导电性图形、使用它的电子源及图像显示装置的制造方法.pdf

提供一种导电性图形，使用它的电子源及图像显示装置的制造方法。在树脂膜中包含含有第一金属成分的液体，通过对该树脂膜进行烧焙，形成导电性膜，在这样的导电性图形的制造方法中，在使树脂膜包含该液体之前，使该液体接触能使该液体中作为夹杂物含有的第二金属成分络合物化的化合物。由此，阻止第二金属成分对树脂中包含的第一金属成分产生的不良影响。

1、  一种导电性部件图形的制造方法，其特征在于包括：
在基板表面上形成树脂膜的工序，
通过向上述树脂膜赋予含有第一金属成分的络合物的液体，使上述树脂膜含有上述第一金属成分的工序，其中，上述液体含有与上述第一金属成分不同的第二金属成分，且上述液体和与上述第二金属成分形成络合物的化合物预先接触或者现在接触，以及
烧焙上述树脂膜，利用包含在上述树脂膜中的上述第一金属成分在上述基板上形成导电性膜的工序。

2、  根据权利要求1所述的导电性部件图形的制造方法，其特征在于：上述树脂膜具有离子交换基。

3、  根据权利要求1所述的导电性部件图形的制造方法，其特征在于：上述第二金属成分是Ca、Mg、Ba、Sr中的至少一种。

4、  根据权利要求3所述的导电性部件图形的制造方法，其特征在于：与上述第二金属成分形成络合物的化合物是从亚氨基二乙酸(IDA)、氨基三乙酸、乙二胺四乙酸、二亚乙基三胺五乙酸、羟乙基乙二胺三乙酸、甲基甘氨二乙酸中选择的至少一种。

5、  一种电子源的制造方法，该电子源在基板上具有多个电子发射元件、以及对该多个电子发射元件进行矩阵布线的多条行方向布线和多条列方向布线，其特征在于：用权利要求1～4中的任一项记载的导电性部件图形的制造方法，制造构成上述电子发射元件的电极、上述行方向布线、上述列方向布线中的至少一者。

6、  一种图像显示装置的制造方法，该图像显示装置备有：在基板上具有多个电子发射元件、以及对该多个电子发射元件进行矩阵布线的多条行方向布线和多条列方向布线的电子源；以及通过照射从上述电子发射元件发射的电子而发光的发光部件，该图像显示装置的制造方法的特征在于：用权利要求1～4中的任一项记载的导电性部件图形的制造方法，制造构成上述电子发射元件的电极、上述行方向布线、上述列方向布线中的至少一者。

导电性图形、使用它的电子源 及图像显示装置的制造方法
技术领域
本发明涉及配置电子发射元件的电子源基板上配置的电极和布线的微细的导电性图形的形成方法，还涉及将该制造方法用于电极和布线的制造中的电子源及图像显示装置的制造方法。
背景技术
迄今，作为在基板上形成电极和布线等导电性膜的图形的方法，已知有以下几种：
(1)利用筛网印刷法将含有导电性材料的浆料涂敷在基板上，进行干燥和烧焙而形成的方法；
(2)采用转印的方法(胶印法)；
(3)将含有金属成分的溶液涂敷在基板全部表面上，进行干燥和烧焙，形成金属膜，用光刻胶等掩模覆盖规定的区域，将未用掩模覆盖的部分蚀刻除去而形成的方法；
(4)将感光性材料赋予含金属浆料，使所希望的地方曝光后，进行显影而形成的方法；
(5)将脂溶性金属有机化合物混合在感光性树脂中，形成电极图形的方法等。
可是，上述的方法(1)难以适用在形成微细的电极图形的情况，方法(2)在于膜的厚度的均匀性和再现性不充分。另外，方法(3)特别是在用铂等贵金属构成电极图形的情况下，蚀刻时必须用强酸，由于光刻胶被侵蚀、或者绝缘性基板被腐蚀等原因，形成微细的电极图形时难以适用。另外，方法(4)由于使用有机溶剂，所以实施涂敷、干燥、烧焙工序时，需要防爆设备，或者所使用的药剂的处理中要求遵守注意事项，此外显影时还要使用大量的氯系列有机溶剂，所以存在环保负荷大的问题。方法(5)在显影工序中，未曝光部分的水溶性金属化合物被废弃，增大了成本。
另一方面，作为效率好、成本低地形成微细的电极图形的方法，本申请人提出了在感光性树脂图形上，吸收包含金属有机化合物的溶液，形成电极图形的方法(日本专利申请特开2003-31922号公报)。
可是，上述的日本专利申请特开2003-31922号公报中记载的方法，有可能在包含金属有机化合物的溶液中发生污染，对金属成分的图形的吸收需要时间，以及吸收量不均匀。
发明内容
本发明的目的在于提供一种用简易的方法，能效率好、成本低地形成微细的导电性图形的方法，利用该方法，提供备有图形微细、要求高精度的电极和布线的电子源的制造方法，以及使用该电子源的图像显示装置的制造方法。
本发明是一种导电性部件图形的制造方法，其特征在于包括：在基板表面上形成树脂膜的工序，通过向上述树脂膜赋予含有第一金属成分的络合物的液体，使上述树脂膜含有上述第一金属成分的工序，其中，上述液体含有与上述第一金属成分不同的第二金属成分，且上述液体和与上述第二金属成分形成络合物的化合物预先接触或者现在接触，以及烧焙上述树脂膜，利用包含在上述树脂膜中的上述第一金属成分在上述基板上形成导电性膜的工序。
另外，本发明是一种导电性部件图形的制造方法，其特征在于包括：在基板表面上形成树脂膜的工序，通过向上述树脂膜赋予含有第一金属成分的络合物的液体，使上述树脂膜含有上述第一金属成分的工序，烧焙上述树脂膜，利用包含在上述树脂膜中的上述第一金属成分在上述基板上形成导电性膜的工序；以及对包含该第一金属成分的树脂膜进行烧焙，做成导电性膜的工序，该导电性部件图形的制造方法地特征在于：在树脂膜中包含上述第一金属成分的工序之前或该工序进行过程中，使含有包含上述第一金属成分的络合物的液体和与该第一金属成分不同的第二金属成分形成络合物的化合物接触。
附图说明
图1A、1B是构成用本发明的制造方法制造的电子源的电子发射元件之一例的模式图。
图2是用本发明的制造方法制造的电子源之一例的模式图。
图3是用本发明的制造方法制造的图像显示装置之一例的模式图。
具体实施方式
本发明的第一方面是一种导电性部件图形的制造方法，其特征在于包括：在基板表面上形成树脂膜的工序，通过向上述树脂膜赋予含有第一金属成分的络合物的液体，使上述树脂膜含有上述第一金属成分的工序，其中，上述液体含有与上述第一金属成分不同的第二金属成分，且上述液体和与上述第二金属成分形成络合物的化合物预先接触或者现在接触，以及烧焙上述树脂膜，利用包含在上述树脂膜中的上述第一金属成分在上述基板上形成导电性膜的工序。
本发明的第二方面是一种导电性部件图形的制造方法，其特征在于包括：在基板表面上形成树脂膜的工序，通过向上述树脂膜赋予含有第一金属成分的络合物的液体，使上述树脂膜含有上述第一金属成分的工序，以及烧焙上述树脂膜，利用包含在上述树脂膜中的上述第一金属成分在上述基板上形成导电性膜的工序，该导电性部件图形的制造方法的特征在于：在树脂膜中包含上述第一金属成分的工序之前或该工序进行过程中，使含有包含上述第一金属成分的络合物的液体和与该第一金属成分不同的第二金属成分形成络合物的化合物接触。
本发明的第三方面是一种电子源的制造方法，该电子源在基板上有多个电子发射元件、以及对该多个电子发射元件进行矩阵布线的多条行方向布线和多条列方向布线，该电子源的制造方法的特征在于：用上述的导电性部件图形的制造方法制造构成上述电子发射元件的电极、上述行方向布线、上述列方向布线中的至少一者。
本发明的第四方面是一种图像显示装置的制造方法，该图像显示装置备有：在基板上有多个电子发射元件、以及对该多个电子发射元件进行矩阵布线的多条行方向布线和多条列方向布线的电子源；以及通过照射从上述电子发射元件发射的电子而发光的发光部件，该图像显示装置的制造方法的特征在于：用上述的导电性部件图形的制造方法制造构成上述电子发射元件的电极、上述行方向布线、上述列方向布线中的至少一者。
如果采用本发明的制造方法，则由于含有包含第一金属成分的络合物的液体中作为夹杂物包含的与第一金属成分不同的第二金属成分形成络合物，对使树脂膜中包含上述第一金属成分的工序没有影响，所以上述树脂膜中吸收该第一金属成分的效率好，而且，由于在上述树脂膜中能均匀地吸收，所以能形成膜质量良好的导电性部件图形。
因此，如果采用使用上述制造方法的本发明的电子源及图像显示装置的制造方法，则由于以高合格率、低成本形成布线和电极，所以能以低成本提供可靠性高的电子源、图像显示装置。
以下，举例详细说明本发明的优选实施方式。但本实施方式中记载的构成零件的尺寸、材质、形状、其相对配置方法等，并不构成对本发明的范围的限制。
(1)树脂
作为本发明中使用的树脂，优选的是与包含具有后面所述的第一金属成分的络合物的液体中的该第一金属成分反应，通过离子交换，树脂膜中吸收有该第一金属成分的树脂。更优选的是构图容易的感光性树脂，既可以是水溶性的感光性树脂，也可以是溶剂溶解性的感光性树脂。所谓水溶性的感光性树脂，是指能用水或包含50质量％以上的水的显影剂进行后面所述的显影工序中的显影的感光性树脂而言，所谓溶剂溶解性的感光性树脂，是指用有机溶剂或包含50质量％以上的有机溶剂的显影剂进行显影工序中的显影的感光性树脂而言。
作为感光性树脂，可以是树脂结构中有感光基的类型的树脂，也可以是例如像环化橡胶-双叠氮化物系列光刻胶那样，将感光剂混合在树脂中的类型的树脂。在任何类型的感光性树脂成分中，都能适当地混合光反应开始剂或光反应禁止剂。另外，既可以是能溶解在显影液中的感光性树脂涂敷膜通过光照射而不溶解在显影液中的类型(负型)的树脂，也可以是不溶解在显影液中的感光性树脂涂敷膜通过光照射而能溶解在显影液中的类型(正型)的树脂。
在本发明中，如上所述，能广泛地使用一般的感光性树脂，其中作为能进行离子交换的树脂，最好是有羧酸基的树脂。另外，容易维持良好的工作环境，废弃物对自然造成的负担小，所以最好使用水溶性的感光性树脂。
再说明水溶性的感光性树脂，作为该水溶性的感光性树脂，可以采用含有水30质量％以上，且以小于50质量％的范围添加了例如加快干燥速度用的甲醇或乙醇等低级醇的显影剂、或添加了为促进感光性树脂成分的溶解或提高稳定性等的成分的显影剂。但是，从减轻环境负荷的观点看，能用水的含有率为50质量％以上的显影剂进行显影为优选，能用水的含有率为70质量％以上的显影剂进行显影就更优选，最优选能只用水作为显影剂进行显影。作为该水溶性的感光性树脂，能举出例如：聚乙烯醇系列树脂、聚乙烯吡咯烷酮系列树脂、丙烯酸系列树脂、甲基丙烯酸系列树脂等水溶性树脂。
(2)含有包含第一金属成分的络合物的液体
本发明中用的含有包含第一金属成分的络合物的液体被赋予树脂膜时，该第一金属成分被吸收到树脂膜中，或者，优选地，该第一金属成分在树脂膜中通过离子交换被吸收，通过烧焙而形成金属或金属化合物导电性膜。作为该金属成分，能举出Pt、Ag、Pd、Cu、Ni、Co、Ir、Ru等，作为配位子最好是含氮化合物。
另外，作为该含有包含第一金属成分的络合物的液体，可以是含有50质量％以上的水，且以小于50质量％的范围添加了例如加快干燥速度用的甲醇或乙醇等低级醇的液体，或者添加了促进络合物的溶解或提高稳定性等用的成分的液体。可是，从减轻环境负担的观点看，水的含有率以50质量％以上为优选，水的含有率为70质量％以上就更优选，最优选全部都是水。
另外，为了提高所获得的金属或金属化合物的导电性部件图形的质量、以及提高与基板的紧密接触性，含有包含第一金属成分的络合物的液体中最好包含例如铑、铋、钒、铬、锡、铅、硅等单体或化合物。
(3)与第二金属成分形成络合物的化合物
本发明的特征在于：在将含有包含上述第一金属成分的络合物的液体赋予树脂膜之前，使该液体中作为夹杂物包含的能与该第一金属成分不同的第二金属成分形成络合物的化合物接触该液体。因此，由于上述第二金属成分被络合物化，所以对上述液体中的第一金属成分被吸收到树脂膜中的工序不会造成影响。
在本发明中，在含有包含上述第一金属成分的络合物的液体内，作为络合物化了的夹杂物的第二金属成分，能举出Ca、Mg、Ba、Sr。它们的金属离子是从环境或机械材料等中随着时间的推移而混入含有包含上述第一金属成分的络合物的液体中的。作为能与这些第二金属成分形成络合物的化合物，最好是与该第二金属成分形成络合物后，形成与该第二金属成分离子的极性相反的极性或无极性的络合物的化合物。即，在包含第一金属成分的络合物为阳离子、树脂为阴离子的情况下，假设第二金属成分离子为M²⁺，能与该第二金属成分形成络合物的配位子为Y，则在
(a)
(b)
(c)的情况下，所形成的包含第二金属成分的络合物不被电气性地吸附在树脂上，所以是优选的，如
(d)所示，在仍然维持第二金属成分离子的极性的情况下，由于所形成的包含第二金属成分的络合物电气性地吸附在树脂上、或者存在于树脂附近、妨碍原来的第一金属成分被吸附在树脂膜中、或者包含第一金属成分的络合物接近树脂膜表面，所以不是优选的。
作为可能与上述第二金属成分形成络合物的化合物，能举出：亚氨基二乙酸(iminodiacetic acid，IDA)、氨基三乙酸(nitrilotriaceticacid，NTA)、乙二胺四乙酸(ethylenediamine tetraacetic acid，EDTA)、二亚乙基三胺五乙酸(diethylenetriamine pentaacetic acid，DTPA)、羟乙基乙二胺三乙酸(hydroxyethylethylenediamine triacetic acid，HEDTA)、甲基甘氨二乙酸(methylglycine diacetic acid，MGDA)等。这些化合物直接添加在含有包含上述第一金属成分的络合物的液体中也没关系，或者即使呈化学固定在过滤器等载体的表面上并浸渍在上述液体内的形态也没关系。另外，这种场合可以发生在将上述液体赋予树脂膜之前或赋予过程中。
(4)导电性部件图形的制造方法
以作为树脂而使用感光性树脂的情况为例，说明本发明的导电性部件图形的制造方法的各工序。具体地说，要经过下列工序：树脂膜形成工序(涂敷工序、干燥工序、曝光工序、显影工序)、金属成分被树脂膜吸收的工序、根据需要进行的清洗工序、烧焙工序。
涂敷工序是将上述的感光性树脂涂敷在应形成导电性部件图形的基板上的工序。能采用下列方法进行该涂敷：各种印刷法(筛网印刷、胶版印刷、苯胺印刷等)、旋涂法、浸渍法、喷涂法、压印法、滚印法、狭缝涂敷法、喷墨法等。
干燥工序是使在上述涂敷工序中涂敷在上述基板上的感光性树脂的涂敷膜中的溶剂挥发，使涂敷膜干燥的工序。虽然能在室温下进行该涂敷膜的干燥，但为了缩短干燥时间，最好在加热下进行。例如能用无风干燥箱、干燥机、加热板等进行加热干燥。虽然随着所涂敷的感光性树脂的配合和涂敷量等的不同而不同，但一般说来，能在50～100℃的温度下放置1～30分钟来进行。
曝光工序是按照规定的图形、即所制造的导电性部件的图形(例如规定的电极和布线的形状)使在上述干燥工序中干燥了的基板上的感光性树脂膜曝光的工序。在曝光工序中照射光进行曝光的范围，随着所使用的感光性树脂是负型的还是正型的而不同。在通过光照射而不溶解在显影液中的负型的情况下，使光照射在应残留树脂膜的区域上进行曝光，但在通过光照射而能溶解在显影液中的正型的情况下，与负型相反，使光照射在应残留树脂膜的区域以外的区域上进行曝光。能与通常的用光刻胶进行的掩模形成的方法同样地进行光照射区域和非照射区域的选择。
另外，曝光时有意地错开焦点(不聚焦)，防止图形边缘部的不均匀化，能形成均匀的树脂膜。
显影工序是对在上述曝光工序中被曝光的感光性树脂而言，将树脂膜的应残留的区域以外的区域除去的工序。在感光性树脂是负型的情况下，未受光照射的感光性树脂膜能溶解在显影液中，受到了光照射的曝光部分的感光性树脂膜在显影液中不溶解，所以在显影液中溶解的非光照射区域的感光性树脂膜在显影液中被溶解除去，进行显影。另外，在感光性树脂是正型的情况下，未受光照射的感光性树脂膜不溶解在显影液中，受到了光照射的曝光部分的感光性树脂膜能溶解在显影液中，所以能溶解在显影液中的光照射区域的感光性树脂膜在显影液中被溶解除去，进行显影。
另外，在使用水溶性的感光性树脂的情况下，作为显影液，能使用例如水或与用于通常的水溶性光刻胶的显影液同样的显影液。另外，在溶剂溶解性的感光性树脂的情况下，能使用有机溶剂或与用于溶剂系列光刻胶的显影液同样的显影液。这里，作为树脂图形的形成工序，虽然说明了使用感光性树脂的情况，但在使用感光性树脂以外的树脂的情况下，采用印刷、转印、提离(lift off，或译去除)等进行树脂图形的形成即可。
另外，通过将能与本发明的第二金属成分形成络合物的化合物添加在显影液中，也能抑制来自树脂膜本身、以及装置或基板的第二金属成分的混入。
树脂膜中包含第一金属成分的工序，是将含有包含上述的第一金属成分的络合物的液体赋予上述形成的树脂膜，在上述树脂膜中吸收上述第一金属成分，或者最好通过离子交换在上述树脂膜中吸收上述第一金属成分的工序。具体地说，例如能用将形成了树脂膜的基板浸渍在含有包含上述的第一金属成分的络合物的液体中的浸渍法、或者用例如喷涂法或旋涂法将上述液体涂敷到在基板上形成的树脂膜上的涂敷法等进行。另外，在树脂膜中包含上述第一金属成分的工序之前，能用该液体的水系列溶剂等使树脂膜膨润。
另外，在将树脂膜浸渍在含有包含上述的第一金属成分的络合物的液体中的情况下，通过将构成树脂膜的树脂混入该液体中，能吸收该液体中存在的不同种类的金属成分、例如上述第二金属成分。
清洗工序是在树脂膜中吸收了金属成分后，将附着在树脂膜上的剩余的含有包含上述的第一金属成分的络合物的液体、或附着在树脂膜以外的地方的剩余的该液体除去和清洗的工序。能用与上述液体中的溶剂同样的清洗液，采用将形成了上述树脂膜的基板浸渍在该清洗液中的方法，或通过将该清洗液喷射到形成了上述树脂膜的基板上等进行该清洗工序。
清洗工序也可以通过吹风和振动等，能将剩余的液体充分地振落下来即可。另外，在清洗工序中，虽然上述液体有时被除去一些，其数量极少，将它回收起来再利用，与以往相比也能大幅度减轻负荷。
另外，在本发明中，在采用装置中使用了SUS的浸渍工艺的情况下，通过用DLC(类金刚石碳)覆盖SUS等装置，能抑制来自SUS的溶出，防止夹杂物混入浸渍液中。
烧焙工序是对经过了上述显影工序及吸收工序、以及根据需要再经过了上述清洗工序的树脂膜的图形(负型时为光照射区域的感光性树脂膜，正型时为非光照射区域的感光性树脂膜)进行烧焙，形成由金属或金属化合物构成的导电性膜的工序。在金属成分是贵金属的情况下，虽然能在空气中进行烧焙，但在不是氧化物而是作为金属膜欲形成Cu或Pd等容易氧化的金属的情况下，最好在脱氧气氛中(例如氮气等不活泼气体气氛中等)进行烧焙。
下面将说明能很好地适用于上述的本发明的导电性部件图形的制造方法的电子源及图像显示装置的制造方法。
本发明的电子源是在基板上备有多个电子发射元件、以及对该电子发射元件进行矩阵布线的多条行方向布线及多条列方向布线的电子源，利用本发明的导电性部件图形的制造方法，形成电子发射元件的电极及行方向布线、列方向布线中的至少某一布线。
作为构成这样的电子源的电子发射元件的一例，在图1A及1B中模式地示出了表面传导型电子发射元件的结构例。图1B是图1A中的1B-1B剖面图，图中，1是基板，2、3是元件电极，4是导电性膜，5是电子发射部。
图1A及1B中的元件是利用如下所述的现象的一种元件：与在电绝缘性的基板1上相对置地形成的一对元件电极2、3连接形成了导电性膜4后，对该导电性膜4进行称为电形成(forming)的通电处理，使导电性膜4局部破坏、变形或变质，形成了包含龟裂的电阻高的地方，此后，将电压加在元件电极2、3之间，一旦使平行的电流流过导电性膜4的面，便从包含上述龟裂的电阻高的地方(电子发射部5)产生电子发射的现象。另外，作为另一例，能举出称为“FE型”的电场发射型的电子发射元件、以及有称为“MIM型”的金属/绝缘层/金属型的结构的电子发射元件。
图2模式地表示使用图1A及1B中的电子发射元件的电子源的结构例。图中，11是基板，12是下布线，13是层间绝缘层，14是上布线。本例的电子源是用布线将多个电子发射元件呈矩阵状地连接在基板11上而成的，各电子发射元件的结构与图1A及1B相同。图2申的电子源是这样一种电子源：将有一对元件电极2、3的电子发射元件沿X方向及Y方向呈行列状地配置多个，将配置在同一行中的多个电子发射元件的元件电极中的一个电极2共同连接在X方向的上布线14上，将配置在同一列中的多个电子发射元件的元件电极中的另一个电极3共同连接在Y方向的下布线12上。这是所谓的单纯矩阵配置。
在本发明的电子源的制造方法中，形成电极部3时，能同时形成下布线12。
本发明的电子源与通过从该电子源的电子发射元件发射的电子的照射而发光的发光部件组合，能构成图像显示装置。作为发光部件，如果使用具有利用电子而发出可见光的荧光体的发光部件，则能作为电视或计算机显示器用的显示面板。
用图3说明使用图2所示的单纯矩阵配置的电子源的图像显示装置之一例。图3是将本发明的图像显示装置的显示面板的一部分切开示出的模式图。
在图3中，15是图1A及1B所示的电子发射元件，16是背面板，18是由玻璃基板构成的前面板，在前面板18的内表面上形成有荧光膜19和金属背20等。17是支撑框，21是高压电源。例如在10^-5Pa左右的真空气氛中，对背面板16、支撑框17及前面板18进行封接，构成外封壳。另外，在电子源基板11有充分的强度的情况下，不用背面板16，直接将该电子源基板11和支撑框17粘接起来也没关系。
另外，通过将称为隔离片的图中未示出的支撑体设置在前面板18和电子源基板11之间，即使在大面积面板的情况下，也能构成对大气压具有充分的强度的外封壳。
另外，为了维持封接后的外封壳内的真空度，最好在封接前后进行吸气处理。
[实施例]
(实施例1)
用滚涂法将感光性树脂(甲基丙烯酸-甲基丙烯酸甲酯-丙烯酸乙酯-n-丙烯酸丁酯-偶氮二异丁腈共聚物)涂敷在玻璃基板(长75mm×宽75mm×厚2.8mm)的全部表面上，用加热板在45℃下干燥了2分钟。其次，使用负型光掩模，光源采用超高压水银灯(照度：8.9mW/cm²)，使掩模与基板接触，以曝光时间为2秒进行了曝光。其次，用纯水作为显影液，进行浸渍处理30秒，获得了目标树脂图形。该树脂图形的厚度为0.8微米。
对三(2，2’-联吡啶)钌乙酸盐水溶液(钌：0.2质量％)进行调整，将氨基三乙酸(NTA)增加了0.01质量％。将上述树脂图形形成基板浸渍在纯水中持续30秒后，浸渍在上述含有钌络合物溶液中持续2分钟。
然后将基板提上来，用流动水清洗5秒钟，用80℃的加热板进行了3分钟干燥。此后，在热风循环炉中用500℃进行30分钟烧焙，形成了电极间距离为20微米、宽60微米、长120微米、厚50nm的一对氧化钌电极。
反复进行20次上述氧化钌电极的形成，测定了电阻值，20个电极的电阻值的离散(偏差)为2.5％，属于良好。
(实施例2)
除了添加了乙二胺四乙酸二铵，来代替氨基三乙酸(NTA)以外，与实施例1相同，形成20次氧化钌电极，测定了电阻值的离散为2.4％。
(比较例1)
不添加氨基三乙酸(NTA)，此外与实施例1相同，形成20次氧化钌电极，测定了电阻值的离散为10.8％。
(实施例3)
用亚氨基二乙酸(IDA)固定化过滤器(Chelest Corporation制，Chelest Fiber IRY-C10)，对含有钌络合物的溶液进行循环过滤，除此以外与实施例1相同，形成20次氧化钌电极，测定了电阻值的离散为2.1％。
用上述各实施例中记载的方法，形成图1A及1B所示的元件电极2、3，所制造的电子发射元件再现性良好地呈现了良好的电子发射特性。
另外，用上述各实施例中记载的方法，形成图2所示的电子源的各电子发射元件的元件电极2、3时，电子发射元件之间呈现了均匀的电子发射特性。
另外，用上述各实施例中记载的方法，形成图2所示的电子源的各电子发射元件的元件电极2、3、以及下布线12、上布线14时，电子发射元件之间更加呈现了均匀的电子发射特性。
另外，将用上述方法制造的电子源应用于图3所示的图像显示装置中时，获得了显示性能良好的可靠性高的图像显示装置。