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1、10申请公布号CN101985937A43申请公布日20110316CN101985937ACN101985937A21申请号201010565664422申请日20101130F04C25/02200601F04C18/1420060171申请人东北大学地址110819辽宁省沈阳市和平区文化路3号巷11号申请人中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司72发明人巴德纯刘坤岳向吉张振厚王光玉74专利代理机构沈阳东大专利代理有限公司21109代理人崔兰莳54发明名称一种三轴爪型真空泵57摘要本发明涉及一种真空泵，具体涉及一种三轴爪型真空泵。包括电机、主轴和从动轴，主轴上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮。
2、合的从动齿轮装配在从动轴上，在主轴和从动轴上装有相互啮合的爪型转子，爪型转子组之间用隔板隔开，所述的主轴两侧均设有一根装配爪型转子和从动齿轮的从动轴。不仅提高了泵的工作效率和抽气效率，还增强了泵工作的稳定性。51INTCL19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书2页附图2页CN101985937A1/1页21一种三轴爪型真空泵，包括电机、主轴和从动轴，主轴上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上，在主轴和从动轴上装有相互啮合的爪型转子，爪型转子组之间用隔板隔开，其特征在于所述的主轴两侧均设有一根装配爪型转子和从动齿轮的从动轴。2如权利要求1所述的一。
3、种三轴爪型真空泵，其特征在于所述的爪型转子的爪数为二爪、四爪、六爪或八爪。3如权利要求1所述的一种三轴爪型真空泵，其特征在于所述的主轴和两根从动轴在同一横截面上的中心连线为直线或三角形。4权利要求1所述的一种三轴爪型真空泵，其特征在于所述的爪型转子级数为1级6级。5权利要求4所述的一种三轴爪型真空泵，其特征在于所述的爪型转子级数为2级6级时，相邻两级之间用隔板隔开。权利要求书CN101985937A1/2页3一种三轴爪型真空泵技术领域0001本发明涉及一种真空泵，具体涉及一种三轴爪型真空泵。背景技术0002真空泵是半导体工业中芯片、光学通讯元器件及平板显示器等加工工艺关键设备之一。作为获取中高。
4、真空的无油分子泵、低温泵等得到了广泛的应用。但是，与这些干式中高真空泵相配合的前级低真空泵却大多是传统的油封式真空泵，为降低油污染，通常在中高真空泵与低真空泵之间串接入冷阱，但此方法已经不能满足真空环境洁净度的要求。而目前的爪型干式真空泵均为两轴式，一根主轴带动一根从动轴，不仅抽气效率低，而且动平衡性能差。发明内容0003针对目前爪型干式真空泵所存在的问题，本发明提供一种三轴爪型真空泵，解决爪型干式真空泵抽气效率低和动平衡性能差的问题。0004本发明的三轴爪型真空泵，包括电机、主轴和从动轴，主轴上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上，在主轴和从动轴上装有相互啮合的爪型转子，。
5、爪型转子组之间用隔板隔开，要点在于所述的主轴两侧均设有一根装配爪型转子和从动齿轮的从动轴。0005所述的爪型转子的爪数为二爪、四爪、六爪或八爪。0006所述的主轴和两根从动轴在同一横截面上的中心连线为直线或三角形。0007所述的爪型转子级数为1级6级。0008所述的爪型转子级数为2级6级时，相邻两级之间用隔板隔开。0009本发明与现有技术相比较显著的特点和产生的有益效果是在主轴一侧增加了一根用于装配爪型转子和从动齿轮的从动轴，不仅提高了泵的工作效率和抽气效率，还增强了泵工作稳定性，降低了泵运转时的振动和噪声。0010附图说明0011图1为本发明的结构示意图；图2为转子横截面中心连线呈三角形布置。
6、的结构示意图；图中1电机、2联轴器、3主轴、4主动齿轮、5右从动齿轮、6右从动轴、7右从动转子、8主动转子、9隔板、10左从动转子、11左从动轴、12左从动齿轮、13排气口、14进气腔、15排气腔、16电机架、17泵体、18轴承端盖、19保护罩、20排气轴承座、21进气轴承座、22齿轮箱、23上轴承、24下轴承。说明书CN101985937A2/2页4具体实施方式0012下面结合附图对本发明做进一步说明。0013例1本发明一种三轴爪型真空泵，由电机1通过联轴器2与主轴3相连接，主动齿轮4，左从动齿轮12和右从动齿轮5通过键连接分别装配在主轴3、左从动轴11和右从动轴6上，三根轴呈平行布置，中间。
7、的主轴3由电机1驱动，在三个同步齿轮带动下，三根轴作彼此反向的旋转运动。在主轴3，左从动轴11和右从动轴6上均固定有4级二爪的爪型转子，爪型转子通过键连接分别固定在三根轴上；在主轴3，左从动轴11和右从动轴6两端的轴肩处均装配有轴承，上轴承23固定在排气轴承座20上，下轴承24固定在进气轴承座21上，三根轴通过轴承座的支撑作用使爪型转子与泵体17无接触，保持有01510MM的间隙，排气轴承座20内部的空腔为排气腔15，排气腔15与排气口13相通，排气轴承座20上端面通过螺栓与齿轮箱22相连接，三根轴延伸到齿轮箱22的部分装配有主动齿轮4，左从动齿轮12和右从动齿轮5，齿轮箱22通过螺栓与电机架。
8、16相连接，电机1通过螺栓固定在电机架16上，排气轴承座20下端面通过螺栓与泵体17相连接，泵体17内部的爪型转子组通过隔板9隔开，隔板9上设置有三个轴孔，在右从动轴6的轴孔下方开一气孔，在左从动轴11的轴孔上方开一气孔，两个气孔沿隔板9上轴孔所在的直线上下对称分布。进气轴承座21内部的腔为进气腔14，在进气腔14顶部的进气轴承座21上开有一进气口，进气口与进气管路相连接，轴承端盖18通过螺栓固定在进气轴承座21上，进气轴承座21通过螺栓与泵体17相连接，轴承端盖18外侧设有保护罩19，保护罩19通过螺栓固定在进气轴承座21上。0014本发明的工作过程是由电机1提供动力源，从而带动主轴3旋转。。
9、主轴3通过键连接主动齿轮4，带动右从动齿轮5和左从动齿轮12旋转。右从动齿轮5和左从动齿轮12分别与右从动轴6和左从动轴11相连接，带动两从动轴旋转。如此便实现了主动转子8，右从动转子7和左从动转子10的同步旋转。转子间无接触啮合，连同泵体内壁形成封闭的空间，从而实现周期性的吸气和排气。0015泵内各级转子之间用隔板9隔开。转子与转子、转子与泵体内壁之间相互作用排出的气体通过隔板9上的气孔排出。在各级转子转动作用下，实现气体的输运过程。较大提高了泵的抽速和压缩比，减少了零部件数量，使故障率降低，降低了成本。0016例2其结构，连接和工作过程与实施例1相同，不同点在于主轴3，左从动轴11和右从动轴6上均固定有6级四爪的爪型转子。0017例3其工作过程与实施例1相同，不同点在于主轴3，左从动轴11和右从动轴6呈三角形布置。说明书CN101985937A1/2页5图1说明书附图CN101985937A2/2页6图2说明书附图。