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一种脆性材料的微振动辅助切割装置及方法,其方法部分包括:一.准备步骤、二.初始切割步骤、三.沿缝振动步骤,以及四.完成步骤;借此达到以初始切割部对工件固定部上的工件切割具有第一深度的初始切沟;且以振动接触部沿此初始切沟移动,同时产生垂直初始切沟的预定频率的微量振动,使该初始切沟的第一深度加深为一第二深度,进而断裂,如此达到兼具可用于较硬及较厚的待切割工件、可采用较小型的碳化钨或钻石刀轮,以及结构简。