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本发明涉及遮挡盘传输装置、反应腔室及等离子体加工设备;遮挡盘传输装置包括气缸、承载臂、第一检测装置、第二检测装置、第三检测装置和第四检测装置;承载臂上放置有遮挡盘;气缸固定于反应腔室的腔室壁上,其活塞杆与承载臂连接,用于驱动承载臂作直线往复运动,使遮挡盘到达安全位置或承载装置上方;第一检测装置和第二检测装置沿气缸内活塞的运动行程,在气缸上间隔设置,其用于检测活塞的位置;第三检测装置在竖直方向上与遮。