来的方向喷射空气，不过空气喷出装置1及空气喷出装置2的任一方或两方，亦能够朝向与玻璃基板3搬送过来的方向的反方向喷射空气。
符号说明
1,2            喷出气流形成装置
3              玻璃基板
4              莲蓬头
5              搬送滚筒
6              空气供给部
10             喷嘴组装体
30             风速测量治具
40             风速测量装置
43             探针
专利文献
专利文献1：日本特开2009－6299号公报