宽条阳极的管板式放电电极.pdf

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摘要
申请专利号:

CN03129603.3

申请日:

2003.06.27

公开号:

CN1477737A

公开日:

2004.02.25

当前法律状态:

终止

有效性:

无权

法律详情:

未缴年费专利权终止IPC(主分类):H01S 3/038申请日:20030627授权公告日:20050817终止日期:20130627|||专利申请权、专利权的转移(专利权的转移)变更项目:专利权人变更前权利人:中国科学院上海光学精密机械研究所 地址: 上海市800-211邮政信箱 邮编: 201800变更后权利人:中国科学院上海光学精密机械研究所 地址: 上海市800-211邮政信箱 邮编: 201800; 上海华中雷欧激光设备有限公司 地址: 上海市嘉定区招贤路200号 邮编: 201821登记生效日:2008.9.12|||授权|||实质审查的生效|||公开

IPC分类号:

H01S3/038

主分类号:

H01S3/038

申请人:

中国科学院上海光学精密机械研究所;

发明人:

归振兴; 沈华勤; 沈晖

地址:

201800上海市800-211邮政信箱

优先权:

专利代理机构:

上海新天专利代理有限公司

代理人:

张泽纯

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内容摘要

一种宽条阳极的管板式放电电极,是由宽条阳极块沿阴极管排列组成放电电极,在阳极块上方阴极的上游有一组针与阴极之间进行预放电,从而实现高气压下的大体积均匀放电。该电极结构能有效增长激光腔内的放电长度,提高放电的均匀性和稳定性,增加体放电功率密度。特别适用于切割、焊接用的选模CO2激光器,能充分利用激活体积,提高光电转换效率。

权利要求书

1: 一种宽条阳极的管板式放电电极,由阳极(1)、水冷阴极管(2) 和预放电针组(3)所组成,所述的阳极(1)是由若干块金属的阳极块 (11)沿阴极管(2)方向排列而成,且平行于阴极管(2),阳极块(11) 之间的间隔为d,在阴极管(2)的上游,排列有对应于阳极块的预放电 针组(3),其特征在于所述阳极块(11)的长边平行于阴极管(2),而 短边沿气流方向,阳极块(11)通过水冷管(4)间接冷却。
2: 根据照权利要求1所述的宽条阳极的管板式放电电极,其特征在 于所述的预放电针组(3)的金属针(31)位于气流上游方向、顺阳极块 (11)长度方向、等间隔排列在阴极管(2)的底部,金属针的间距为 2~5mm。

说明书


宽条阳极的管板式放电电极

    【技术领域】

    本发明与横流放电型气体激光器有关,特别是一种适用于切割、焊接用的横流CO2激光器的宽条阳极的管板式放电电极。

    背景技术横流气体CO2激光器中直流气体放电电极结构,一般采用针板电极结构和管板电极结构,比较简单、实用。目前的管板电极结构,见附图1所述,阴极管2置于阳极块1的上方,气流的上游位置,在阴极管2的底部上游排列一排放电针3,每根针对应一块阳极块,阳极块沿气流方向为长条平板金属块,阳极块1沿阴极2方向列阵排列组成阳极,阳极块1之间间距为d。这种管板式电极结构存在以下缺点:

    1、在有限的腔长内,由于阳极块1间距d与阳极块宽度之比占的比例较大,实际有效放电长度利用率较低,限制了激光功率的输出。

    2、板电极放电均匀性取决于预电离分布,由于是单针尖端预放电,加上阳极块间隔,在阳极表面沿阴极方向上放电电流密度分布不均匀度是很大的。

    3、于电流密度分布不均,随着注入电功率增加,放电很容易过渡到弧光,限制了工作气压和体电功率密度的增加。

    4、于阳极块沿气流方向是长条的,造成沿气流方向放电截面较大,这对于选模激光器来说模体积利用率太低。

    【发明内容】

    本发明的目的是提供一种宽条阳极的管板式放电电极,以适用于我国生产的横流CO2激光器,提高腔内有效放电长度和单位体积地注入电功率,提高腔内介质增益,改善放电均匀性和稳定性。

    本发明的技术解决方案如下:

    一种宽条阳极的管板式放电电极,由阳极、水冷阴极管和预放电针组所组成,所述的阳极是由若干块金属的阳极块沿阴极管方向排列而成,且平行于阴极管,阳极块之间的间隔为d,在阴极管的上游,排列有对应于阳极块的预放电针组,其特征在于所述阳极块的长边平行于阴极管,而短边沿气流方向,阳极块通过水冷管间接冷却。

    所述的预放电针组的金属针位于气流上游方向、顺阳极块长度方向、等间隔排列在阴极管的底部,金属针的间距为2~5mm。

    本发明宽条阳极的管板式放电电极,经试用证明:特别适用于切割焊接用横流CO2激光器,可充分利用模体积与放电区匹配,可提高电光转换效率。

    附图说明:

    图1是已有技术的管板式放电电极结构示意图。

    图2是本发明的宽条阳极的管板式放电电极结构示意图。

    图3是本发明的宽条阳极的管板式放电电极的电路示意图。

    【具体实施方式】

    先请参阅图2和图3,本发明的宽条阳极的管板式放电电极是宽条阳极块列阵1、水冷阴极管2和一排预放电针组3所组成。

    所述的阳极是由若干块宽条阳极块沿阴极方向排列组成,阳极块间距为d。每个阳极块11是一长条平面金属块,其长边平行于阴极管2,短边与气流方向一致,在阳极块11背面由水冷管4间接冷却。

    所述的阳极块长边的长度原则上可很长。但是由于气体负阻特性,阳极块的稳定辉光放电需要串入一限流电阻,限流电阻功率为

    P=(σa×l×ω)2R

    式中σa为阳极块辉光放电最大电流密度(A/cm2),l和ω分别为阳极块的长度和宽度,R为限流电阻阻值(Ω)。因此阳极块长度需要适当选择。

    所述的阴极管2是一根通水冷却的金属管,其位于阳极的上方,气流的上游位置且平行于阳极。

    所述的预放电针组3是由一排金属针沿阴极管排列而成,其位置在阴极管的上游与阴极管底部相切,针尖离阴极管距离为dp。预放电针对应阳极块均布,针密有利于放电均匀性和稳定性,其间隔一般取8~10mm为好。

    本发明与已有技术的管板电极结构比较有下列优点:

    1、在相同的电极长度内,本发明的有效放电长度(增益长度)——粗指在阴极方向上阳极块表面的长度,获得较大提高,增加倍数为

                   n=(l1+d)l/(l+d)l1

    这里l是本发明阳极块长度,l1为原电极结构阳极块沿阴极方向长度,d为阳极块间隔。

    2、由于多针强预电离,在阳极板上的放电均匀性获得提高,随着放电电流增大,放电可充满整个阳极表面,而且稳定辉光放电下的输入电功率密度也成倍提高。

    3、阳极宽度可根据激光需要确定,作为基模振荡或低阶模振荡,阳极宽度稍大于光斑尺寸,这样放电区与模体积很好匹配,提高光电转换效率。

    本发明在HJ横流CO2激光器上进行了试验,具体参数如下:

    黄铜阳极块尺寸为40×20mm,间距为4mm,共计25块,阴极管直径为φ8mm水冷铜管,阴极底部到阳极高度为20mm,每块阳极块对应预放电针4根,针与针间距10mm。在激光器内充入80×133.3Pa的CO2+N2+He混合气体,气体比例为CO2∶N2∶He=1∶8∶11,流过放电区的气体流速为30~50M/S可调。流过每块阳极块的电流平均为300mA,最大放电电流密度可达38mA/cm2,是原管板电极的2倍。我们并进行了激光试验,效果很好。

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一种宽条阳极的管板式放电电极,是由宽条阳极块沿阴极管排列组成放电电极,在阳极块上方阴极的上游有一组针与阴极之间进行预放电,从而实现高气压下的大体积均匀放电。该电极结构能有效增长激光腔内的放电长度,提高放电的均匀性和稳定性,增加体放电功率密度。特别适用于切割、焊接用的选模CO2激光器,能充分利用激活体积,提高光电转换效率。 。

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