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1、10申请公布号CN102339702A43申请公布日20120201CN102339702ACN102339702A21申请号201110203103422申请日20110719H01J9/0220060171申请人安徽华东光电技术研究所地址241002安徽省芜湖市弋江区高新技术开发区华夏科技园72发明人吴华夏贺兆昌孟昭红谢智能陈爱民于晨晨74专利代理机构南京纵横知识产权代理有限公司32224代理人董建林严志平54发明名称多注行波管阴极可伐热屏的制备方法57摘要本发明涉及一种多注行波管阴极可伐热屏的制备方法，包括以下步骤（1）对可伐片材进行可伐毛坯加工；（2）在超声波中清洗可伐毛坯零件；（3）。
2、酸洗抛光；（4）对可伐毛坯零件进行氢气退火处理；（5）旋压处理；（6）对可伐毛坯零件进行车加工处理；（7）检测可伐毛坯零件尺寸；（8）加工槽；（9）真空高频退火处理。本发明制备的可伐热屏具有机械强度高、高温下抗氧化高的特点，且其尺度精度可以控制在微米级；此外，可伐热屏表面平整度较高，热传导损耗低，保证了电子枪尺寸精度，且表面净化度和光洁度比较好，可以满足多注行波管阴极的使用要求；本发明所述的加工可伐热屏的方法还具有稳定性和一致性高的优点。51INTCL19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书2页说明书8页附图2页CN102339715A1/2页21一种多注行波管阴极可伐热屏的。
3、制备方法，其特征在于，包括以下步骤（1）对可伐片材进行可伐毛坯加工首先将可伐片材切割成满足加工要求的条带，然后将条带冲切成圆片并去除圆片周边的毛刺；（2）在超声波中清洗可伐毛坯零件对步骤（1）加工后的可伐毛坯零件进行超声波清洗，然后进行脱水及干燥；（3）酸洗抛光将步骤（2）干燥后的可伐毛坯零件放入化学抛光溶液中进行酸洗抛光，然后进行清洗、脱水和干燥处理；（4）对可伐毛坯零件进行氢气退火处理将步骤（3）中处理好的可伐毛坯零件放入钽筒中，然后将钽筒放在高频炉的工件托架上，并放好钟罩，进行真空高频氢气退火处理；（5）旋压处理用顶针经衬套将步骤（4）经过氢气退火处理的可伐毛坯零件压紧到一次旋压夹具上，。
4、然后在可伐毛坯零件上抹上油，启动车床，调整可伐毛坯零件位置，使其圆心与一次旋压夹具端面圆心在一条直线上，然后用黄铜旋压棒紧靠在车床附加柱子上，使黄铜旋压棒圆端紧压在可伐毛坯零件右侧，随着车床转轴旋转，缓慢地将可伐毛坯零件旋压在一次旋压夹具上，旋压结束后，松开夹具，取下一次旋压形成的可伐毛坯零件，然后再重复上述步骤（2）、（3）、（4），且进行二次旋压，用顶针经衬套将完成一次旋压的可伐毛坯零件紧固到二次旋压夹具上，然后在可伐毛坯零件上抹上油，启动车床，然后用黄铜旋压棒紧靠在车床附加柱子上，使黄铜旋压棒圆端紧压在可伐毛坯零件右侧，随着车床转轴旋转，缓慢地将可伐毛坯零件旋压在二次旋压夹具上，旋压结束。
5、后，松开夹具，取下二次旋压形成的可伐毛坯，且二次旋压后重复步骤（4）；（6）对可伐毛坯零件进行车加工处理将可伐毛坯零件放到镗加工卡头夹具上，车削可伐毛坯零件的端面尺寸和外径尺寸，并磨钝锐边，车加工完成后去除毛刺，并重复步骤（2）、（3）；（7）检测可伐毛坯零件尺寸通过塞规检测零件尺寸，并放大检测零件是否有毛刺；（8）加工槽通过电火花加工8或12个槽，并检测槽的尺寸，然后重复步骤（2）和步骤（3）；（9）真空高频退火处理将经过步骤（8）处理过的零件进行两级真空高频退火处理后得到多注行波管阴极可伐热屏。2根据权利要求1所述的多注行波管阴极可伐热屏的制备方法，其特征在于，步骤（2）所述的超声波的震荡。
6、频率为175235KHZ，清洗时间为1520MIN，且清洗结束后的电阻大于2M，且通过无水乙醇进行35S的脱水处理，而干燥条件为干燥温度7585C、干燥时间为1045MIN。3根据权利要求1所述的多注行波管阴极可伐热屏的制备方法，其特征在于，步骤（3）所述的化学抛光溶液包括硫酸、硝酸和醋酸，且硫酸、硝酸和醋酸的体积比为5023001070015。4根据权利要求1所述的多注行波管阴极可伐热屏的制备方法，其特征在于，步骤（4）所述的氢气退火处理包括对系统抽真空的步骤，在真空度达到34104PA后，预热3MIN后，进行加热，使得氢气退火温度为85010，保温时间为255MIN，且真空度高于1102P。
7、A。5根据权利要求1所述的多注行波管阴极可伐热屏的制备方法，其特征在于，步骤（9）权利要求书CN102339702ACN102339715A2/2页3所述的两级真空高频退火处理步骤中，其中，一级真空高频退火温度为50050，保温时间为3010MIN，二级真空高频退火温度为95050，保温时间为255MIN。权利要求书CN102339702ACN102339715A1/8页4多注行波管阴极可伐热屏的制备方法技术领域0001本发明涉及一种多注阴极组件的制备方法，尤其是涉及一种多注行波管阴极可伐热屏的制备方法，属于阴极组件制备技术领域。背景技术0002多注行波管是在大功率行波管的基础上，将多电子注技。
8、术、宽带技术、周期永磁聚焦和高发射密度阴极等结合在一起而发展起来的一种新颖的大功率微波真空电子器件。其具有导流系数高、工作电压低、体积、重量小、频带宽、频率和增益高等优点。这些特点使它成为一种低工作电压、紧凑型的大功率微波放大器件，是现在大功率微波电子系统的发射机末级功率放大器最有竞争力的器件之一。0003现在的多注行波管几乎都是基于谐振腔基模工作的，研制中需要解决许多理论技术、工艺等方面问题，其中，最关键的技术问题之一是制备具有高发射电流密度的阴极组件，尤其是弹载多注行波管对阴极组件的要求更加苛刻，它不但要求阴极组件具有高发射电流密度，还要求阴极组件具有耐振动、耐冲击以及高可靠等特点。而对阴。
9、极热屏零件来讲，不但需要满足热子组件在低温状态下阴极能够正常工作，而且还需要零件具有优化结构，因此热屏零件需要具有高的热屏蔽效果、合理结构、高精度和高机械性能。发明内容0004为解决现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种具有高精度、高机械性能、结构合理且热屏蔽效果高的多注行波管阴极可伐热屏的制备方法。0005为达到上述目的，本发明是通过以下的技术方案来实现的一种多注行波管阴极可伐热屏的制备方法，对可伐毛坯零件先进行氢气退火处理，以消除应力，降低硬度、稳定尺寸，增加可塑性，采用高精度的模具保证冲压、旋压、车加工和电火花加工，然后将加工好的零件经过化学处理去除由机械加工带来的杂质和油渍，最后把清。
10、洗后的零件经过真空高频退火处理，进一步净化零件，同时去除零件表面吸附的气体，提高零件的光洁度，得到高精度、高热屏蔽效率的多注阴极可伐热屏，具体包括以下步骤（1）对可伐片材进行可伐毛坯加工首先将可伐片材切割成满足加工要求的条带，然后将条带冲切成圆片并去除圆片周边的毛刺；（2）在超声波中清洗可伐毛坯零件对步骤（1）加工后的可伐毛坯零件进行超声波清洗，然后进行脱水及干燥；（3）酸洗抛光将步骤（2）干燥后的可伐毛坯零件放入化学抛光溶液中进行酸洗抛光，然后进行清洗、脱水和干燥处理；（4）对可伐毛坯零件进行氢气退火处理将步骤（3）中处理好的可伐毛坯零件放入钽筒中，然后将钽筒放在高频炉的工件托架上，并放好钟。
11、罩，进行真空高频氢气退火处理；（5）旋压处理用顶针经衬套将步骤（4）经过氢气退火处理的可伐毛坯零件压紧到一次旋压夹具上，然后在可伐毛坯零件上抹上油，启动车床，调整可伐毛坯零件位置，使其圆说明书CN102339702ACN102339715A2/8页5心与一次旋压夹具端面圆心在一条直线上，然后用黄铜旋压棒紧靠在车床附加柱子上，使黄铜旋压棒圆端紧压在可伐毛坯零件右侧，随着车床转轴旋转，缓慢地将可伐毛坯零件旋压在一次旋压夹具上，旋压结束后，松开夹具，取下一次旋压形成的可伐毛坯零件，然后再重复上述步骤（2）、（3）、（4），且进行二次旋压，用顶针经衬套将完成一次旋压的可伐毛坯零件紧固到二次旋压夹具上，。
12、然后在可伐毛坯零件上抹上油，启动车床，然后用黄铜旋压棒紧靠在车床附加柱子上，使黄铜旋压棒圆端紧压在可伐毛坯零件右侧，随着车床转轴旋转，缓慢地将可伐毛坯零件旋压在二次旋压夹具夹具上，旋压结束后，松开夹具，取下二次旋压形成的可伐毛坯，且二次旋压后重复步骤（4）；（6）对可伐毛坯零件进行车加工处理将可伐毛坯零件放到镗加工卡头夹具上，车削可伐毛坯零件的端面尺寸和外径尺寸，并磨钝锐边，车加工完成后去除毛刺，并重复步骤（2）、（3）；（7）检测可伐毛坯零件尺寸通过塞规检测零件尺寸，并放大检测零件是否有毛刺；（8）加工槽通过电火花加工8或12个槽，并检测槽的尺寸，然后重复步骤（2）和步骤（3）；（9）真空高。
13、频退火处理将经过步骤（8）处理过的零件进行两级真空高频退火处理后得到多注行波管阴极可伐热屏。0006其中，步骤（2）所述的超声波的震荡频率为175235KHZ，清洗时间为1520MIN，且清洗结束后的电阻大于2M，且通过无水乙醇进行35S的脱水处理，而干燥条件为干燥温度7585C、干燥时间为1045MIN。0007步骤（3）所述的化学抛光溶液包括硫酸、硝酸和醋酸，且硫酸、硝酸和醋酸的体积比为5023001070015。0008步骤（4）所述的氢气退火处理包括对系统抽真空的步骤，在真空度达到34104PA后，预热3MIN后，进行加热，使得氢气退火温度为85010，保温时间为255MIN，且真空度。
14、高于1102PA。0009步骤（9）所述的两级真空高频退火处理步骤中，其中，一级真空高频退火温度为50050，保温时间为3010MIN，二级真空高频退火温度为95050，保温时间为255MIN。0010本发明的有益效果是本发明制备的可伐热屏具有机械强度高、高温下抗氧化高的特点，且其尺度精度可以控制在微米级；此外，可伐热屏表面平整度较高，热传导损耗低，保证了电子枪尺寸精度，且表面净化度和光洁度比较好，可以满足多注行波管阴极的使用要求；本发明所述的加工可伐热屏的方法还具有稳定性和一致性高的优点。附图说明0011图1为本发明所述方法制备的条带的结构示意图；图2为本发明所述方法制备的圆片的结构示意图；。
15、图3为本发明所述的方法制备的可伐热屏的结构示意图；图4是本发明所述的第一次旋压可伐毛坯结构示意图；图5是本发明所述的第二次旋压可伐毛坯结构示意图；图6是本发明所述的第二次旋压完成后可伐毛坯的结构示意图；说明书CN102339702ACN102339715A3/8页6图7是本发明所述的第二次旋压完成后可伐毛坯的结构示意图二。0012附图中主要标记含义如下1、顶针2、衬套3、可伐毛坯零件4、一次旋压夹具5、黄铜旋压棒6、附加柱子7、直线8、圆端9、一次旋压形成的可伐毛坯零件10、二次旋压夹具11、二次旋压形成的可伐毛坯零件12、条带13、圆片14、可伐热屏。具体实施方式0013以下结合附图和具体实。
16、施例对本发明作具体的介绍。0014图1为本发明所述方法制备的条带的结构示意图；图2为本发明所述方法制备的圆片的结构示意图；图3为本发明所述的方法制备的可伐热屏的结构示意图；图4是本发明所述的第一次旋压可伐毛坯结构示意图；图5是本发明所述的第二次旋压可伐毛坯结构示意图；图6是本发明所述的第二次旋压完成后可伐毛坯的结构示意图；图7是本发明所述的第二次旋压完成后可伐毛坯的结构示意图二。0015如图1图7所示实施例1多注行波管阴极可伐热屏的制备方法，包括以下步骤（1）对可伐片材进行可伐毛坯加工首先将可伐片材切割成满足加工要求的条带（图1），然后将条带（图1）冲切成圆片（图2）并去除圆片（图2）周边的毛。
17、刺；（2）在超声波中清洗可伐毛坯零件对步骤（1）加工后的可伐毛坯零件进行超声波清洗，然后进行脱水及干燥，其中，首选需要开动离子交换装置、烘箱和超声波发生器，超声波的震荡频率为175KHZ，用镊子将可伐毛坯零件放置在金属蓝中，然后放入超声波清洗槽中，在装有去离子水的超声波清洗槽中清洗可伐毛坯零件，清洗时间为15MIN，且清洗结束后的电阻大于2M，然后，将可伐毛坯零件浸没到无水乙醇中进行脱水处理，脱水时间为3S，且在2只去油槽或烧杯中依次进行，最后进行干燥处理，用镊子将可伐毛坯零件放入烘箱中，干燥温度75C、干燥时间为10MIN，可伐毛坯零件干燥并冷却后用镊子取出放入清洁干燥的搪瓷盒中，然后关闭（。
18、切断）超声波发生器、离子交换装置和烘箱；（3）酸洗抛光将步骤（2）干燥后的可伐毛坯零件放入化学抛光溶液中进行酸洗抛光，然后进行清洗、脱水和干燥处理，即向酸洗槽或烧杯中倒入化学抛光溶液硫酸48ML，硝酸290ML，醋酸685ML，并放入通风柜中，用加热器或在电炉上对装有化学抛光溶液的酸洗槽或烧杯进行加热，直至温度达到72，断开加热器或电炉的电源开关，将可伐毛坯零件置于金属篮中或用镊子夹取放入已加热的化学抛光溶液中，对可伐毛坯零件进行抛光处理，抛光处理时间10S，然后用流动的自来水冲洗可伐毛坯零件45S，再用去离子水冲洗可伐毛坯零件45S，然后将可伐毛坯零件浸没到丙酮或无水乙醇中给可伐毛坯零件脱水。
19、3S，在2只容器中依次进行，最后用空气喷枪吹干可伐毛坯零件后，将其放入烘箱，干燥10MIN，戴尼龙手套或PVC手套将可伐毛坯零件取出来，对可伐毛坯零件进行检查，不允许其存在污物、氧化物、毛刺，抛光过度等缺陷；（4）对可伐毛坯零件进行氢气退火处理用镊子或戴手套将步骤（3）中处理好的可伐说明书CN102339702ACN102339715A4/8页7毛坯零件放入钽筒中，然后将钽筒放在高频炉的工件托架上，并放好钟罩，关闭放气阀并降下高频线圈，对系统进行抽真空处理，在真空度达到3104PA后，预热灯丝3MIN（83V）后，开始调节功率加热，根据放气情况，逐渐加大加热功率，加热时真空度应不低于1102P。
20、A，当温度（用红外测温仪测量温度）达到840，保温20MIN，当加热结束时，逐渐将灯丝电压降至零，冷却钟罩和可伐毛坯零件，升起感应线圈，将其移至一旁，关闭高真空插板阀，关闭真空计、分子泵和机械泵，打开放气阀，向钟罩中放入空气，取下钟罩，取出钽筒，用镊子或戴尼龙手套取出零件，放入零件盒；（5）旋压处理按图4用顶针1经衬套2将步骤（4）经过氢气退火处理的可伐毛坯零件3压紧到一次旋压夹具4上，然后在可伐毛坯零件上抹上油，启动车床，调整可伐毛坯零件3位置，使其圆心与一次旋压夹具4端面圆心在一条直线7上，然后用黄铜旋压棒5紧靠在车床附加柱子6上，使黄铜旋压棒5圆端8紧压在可伐毛坯零件3右侧，随着车床转轴。
21、旋转，缓慢地将可伐毛坯零件3旋压在一次旋压夹具4上，旋压结束后，松开夹具，取下一次旋压形成的可伐毛坯零件9，然后再重复上述步骤（2）、（3）、（4），且进行二次旋压，按图5用顶针1经衬套2将完成一次旋压的可伐毛坯零件9紧固到二次旋压夹具10上，然后在可伐毛坯零件9上抹上油，启动车床，然后用黄铜旋压棒5紧靠在车床附加柱子6上，使黄铜旋压棒5圆端8紧压在可伐毛坯零件9右侧，随着车床转轴旋转，缓慢地将可伐毛坯零件9旋压在二次旋压夹具10上，旋压结束后，松开夹具，取下二次旋压形成的可伐毛坯11，且二次旋压后重复步骤（4）；（6）对可伐毛坯零件进行车加工处理将可伐毛坯零件放到镗加工卡头夹具上，将毛坯放到。
22、夹具上并固定住支座和底部，车削可伐毛坯零件的端面尺寸和外径尺寸，并磨钝锐边，车加工完成后去除毛刺，并重复步骤（2）、（3）；（7）检测可伐毛坯零件尺寸通过塞规检测零件尺寸，并放大8倍检测零件是否有毛刺，其它尺寸用通用方法检测；（8）加工槽通过电火花加工8个槽或12个槽，并检测槽的尺寸，然后重复步骤（2）和步骤（3）；（9）真空高频退火处理将经过步骤（8）处理过的可伐毛坯零件进行两级真空高频退火处理后得到多注行波管阴极可伐热屏，即用镊子或戴手套将可伐毛坯零件放入钽筒中，将其放在高频炉的工件托架上，并放好钟罩，关闭放气阀并降下高频线圈，首先对系统抽真空，在真空度达到3104PA后，预热灯丝3MIN。
23、（83V）后，开始调节功率加热，根据放气情况，逐渐加大加热功率，加热时真空度应不低于1102PA，当温度（用红外测温仪测量温度）达到450，保温30MIN，保温结束后继续加大加热功率，当温度达到900，保温20MIN，当加热结束时，逐渐将灯丝电压降至零，冷却钟罩和可伐毛坯零件，升起感应线圈，将其移至一旁，关闭高真空插板阀，关闭真空计、分子泵和机械泵，打开放气阀，向钟罩中放入空气，取下钟罩，取出钽筒，用镊子或戴尼龙手套取出零件，放入零件盒，高精度、高热屏蔽效率的多注行波管阴极可伐热屏制备完成了。0016实施例2多注行波管阴极可伐热屏的制备方法，包括以下步骤（1）对可伐片材进行可伐毛坯加工首先将可。
24、伐片材切割成满足加工要求的条带（图1），然后将条带（图1）冲切成圆片（图2）并去除圆片（图2）周边的毛刺；说明书CN102339702ACN102339715A5/8页8（2）在超声波中清洗可伐毛坯零件对步骤（1）加工后的可伐毛坯零件进行超声波清洗，然后进行脱水及干燥，其中，首选需要开动离子交换装置、烘箱和超声波发生器，超声波的震荡频率为205KHZ，用镊子将可伐毛坯零件放置在金属蓝中，然后放入超声波清洗槽中，在装有去离子水的超声波清洗槽中清洗可伐毛坯零件，清洗时间为18MIN，且清洗结束后的电阻大于2M，然后，将可伐毛坯零件浸没到无水乙醇中进行脱水处理，脱水时间为4S，且在3只去油槽或烧杯中。
25、依次进行，最后进行干燥处理，用镊子将可伐毛坯零件放入烘箱中，干燥温度80C、干燥时间为30MIN，可伐毛坯零件干燥并冷却后用镊子取出放入清洁干燥的搪瓷盒中，然后关闭（切断）超声波发生器、离子交换装置和烘箱；（3）酸洗抛光将步骤（2）干燥后的可伐毛坯零件放入化学抛光溶液中进行酸洗抛光，然后进行清洗、脱水和干燥处理，即向酸洗槽或烧杯中倒入化学抛光溶液硫酸5ML，硝酸300ML，醋酸700ML，并放入通风柜中，用加热器或在电炉上对装有化学抛光溶液的酸洗槽或烧杯进行加热，直至温度达到75，断开加热器或电炉的电源开关，将可伐毛坯零件置于金属篮中或用镊子夹取放入已加热的化学抛光溶液中，对可伐毛坯零件进行抛。
26、光处理，抛光处理时间15S，然后用流动的自来水冲洗可伐毛坯零件50S，再用去离子水冲洗可伐毛坯零件50S，然后将可伐毛坯零件浸没到丙酮或无水乙醇中给可伐毛坯零件脱水4S，在3只容器中依次进行，最后用空气喷枪吹干可伐毛坯零件后，将其放入烘箱，干燥12MIN，戴尼龙手套或PVC手套将可伐毛坯零件取出来，对可伐毛坯零件进行检查，不允许其存在污物、氧化物、毛刺，抛光过度等缺陷；（4）对可伐毛坯零件进行氢气退火处理用镊子或戴手套将步骤（3）中处理好的可伐毛坯零件放入钽筒中，然后将钽筒放在高频炉的工件托架上，并放好钟罩，关闭放气阀并降下高频线圈，对系统进行抽真空处理，在真空度达到35104PA后，预热灯丝。
27、3MIN（83V）后，开始调节功率加热，根据放气情况，逐渐加大加热功率，加热时真空度应不低于1102PA，当温度（用红外测温仪测量温度）达到850，保温25MIN，当加热结束时，逐渐将灯丝电压降至零，冷却钟罩和可伐毛坯零件，升起感应线圈，将其移至一旁，关闭高真空插板阀，关闭真空计、分子泵和机械泵，打开放气阀，向钟罩中放入空气，取下钟罩，取出钽筒，用镊子或戴尼龙手套取出零件，放入零件盒；（5）旋压处理按图4用顶针1经衬套2将步骤（4）经过氢气退火处理的可伐毛坯零件3压紧到一次旋压夹具4上，然后在可伐毛坯零件上抹上油，启动车床，调整可伐毛坯零件3位置，使其圆心与一次旋压夹具4端面圆心在一条直线7上。
28、，然后用黄铜旋压棒5紧靠在车床附加柱子6上，使黄铜旋压棒5圆端8紧压在可伐毛坯零件3右侧，随着车床转轴旋转，缓慢地将可伐毛坯零件3旋压在一次旋压夹具4上，旋压结束后，松开夹具，取下一次旋压形成的可伐毛坯零件9，然后再重复上述步骤（2）、（3）、（4），且进行二次旋压，按图5用顶针1经衬套2将完成一次旋压的可伐毛坯零件9紧固到二次旋压夹具10上，然后在可伐毛坯零件9上抹上油，启动车床，然后用黄铜旋压棒5紧靠在车床附加柱子6上，使黄铜旋压棒5圆端8紧压在可伐毛坯零件9右侧，随着车床转轴旋转，缓慢地将可伐毛坯零件9旋压在二次旋压夹具10上，旋压结束后，松开夹具，取下二次旋压形成的可伐毛坯11，且二次。
29、旋压后重复步骤（4）；（6）对可伐毛坯零件进行车加工处理将可伐毛坯零件放到镗加工卡头夹具上，将毛坯放到夹具上并固定住支座和底部，车削可伐毛坯零件的端面尺寸和外径尺寸，并磨钝锐边，说明书CN102339702ACN102339715A6/8页9车加工完成后去除毛刺，并重复步骤（2）、（3）；（7）检测可伐毛坯零件尺寸通过塞规检测零件尺寸，并放大8倍检测零件是否有毛刺，其它尺寸用通用方法检测；（8）加工槽通过电火花加工8个槽或12个槽，并检测槽的尺寸，然后重复步骤（2）和步骤（3）；（9）真空高频退火处理将经过步骤（8）处理过的可伐毛坯零件进行两级真空高频退火处理后得到多注行波管阴极可伐热屏，即用。
30、镊子或戴手套将可伐毛坯零件放入钽筒中，将其放在高频炉的工件托架上，并放好钟罩，关闭放气阀并降下高频线圈，首先对系统抽真空，在真空度达到35104PA后，预热灯丝3MIN（83V）后，开始调节功率加热，根据放气情况，逐渐加大加热功率，加热时真空度应不低于1102PA，当温度（用红外测温仪测量温度）达到500，保温30MIN，保温结束后继续加大加热功率，当温度达到950，保温25MIN，当加热结束时，逐渐将灯丝电压降至零，冷却钟罩和可伐毛坯零件，升起感应线圈，将其移至一旁，关闭高真空插板阀，关闭真空计、分子泵和机械泵，打开放气阀，向钟罩中放入空气，取下钟罩，取出钽筒，用镊子或戴尼龙手套取出零件，放。
31、入零件盒，高精度、高热屏蔽效率的多注行波管阴极可伐热屏制备完成了。0017实施例3多注行波管阴极可伐热屏的制备方法，包括以下步骤（1）对可伐片材进行可伐毛坯加工首先将可伐片材切割成满足加工要求的条带（图1），然后将条带（图1）冲切成圆片（图2）并去除圆片（图2）周边的毛刺；（2）在超声波中清洗可伐毛坯零件对步骤（1）加工后的可伐毛坯零件进行超声波清洗，然后进行脱水及干燥，其中，首选需要开动离子交换装置、烘箱和超声波发生器，超声波的震荡频率为235KHZ，用镊子将可伐毛坯零件放置在金属蓝中，然后放入超声波清洗槽中，在装有去离子水的超声波清洗槽中清洗可伐毛坯零件，清洗时间为20MIN，且清洗结束后。
32、的电阻大于2M，然后，将可伐毛坯零件浸没到无水乙醇中进行脱水处理，脱水时间为5S，且在3只去油槽或烧杯中依次进行，最后进行干燥处理，用镊子将可伐毛坯零件放入烘箱中，干燥温度85C、干燥时间为45MIN，可伐毛坯零件干燥并冷却后用镊子取出放入清洁干燥的搪瓷盒中，然后关闭（切断）超声波发生器、离子交换装置和烘箱；（3）酸洗抛光将步骤（2）干燥后的可伐毛坯零件放入化学抛光溶液中进行酸洗抛光，然后进行清洗、脱水和干燥处理，即向酸洗槽或烧杯中倒入化学抛光溶液硫酸52ML，硝酸310ML，醋酸715ML，并放入通风柜中，用加热器或在电炉上对装有化学抛光溶液的酸洗槽或烧杯进行加热，直至温度达到78，断开加热。
33、器或电炉的电源开关，将可伐毛坯零件置于金属篮中或用镊子夹取放入已加热的化学抛光溶液中，对可伐毛坯零件进行抛光处理，抛光处理时间20S，然后用流动的自来水冲洗可伐毛坯零件60S，再用去离子水冲洗可伐毛坯零件60S，然后将可伐毛坯零件浸没到丙酮或无水乙醇中给可伐毛坯零件脱水5S，在3只容器中依次进行，最后用空气喷枪吹干可伐毛坯零件后，将其放入烘箱，干燥15MIN，戴尼龙手套或PVC手套将可伐毛坯零件取出来，对可伐毛坯零件进行检查，不允许其存在污物、氧化物、毛刺，抛光过度等缺陷；（4）对可伐毛坯零件进行氢气退火处理用镊子或戴手套将步骤（3）中处理好的可伐毛坯零件放入钽筒中，然后将钽筒放在高频炉的工件。
34、托架上，并放好钟罩，关闭放气阀并降说明书CN102339702ACN102339715A7/8页10下高频线圈，对系统进行抽真空处理，在真空度达到4104PA后，预热灯丝3MIN（83V）后，开始调节功率加热，根据放气情况，逐渐加大加热功率，加热时真空度应不低于1102PA，当温度（用红外测温仪测量温度）达到860，保温30MIN，当加热结束时，逐渐将灯丝电压降至零，冷却钟罩和可伐毛坯零件，升起感应线圈，将其移至一旁，关闭高真空插板阀，关闭真空计、分子泵和机械泵，打开放气阀，向钟罩中放入空气，取下钟罩，取出钽筒，用镊子或戴尼龙手套取出零件，放入零件盒；（5）旋压处理按图4用顶针1经衬套2将步骤。
35、（4）经过氢气退火处理的可伐毛坯零件3压紧到一次旋压夹具4上，然后在可伐毛坯零件上抹上油，启动车床，调整可伐毛坯零件3位置，使其圆心与一次旋压夹具4端面圆心在一条直线7上，然后用黄铜旋压棒5紧靠在车床的附加柱子6上，使黄铜旋压棒5圆端8紧压在可伐毛坯零件3右侧，随着车床转轴旋转，缓慢地将可伐毛坯零件3旋压在一次旋压夹具4上，旋压结束后，松开夹具，取下一次旋压形成的可伐毛坯零件9，然后再重复上述步骤（2）、（3）、（4），且进行二次旋压，按图5用顶针1经衬套2将完成一次旋压形成的可伐毛坯零件9紧固到二次旋压夹具10上，然后在可伐毛坯零件上抹上油，启动车床，然后用黄铜旋压棒5紧靠在车床的附加柱子6。
36、上，使黄铜旋压棒5圆端8紧压在可伐毛坯零件9右侧，随着车床转轴旋转，缓慢地将可伐毛坯零件9旋压在二次旋压夹具10上，旋压结束后，松开夹具，取下二次旋压形成的可伐毛坯11，且二次旋压后重复步骤（4）；（6）对可伐毛坯零件进行车加工处理将可伐毛坯零件放到镗加工卡头夹具上，将毛坯放到夹具上并固定住支座和底部，车削可伐毛坯零件的端面尺寸和外径尺寸，并磨钝锐边，车加工完成后去除毛刺，并重复步骤（2）、（3）；（7）检测可伐毛坯零件尺寸通过塞规检测零件尺寸，并放大8倍检测零件是否有毛刺，其它尺寸用通用方法检测；（8）加工槽通过电火花加工8个槽或12个槽，并检测槽的尺寸，然后重复步骤（2）和步骤（3）；（9。
37、）真空高频退火处理将经过步骤（8）处理过的可伐毛坯零件进行两级真空高频退火处理后得到多注行波管阴极可伐热屏，即用镊子或戴手套将可伐毛坯零件放入钽筒中，将其放在高频炉的工件托架上，并放好钟罩，关闭放气阀并降下高频线圈，首先对系统抽真空，在真空度达到4104PA后，预热灯丝3MIN（83V）后，开始调节功率加热，根据放气情况，逐渐加大加热功率，加热时真空度应不低于1102PA，当温度（用红外测温仪测量温度）达到550，保温40MIN，保温结束后继续加大加热功率，当温度达到1000，保温30MIN，当加热结束时，逐渐将灯丝电压降至零，冷却钟罩和可伐毛坯零件，升起感应线圈，将其移至一旁，关闭高真空插板。
38、阀，关闭真空计、分子泵和机械泵，打开放气阀，向钟罩中放入空气，取下钟罩，取出钽筒，用镊子或戴尼龙手套取出零件，放入零件盒，高精度、高热屏蔽效率的多注行波管阴极可伐热屏制备完成了。0018多注行波管阴极可伐热屏前后端的内外直径分别为91、87和87、74，尺度精度可以达到微米级，零件表面净化度和光洁度比较好。本发明可以用于多注行波管，加工后的多注阴极，热传导损耗低，机械强度高，高温下抗氧化，保证了电子枪尺寸精度，在KA波段某弹载多注行波管中，采用这种方法的多注行波管，电子枪尺寸精度从几十微米提高到几微米，热屏蔽效率提高了3040。说明书CN102339702ACN102339715A8/8页110019上述实施例不以任何形式限制本发明，凡采用等同替换或等效变换的方式所获得的技术方案，均落在本发明的保护范围内。说明书CN102339702ACN102339715A1/2页12图1图2图3图4图5图6说明书附图CN102339702ACN102339715A2/2页13图7说明书附图CN102339702A。