照相机模块和钛铜箔.pdf

照相机模块(1)具备：镜头(3)；弹簧构件(9a、9b)，朝向光轴方向的初始位置对镜头(3)进行弹性施力；电磁驱动单元(11)，产生抵抗弹簧构件(9a、9b)的施加力的电磁力而能够朝向光轴方向驱动镜头(3)；以及控制单元(12)，控制对电磁驱动单元(11)供给的驱动电流，弹簧构件(9a、9b)含有2.9质量%~3.5质量%的Ti，剩余部分由铜和不可避免的杂质构成，具有350以上的维氏硬度。

1.   一种照相机模块，具备：
镜头；
弹簧构件，朝向光轴方向的初始位置对所述镜头进行弹性施力；
电磁驱动单元，产生抵抗所述弹簧构件的施加力的电磁力而能够朝向光轴方向驱动所述镜头；以及
控制单元，控制对所述电磁驱动单元供给的驱动电流，
所述照相机模块的特征在于，所述弹簧构件含有2.9质量%~3.5质量%的Ti，剩余部分由铜和不可避免的杂质构成，具有350以上的维氏硬度，厚度为0.01mm以上、不足0.1mm。

2.   一种照相机模块，具备：
镜头；
弹簧构件，朝向光轴方向的初始位置对所述镜头进行弹性施力；
电磁驱动单元，产生抵抗所述弹簧构件的施加力的电磁力而能够朝向光轴方向驱动所述镜头；以及
控制单元，控制对所述电磁驱动单元供给的驱动电流，
所述照相机模块的特征在于，所述弹簧构件含有2.9质量%~3.5质量%的Ti，剩余部分由铜和不可避免的杂质构成，从表面起的0.1μm的深度的位置处的Ti浓度为从表面起的1μm的深度处的Ti浓度的0.6倍以上，厚度为0.01mm以上、不足0.1mm。

3.   一种照相机模块，具备：
镜头；
弹簧构件，朝向光轴方向的初始位置对所述镜头进行弹性施力；
电磁驱动单元，产生抵抗所述弹簧构件的施加力的电磁力而能够朝向光轴方向驱动所述镜头；以及
控制单元，控制对所述电磁驱动单元供给的驱动电流，
所述照相机模块的特征在于，所述弹簧构件含有2.9质量%~3.5质量%的Ti，剩余部分由铜和不可避免的杂质的构成，具有350以上的维氏硬度，从表面起的0.1μm的深度的位置处的Ti浓度为从表面起的1μm的深度处的Ti浓度的0.6倍以上，厚度为0.01mm以上、不足0.1mm。

4.   一种照相机模块，通过利用抵抗弹簧构件的施加力的电磁力使镜头移动，从而进行自动聚焦动作，所述照相机模块的特征在于，
所述弹簧构件含有2.9质量%~3.5质量%的Ti，剩余部分由铜和不可避免的杂质构成，具有350以上的维氏硬度，厚度为0.01mm以上、不足0.1mm。

5.   一种照相机模块，通过利用抵抗弹簧构件的施加力的电磁力使镜头移动，从而进行自动聚焦动作，所述照相机模块的特征在于，
所述弹簧构件含有2.9质量%~3.5质量%的Ti，剩余部分由铜和不可避免的杂质构成，从表面起的0.1μm的深度的位置处的Ti浓度为从表面起的1μm的深度处的Ti浓度的0.6倍以上，厚度为0.01mm以上、不足0.1mm。

6.   一种照相机模块，通过利用抵抗弹簧构件的施加力的电磁力使镜头移动，从而进行自动聚焦动作，所述照相机模块的特征在于，
所述弹簧构件含有2.9质量%~3.5质量%的Ti，剩余部分由铜和不可避免的杂质构成，具有350以上的维氏硬度，从表面起的0.1μm的深度的位置处的Ti浓度为从表面起的1μm的深度处的Ti浓度的0.6倍以上，厚度为0.01mm以上、不足0.1mm。

7.   根据权利要求1到6中的任一项所述的照相机模块，
所述弹簧构件进一步含有0.17质量%~0.23质量%的Fe。

8.   一种钛铜箔，其特征在于，
含有2.9质量%~3.5质量%的Ti，剩余部分由铜和不可避免的杂质构成，具有350以上的维氏硬度，厚度为0.01mm以上、不足0.1mm。

9.   一种钛铜箔，其特征在于，
含有2.9质量%~3.5质量%的Ti，剩余部分由铜和不可避免的杂质构成，从表面起的0.1μm的深度的位置处的Ti浓度为从表面起的1μm的深度的位置处的Ti浓度的0.6倍以上，厚度为0.01mm以上、不足0.1mm。

10.   一种钛铜箔，其特征在于，
含有2.9质量%~3.5质量%的Ti，剩余部分由铜和不可避免的杂质构成，具有350以上的维氏硬度，从表面起的0.1μm的深度的位置处的Ti浓度为从表面起的1μm的深度的位置处的Ti浓度的0.6倍以上，厚度为0.01mm以上、不足0.1mm。

11.   根据权利要求8到10中的任一项所述的钛铜箔，
进一步含有0.17质量%~0.23质量%的Fe。

照相机模块和钛铜箔
技术领域
本发明涉及照相机模块和钛铜箔。
背景技术
以往以来，作为搭载于移动电话等小型电子设备的照相机模块的镜头驱动方式，已知有利用抵抗弹簧构件的施加力的电磁力使镜头移动、由此进行自动聚焦动作的技术(例如参照专利文献1、2)。
在采用了这种镜头驱动方式的照相机模块具备：压缩线圈弹簧、板弹簧等弹簧构件，朝向光轴方向的初始位置对镜头进行弹性施力；电磁驱动单元，包括产生抵抗弹簧构件的施加力的电磁力而能够朝向光轴方向驱动镜头的线圈、磁体；以及控制单元，通过控制对电磁驱动单元供给的驱动电流来使镜头朝向规定位置移动。如果简单地说明其动作原理，则在没有向电磁驱动单元的线圈通电时，虽然弹簧构件将镜头保持在初始位置，但是当从电源向电磁驱动单元的线圈供给驱动电流时，产生抵抗弹簧构件的施加力的电磁力而线圈与镜头一体地朝向光轴方向移动。因此，利用控制单元来控制驱动电流的大小，由此变得可进行使镜头朝向光轴上的期望的位置移动这样的自动聚焦动作。
现有技术文献。
专利文献。
专利文献1：特开2004-280031号公报
专利文献2：特开2009-115895号公报。
发明内容
发明要解决的课题
再说，在采用了前述的镜头驱动方式的照相机模块中，如果在使保持镜头的弹簧构件进行大的弹性形变时在光轴方向上施加强的冲击，则该弹簧构件超过弹性的比例界限地形变而变成复原不了原状的危险性高。即，在用户失误而使搭载有这种照相机模块的移动电话等小型电子设备掉落时，如果该照相机模块的镜头被移动至从初始位置离开较大的位置，则存在由于掉落所致的冲击而使弹簧构件超过自身的比例界限而过度地形变的风险。超过比例界限地形变了的弹簧构件产生所谓的弹力减弱，因此存在成为以后难以正常地进行自动聚焦动作的情况。
本发明是鉴于这样的现有技术的实际情况而完成的发明，其目的在于提供一种能够抑制弹簧构件的弹力减弱、即使施加掉落等的冲击也不容易产生动作不良的照相机模块和钛铜箔。
用于解决课题的方案
为了解决上述课题，本发明人们研究了钛铜箔向照相机模块的弹簧构件的应用。钛铜作为C1990(JIS注册合金、3.2质量%Ti-剩余部分Cu)、NKT322(JX日矿日石金属(株)的开发合金、3.2质量%Ti-0.2质量%Fe-剩余部分Cu)等而被实用化，由于具有高耐力且应力缓和特性也优秀，因此已知为铜合金中最难以产生弹力减弱的材料之一。本发明人们发现，通过将钛铜箔的维氏硬度(Vickers hardness)或钛铜箔的极表面的组成控制在适当的范围，能够改善钛铜箔的弹力减弱特性，能够适合作为照相机模块的弹簧构件而使用。
以以上的见解为基础完成的本发明在一个侧面中，是一种照相机模块，具备：镜头；弹簧构件，朝向光轴方向的初始位置对镜头进行弹性施力；电磁驱动单元，产生抵抗弹簧构件的施加力的电磁力而能够朝向光轴方向驱动镜头；以及控制单元，控制对电磁驱动单元供给的驱动电流，弹簧构件含有2.9质量%~3.5质量%的Ti，剩余部分由铜和不可避免的杂质构成，具有350以上的维氏硬度，厚度为0.01mm以上、不足0.1mm。
本发明在另一个侧面中，是一种照相机模块，具备：镜头；弹簧构件，朝向光轴方向的初始位置对镜头进行弹性施力；电磁驱动单元，产生抵抗弹簧构件的施加力的电磁力而能够朝向光轴方向驱动镜头；以及控制单元，控制对电磁驱动单元供给的驱动电流，弹簧构件含有2.9质量%~3.5质量%的Ti，剩余部分由铜和不可避免的杂质构成，从表面起的0.1μm的深度的位置处的Ti浓度为从表面起的1μm的深度处的Ti浓度的0.6倍以上，厚度为0.01mm以上、不足0.1mm。
本发明进一步在另一个侧面中，是一种照相机模块，具备：镜头；弹簧构件，朝向光轴方向的初始位置对镜头进行弹性施力；电磁驱动单元，产生抵抗弹簧构件的施加力的电磁力而能够朝向光轴方向驱动镜头；以及控制单元，控制对电磁驱动单元供给的驱动电流，弹簧构件含有2.9质量%~3.5质量%的Ti，剩余部分由铜和不可避免的杂质的构成，具有350以上的维氏硬度，从表面起的0.1μm的深度的位置处的Ti浓度为从表面起的1μm的深度处的Ti浓度的0.6倍以上，厚度为0.01mm以上、不足0.1mm。
本发明进一步在另一个侧面中，是一种照相机模块，利用抵抗弹簧构件的施加力的电磁力使镜头移动，由此进行自动聚焦动作，弹簧构件含有2.9质量%~3.5质量%的Ti，剩余部分由铜和不可避免的杂质构成，具有350以上的维氏硬度，厚度为0.01mm以上、不足0.1mm。
本发明进一步在另一个侧面中，是一种照相机模块，利用抵抗弹簧构件的施加力的电磁力使镜头移动，由此进行自动聚焦动作，弹簧构件含有2.9质量%~3.5质量%的Ti，剩余部分由铜和不可避免的杂质构成，从表面起的0.1μm的深度的位置处的Ti浓度为从表面起的1μm的深度处的Ti浓度的0.6倍以上，厚度为0.01mm以上、不足0.1mm。
本发明进一步在另一个侧面中，是一种照相机模块，利用抵抗弹簧构件的施加力的电磁力使镜头移动，由此进行自动聚焦动作，弹簧构件含有2.9质量%~3.5质量%的Ti，剩余部分由铜和不可避免的杂质构成，具有350以上的维氏硬度，从表面起的0.1μm的深度的位置处的Ti浓度为从表面起的1μm的深度处的Ti浓度的0.6倍以上，厚度为0.01mm以上、不足0.1mm。
本发明的照相机模块在其它的一个实施方式中，弹簧构件进一步含有0.17质量%~0.23质量%的Fe。
本发明进一步在另一个侧面中，是一种钛铜箔，含有2.9质量%~3.5质量%的Ti，剩余部分由铜和不可避免的杂质构成，具有350以上的维氏硬度，厚度为0.01mm以上、不足0.1mm。
本发明进一步在另一个侧面中，是一种钛铜箔，含有2.9质量%~3.5质量%的Ti，剩余部分由铜和不可避免的杂质构成，从表面起的0.1μm的深度的位置处的Ti浓度为从表面起的1μm的深度的位置处的Ti浓度的0.6倍以上，厚度为0.01mm以上、不足0.1mm。
本发明进一步在另一个侧面中，是一种钛铜箔，含有2.9质量%~3.5质量%的Ti，剩余部分由铜和不可避免的杂质构成，具有350以上的维氏硬度，从表面起的0.1μm的深度的位置处的Ti浓度为从表面起的1μm的深度的位置处的Ti浓度的0.6倍以上，厚度为0.01mm以上、不足0.1mm。
本发明的钛铜箔在一个实施方式中，进一步含有0.17质量%~0.23质量%的Fe。
发明的效果
根据本发明，能够提供一种能够抑制弹簧构件的弹力减弱且即使施加了掉落等的冲击也难以产生动作不良的照相机模块和钛铜箔。
附图说明
图1是示出本发明的实施方式的照相机模块的一个例子的剖面图。
图2是图1的照相机模块的分解立体图。
图3是表示图1的照相机模块的动作的一个例子的剖面图。
图4是表示本发明的实施方式的钛铜箔(实线)和以往的钛铜箔(虚线)的深度方向上的Ti浓度的变化的曲线图。
图5是示出适合于本发明的实施方式的照相机模块的弹簧构件的合计加工度(r)与维氏硬度的关系的曲线图。
图6是表示将本发明的实施方式的弹簧构件的箔厚设为0.028mm的情况下的维氏硬度与P值的关系的曲线图。
图7是表示将本发明的实施方式的弹簧构件的箔厚设为0.052mm的情况下的维氏硬度与P值的关系的曲线图。
具体实施方式
-照相机模块-
一边参照添附的附图一边说明本发明的实施方式。应该注意以下的附图是示意性的附图，厚度与平均尺寸的关系、各层的厚度的比率等与实际的不同。另外，当然还包括附图相互之间相互的尺寸的关系、比率不同的部分。另外，在本说明书中，虽然根据说明的方便而适当地使用“上”、“下”的用语，但是这是指图1或图3中的上下关系，“上”表示从照相机朝向被摄体的位置关系。
本发明的实施方式的照相机模块1如图1所例示的那样具备：镜头3；弹簧构件9a、9b，朝向光轴方向的初始位置对镜头3进行弹性施力；电磁驱动单元11(磁轭2、磁体4、线圈6)，产生抵抗弹簧构件9a、9b的施加力的电磁力，能够朝向光轴方向驱动镜头3；以及控制单元12，对供给至电磁驱动单元11的驱动电流进行控制。
镜头3被收容在载具(carrier)5内。载具5如图2所示那样是具有底面部的圆筒形状构造的由合成树脂等得到的成形品，在中央位置处保持镜头3。在载具5的外周面上粘结有预先成形的线圈6。在线圈6的更外侧配置有磁体4。磁体4被沿直径方向磁化。
如图1所示，磁体4被收容在磁轭2内。磁轭2是软铁等磁性体，形成上表面部封闭的コ字形的圆筒形状，具有圆筒状的内壁2a和外壁2b。磁体4和线圈6被配置在设置于内壁2a与外壁2b之间的空间内。该磁轭2被搭载于由树脂成形品等构成的基座7上。线圈6、磁体4以及磁轭2作为照相机模块1的电磁驱动单元11而发挥功能。即，当对线圈6供给驱动电流时，通过磁体4和磁轭2而产生抵抗弹簧构件9a、9b的施加力的规定的电磁力。
在基座7上配置有以覆盖磁轭2的方式配置的由树脂成形品等构成的框架8。在基座7的底面安装有盖10b。在框架8的上部安装有盖10a。
弹簧构件9a、9b是相同的构件，以相同位置关系将载具5从两端夹持而进行支承，并且作为对线圈6的供电路径而发挥功能。弹簧构件9a、9b的外周部的一个部位向外侧突出，作为供电端子而发挥功能。线圈6的一个引线通过设置于载具5的内周面的槽内而向上方延伸，被焊接于弹簧构件9a。线圈6的另一个引线通过设置于载具5的底面的槽内向下方延伸，被焊接于弹簧构件9b。弹簧构件9a固着于载具5的底部和基座7，弹簧构件9a固着于载具5的最上部和框架8上。
弹簧构件9a、9b均将最外周部分别固定于框架8和基座7，内周部每120°的凹槽部嵌合于载具5，利用热铆接等而被固定。弹簧构件9b、基座7和弹簧构件9a以及框架8之间利用粘结以及热铆接等而被固定。
如上述那样，弹簧构件9a、9b是相同的形状，如图1和图2所示那样以相同的位置关系安装，因此能够抑制载具5向上方移动时的轴偏移。线圈6在卷线后进行加压成形而制作，因此成品外径的精度提高，能够容易地配置于规定的窄的间隙。载具5在最下位置处抵接基座7，在最上位置处抵接磁轭2，因此成为在上下方向上具备抵接机构，防止载具5脱落。
作为弹簧构件9a、9b的素材，使用被改进的钛铜箔制的板簧。该钛铜箔的特征在于，含有2.9质量%~3.5质量%的Ti以及根据需要含有0.17质量%~0.23质量%的Fe，剩余部分由铜和不可避免的杂质构成，具有350以上的维氏硬度；或者在钛铜箔表面，从表面起0.1μm的深度的位置处的Ti浓度为从表面起1μm的深度的位置处的Ti浓度的0.6倍以上。由此，由于弹簧构件9a、9b的所谓的弹力减弱特性被改善，因此成为即使对弹簧构件9a、9b施加掉落等冲击也难以产生动作不良。
控制单元12与弹簧构件9a、9b、连接于弹簧构件9a、9b的线圈6以及省略了图示的电力供给单元电连接，控制对线圈6的通电以及对线圈6供给的驱动电流的大小。
图3示出了对线圈6施加电流而产生电磁力以使具备镜头3的载具5向上方移动时的剖面图。当从电源向弹簧构件9a、9b的供电端子供给规定的驱动电流时，电流流过连接于供电端子的线圈6而朝向图3的纸面上方的电磁力作用于载具5。另一方面，所连结的两个弹簧构件9a、9b的回复力(朝向初始位置的施加力)向下方作用于载具5。载具5向上方的移动距离成为电磁力和回复力平衡的位置。载具5的移动量由施加于线圈6的驱动电流的大小决定。
此时，由于弹簧构件9a支承载具5的上表面，弹簧构件9b支承载具5的下表面，因此成为回复力在载具5的上表面和下表面均等地向下方作用，能够将镜头3的轴偏移抑制得小。
因而，在载具5向上方移动时不需要由肋等进行的引导。由于没有由肋所致的滑动摩擦，因此成为载具5的移动量纯粹地由电磁力与回复力的平衡所支配，实现平滑且精度好的镜头3的移动。由此，达成了镜头晃动少的自动聚焦。
此外，虽然作为圆筒形状对磁体4进行了说明，但并不是拘泥于此，还可以进行3分割乃至4分割而沿径向方向磁化，将其粘贴于磁轭2的外壁2b的内表面来进行固着。
此外，本发明不限定于在图1~图3示出的照相机模块1的结构。例如，当然能够将本发明的实施方式的钛铜箔和弹簧构件应用为能够通过利用抵抗弹簧构件的施加力的电磁力使镜头移动来进行自动聚焦动作的一般的照相机模块的弹簧构件。像这样，本发明当然包含在此未记载的各种实施方式，在不脱离其宗旨的范围内进行各种形变并实施。
-钛铜箔-
接着，详细记述本发明的钛铜箔。
(合金成分)
Ti浓度设为2.9质量%~3.5质量%。在钛铜中，通过固溶处理使Ti固溶到Cu基质中，通过时效处理使微细的析出物分散于合金中，由此提高强度和导电率。当Ti浓度变为不足2.9质量%时，成为析出物的析出不充分而不能得到期望的强度。当Ti浓度超过3.5质量%时，弯曲性劣化。另外，为了进一步提高强度，能够含有0.17质量%~0.23质量%的Fe。
在作为钛铜的代表性的合金的C1990的情况下，其化学组成在JIS H 3130(2006年)中被标准化为Ti：2.9质量%~3.5质量%、Cu+Ti：99.5质量%以上，容许含有不足0.5质量%的杂质。作为钛铜的杂质，例如可列举添加于熔融液的脱氧剂的残留(Al、Si、B、P等)、从溶解炉的炉壁、熔融液被覆剂的混入(Al、Si、C、B、Na、Zr、Cr等)、作为主原料的电解铜以比较高的浓度含有的杂质(Ag等)、从废料的混入(S等)、从包围气气体的混入(O、N等)等。为了更好地发挥本发明的效果，优选为杂质的总量为0.1质量%，更优选为0.05质量%以下，进一步优选为0.01质量%以下。
(硬度)
如果硬度上升则比例界限变高，变得难以产生弹力减弱。当维氏硬度变为350以上时，在作为照相机模块的弹簧材料使用的情况下，由掉落冲击所致的动作不良显著地被改善。虽然维氏硬度的上限值从耐掉落冲击特性的点来看不被限制，但是钛铜箔的维氏硬度超过500的情况少。
(表面组成)
Ti与Cu相比显著地更易氧化。因此，在箔的制造处理中，在固溶处理等热处理时，在材料表面生成含有高浓度的Ti的氧化皮，在氧化皮正下方产生Ti浓度比基体低的部分(以下称为Ti耗尽层)。这是因为在高Ti的氧化皮成长的过程中，基体的Ti扩散(移动)至氧化皮侧。之后，当通过酸洗、机械研磨去除氧化皮时，Ti耗尽层暴露于箔表面。
Ti耗尽层的强度(比例界限)与Ti浓度没有变化的部位相比低。由于Ti耗尽层非常薄，因此对其材料特性的影响很难通过拉伸试验、硬度试验检测出，但是在附加了弯曲应力的情况下有时显现化为弹力减弱。在弯曲形变中，在材料表面发生最大应力，因此由弯曲所致的弹力减弱特性容易受到材料表层部的强度的影响。另外，材料越薄，Ti耗尽层波及弹力减弱特性的影响变得越大。
当将从表面起0.1μm的深度的位置处的Ti浓度调整为从表面起1μm的深度的位置处的Ti浓度的0.6倍以上、更优选为0.8倍以上时，变得难以产生弹力减弱，由掉落冲击所致的动作不良显著地被改善。
图4是使用GDS(辉光放电发光分光分析法)，利用Ar溅射对本发明的实施方式的钛铜箔(本发明产品)和以往的钛铜箔(以往的产品)的表面进行切削的同时进行成分分析、由此求出深度方向的Ti浓度的变化的图。样本A(图4中的实线)相当于本发明产品，样本B(图4中的虚线)相当于以往的产品。从表面起1μm的深度是定义为Ti浓度没有产生变化的位置的深度，以该位置处的Ti浓度为基准，评价从表面起0.1μm的位置处的Ti浓度。在从表面起1μm的位置处Ti浓度也减少(未收敛)的情况下，只要使更深的位置的Ti浓度为基准即可。
(箔的厚度)
当钛铜箔的厚度变为0.1mm以上时，弹簧构件9a、9b的施加力变得过大，镜头驱动所需要的电磁力也增大。其结果，产生照相机模块大型化、镜头的驱动精度劣化等问题。
另外，通过表面组成的控制，当箔厚变为不足0.1mm时，发现将钛铜箔用作板簧时的弹力减弱被改善的效果，变为箔越薄越显著。同样地，通过使用于弹簧构件9a、9b的钛铜箔的表面组成控制，当箔厚变为不足0.1mm时，也发现自动聚焦模块受到掉落冲击时的弹簧构件的弹力减弱被改善并抑制自动聚焦模块的动作不良的效果，变为箔越薄越显著。
于是，将本发明的钛铜箔的厚度设为不足0.1mm、优选为0.08mm以下、更优选为0.05mm以下。
另一方面，当钛铜箔的厚度不足0.01mm时，作为弹簧材料的弹力不足。特别是在作为自动聚焦模块的弹簧构件9a、9b使用的情况下，为了得到期望的施加力，成为需要对弹簧构件给予更大的形变。其结果，在受到掉落冲击时，在弹簧构件变得容易发生弹力减弱，这导致自动聚焦模块的动作不良。于是，将本发明的钛铜箔的厚度设为0.01mm以上、优选设为0.02mm以上。
(制造方法)
在钛铜箔的一般的制造处理中，首先在溶解炉中溶解电解铜、Ti等原料、得到期望组成的熔融液。而且，将该熔融液铸造成铸锭。为了防止钛的氧化损耗，优选的是在真空中或惰性气体包围气中进行溶解和铸造。之后，以下面的顺序加工成具有期望的厚度和特性的箔。
(1)热轧(温度800℃~1000℃、厚度5mm~20mm左右为止)
(2)表面切削(氧化皮去除)
(3)冷轧
(4)固溶处理(在750℃~900℃下进行5秒~300秒水冷)
(5)研磨
(6)冷轧
(7)时效处理(在350℃~550℃下进行2~20小时)
(8)研磨
(9)冷轧
(10)矫直退火(在300℃~600℃下进行5秒~10小时)
(11)研磨。
热轧(1)能够在一般的钛铜的条件下进行。在固溶处理(4)中，在铸造时、热轧时，使结晶或析出的粗大的Cu-Ti化合物颗粒溶解于Cu基体中。在时效处理(5)中，使Cu₃Ti或Cu₄Ti的微细颗粒析出，由于该微细析出物而合金的强度上升。
冷轧(6)和(9)是为了高强度化而进行的。为了将维氏硬度调整为350以上，优选的是使冷轧(6)和冷轧(9)的合计加工度(r)为90%以上。但是，如果r超过99.5%，则材料的加工性下降，在轧制时有时材料会裂开。在此，利用下式定义r。

(t₀：研磨(5)之后的厚度、t：冷轧(9)之后的厚度)。
矫直退火(10)是在进行冷轧(9)的情况下为了使由于该冷轧而下降的弹簧界限值等恢复而任意进行的。
研磨(5)、(8)、(11)为了去除在热处理(4)、(7)、(10)中产生的表面的氧化皮而进行。该研磨还可以利用化学研磨来进行，还可以利用机械研磨进行。另外，还可以并用化学研磨和机械研磨。化学研磨液使用对Cu具有强腐蚀力的硫酸-过氧化氢溶液、氯化铁溶液、氯化铜溶液、硝酸溶液等。机械研磨的代表性方法是使用填入有研磨粒的旋转式抛光布的抛光布研磨。
在热处理(4)、(7)、(10)中，材料的表面氧化在固溶处理(4)中是最显著的。这由处理温度最高所致。因而，为了提高从表面起0.1μm的深度的位置处的Ti浓度，抑制固溶处理(4)中的表面氧化是重要的，为此例如减低加热炉中的氧浓度是有效的。另外，通过增加研磨(5)中的表面去除量也能够提高从表面起0.1μm的深度的位置处的Ti浓度。
(用途)
本发明的钛铜还能够产生难以产生弹力减弱这样的特征、适合地作为照相机模块以外的各种部件的弹簧构件使用。例如可列举连接器、端子、插座、继电器等电子设备部件。
[实施例]
虽然以下示出本发明的实施例，但是这些实施例是为了更好地理解本发明及其优点而提供的实施例，并不是意图限定发明的实施例。
作为实验材料(实施例)，制造具有C1990和NKT322的组成的合金(以下将本实施例的这些合金记载为C1990、NKT322)，调查硬度、表面组成、箔厚波及照相机模块的耐掉落冲击性的影响。在此，C1990是登记于JISH3130(2006年)的合金，含有2.9质量%~3.5质量%(代表值3.2质量%)的Ti，剩余部分由铜和不可避免的杂质构成。另外，NKT322是JX日矿日石金属(株式会社)开发出的合金，具有2.9质量%~3.4质量%(代表值3.2质量%)的Ti和0.17质量%~0.23质量%的Fe(代表值0.2质量%)，剩余部分由铜和不可避免的杂质构成。
在真空溶解炉中溶解电解铜并添加合金元素之后，通过半连续铸造制造出厚度150mm、宽度500mm的长方体形状的铸锭。将该铸锭在950℃下加热三小时作为热轧之后，轧制直到10mm。接着，为了去除热轧板表面的氧化皮进行了表面的表面切削。表面切削后的材料的厚度为8mm。之后按下面的工序顺序实施冷轧和热处理，制造出厚度为0.052mm和0.028mm的箔。
(1)冷轧1：与设为目标的箔的厚度和维氏硬度相应地冷轧直到规定的厚度为止。
(2)固溶处理：在800℃下加热10秒~300秒。为了使退火后的再结晶粒的平均直径变为5~20μm的范围而适当地调整加热时间。进一步地，将加热包围气变化为大气、Ar、CO，对材料表面的氧化皮的厚度、以及氧化皮正下方的Ti浓度和Ti耗尽层的厚度进行调整。
(3)研磨1：在利用硫酸-过氧化氢溶液进行化学研磨之后，通过旋转式抛光布进行机械研磨，去除了表面的氧化皮及其正下方的基底。此时，根据硫酸-过氧化氢溶液的浓度和各研磨的实施时间，使表面的研磨深度在0.3~1.0μm的范围中进行各种变化。
(4)冷轧2：与设为目标的箔的厚度和维氏硬度相应地冷轧直到规定的厚度为止。
(5)时效处理：在Ar包围气中在450℃下加热5个小时。
(6)研磨2：在利用硫酸-过氧化氢溶液进行了化学研磨之后，利用旋转式抛光布进行机械研磨，去除了表面的氧化皮。表面的研磨深度为0.02μm左右。
(7)冷轧3：进行轧制直到设为目标的箔的厚度为止。
对于冷轧(7)完成的箔样本的表面进行所述GDS分析，测定从表面起0.1μm的深度的位置处的Ti浓度([%Ti]_0.1)和从表面起1μm的深度的位置处的Ti浓度([%Ti]₁)，求出利用下式定义的表面的钛浓度比(R_Ti)。

图4的样本A是在如下的条件下制造出、成为R_Ti=0.90的C1990：厚度：0.028mm；合计加工度(r)：98%；固溶处理：在CO包围气中加热30秒；研磨1：0.5μm。另外，所述图4的样本B是在如下的条件下制造出、成为R_Ti=0.43的C1990：厚度：0.028μm；合计加工度(r)：98%；固溶处理：在大气中加热30秒；研磨1：0.5μm。
另外，遵照JIS Z 2244，测定微维氏硬度。在图5示出所述合计加工度(r)与维氏硬度的关系。当R成为90%以上时，可稳定地得到350以上的维氏硬度。
接着，使用冷轧完成的箔样本制作弹簧构件9a、9b，组装图1~3所示的构造的照相机模块1。关于相同箔厚的样本，将照相机模块的构造设为相同构造。关于制作出的照相机模块，求出载具5开始移动时的电流值(I_Bmin)和载具5的移动量变为最大时的电流值(I_Bmax)。接着，使该照相机模块从2m的高度掉落至地面，对掉落后的照相机模块测定载具5开始移动时的电流值(I_Amin)。根据这些测定值，通过下式求出P值。

P值是把伴随掉落的移动开始时电流的变化(绝对值)除以最大移动时电流所得的值，可以说P值越小掉落冲击下的动作稳定性越优秀。
在图6和图7分别示出箔厚为0.028mm和0.052mm时的维氏硬度与P值的关系。知道的是当维氏硬度变为350以上时，并且当R_Ti值变为0.6以上时，P值下降、即掉落冲击所致的动作不良被改善。