光掩模及其制造方法、图案转印方法及液晶显示装置制作方法.pdf

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1、10申请公布号CN102033420A43申请公布日20110427CN102033420ACN102033420A21申请号201010295533922申请日20100927200922471720090929JPG03F1/14200601G03F7/00200601G02F1/134320060171申请人HOYA株式会社地址日本东京都72发明人吉田光一郎74专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司11127代理人李辉黄纶伟54发明名称光掩模及其制造方法、图案转印方法及液晶显示装置制作方法57摘要本发明涉及光掩模及其制造方法、图案转印方法及液晶显示装置制作方法。一种光掩模，该光掩模对形。

2、成在待蚀刻加工的被加工体上的抗蚀剂膜转印包含线与间隙图案的预定转印图案，使抗蚀剂膜成为在所述蚀刻加工中作为掩模的抗蚀剂图案，其中，利用半透光部设置形成在透明基板上的线与间隙图案的线图案，利用透光部设置间隙图案。30优先权数据51INTCL19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书2页说明书10页附图12页CN102033423A1/2页21一种光掩模，该光掩模对形成在待蚀刻加工的被加工体上的抗蚀剂膜转印包含线与间隙图案的预定转印图案，使所述抗蚀剂膜成为所述蚀刻加工中作为掩模的抗蚀剂图案，其中，所述转印图案是由透光部和半透光部设置的，所述透光部和半透光部是通过对形成在透明基板上的。

3、半透光膜进行构图而形成的，形成在所述透明基板上的所述线与间隙图案的线图案是由所述半透光部设置的，所述间隙图案是由所述透光部设置的。2根据权利要求1所述的光掩模，其中，所述半透光部的透射率大于等于1小于等于30。3根据权利要求1或2所述的光掩模，其中，所述线与间隙图案的间距宽度大于等于20M小于70M。4根据权利要求1或2所述的光掩模，其中，在设形成在所述透明基板上的线与间隙图案的线宽为LM、间隙宽度为SM，设所述蚀刻加工后形成在所述被加工体上的线与间隙图案的线宽为LP、间隙宽度为SP时，满足LMLP且SMSP的关系。5根据权利要求4所述的光掩模，其中，在形成在所述被加工体上的线与间隙图案的线宽。

4、LP和间隙宽度SP为等宽的情况下，形成在所述透明基板上的线与间隙图案的线宽LM和间隙宽度SM满足LMSM的关系。6根据权利要求5所述的光掩模，其中，在设形成在所述透明基板上的线与间隙图案的线宽LM与间隙宽度SM之差的1/2为偏置值时，所述偏置值为02M10M。7一种图案转印方法，其中，该图案转印方法包含以下工序在被加工体上形成抗蚀剂膜的工序；经由光掩模对所述抗蚀剂膜照射曝光光后，对所述抗蚀剂膜进行显影而形成抗蚀剂图案的工序；以及将所述抗蚀剂图案作为掩模对所述被加工体进行蚀刻，由此将所述被加工体的至少一部分形成为线与间隙图案的工序，其中，使用权利要求1或2所述的光掩模作为所述光掩模。8根据权利要。

5、求7所述的图案转印方法，其中，在设所述光掩模的线与间隙图案的线宽为LM、间隙宽度为SM时，所述蚀刻加工后形成在所述被加工体上的线与间隙图案的线宽LP比所述LM小，间隙宽度SP比所述SM大。9根据权利要求8所述的图案转印方法，其中，在形成在所述被加工体上的线与间隙图案的线宽LP和间隙宽度SP形成为等宽的情况下，所述光掩模的所述线与间隙图案的线宽LM比间隙宽度SM大。10根据权利要求9所述的图案转印方法，其中，进行湿蚀刻作为所述蚀刻。11根据权利要求10所述的图案转印方法，其中，使用在所述湿蚀刻中与所述被加工体之间的蚀刻选择比为10倍以上的材料，作为所述抗蚀剂膜。12一种液晶显示装置制作方法，其特。

6、征在于，该制作方法使用权利要求7所述的图案转印方法对透明导电膜进行蚀刻加工，由此形成梳状的像素电极。13一种光掩模制造方法，该制造方法对形成在待蚀刻加工的被加工体上的抗蚀剂膜转印包含线与间隙图案的预定转印图案，使所述抗蚀剂膜成为所述蚀刻加工中作为掩模的权利要求书CN102033420ACN102033423A2/2页3抗蚀剂图案，其中，该光掩模制造方法包含以下工序在透明基板上形成半透光膜的工序；以及通过对所述半透光膜进行构图，形成由透光部和半透光部构成的所述转印图案的工序，其中，将所述半透光膜的透射率设为1以上30以下，形成在所述透明基板上的所述线与间隙图案的线图案由所述半透光部形成，间隙图案。

7、由所述透光部形成。14根据权利要求13所述的光掩模制造方法，其中，所述线与间隙图案的间距宽度形成为20M以上70M以下。15根据权利要求13或14所述的光掩模制造方法，其中，规定曝光条件、所述抗蚀剂膜的特性、所述被加工体的特性以及所述被加工体的加工条件的相关关系，根据所述被加工体的加工条件，通过仿真来确定形成在所述透明基板上的所述线与间隙图案的线宽、间隙宽度以及所述半透光部的透射率。权利要求书CN102033420ACN102033423A1/10页4光掩模及其制造方法、图案转印方法及液晶显示装置制作方法技术领域0001本发明涉及在光刻工艺中使用的光掩模、光掩模制造方法、图案转印方法及液晶显示。

8、装置制作方法。背景技术0002当前，作为在液晶显示装置中采用的方式，具有VAVERTICALALIGNMENT垂直配向方式、IPSINPLANESWITCHING面内切换方式。通过应用这些方式，可以提供液晶响应快、视场角足够大的优异的动态图像。此外，可以对于应用这些方式的液晶显示装置的像素电极部，使用透明导电膜的线与间隙图案LINEANDSPACEPATTERN，来实现响应速度、视场角的改善。0003近年来，为了进一步提高液晶响应速度和视场角，朝着使线与间隙图案的线宽CDCRITICALDIMENSION临界尺寸细微化的方向发展日本特开2007206346号公报专利文献1。0004一般而言，在。

9、液晶显示装置的像素部等的图案形成中，使用光刻工艺。光刻工艺如下使用光掩模对形成在待蚀刻的被加工体上的抗蚀剂膜转印预定图案，对该抗蚀剂膜进行显影而形成抗蚀剂图案后，以该抗蚀剂图案作为掩模进行被加工体的蚀刻。例如，作为将像素电极形成为梳状在透明导电膜上形成线与间隙图案的光掩模，使用了所谓的二值掩模。二值掩模是通过对形成在透明基板上的遮光膜进行构图，从而由遮蔽光的遮光部黑和透射光的透光部白构成的2色调光掩模。在使用二值掩模形成线与间隙图案的情况下，可以利用遮光部形成在透明基板上形成的线图案，利用透光部形成间隙图案。0005但是，当线与间隙图案的线宽间距宽度变小时，经由光掩模的透光部照射到形成在被加工。

10、体上的抗蚀剂膜的透射光的强度下降，对比度下降，因此不能得到充分的分辨率。其结果，产生被加工体的蚀刻加工变困难的问题。尤其是，当线与间隙图案的间距宽度小于7M时，被加工体的蚀刻加工条件变严格，很难进行构图。此处，所谓间距宽度，可以设为线和间隙重复时重复单位的尺寸。0006作为提高分辨率进行更细微构图的方法，考虑了以往作为用于制造LSI的技术而开发的扩大曝光机的数值孔径、短波长曝光和应用相移掩模。但是，在应用这些技术时，需要极大的投资和技术开发，与市场上提供的液晶显示装置的价格不相符。此外，考虑了通过增加光刻工艺中的曝光量来增加透射光的强度和量，但是为了增加曝光量，需要提高曝光机的光源输出或者增加。

11、曝光时间，从而导致对装置产生制约和生产效率下降。因此，期望几乎不需要追加投资而进行细微构图的方法。发明内容0007本发明正是鉴于上述问题完成的，其目的之一在于提供光掩模、光掩模制造方法、图案转印方法以及液晶显示装置制作方法，即使在被加工体上形成细微间距宽度的线与间说明书CN102033420ACN102033423A2/10页5隙图案的情况下，也能进行构图而几乎不需要追加投资。0008本发明的光掩模的一个方式是一种光掩模，该光掩模对形成在待蚀刻加工的被加工体上的抗蚀剂膜转印包含线与间隙图案的预定转印图案，使抗蚀剂膜成为蚀刻加工中作为掩模的抗蚀剂图案，其中，转印图案是由透光部和半透光部设置的，该。

12、透光部和半透光部是通过对形成在透明基板上的半透光膜进行构图而形成的，形成在透明基板上的线与间隙图案的线图案是由半透光部设置的，间隙图案是由透光部设置的。根据该结构，即使在线与间隙图案的间距宽度变小的情况下，也能够抑制经由透光部照射到抗蚀剂膜的透射光的强度降低的情况。由此，能够对被加工体进行细微构图而几乎不需要追加投资。0009在本发明的光掩模的一个方式中，优选在设透光部对于曝光光的透射率为100时，半透光部对于曝光光的透射率为1以上30以下。0010在本发明的光掩模的一个方式中，在线与间隙图案的间距宽度大于等于20M小于70M时，本发明的效果显著。0011在本发明的光掩模的一个方式中，在设形成。

13、在透明基板上的线与间隙图案的线宽为LM、间隙宽度为SM，设蚀刻加工后形成在被加工体上的线与间隙图案的线宽为LP、间隙宽度为SP时，满足LMLP且SMSP的关系。0012在本发明的光掩模的一个方式中，在形成在被加工体上的线与间隙图案的线宽LP和间隙宽度SP为等宽的情况下，形成在透明基板上的线与间隙图案的线宽LM和间隙宽度SM满足LMSM的关系。0013在本发明的光掩模的一个方式中，在设形成在透明基板上的线与间隙图案的线宽LM与间隙宽度SM之差的1/2为偏置值时，偏置值为02M10M。0014本发明的图案转印方法的一个方式包含以下工序在被加工体上形成抗蚀剂膜的工序；经由光掩模对抗蚀剂膜照射曝光光后。

14、，对抗蚀剂膜进行显影而形成抗蚀剂图案的工序；以及将抗蚀剂图案作为掩模对被加工体进行蚀刻，由此将被加工体的至少一部分形成为线与间隙图案的工序，使用上述任一种光掩模作为光掩模。0015在本发明的图案转印方法的一个方式中，在设光掩模的线与间隙图案的线宽为LM、间隙宽度为SM时，蚀刻加工后形成在被加工体上的线与间隙图案的线宽LP比LM小，间隙宽度SP比SM大。0016在本发明的图案转印方法的一个方式中，在形成在被加工体上的线与间隙图案的线宽LP和间隙宽度SP形成为等宽的情况下，优选光掩模的线与间隙图案的线宽LM比间隙宽度SM大。0017在本发明的图案转印方法的一个方式中，作为蚀刻，优选进行湿蚀刻。此外。

15、，在进行湿蚀刻的情况下，作为抗蚀剂膜，优选使用在湿蚀刻中与被加工体之间的蚀刻选择比为10倍以上的材料。0018本发明的液晶显示装置的制作方法的一个方式为，使用上述任意一种图案转印方法对透明导电膜进行蚀刻加工，由此形成梳状的像素电极。0019本发明的光掩模制造方法的一个方式为，对形成在待蚀刻加工的被加工体上的抗蚀剂膜转印包含线与间隙图案的预定转印图案，使抗蚀剂膜成为蚀刻加工中作为掩模的抗蚀剂图案，其中，该光掩模制造方法包含以下工序在透明基板上形成半透光膜的工序；以及通过对半透光膜进行构图，来形成由透光部和半透光部构成的转印图案的工序，在设透说明书CN102033420ACN102033423A3。

16、/10页6光部的透射率为100时，半透光膜的透射率设为1以上30以下，形成在透明基板上的线与间隙图案的线图案由半透光部形成，间隙图案由透光部形成。0020在本发明的光掩模制造方法的一个方式中，优选线与间隙图案的间距宽度形成为20M以上70M以下。0021在本发明的光掩模制造方法的一个方式中，优选规定曝光条件、抗蚀剂膜的特性、被加工体的特性以及被加工体的加工条件的相关关系，根据被加工体的加工条件，通过仿真来确定形成在透明基板上的线与间隙图案的线宽、间隙宽度以及半透光部的半透光膜的透射率。0022根据本发明的一个方式，对于形成在光掩模上的线与间隙图案，利用半透光部设置线图案，利用透光部设置间隙图案。

17、，由此即使在线与间隙图案的间距宽度变小的情况下，也能够抑制经由透光部照射到抗蚀剂膜的透射光的强度降低的情况。由此，能够提供这样的光掩模、光掩模制造方法、图案转印方法以及液晶显示装置制作方法能够对被加工体进行细微构图而基本不需要追加投资。附图说明0023图1是对光掩模和使用该光掩模的光刻工艺进行说明的图。0024图2是示出在利用遮光部设置了线图案时的光掩模的实效透射率的图。0025图3是示出在利用半透光部设置了线图案时的光掩模的实效透射率的图。0026图4是示出在利用半透光部设置了线图案时的光掩模的实效透射率的图。0027图5是示出使用利用遮光部设置了线图案的光掩模进行曝光后的抗蚀剂膜显影后的截。

18、面形状的图。0028图6是示出使用利用遮光部设置了线图案的光掩模进行曝光后的抗蚀剂膜显影后的截面形状的图。0029图7是示出使用利用半透光部设置了线图案的光掩模进行曝光后的抗蚀剂膜显影后的截面形状的图。0030图8是示出使用利用半透光部设置了线图案的光掩模进行曝光后的抗蚀剂膜显影后的截面形状的图。0031图9是示出使用利用半透光部设置了线图案的光掩模进行曝光后的抗蚀剂膜显影后的截面形状的图。0032图10是示出使用利用半透光部设置了线图案的光掩模进行曝光后的抗蚀剂膜显影后的截面形状的图。0033图11是示出使用利用半透光部设置了线图案的光掩模进行曝光后的抗蚀剂膜显影后的截面形状的图。0034图。

19、12是示出使用利用半透光部设置了线图案的光掩模进行曝光后的抗蚀剂膜显影后的截面形状的图。具体实施方式0035以下，使用图1来说明光掩模和使用该光掩模的图案转印方法的一例。此外，在图1中，示出了对形成在基板107上的被加工体103进行蚀刻加工的情况。即，示出了以下情说明书CN102033420ACN102033423A4/10页7况针对形成在被加工体103上的抗蚀剂膜104，转印形成在光掩模100上的包含线与间隙图案的预定转印图案，将显影后的抗蚀剂图案105作为蚀刻加工中的掩模。00360037光掩模100具有包含线与间隙图案的预定转印图案，光掩模100将包含该线与间隙图案的预定转印图案转印到形。

20、成在被加工体103上的抗蚀剂膜104。可以利用通过对形成在透明基板110上的半透光膜进行构图而形成的半透光部101和透光部102，形成光掩模100的转印图案。此外，利用半透光部101来设置光掩模100的线与间隙图案的线图案，利用透光部102设置间隙图案。0038如以往那样，在利用遮光部和透光部形成光掩模的线与间隙图案的情况下，随着线与间隙图案的间距宽度变小接近曝光机的分辨极限，经由透光部照射到抗蚀剂膜的透射光的强度降低，与遮光部和透光部对应的透射光的对比度降低，因此在显影后残留经由透光部曝光的部分的抗蚀剂膜。其结果，产生不能对被加工体进行构图的问题。为了解决该问题，认为需要通过减小曝光机的分辨。

21、极限提高分辨率、增加应用曝光量、缩短曝光光的波长或应用相移掩模，来增加透射光的强度。0039另一方面，如图1所示，通过利用半透光部101而不是遮光部形成光掩模100的线图案，即使在光掩模100的线与间隙图案的间距宽度变小的情况下，也可以抑制经由透光部102间隙图案照射到抗蚀剂膜104的透射光的强度降低的情况，可以在显影后去除经由透光部102曝光的抗蚀剂膜104。这是因为，通过利用半透光部101形成线图案，可以得到与增加光刻工艺中的曝光量相同的效果。由此，能够利用在以往光刻工序中可应用的曝光量不改变曝光量、或利用更少的曝光量来形成期望的细微图案。0040即，在线与间隙图案等的透光部102的宽度变。

22、小的情况下，透过该形成为狭缝状的透光部的曝光光由于衍射等而衰减，但是本发明可以通过使透过半透光部该半透光部由形成在与该透光部相邻的区域上的半透光膜构成的曝光光衍射等，用来自半透光部的衍射光对在透过该透光部时衰减的曝光光进行补充。0041此外，优选光掩模100的线与间隙图案的间距宽度大于等于20M小于70M。在以往的方法中，间距宽度小于70M的细微图案在作为液晶显示装置时所形成的电场变密，液晶的响应速度、亮度方面优异，但如上所述不能避免在光刻工艺中产生的问题。另一方面，根据本发明的方法，对于接近曝光机的分辨极限的上述细微图案，可以解决上述问题，得到特别显著的效果。此外，如果间距宽度大于等于2M，。

23、则可以通过选择半透光膜的膜透射率，作为与透光部对应的部分的曝光量而得到充分的光强度，因此能够充分得到本发明的提高分辨率的效果。0042在半透光部101中产生的相位差没有特别限定。这是因为，本发明不取决于曝光光的相位反转或偏移，作为用于制造液晶显示装置的线与间隙图案，可以得到优异的提高分辨率的效果。此外，在半透光膜的选择中，当半透光膜与透光部之间的相位差的绝对值大于等于30度小于等于180度时，容易利用适当的膜厚得到适当的实效透射率。更优选的是，相位差的绝对值大于等于30度小于等于90度。0043在使用图1所示的光掩模100的情况下，不仅经由透光部102间隙图案，还经由半透光部101线图案对抗蚀。

24、剂膜104进行曝光，因此显影后的抗蚀剂图案105的膜厚T1比抗蚀剂膜104的初始膜厚值T0小。当抗蚀剂图案105的膜厚T1变得过小时，在蚀刻加工说明书CN102033420ACN102033423A5/10页8时出现障碍抗蚀剂图案105消失而不能发挥掩模的作用，因此优选考虑透光部102的透射光的强度以及抗蚀剂图案105的膜厚来设定半透光部101的半透光膜对于曝光光的透射率。例如，在将光掩模100的透光部102对于曝光光的透射率设为100时，优选半透光部101的半透光膜对于曝光光的透射率设为1以上30以下，更优选的是1以上20以下，进一步优选的是3以上20以下。如果是该范围，则即使在光掩模100。

25、的线与间隙图案的间距宽度变小的情况下，也能够抑制透光部102的透射光的强度下降，并且能够使抗蚀剂图案105的膜厚T1残留蚀刻加工所需的量。此外，光掩模100的透光部102的透射率为100是指，在光掩模100中将充分宽的透光部20M见方以上的透光部中的透射率设为100的情况。00440045接着，对使用上述光掩模100的图案转印方法进行说明。0046首先，在被加工体103上形成了正性的抗蚀剂膜104后，经由上述光掩模100对该抗蚀剂膜104照射曝光光参照图1A。此时，经由透光部102和半透光部101，向抗蚀剂膜104照射曝光光。接着，在对抗蚀剂膜104进行显影而形成抗蚀剂图案105后图1B，将该。

26、抗蚀剂图案105作为掩模对被加工体103进行蚀刻，由此可以将被加工体103的至少一部分形成为线与间隙图案参照图1C、D。0047在图1所说明的图案转印方法中，由于使用半透光部101而不是遮光部来形成光掩模100的线图案，因此显影后的抗蚀剂图案105的膜厚T1比抗蚀剂膜104的初始膜厚值T0小。因此，被加工体103的蚀刻加工优选使用湿蚀刻进行。这是因为，在使用干蚀刻的情况下，抗蚀剂图案105也被蚀刻，因此在抗蚀剂图案105的膜厚较小的情况下，在蚀刻加工时作为掩模的抗蚀剂图案105可能消失。0048另一方面，在使用湿蚀刻的情况下，通过提高被加工体103与抗蚀剂膜104所使用的抗蚀剂材料之间的蚀刻选。

27、择比，由此即使在抗蚀剂图案105的膜厚较小的情况下，也能抑制在蚀刻加工时抗蚀剂图案105消失的情况。为了有效地抑制在蚀刻加工时抗蚀剂图案105消失的情况，使用对于被加工体103的湿蚀刻的蚀刻剂的蚀刻选择比在10倍110以上、优选为50倍150以上的抗蚀剂材料，形成抗蚀剂膜104即可。0049此外，在抗蚀剂图案105的膜厚T1较小的情况下，也是被加工体103的蚀刻加工时间越短，越能抑制在蚀刻加工时抗蚀剂图案105消失的情况下。例如，在被加工体103的膜厚较小的情况下，可以缩短蚀刻加工时间。考虑蚀刻条件等来确定被加工体103的膜厚，作为一例，可以通过将被加工体103形成为40NM以上150NM以下。

28、的程度，来缩短蚀刻加工时间。由此，本实施方式中示出的图案转印方法对于膜厚较小的被加工体的构图尤其有效。此外，在被加工体103的膜厚较小的情况下，可以将光掩模100的半透光部101的半透光膜的透射率设定得较高。由此，可以降低光刻工序中的曝光光的曝光量。0050此外，在应用湿蚀刻作为被加工体103的蚀刻加工的情况下，与干蚀刻相比，被加工体103被各向同性地蚀刻。即，在蚀刻时，与抗蚀剂图案105重叠的被转印部108的侧面也被蚀刻侧蚀参照图1C。因此，在将光掩模100的线与间隙图案的线宽半透光部101的宽度设为LM、间隙宽度透光部102的宽度设为SM时，蚀刻加工后形成在被加工体103上的线与间隙图案的。

29、线宽LP比LM小，间隙宽度SP比SM大。0051由此，在将形成在被加工体103上的线与间隙图案的线宽LP和间隙宽度SP设为说明书CN102033420ACN102033423A6/10页9等宽的情况下，优选预先将光掩模100的线宽LM设置得比间隙宽度SM大LMSM。例如，可以在光掩模100的线图案半透光部101的两侧，设置考虑了裕量该裕量与蚀刻加工时被转印部108被侧蚀的量相应的偏置部106A、106B。可以利用与形成线图案的半透光膜相同的材料设置偏置部106A、106B。此外，偏置部106A、106B的宽度偏置值根据被加工体103的蚀刻条件进行设定即可，例如，在将光掩模100的线宽LM与间隙。

30、宽度SM之差的1/2设为偏置值时，可以将偏置值设为02M10M。0052此外，上述图案转印方法可以应用于液晶显示装置等各种电子设备的制造方法。例如，在液晶显示装置中像素电极的形状形成为带状梳状的情况下，可以使用具有线与间隙图案的光掩模100对ITOINDIUMTINOXIDE氧化铟锡等的透明导电膜转印图案。该情况下，ITO等透明导电膜相当于上述被加工体103。由此，本发明的光掩模适于转引这样的ITO导电膜图案，其线与间隙图案的间距宽度在大于等于20M小于70M的范围内。0053此外，对于如上所述利用本发明的方法形成的被加工体上的抗蚀剂图案，如图7、图8的抗蚀剂截面形状的仿真结果所示，具有以下倾。

31、向随着增加半透光部的透射率，抗蚀剂截面中的肩部分成为更平缓的形状。作为防止该倾向的方法，可以在对抗蚀剂进行显影前预先使抗蚀剂的表面难以溶解。作为具体的方法，例如在涂敷了抗蚀剂后进行减压干燥，在抗蚀剂表面设置难以溶解的表面变质层。00540055可以通过对形成在透明基板110上的半透光膜进行构图，来形成光掩模100的包含线与间隙图案的预定转印图案。此时，对于光掩模100的作为线与间隙图案的线图案部分，残留形成在透明基板110上的半透光膜而成为半透光部101，对于间隙图案的部分，去除半透光膜而成为透光部102即可。0056在将光掩模100的透光部102的透射率设为100时，作为线图案的半透光部10。

32、1可以使用以下的半透光膜形成透射率优选为1以上30以下、更优选为1以上20以下、进一步优选为3以上20以下，还进一步优选为3以上15以下。光掩模100的透光部102的透射率为100是指，在光掩模100中将充分宽的透光部20M见方以上的透光部中的透射率设为100的情况。0057此外，可以根据形成在被加工体103上的线与间隙图案的线宽LP和间隙宽度SP，来确定光掩模100的线与间隙图案的半透光部101的宽度线宽LM和透光部102的宽度间隙宽度SM。例如，在将形成在被加工体103上的线与间隙图案的线宽LP和间隙宽度SP设为等宽的情况下，优选将光掩模100的线宽LM设置得比间隙宽度SM大LMSM。这是。

33、因为，在如上所述将抗蚀剂图案105作为掩模来进行蚀刻加工时，被转印部108被侧蚀，实际上形成在被加工体103上的线与间隙图案的线宽LP比光掩模100的线宽LM小。0058对于光掩模100的线宽LM比间隙宽度SM大的比例，考虑与蚀刻加工时被转印部108被侧蚀的量相应的裕量，按照该宽度在光掩模100的线图案半透光部101的两侧追加偏置部即可。如上所述，在将光掩模100的线宽LM与间隙宽度SM之差的1/2设为偏置值时，可以将偏置值设为02M10M。例如，在设偏置值为05M，在被加工体103上形成间距宽度为5M线宽LM和间隙宽度SM分别为25M的线与间隙图案的情况下，可以将光掩模100的线宽LM设为3。

34、0M，将间隙宽度SM设为20M。说明书CN102033420ACN102033423A7/10页100059此外，在光掩模100的制造中，可以预先掌握曝光条件、抗蚀剂膜的特性、被加工体的特性、被加工体的加工条件等相关关系进行数据库化，根据被加工体103的加工条件使用仿真来进行光掩模100的设计。作为曝光条件，考虑曝光光的波长、成像系统的NA数值孔径、相干性等即可。作为抗蚀剂膜的特性，考虑抗蚀剂的显影条件、对蚀刻剂的耐性等即可。作为被加工体103的特性，考虑被加工体的蚀刻条件蚀刻剂的种类、温度等即可。作为被加工体103的加工条件，考虑形成在被加工体上的线与间隙图案的形状线宽LP和间隙宽度SP即可。

35、。0060预先对这些相关关系进行数据库化，根据要制作的被加工体103的加工条件进行仿真，由此求取设计条件半透光部101所使用的半透光膜的透射率、半透光部101的宽度线宽LM、透光部102的宽度间隙宽度SM来制造光掩模100，从而能够大幅缩短光掩模100的制作时间。0061此外，本发明不限于上述实施方式，可以适当进行变更来实施。例如，上述实施方式中的材质、图案构成、部件个数、尺寸、处理步骤等为一例，可以在发挥本发明的效果的范围内进行各种变更而实施。此外，可以在不脱离本发明目的的范围内适当进行变更来实施。0062【实施例】0063以下，说明通过仿真对以下情况进行验证的结果使用利用半透光部设置线与间。

36、隙图案的线图案、利用透光部设置间隙图案的光掩模，对抗蚀剂膜进行曝光。此外，本发明不限于以下的实施例。0064首先，说明在实施例中使用的条件。0065曝光条件NA008、08、曝光波长光谱的强度比G线/H线/I线10/10/100066抗蚀剂膜正性酚醛树脂类型POSITIVENOVOLAKTYPE0067抗蚀剂膜的初始膜厚15M0068此外，使用新思SYNOPSYS公司制作的软件SENTAURUSLITHOGRAPHYTM作为仿真软件来进行。0069接着，说明在实施例中使用的光掩模。00700071偏置部05M0072线与间隙图案的间距宽度60M线宽35M，间隙宽度25M、50M线宽30M，间隙。

37、宽度20M、44M线宽27M，间隙宽度17M0073线图案的透射率32000740075偏置部08M0076线与间隙图案的间距宽度70M线宽43M，间隙宽度27M、60M线宽38M，间隙宽度22M、50M线宽33M，间隙宽度17M0077线图案的透射率32000780079偏置部05M0080线与间隙图案的间距宽度80M线宽45M，间隙宽度35M、70M线说明书CN102033420ACN102033423A8/10页11宽40M，间隙宽度30M、60M线宽35M，间隙宽度25M、50M线宽30M，间隙宽度20M、44M线宽27M，间隙宽度17M0081线图案的透射率000820083偏置部0。

38、8M0084线与间隙图案的间距宽度80M线宽48M，间隙宽度32M、70M线宽43M，间隙宽度27M、60M线宽38M，间隙宽度22M、50M线宽33M，间隙宽度17M、44M线宽30M，间隙宽度14M0085线图案的透射率00086首先，针对形成有线与间隙图案的光掩模，说明在照射曝光光时掩模位置与透射光的实效透射率之间的关系。在本发明中，所谓实效透射率，是除了膜固有的透射率以外，还包含图案中的形状尺寸或线宽CDCRITICALDIMENSION临界尺寸或曝光机的光学条件光学波长、数值孔径、值等的因素的透射率，是反映了实际曝光环境的透射率透过光掩模并确定所照射的光量的实效透射率。例如，在本说明。

39、书中，称作“半透光部的透射率”时的透射率是指上述的实效透射率，称作“半透光部的半透光膜的透射率”时的透射率是指半透光膜固有的透射率。0087图2示出了在使用利用透射率0的遮光膜形成线图案的光掩模二值掩模时的透射光的实效透射率。在图2中，图2A示出设置在遮光膜上的偏置部为05M的情况比较例1，图2B示出设置在遮光膜上的偏置部为08M的情况比较例2，图2C示出在仿真中使用的线与间隙图案的示意图。偏置部使用与形成线图案的膜相同的材料形成。此外，在图2A、B中，横轴示出形成在掩模上的线与间隙图案的位置，纵轴示出透射光的实效透射率。0088根据图2可以确认以下情况随着线与间隙图案的间距宽度变小，光掩模的。

40、透光部中的透射光的实效透射率显著减小。0089图3、图4示出在使用利用半透光膜形成线图案的光掩模时的透射光的实效透射率。图3示出了设置在半透光膜上的偏置部为05M的情况实施例1，图4示出了设置在半透光膜上的偏置部为08M的情况实施例2。此外，在图3中，图3AC分别示出了线与间隙图案的间距宽度为60M的情况图3A、间距宽度为50M的情况图3B、间距宽度为44M的情况图3C，在图4中，图4AC分别示出了线与间隙图案的间距宽度为70M的情况图4A、间距宽度为60M的情况图4B、间距宽度为50M的情况图4C。0090根据图3、图4可知随着半透光部的半透光膜的透射率增加，透光部的实效透射率增加。0091。

41、接着，说明使用具有线与间隙图案的光掩模对抗蚀剂膜进行曝光而显影后的抗蚀剂图案的截面形状。0092图5、图6示出了使用利用透射率0的遮光膜形成线图案的光掩模二值掩模时的显影后的抗蚀剂图案的截面。此外，图5示出了设置在遮光膜上的偏置部为05M的情况比较例1，图6示出了设置在遮光膜上的偏置部为08M的情况比较例2。此外，图5AE、图6AD分别示出了线与间隙图案的间距宽度为80M的情况图说明书CN102033420ACN102033423A9/10页125A、图6A，间距宽度为70M的情况图5B、图6B，间距宽度为60M的情况图5C、图6C，间距宽度为50M的情况图5D、图6D，间距宽度为44M的情况。

42、图5E。0093此外，在图5、图6中，示出了将曝光光的强度即曝光量。以下相同。设为恒定100MJMJ为MJ/CM2。以下相同。时的显影后的抗蚀剂图案的截面形状。0094在图5中，可以确认在线与间隙图案的间距宽度比较大80M、70M的情况下，能够去除经由透光部照射了100MJ的曝光光的部分的抗蚀剂膜，但是确认了在线与间隙图案的间距宽度在60M以下时抗蚀剂膜残留。求出完全去除抗蚀剂膜所需的曝光光的强度，得出在线与间隙图案的间距宽度为60M时需要照射1067MJ的曝光光，在间距宽度为50M时需要照射1250MJ的曝光光，在间距宽度为44M时需要照射1482MJ的曝光光。0095在图6中，可以确认在线。

43、与间隙图案的间距宽度为80M的情况下，能够去除经由透光部照射了100MJ的曝光光的部分的抗蚀剂膜，但是确认了在线与间隙图案的间距宽度在70M以下时，抗蚀剂膜残留。求出完全去除抗蚀剂膜所需的曝光光的强度，得出在线与间隙图案的间距宽度为70M时需要照射1046MJ的曝光光，在间距宽度为60M时需要照射1174MJ的曝光光，在间距宽度为50M时需要照射1482MJ的曝光光。0096图7图12示出了使用利用半透光膜形成线图案的光掩模时的显影后的抗蚀剂图案的截面。此外，图7图9示出了设置在半透光膜上的偏置部为05M的情况实施例1，图10图12示出了设置在半透光膜上的偏置部为08M的情况实施例2。此外，图。

44、7、图11示出了线与间隙图案的间距宽度为60M的情况，图8、图12示出了间距宽度为50M的情况，图9示出了间距宽度为44M的情况，图10示出了间距宽度为70M的情况。0097此外，在图7图12中，示出了使形成线图案的半透光部的半透光膜的透射率变化时的显影后的抗蚀剂图案的截面。其中，在图7图12中，示出了照射去除抗蚀剂膜所需的曝光光时的截面。此外，在表1、表2中示出了针对各个间距宽度，曝光光的强度去除抗蚀剂膜所需的曝光光的强度相对于半透光部的半透光膜的透射率的关系。表1示出了偏置部为05M的情况实施例1，表2示出了偏置部为08M的情况实施例2。0098【表1】0099间距宽度60M间距宽度50M。

45、间距宽度44M01067MJ1250MJ1482MJ3917MJ1025MJ5874MJ969MJ1087MJ8829MJ907MJ1007MJ10805MJ874MJ962MJ说明书CN102033420ACN102033423A10/10页1315755MJ809MJ875MJ20714MJ757MJ808MJ0100【表2】0101间距宽度70M间距宽度60M间距宽度50M01046MJ1174MJ1482MJ3905MJ982MJ5867MJ832MJ1094MJ8818MJ876MJ1010MJ10795MJ847MJ964MJ15748MJ787MJ878MJ20709MJ740M。

46、J810MJ0102根据图7图12、表1、表2可以确认以下情况随着使形成线图案的半透光部的半透光膜的透射率增加，能够减小去除曝光部的抗蚀剂膜并得到必要线宽所需的曝光光的强度。此外，可以确认以下情况随着线与间隙图案的间距宽度变小，形成抗蚀剂图案所需的曝光光的强度增加，但是与利用遮光膜形成线图案的情况相比，能够大幅降低光刻工艺中的曝光光的强度。说明书CN102033420ACN102033423A1/12页14图1说明书附图CN102033420ACN102033423A2/12页15图2说明书附图CN102033420ACN102033423A3/12页16图3说明书附图CN102033420A。

47、CN102033423A4/12页17图4说明书附图CN102033420ACN102033423A5/12页18图5说明书附图CN102033420ACN102033423A6/12页19图6说明书附图CN102033420ACN102033423A7/12页20图7说明书附图CN102033420ACN102033423A8/12页21图8说明书附图CN102033420ACN102033423A9/12页22图9说明书附图CN102033420ACN102033423A10/12页23图10说明书附图CN102033420ACN102033423A11/12页24图11说明书附图CN102033420ACN102033423A12/12页25图12说明书附图CN102033420A。