振动片、 频率调整方法、 振子、 振动器件以及电子设备 【技术领域】
本发明涉及振动片、 频率调整方法、 振子、 振动器件以及电子设备。背景技术 作为例如石英振荡器等的振动器件， 公知具有音叉型振动片的振动器件， 该音叉 型振动片具有多个振动臂 ( 例如参照专利文献 1)。
例如， 专利文献 1 所记载的振动片具有 ： 基部 ； 从该基部起彼此平行地延伸的 3 个 振动臂 ； 以及在各振动臂上按顺序依次形成下部电极膜、 压电体膜和上部电极膜而构成的 压电体元件。 在这种振动片中， 各压电体元件对下部电极膜与上部电极膜之间施加电场， 由 此， 使压电层伸缩， 使振动臂在基部的厚度方向 ( 所谓的面外方向 ) 上进行弯曲振动。
在这种振动片中， 一般在振动臂的末端部上设置金属膜， 通过照射激光而去除该 金属膜的一部分， 进行振动臂的弯曲振动的频率 ( 谐振频率 ) 的调整 ( 例如参照专利文献 2)。
例如， 在专利文献 2 所记载的频率调整方法中， 在呈现为板状的振动臂的两个板 面上以彼此相同的图案形成频率调整用的金属膜。 然后， 通过照射激光， 同时去除振动臂的 一个板面上的金属膜的一部分和另一个板面上的金属膜的一部分来进行粗调， 然后， 通过 照射氩离子束， 进一步去除振动臂的一个板面上的金属膜的一部分来进行微调。
但是， 在专利文献 2 所记载的频率调整方法中， 振动臂的一个板面上的金属膜与 另一个板面上的金属膜为彼此相同的图案， 所以， 通过照射激光， 同时去除了振动臂的一个 板面上的金属膜和另一个板面上的金属膜。 因此， 通过照射激光， 难以分别去除振动臂的一 个板面上的金属膜的一部分和另一个板面上的金属膜的一部分， 存在很难对频率进行微调 的问题。
另外， 弯曲振子的频率 f 由 (t 为振动臂的振动方向的厚度、 L 为振动臂的 拉伸方向的全长 ) 给出， 对于上述专利文献 1 所记载的这种使振动臂在面外方向上进行弯 曲振动的振动片， 在欲实现小型化的情况下， 当缩短振动臂的长度 L 时， 振动臂的振动方向 ( 振动臂的厚度方向 ) 的厚度 t 需要减薄与 L 的减小相应的量。具体而言， 振动臂的振动方 向的厚度要大幅减薄而达到几 μm， 所以， 从振动臂的一侧照射的激光容易到达振动臂的另 一面侧。并且， 振动臂的厚度越薄， 与被去除的金属膜的质量 ( 减少的质量 ) 对应的频率变 化量 ( 上升量 ) 越大， 所以， 很难对频率进行微调。另一方面， 对于使振动臂在以基部的厚 度方向为法线的面内进行弯曲振动的一般的振动片， 振动臂的振动方向的厚度 t 为振动臂 的宽度方向， 不需要减薄振动臂， 所以， 不会产生上述问题。 因此， 对于使振动臂在面外方向 上进行弯曲振动的振动片， 如果使用上述频率调整方法， 则在频率调整时， 激光会贯穿过去 而削减正面及背面的金属膜， 偏离于目标频率的问题十分显著。
【专利文献 1】 日本特开 2009-5022 号公报
【专利文献 2】 日本特开 2008-160824 号公报
发明内容 本发明的目的在于， 提供能够简单且高精度地进行频率调整的振动片、 频率调整 方法， 并且， 提供具有该振动片的可靠性良好的振子、 振动器件以及电子设备。
本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的， 可作为以下的形式或应用例 来实现。
[ 应用例 1]
本发明的振动片的特征在于， 该振动片具有 ： 基部， 其形成在包含第 1 方向和与该 第 1 方向垂直的第 2 方向的平面上 ； 以及振动臂， 其从所述基部起在所述第 1 方向上延伸， 所述振动臂在所述平面的法线方向上进行弯曲振动， 且具有第 1 面和第 2 面， 所述第 1 面随 所述弯曲振动而发生压缩或拉伸， 所述第 2 面在所述第 1 面压缩时发生拉伸、 在所述第 1 面 拉伸时发生压缩， 在所述第 1 面上设有第 1 质量部， 并且， 在所述第 2 面上设有第 2 质量部， 在从所述法线方向观察的平面视图中， 所述第 1 质量部和所述第 2 质量部中的至少一方具 有与另一方不相对的部分。
由此， 例如， 能够与能量线的照射位置对应地， ( 选择性地 ) 去除第 1 质量部和第 2 质量部中的至少一方。因此， 能够高精度地调整通过照射能量线而实现的第 1 质量部和第 2 质量部的去除量。因此， 能够简单且高精度地进行频率 ( 谐振频率 ) 的调整。
[ 应用例 2]
在本发明的振动片中， 优选的是， 在从所述法线方向观察的平面视图中， 所述第 1 质量部和所述第 2 质量部具有在所述第 2 方向上彼此相邻地形成的部分。
由此， 能够使第 1 质量部和第 2 质量部在第 1 方向 ( 振动臂的长度方向 ) 上的范 围一致或重复。因此， 能够抑制第 1 质量部和第 2 质量部在振动臂的长度方向 ( 第 1 方向 ) 上所占的长度。
[ 应用例 3]
在本发明的振动片中， 优选的是， 所述第 1 质量部和所述第 2 质量部中的至少一方 形成为带状。
由此， 例如， 能够成一列地连续对第 1 质量部或第 2 质量部照射能量线， 能够一并 去除第 1 质量部或第 2 质量部。因此， 能够迅速地按期望量去除第 1 质量部或第 2 质量部。 其结果， 频率调整更加简单且精度更高。
[ 应用例 4]
在本发明的振动片中， 优选的是， 所述第 1 质量部和所述第 2 质量部中的至少一方 具有隔开间隔而设置的多个块部。
由此， 容易预测与形成在第 1 质量部或第 2 质量部上的块部的去除量对应的振动 臂的频率变化量。其结果， 频率调整更加简单且精度更高。
[ 应用例 5]
在本发明的振动片中， 优选的是， 所述第 1 质量部和所述第 2 质量部具有形成为带 状、 且在从所述法线方向观察的平面视图中彼此交叉的部分。
由此， 在振动臂上形成第 1 质量部和第 2 质量部时， 不需要高精度地进行第 1 方向 和第 2 方向上的定位， 在从包含第 1 方向和第 2 方向的平面的法线方向观察时， 第 1 质量部 和第 2 质量部具有彼此不重叠的部分。
[ 应用例 6]
在本发明的振动片中， 优选的是， 所述第 2 质量部由比重比所述第 1 质量部的构成 材料小的材料构成。
由此， 能够使得与第 1 质量部的去除量对应的振动臂的频率 ( 谐振频率 ) 的变化 量大于与第 2 质量部的去除量对应的振动臂的频率 ( 谐振频率 ) 的变化量。因此， 通过将 第 1 质量部用于粗调、 将第 2 质量部用于微调， 由此， 频率调整更加简单且精度更高。
[ 应用例 7]
在本发明的振动片中， 优选的是， 所述第 1 质量部和所述第 2 质量部中的至少一方 使用 SiO2、 Al、 Al2O3、 TiO2、 Cr、 Fe、 Ni、 Cu、 Ag、 Au 以及 Pt 中的任意一方构成。
金属或绝缘材料 ( 例如陶瓷 ) 可通过气相成膜法简单且高精度地成膜。并且， 通 过照射能量线 ( 特别是激光 )， 能够简单且高精度地去除由金属或绝缘材料构成的膜 ( 施重 膜 )。 因此， 通过形成金属或绝缘材料的膜而分别形成第 1 质量部和第 2 质量部， 由此， 频率 调整更加简单且精度更高。
[ 应用例 8]
在本发明的振动片中， 优选的是， 所述第 1 质量部的厚度比所述第 2 质量部的厚度 厚。 由此， 能够使得与第 1 质量部的去除量对应的振动臂的频率 ( 谐振频率 ) 的变化 量大于与第 2 质量部的去除量对应的振动臂的频率 ( 谐振频率 ) 的变化量。因此， 通过将 第 1 质量部用于粗调、 将第 2 质量部用于微调， 由此， 频率调整更加简单且精度更高。
[ 应用例 9]
在本发明的振动片中， 优选的是， 所述第 1 质量部和所述第 2 质量部被设置在所述 振动臂的末端附近。
由此， 能够增大与第 1 质量部和第 2 质量部的去除量对应的振动臂的频率 ( 谐振 频率 ) 的变化量。因此， 能够高效地进行频率调整。并且， 激励电极和压电体元件从振动臂 的基端部起一直形成到中央附近， 在第 1 质量部和第 2 质量部的设置中能够有效利用振动 臂的末端附近的空闲空间。因此， 能够使振动臂缩短， 进而实现振动片的小型化。
[ 应用例 10]
在本发明的振动片中， 优选的是， 在所述振动臂上形成有配置在第 1 电极层与第 2 电极层之间的压电体层。
由此， 在振动臂自身不具有压电性、 或者振动臂具有压电性但不适于进行其极化 轴或晶轴的方向为规定方向时的弯曲振动的情况下， 也能够使振动臂在规定方向上高效地 进行弯曲振动。并且， 由于与振动臂有无压电性以及极化轴或晶轴的方向无关， 所以， 构成 振动臂的材料的选择范围扩大， 其结果， 能够简单地使振动臂的尺寸精度成为高精度。 其结 果， 能够使振动臂的振动特性良好。
[ 应用例 11]
在本发明的振动片中， 优选的是， 在所述第 2 方向上排列设置有多个所述振动臂， 相邻的 2 个所述振动臂在彼此相反的方向上进行弯曲振动。
由此， 能够使彼此相邻的 2 个振动臂的泄漏振动彼此抵消。其结果， 能够实现振动 泄漏少的振动片。
[ 应用例 12]
本发明的频率调整方法的特征在于， 该频率调整方法包括以下步骤 ： 准备本发明 的振动片 ； 以及增减所述第 1 质量部和所述第 2 质量部中的至少一方的质量而调整所述振 动臂的谐振频率。
由此， 例如， 能够与能量线的照射位置对应地， 分别 ( 选择性地 ) 去除第 1 质量部 和第 2 质量部。因此， 能够简单且高精度地进行频率 ( 谐振频率 ) 的调整。
[ 应用例 13]
本发明的振子的特征在于， 该振子具有 ： 本发明的振动片 ； 以及收纳所述振动片 的封装。
由此， 能够提供可靠性良好的振子。
[ 应用例 14]
本发明的振动器件的特征在于， 该振动器件具有 ： 本发明的振动片 ； 以及与所述 振动片连接的振荡电路。
由此， 能够提供可靠性良好的振荡器等振动器件。
[ 应用例 15]
本发明的电子设备的特征在于， 该电子设备具有本发明的振动片。 由此， 能够提供可靠性良好的便携电话、 个人计算机、 数字照相机等电子设备。附图说明 图 1 是示出本发明的第 1 实施方式的振子的截面图。
图 2 是示出图 1 所示的振子的俯视图。
图 3 是示出图 1 所示的振子所具有的振动片的仰视图。
图 4 的 (a) 是图 2 中的 A-A 线截面图， (b) 是图 2 中的 B-B 线截面图。
图 5 是用于说明图 4(a) 所示的第 1 质量部和第 2 质量部的局部放大图 ((a) 是俯 视图， (b) 是 (a) 中的 C-C 线截面图 )。
图 6 是用于说明图 2 所示的振动片的动作的立体图。
图 7 是用于说明图 6 所示的振动片的频率调整方法的图。
图 8 是用于说明本发明的第 2 实施方式的第 1 质量部和第 2 质量部的局部放大图 ((a) 是俯视图， (b) 是 (a) 中的 D-D 线截面图 )。
图 9 是用于说明本发明的第 3 实施方式的第 1 质量部和第 2 质量部的局部放大图 ((a) 是俯视图， (b) 是 (a) 中的 E-E 线截面图 )。
图 10 是用于说明本发明的第 4 实施方式的第 1 质量部和第 2 质量部的局部放大 图 ((a) 是俯视图， (b) 是 (a) 中的 F-F 线截面图 )。
图 11 是用于说明本发明的第 5 实施方式的第 1 质量部和第 2 质量部的局部放大 图 ((a) 是俯视图， (b) 是 (a) 中的 G-G 线截面图， (c) 是 (a) 中的 H-H 线截面图 )。
图 12 是具有本发明的振动片的电子设备 ( 笔记本型个人计算机 )。
图 13 是具有本发明的振动片的电子设备 ( 便携电话机 )。
图 14 是具有本发明的振动片的电子设备 ( 数字静态照相机 )。
标号说明
1： 振子 ； 2： 振动片 ； 3： 封装 ； 21 ： 振动基板 ； 22 ： 压电体元件 ； 23 ： 压电体元件 ； 24 ： 压电体元件 ； 27 ： 基部 ； 28 ： 振动臂 ； 29 ： 振动臂 ； 30 ： 振动臂 ； 31 ： 底座基板 ； 32 ： 框部件 ； 33 ： 盖部件 ； 34a、 34b、 34c、 34d ： 外部端子 ； 35a ： 电极 ； 35b ： 电极 ； 36 ： 固定件 ； 37 ： 内部空间 ； 38 ： 金属线 ； 41 ： 连接电极 ； 42 ： 连接电极 ； 43 ： 配线 ； 51 ： 第 1 质量部 ； 51A ： 第 1 质量部 ； 51B ： 第 1 质量部 ； 51C ： 第 1 质量部 ； 52 ： 第 1 质量部 ； 53 ： 第 1 质量部 ； 54 ： 第 2 质量部 ； 54A ： 第 2 质量部 ； 54B ： 第 2 质量部 ； 54C ： 第 2 质量部 ； 55 ： 第 2 质量部 ； 56 ： 第 2 质量部 ； 100 ： 显 示部 ； 151 ： 调整后的第 1 质量部 ； 154 ： 调整后的第 2 质量部 ； 221 ： 第 1 电极层 ； 222 ： 压电 体层 ； 223 ： 第 2 电极层 ； 231 ： 第 1 电极层 ； 232 ： 压电体层 ； 233 ： 第 2 电极层 ； 241 ： 电极层 ； 242 ： 压电体层 ； 243 ： 电极层 ； 271 ： 薄壁部 ； 272 ： 厚壁部 ； 281 ： 上表面 ； 282 ： 下表面 ； 291 ： 上表面 ； 292 ： 下表面 ； 301 ： 上表面 ； 302 ： 下表面 ； 511 ： 质量部 ； 512 ： 质量部 ； 513 ： 质量部 ； 514 ： 质量部 ； 515 ： 质量部 ； 516 ： 质量部 ； 541 ： 质量部 ； 542 ： 质量部 ； 543 ： 质量部 ； 544 ： 质量 部； 545 ： 质量部 ； 546 ： 质量部 ； 547 ： 质量部 ； 548 ： 质量部 ； 1100 ： 个人计算机 ； 1102 ： 键盘 ； 1104 ： 主体部 ； 1106 ： 显示单元 ； 1200 ： 便携电话机 ； 1202 ： 操作按钮 ； 1204 ： 接听口 ； 1206 ： 通话口 ； 1300 ： 数字静态照相机 ； 1302 ： 外壳 ； 1304 ： 受光单元 ； 1306 ： 快门按钮 ； 1308 ： 存储 器； 1312 ： 视频信号输出端子 ； 1314 ： 输入输出端子 ； 1430 ： 电视监视器 ； 1440 ： 个人计算机。 具体实施方式 下面， 根据附图所示的实施方式， 对本发明的振动片、 频率调整方法、 振子、 振动器 件以及电子设备进行详细说明。
< 第 1 实施方式 >
图 1 是示出本发明的第 1 实施方式的振子的截面图， 图 2 是示出图 1 所示的振子的 俯视图， 图 3 是示出图 1 所示的振子所具有的振动片的仰视图， 图 4 的 (a) 是图 2 中的 A-A 线截面图， (b) 是图 2 中的 B-B 线截面图， 图 5 是用于说明图 4(a) 所示的第 1 质量部和第 2 质量部的局部放大图 ((a) 是俯视图， (b) 是 (a) 中的 C-C 线截面图 )， 图 6 是用于说明图 2 所示的振动片的动作的立体图， 图 7 是用于说明图 6 所示的振动片的频率调整方法的图。 另外， 在各图中， 为了便于说明， 作为彼此垂直的 3 个轴， 图示了 X 轴、 Y 轴和 Z 轴。并且， 以 下将与 Y 轴平行的方向 ( 第 1 方向 ) 称为 Y 轴方向， 将与 X 轴平行的方向 ( 第 2 方向 ) 称 为 “X 轴方向” ， 将与 Z 轴平行的方向 ( 包含第 1 方向和第 2 方向的平面的法线方向 ) 称为 Z 轴方向。并且， 在以下说明中， 为了便于说明， 将图 1 中的上侧称为 “上” 、 下侧称为 “下” 、 右侧称为 “右” 、 左侧称为 “左” 。
图 1 所示的振子 1 具有振动片 2、 以及收纳该振动片 2 的封装 3。
下面， 依次对构成振子 1 的各个部分进行详细说明。
( 振动片 )
首先， 对振动片 2 进行说明。
振动片 2 是图 2 所示的三脚音叉型振动片。该振动片 2 具有 ： 振动基板 21 ； 设置 在该振动基板 21 上的压电体元件 22、 23、 24 和连接电极 41、 42 ； 以及第 1 质量部 51、 52、 53 和第 2 质量部 54、 55、 56。
振动基板 21 具有基板 27 和 3 个振动臂 28、 29、 30。
作为振动基板 21 的构成材料， 只要是能够发挥期望的振动特性的材料即可， 没有
特别限定， 可使用各种压电体材料和各种非压电体材料。
例如， 作为所述压电体材料， 可列举出石英、 钽酸锂、 铌酸锂、 硼酸锂、 钛酸钡等。 特 别地， 作为构成振动基板 21 的压电体材料， 优选使用石英 (X 切板、 AT 切板、 Z 切板等 )。在 由石英构成振动基板 21 时 ( 即由石英构成基板 27 和振动臂 28、 29、 30 时 )， 能够使振动基 板 21 的振动特性 ( 特别是频率温度特性 ) 良好。并且， 能够通过蚀刻以高尺寸精度形成振 动基板 21。
并且， 作为所述非压电体材料， 例如可列举出硅、 石英等。 特别地， 作为构成振动基 板 21 的非压电体材料， 优选使用硅。在由硅构成振动基板 21 时， 能够以较低的成本实现振 动基板 21 的良好的振动特性。并且， 也容易实现振动片 2 与其他电路元件的一体化， 例如 在基部 27 上形成集成电路等。并且， 能够通过蚀刻以高尺寸精度形成振动基板 21。
在这种振动基板 21 中， 基部 27 呈现为以 Z 轴方向为厚度方向的大致板状。并且， 如图 1 和图 3 所示， 基部 27 具有形成为薄壁的薄壁部 271 和形成得比该薄壁部 271 厚的厚 壁部 272， 它们沿 Y 轴方向并排设置。
并且， 薄壁部 271 形成为与后述的各振动臂 28、 29、 30 相等的厚度。因此， 厚壁部 272 是其 Z 轴方向上的厚度比各振动臂 28、 29、 30 的 Z 轴方向上的厚度大的部分。
通过形成这种薄壁部 271 和厚壁部 272， 能够减薄振动臂 28、 29、 30 的厚度， 提高振 动臂 28、 29、 30 的振动特性， 并且， 能够使制造振动片 2 时的操作性良好。
而且， 在基部 27 的薄壁部 271 的与厚壁部 272 相反的一侧连接着 3 个振动臂 28、 29、 30。
振动臂 28、 29 与基部 27( 薄壁部 271) 的 X 轴方向上的两端部连接， 振动臂 30 与 基部 27( 薄壁部 271) 的 X 轴方向上的中央部连接。
3 个振动臂 28、 29、 30 以彼此平行的方式分别从基部 27 起延伸地设置。更具体而 言， 3 个振动臂 28、 29、 30 从基部 27 起分别在 Y 轴方向 (Y 轴的箭头方向 ) 上延伸， 并且沿 X 轴方向并排设置。
该振动臂 28、 29、 30 分别为长条形状， 它们的靠基部 27 侧的端部 ( 基端部 ) 为固 定端， 与基部 27 相反的一侧的端部 ( 末端部 ) 为自由端。
并且， 各振动臂 28、 29、 30 的宽度在长度方向的整个范围内恒定。需要说明的是， 各振动臂 28、 29、 30 也可以具有宽度不同的部分。
并且， 振动臂 28、 29、 30 形成为彼此相同的长度。另外， 振动臂 28、 29、 30 的长度可 根据各振动臂 28、 29、 30 的宽度、 厚度等来设定， 可以彼此不同。
另外， 可以根据需要， 在振动臂 28、 29、 30 的各末端部设置横截面积比基端部大的 质量部 (hammer head)。该情况下， 能够使振动片 2 更加小型、 能够进一步降低振动臂 28、 29、 30 的弯曲振动的频率。
如图 4(a) 所示， 在这种振动臂 28 的上表面 281 上设置有第 1 质量部 51， 并且， 在 振动臂 28 的下表面 282 上设置有第 2 质量部 54。该第 1 质量部 51 和第 2 质量部 54 例如 各自通过照射能量线而被去除一部分或全部， 从而质量减小， 用以调整振动臂 28 的谐振频 率。同样， 在振动臂 29 的上表面 291 上设置有第 1 质量部 52， 并且， 在振动臂 29 的下表面 292 上设置有第 2 质量部 55。并且， 在振动臂 30 的上表面 301 上设置有第 1 质量部 53， 并 且， 在振动臂 30 的下表面 302 上设置有第 2 质量部 56。另外， 第 1 质量部 51、 52、 53 和第 2 质量部 54、 55、 56 将在后面进行详细叙述。
并且， 如图 4(b) 所示， 在这种振动臂 28 上设置有压电体元件 22， 并且， 在振动臂 29 上设置有压电体元件 23， 而且， 在振动臂 30 上设置有压电体元件 24。 由此， 在振动臂 28、 29、 30 自身不具有压电性、 或者振动臂 28、 29、 30 具有压电性但不适于进行其极化轴或晶轴 的方向为 Z 轴方向时的弯曲振动的情况下， 也能够比较简单且高效地使各振动臂 28、 29、 30 在 Z 轴方向上进行弯曲振动。并且， 由于与振动臂 28、 29、 30 有无压电性以及极化轴、 晶轴 的方向无关， 所以， 各振动臂 28、 29、 30 的材料的选择范围扩大。因此， 能够比较简单地实现 具有期望振动特性的振动片 2。
压电体元件 22 具有随着通电而发生伸缩、 从而使振动臂 28 在 Z 轴方向上进行弯 曲振动的功能。并且， 压电体元件 23 具有随着通电而发生伸缩、 从而使振动臂 29 在 Z 轴方 向上进行弯曲振动的功能。并且， 压电体元件 24 具有随着通电而发生伸缩、 从而使振动臂 30 在 Z 轴方向上进行弯曲振动的功能。
如图 4(b) 所示， 这种压电体元件 22 是在振动臂 28 上按顺序依次层叠第 1 电极层 221、 压电体层 ( 压电薄膜 )222、 第 2 电极层 223 而构成的。
同样， 压电体元件 23 是在振动臂 29 上按顺序依次层叠第 1 电极层 231、 压电体层 ( 压电薄膜 )232、 第 2 电极层 233 而构成的。并且， 压电体元件 24 是在振动臂 30 上按顺序 依次层叠第 1 电极层 241、 压电体层 ( 压电薄膜 )242、 第 2 电极层 243 而构成的。 下面， 依次对构成压电体元件 22 的各层进行详细说明。另外， 压电体元件 23、 24 的各层的结构与压电体元件 22 相同， 所以省略其说明。
[ 第 1 电极层 ]
第 1 电极层 221 从基部 27 上起沿着振动臂 28 的延伸方向 (Y 轴方向 ) 设置在振 动臂 28 上。
在本实施方式中， 在振动臂 28 上， 第 1 电极层 221 的长度比振动臂 28 的长度短。
并且， 在本实施方式中， 第 1 电极层 221 的长度被设定为振动臂 28 的长度的 2/3 左右。需要说明的是， 第 1 电极层 221 的长度可设定为振动臂 28 的长度的 1/3 ～ 1 左右。
这种第 1 电极层 221 可由金 (Au)、 金合金、 铂 (Pt)、 铝 (Al)、 铝合金、 银 (Ag)、 银合 金、 铬 (Cr)、 铬合金、 铜 (Cu)、 钼 (Mo)、 铌 (Nb)、 钨 (W)、 铁 (Fe)、 钛 (Ti)、 钴 (Co)、 锌 (Zn)、 锆 (Zr) 等金属材料形成。
其中， 作为第 1 电极层 221 的构成材料， 优选使用以金为主材料的金属 ( 金、 金合 金 )、 铂， 更加优选使用以金为主材料的金属 ( 特别是金 )。
Au 的导电性良好 ( 电阻小 ) 且抗氧化性良好， 所以， 适合作为电极材料。并且， 与 Pt 相比， Au 能够容易地通过蚀刻进行构图。而且， 通过由金或金合金构成第 1 电极层 221， 能够提高压电体层 222 的取向性。
并且， 第 1 电极层 221 的平均厚度没有特别限定， 例如优选为 1 ～ 300nm 左右， 更 加优选为 10 ～ 200nm。由此， 能够防止第 1 电极层 221 对压电体元件 22 的驱动特性和振动 臂 28 的振动特性造成不良影响， 并使得所述第 1 电极层 221 的导电性良好。
另外， 例如在由金构成第 1 电极层 221、 由石英构成振动基板 21 的情况下， 它们的 密合性低。因此， 在这种情况下， 优选在第 1 电极层 221 与振动基板 21 之间设置由 Ti、 Cr 等构成的衬底层。由此， 能够分别使得衬底层与振动臂 28 之间的密合性以及衬底层与第 1
电极层 221 之间的密合性良好。其结果， 能够防止第 1 电极层 221 从振动臂上脱落， 并使得 振动片 2 的可靠性良好。
只要能够发挥出防止衬底层对压电体元件 22 的驱动特性和振动臂 28 的振动特性 造成不良影响、 并提高所述密合性的效果， 则该衬底层的平均厚度没有特别限定， 例如优选 为 1 ～ 300nm 左右。
[ 压电体层 ]
压电体层 222 沿着振动臂 28 的延伸方向 (Y 轴方向 ) 设置在第 1 电极层 221 上。
并且， 压电体层 222 在振动臂 28 的延伸方向 (Y 轴方向 ) 上的长度与第 1 电极层 221 在该方向 (Y 轴方向 ) 上的长度大致相等。
由此， 如上所述， 在压电体层 222 的 Y 轴方向的整个范围中， 能够通过第 1 电极层 221 的表面状态来提高压电体层 222 的取向性。因此， 能够使得压电体层 222 在振动臂 28 的长度方向 (Y 轴方向 ) 上， 质量均匀。
并且， 压电体层 222 的靠基部 27 侧的端部 ( 即压电体层 222 的基端部 ) 被设置成 跨过振动臂 28 与基部 27 之间的边界部。由此， 能够高效地将压电体元件 22 的驱动力传递 给振动臂 28。并且， 能够缓解振动臂 28 与基部 27 之间的边界部的刚性的急剧变化。因此， 能够提高振动片 2 的 Q 值。 作为这种压电体层 222 的构成材料 ( 压电体材料 )， 例如可列举出氧化锌 (ZnO)、 氮化铝 (AlN)、 钽酸锂 (LiTaO3)、 铌酸锂 (LiNbO3)、 铌酸钾 (KNbO3)、 四硼酸锂 (Li2B4O7)、 钛酸 钡 (BaTiO3)、 PZT( 锆钛酸铅 ) 等， 不过优选使用 AIN、 ZnO。
其中， 作为压电体层 222 的构成材料， 优选使用 ZnO、 AlN。ZnO( 氧化锌 ) 和氮化铝 (AlN) 的 c 轴取向性良好。因此， 通过以 ZnO 为主材料构成压电体层 222， 能够降低振动片 2 的 CI 值。并且， 这些材料可通过反应性溅射法来成膜。
并 且， 压 电 体 层 222 的 平 均 厚 度 优 选 为 50 ～ 3000[nm]， 更 加 优 选 为 200 ～ 2000[nm]。由此， 能够防止压电体层 222 对振动臂 28 的振动特性造成不良影响， 并使得压 电体元件 22 的驱动特性良好。
[ 第 2 电极层 ]
第 2 电极层 223 沿着振动臂 28 的延伸方向 (Y 轴方向 ) 设置在压电体层 222 上。
并且， 第 2 电极层 223 在振动臂 28 的延伸方向 (Y 轴方向 ) 上的长度与压电体层 222 的长度大致相等。由此， 通过第 2 电极层 223 与所述第 1 电极层 221 之间产生的电场， 能够使压电体层 222 的整体在振动臂 28 的延伸方向 (Y 轴方向 ) 上伸缩。因此， 能够提高 振动效率。
这种第 2 电极层 223 可由金 (Au)、 金合金、 铂 (Pt)、 铝 (Al)、 铝合金、 银 (Ag)、 银合 金、 铬 (Cr)、 铬合金、 铜 (Cu)、 钼 (Mo)、 铌 (Nb)、 钨 (W)、 铁 (Fe)、 钛 (Ti)、 钴 (Co)、 锌 (Zn)、 锆 (Zr) 等金属材料形成。特别地， 与第 1 电极层 221 同样， 第 2 电极层 223 的构成材料优 选使用以金为主材料的金属 ( 金、 金合金 )、 铂， 更加优选使用以金为主材料的金属 ( 特别是 金 )。
并且， 第 2 电极层 223 的平均厚度没有特别限定， 例如优选为 1 ～ 300nm 左右， 更 加优选为 10 ～ 200nm。由此， 能够防止第 2 电极层 223 对压电体元件 22 的驱动特性和振动 臂 28 的振动特性造成不良影响， 并使得第 2 电极层 223 的导电性良好。
另外， 可根据需要， 在压电体层 222 与第 2 电极层 223 之间设置 SiO2( 氧化硅 )、 AlN( 氮化铝 ) 等的绝缘体层。该绝缘体层具有保护压电体层 222、 并防止第 1 电极层 221 与第 2 电极层 223 之间短路的功能。并且， 该绝缘体层可以形成为仅覆盖压电体层 222 的 上表面， 也可以形成为覆盖压电体层 222 的上表面和压电体层 222 的侧面 ( 与第 1 电极层 221 接触的面以外的面 )。
该绝缘体层的平均厚度没有特别限定， 优选为 50 ～ 500nm。当该厚度小于所述下 限值时， 存在所述防止短路的效果减小的趋势， 另一方面， 当该厚度超过所述上限值时， 可 能对压电体元件 22 的特性造成不良影响。
在这种压电体元件 22 中， 当对第 1 电极层 221 与第 2 电极层 223 之间施加电压时， 在压电体层 222 中产生 Z 轴方向的电场。通过该电场， 压电体层 222 在 Y 轴方向上发生拉 伸或收缩， 使振动臂 28 在 Z 轴方向上进行弯曲振动。
同样， 在压电体元件 23 中， 当对第 1 电极层 231 与第 2 电极层 233 之间施加电压 时， 压电体层 232 在 Y 轴方向上发生拉伸或收缩， 使振动臂 29 在 Z 轴方向上进行弯曲振动。 并且， 在压电体元件 24 中， 当对第 1 电极层 241 与第 2 电极层 243 之间施加电压时， 压电体 层 242 在 Y 轴方向上发生拉伸或收缩， 使振动臂 30 在 Z 轴方向上进行弯曲振动。 在这种压电体元件 22、 23、 24 中， 所述第 1 电极层 221、 231 经由未图示的由贯通电 极和配线构成的导通部， 与第 2 电极层 243 电连接。而且， 如图 2 所示， 第 2 电极层 243 与 设置在基部 27 的上表面上的连接电极 41 电连接。由此， 第 1 电极层 221、 231 以及第 2 电 极层 243 分别与连接电极 41 电连接。
并且， 第 1 电极层 241 经由未图示的由贯通电极和配线构成的导通部， 与第 2 电极 层 223、 233 电连接。而且， 如图 2 所示， 第 2 电极层 223、 233 经由配线 43 与设置在基部 27 的上表面上的连接电极 42 电连接。由此， 第 1 电极层 241 以及第 2 电极层 223、 233 与连接 电极 42 电连接。
另外， 连接电极 41、 42 以及配线 43 等可由金 (Au)、 金合金、 铂 (Pt)、 铝 (Al)、 铝合 金、 银 (Ag)、 银合金、 铬 (Cr)、 铬合金、 铜 (Cu)、 钼 (Mo)、 铌 (Nb)、 钨 (W)、 铁 (Fe)、 钛 (Ti)、 钴 (Co)、 锌 (Zn)、 锆 (Zr) 等金属材料形成。并且， 它们可与第 1 电极层 221、 231、 241 或第 2 电 极层 223、 233、 243 同时一并形成。
在这种结构的振动片 2 中， 当对连接电极 41 与连接电极 42 之间施加电压 ( 用于 使各振动臂 28、 29、 30 进行振动的电压 ) 时， 以第 1 电极层 221、 231 及第 2 电极层 243 与第 1 电极层 241 及第 2 电极层 223、 233 极性相反的方式， 分别对所述压电体层 222、 232、 242 施 加 Z 轴方向的电压。由此， 通过压电体材料的逆压电效应， 能够使各振动臂 28、 29、 30 以某 个恒定的频率 ( 谐振频率 ) 进行弯曲振动。此时， 如图 5 所示， 振动臂 28、 29 在彼此相同的 方向上进行弯曲振动， 振动臂 30 在与振动臂 28、 29 相反的方向上进行弯曲振动。
这样， 通过使相邻的 2 个振动臂在彼此相反的方向上进行弯曲振动， 由此， 能够使 由相邻的 2 个振动臂 28、 30 以及 29、 30 产生的泄漏振动彼此抵消。其结果， 能够防止振动 泄漏。
并且， 当各振动臂 28、 29、 30 进行弯曲振动时， 在连接电极 41、 42 之间， 通过压电体 材料的压电效应， 以某个恒定的频率产生电压。利用这些性质， 振动片 2 能够产生以谐振频 率振动的电信号。
( 第 1 质量部和第 2 质量部 )
这里， 对设置在振动臂 28 上的第 1 质量部 51 和第 2 质量部 54 进行详细叙述。另 外， 设置在振动臂 29 上的第 1 质量部 52 和第 2 质量部 55、 以及设置在振动臂 30 上的第 1 质量部 53 和第 2 质量部 56 与第 1 质量部 51 和第 2 质量部 54 相同， 所以省略其说明。
如上所述， 第 1 质量部 51 被设置在振动臂 28 的上表面 281 上， 第 2 质量部 54 被 设置在振动臂 28 的下表面 282 上。这里， 振动臂 28 的上表面 281 和下表面 282 是以 Z 轴 方向 ( 即振动臂 28 进行弯曲振动的方向 ) 为法线的面， 彼此相对。在本实施方式中， 振动 臂 28 为板状， 其一对板面构成上表面 281( 第 1 面 ) 和下表面 282( 第 2 面 )。并且， 上表 面 281 随着振动臂 28 在 Z 轴方向上进行弯曲振动而发生压缩或拉伸， 下表面 282 在上表面 281 压缩时发生拉伸、 在上表面 281 拉伸时发生压缩。
特别是在从 Z 轴方向观察时 ( 即在平面视图中 )， 第 1 质量部 51 和第 2 质量部 54 具有彼此不重叠的部分。即， 也可以说， 在第 1 面 ( 上表面 281) 上设有第 1 质量部 51， 并 且， 在第 2 面 ( 下表面 282) 上设有第 2 质量部 54， 在从上表面 281 或下表面 282 的法线方 向 ( 即 Z 轴方向 ) 观察的平面视图中， 第 1 质量部 51 和第 2 质量部 54 具有彼此不相对的 部分。
由此， 例如， 能够根据能量线的照射位置， 分别 ( 选择性地 ) 去除第 1 质量部 51 和 第 2 质量部 54。因此， 能够高精度地调整第 1 质量部 51 和第 2 质量部 54 的去除量。因此， 能够简单且高精度地进行频率 ( 谐振频率 ) 的调整。
更具体而言， 第 1 质量部 51 由质量部 511、 以及比质量部 511 更靠振动臂 28 的基 端侧而并排设置的质量部 512 构成。
该质量部 511 和质量部 512 分别设置在振动臂 28 的上表面 281 上的 X 轴方向的 中央部。
在本实施方式中， 质量部 511、 512 分别为以 Y 轴方向为长边的带状 ( 长方形 )。并 且， 质量部 511、 512 的宽度彼此相同。并且， 质量部 511 在 Y 轴方向上的长度比质量部 512 在 Y 轴方向上的长度长。
并且， 质量部 511 与质量部 512 在 Y 轴方向上彼此相离。该相离的距离没有特别 限定， 优选为用于后述频率调整的能量线的照射区域 ( 特别是指激光的光点直径 ) 的 1/2 以上 ( 特别是 1 以上 )。
另一方面， 第 2 质量部 54 由质量部 541、 542 以及比质量部 541、 542 更靠振动臂 28 的基端侧而并排设置的质量部 543、 544 构成。
该质量部 541 和质量部 543 分别被设置在振动臂 28 的下表面 282 上的 X 轴方向 的一端部 ( 图 5 中左侧的端部 )， 另一方面， 质量部 542 和质量部 544 分别被设置在振动臂 28 的下表面 282 上的 X 轴方向的另一端部 ( 图 5 中右侧的端部 )。
在本实施方式中， 质量部 541、 542、 543、 544 分别为以 Y 轴方向为长边的带状 ( 长 方形 )。并且， 质量部 541、 542、 543、 544 的宽度彼此相同。并且， 质量部 541、 542 在 Y 轴方 向上的长度与所述第 1 质量部 51 的质量部 511 在 Y 轴方向上的长度相等。并且， 质量部 543、 544 在 Y 轴方向上的长度与所述第 1 质量部 51 的质量部 512 在 Y 轴方向上的长度相 等。
并且， 质量部 541 与质量部 543 在 Y 轴方向上彼此相离。并且， 质量部 542 与质量部 544 在 Y 轴方向上彼此相离。这些相离的距离没有特别限定， 分别优选为用于后述频率 调整的能量线的照射区域 ( 特别是指激光的光点直径 ) 的 1/2 以上 ( 特别是 1 以上 )。
并且， 质量部 541 与质量部 542 在 X 轴方向上相离。并且， 质量部 543 与质量部 544 在 X 轴方向上相离。这些相离的距离分别比所述第 1 质量部 51 的质量部 511、 512 的 X 轴方向上的长度长。
在从 Z 轴方向观察时， 这种第 1 质量部 51 和第 2 质量部 54 被设置成在 X 轴方向 上不重叠。即， 也可以说， 在从 Z 轴方向 ( 上表面 281 或下表面 282 的法线方向 ) 观察的平 面视图中， 第 1 质量部 51 和第 2 质量部 54 具有在 X 轴方向 ( 第 2 方向 ) 上彼此相邻地形 成的部分。由此， 能够使第 1 质量部 51 和第 2 质量部 54 在 Y 轴方向上的范围一致或重复。 因此， 能够抑制第 1 质量部 51 和第 2 质量部 54 在振动臂 28 的长度方向 (Y 轴方向 ) 上所 占的长度。另外， 关于第 1 质量部 51 和第 2 质量部 54， 在从 Z 轴方向观察时， 在第 1 质量部 51 和第 2 质量部 54 的边界附近， 质量部的一部分 ( 例如质量部的缘部彼此 ) 也可以重叠。
并且， 在从 Z 轴方向观察时， 第 1 质量部 51 的质量部 511、 512 与第 2 质量部 54 的 质量部 541、 543 在 X 轴方向上隔开间隔地设置， 同样， 第 1 质量部 51 的质量部 511、 512 与 第 2 质量部 54 的质量部 542、 544 在 X 轴方向上隔开间隔地设置。由此， 如后所述， 在照射 能量线时， 能够针对每个质量部分别进行去除。 这里， 这些间隔分别优选为用于后述频率调 整的能量线的照射区域 ( 特别是指激光的光点直径 ) 的 1/2 以上 ( 特别是 1 以上 )。
并且， 第 1 质量部 51 和第 2 质量部 54 分别设置在振动臂 28 的末端部侧 ( 末端附 近 )。由此， 能够增大与第 1 质量部 51 和第 2 质量部 54 的去除量对应的振动臂 28 的频率 ( 谐振频率 ) 的变化量。因此， 能够高效地进行频率调整。并且， 在振动臂 28 的末端部未设 置所述压电体元件 22， 所以， 能够在第 1 质量部 51 和第 2 质量部 54 的设置中得到有效利 用。因此， 能够使振动臂 28 缩短， 进而实现振动片 2 的小型化。
并且， 第 1 质量部 51 和第 2 质量部 54 在 Y 轴方向上的范围彼此一致。由此， 能够 使振动臂 28 缩短， 进而实现振动片 2 的小型化。
作为这种第 1 质量部 51 和第 2 质量部 54 的构成材料， 没有特别限定， 只要能够在 振动臂 28 上成膜即可， 可使用树脂材料、 金属材料、 陶瓷材料等。并且， 作为第 1 质量部 51 和第 2 质量部 54 的构成材料， 也可使用与所述压电体层 222 的构成材料相同的材料。
特别是作为这种第 1 质量部 51 和第 2 质量部 54 的构成材料， 优选使用金属材料 或陶瓷材料。即， 优选第 1 质量部 51 和第 2 质量部 54 分别通过形成金属或陶瓷的膜而形 成。
金属或陶瓷 ( 绝缘材料 ) 可通过气相成膜法简单且高精度地成膜。并且， 通过照 射能量线 ( 特别是激光 )， 能够简单且高精度地去除由金属或陶瓷构成的膜 ( 施重膜 )。因 此， 通过形成金属或陶瓷的膜而分别形成第 1 质量部 51 和第 2 质量部 54， 由此， 频率调整更 加简单且精度更高。
作为相应的金属材料， 与所述第 1 电极层 221 和第 2 电极层 223 的构成材料同样， 可列举出金 (Au)、 金合金、 铂 (Pt)、 铝 (Al)、 铝合金、 银 (Ag)、 银合金、 铬 (Cr)、 铬合金、 铜 (Cu)、 钼 (Mo)、 铌 (Nb)、 钨 (W)、 铁 (Fe)、 钛 (Ti)、 钴 (Co)、 锌 (Zn)、 锆 (Zr) 等， 可使用其中一 种或组合使用 2 种以上。其中， 作为该金属材料， 优选使用 Al、 Cr、 Fe、 Ni、 Cu、 Ag、 Au、 Pt 或 至少包含其中一种的合金。并且， 作为在第 1 质量部 51 和第 2 质量部 54 的构成材料中使用的陶瓷， 可列举出 ： 各种玻璃、 矾土 ( 氧化铝 )、 硅石 ( 氧化硅 )、 钛白 ( 氧化钛 )、 氧化锆、 氧化钇、 磷酸钙等氧化 物陶瓷 ； 氮化硅、 氮化铝、 氮化钛、 氮化硼等氮化物陶瓷 ； 石墨、 碳化钨等碳化物陶瓷 ； 以及 例如钛酸钡、 钛酸锶、 PZT、 PLZT、 PLLZT 等其他的强电介质材料等。其中， 作为该陶瓷， 优选 使用氧化硅 (SiO2)、 氧化钛 (TiO2)、 氧化铝 (Al2O3) 等绝缘材料。
并且， 优选第 1 质量部 51 的构成材料与第 2 质量部 54 的构成材料使用彼此不同 的材料。由此， 能够使得第 1 质量部 51 的构成材料的比重与第 2 质量部 54 的构成材料的 比重不同。其结果， 能够使得与第 1 质量部 51 的去除量对应的振动臂 28 的频率 ( 谐振频 率 ) 的变化量不同于与第 2 质量部 54 的去除量对应的振动臂 28 的频率 ( 谐振频率 ) 的变 化量。因此， 通过将第 1 质量部 51 和第 2 质量部 54 中的一个质量部用于粗调、 将另一个质 量部用于微调， 由此， 频率调整更加简单且精度更高。
并且， 优选第 1 质量部 51 由比重比第 2 质量部 54 的构成材料大的材料构成。换 言之， 优选第 2 质量部 54 由比重比第 1 质量部 51 的构成材料小的材料构成。更具体而言， 在由金属材料分别构成第 1 质量部 51 和第 2 质量部 54 的情况下， 优选由 Au、 Pt、 Ag 或它们 的合金等构成第 1 质量部 51、 由 Al、 Al 合金等构成第 2 质量部 54。 由此， 能够使得与第 1 质量部 51 的去除量对应的振动臂 28 的频率 ( 谐振频率 ) 的变化量 ( 上升量 ) 大于与第 2 质量部 54 的去除量对应的振动臂 28 的频率 ( 谐振频率 ) 的变化量 ( 上升量 )。因此， 通过将第 1 质量部 51 用于粗调、 将第 2 质量部 54 用于微调， 由 此， 频率调整更加简单且精度更高。
并且， 在本实施方式中， 第 2 质量部 54 位于振动臂 28 的 X 轴方向上的两端部， 所 以， 通过将第 2 质量部 54 用于微调， 能够防止振动臂 28 的振动特性在 X 轴方向的两端部发 生失衡。
并且， 根据与上述比重相同的观点， 优选第 1 质量部 51 的密度比第 2 质量部 54 的 密度大。换言之， 优选第 2 质量部 54 的密度比第 1 质量部 51 的密度小。例如， 通过由多孔 质体构成第 2 质量部 54， 由此， 即使第 1 质量部 51 和第 2 质量部 54 使用彼此相同的构成材 料， 也能够使第 2 质量部 54 的密度比第 1 质量部 51 的密度小。
并且， 优选第 1 质量部 51 的厚度 ( 平均厚度 ) 比第 2 质量部 54 的厚度 ( 平均厚 度 ) 厚。换言之， 优选第 2 质量部 54 的厚度 ( 平均厚度 ) 比第 1 质量部 51 的厚度 ( 平均 厚度 ) 薄。
由此， 能够使得与第 1 质量部 51 的去除量对应的振动臂 28 的频率 ( 谐振频率 ) 的变化量 ( 上升量 ) 大于与第 2 质量部 54 的去除量对应的振动臂 28 的频率 ( 谐振频率 ) 的变化量 ( 上升量 )。因此， 通过将第 1 质量部 51 用于粗调、 将第 2 质量部 54 用于微调， 由 此， 频率调整更加简单且精度更高。
并且， 在本实施方式中， 第 2 质量部 54 位于振动臂 28 的 X 轴方向上的两端部， 所 以， 通过将第 2 质量部 54 用于微调， 由此， 能够防止振动臂 28 的振动特性在 X 轴方向的两 端部发生失衡。
并且， 优选第 1 质量部 51 的厚度 ( 平均厚度 ) 为第 2 质量部 54 的厚度 ( 平均厚 度 ) 的 1 倍以上 10 倍以下， 更加优选为 1 倍以上 8 倍以下。
并且， 第 1 质量部 51 和第 2 质量部 54 的厚度 ( 平均厚度 ) 没有特别限定， 分别优
选为 1 ～ 1000nm 左右。由此， 能够容易地得到高精度地规定了厚度的第 1 质量部 51 和第 2 质量部 54。
( 频率的调整方法 )
接着， 根据图 7 对如上构成的振动片 2 的频率调整方法进行说明。另外， 下面， 以 将第 1 质量部 51 用于粗调、 将第 2 质量部 54 用于微调的情况为例进行说明。并且， 以下是 以振动臂 28 的频率调整为代表进行说明， 而振动臂 29、 30 的频率调整也与振动臂 28 的频 率调整相同。
振动片 2 的频率调整方法包括以下步骤 ： [1] 准备振动片 2( 频率调整前 ) ； 以及 [2] 通过照射能量线而去除第 1 质量部 51 和第 2 质量部 54 中的至少一个质量部的一部分 或全部， 由此， 减小该质量部的质量， 调整振动臂 28 的谐振频率。
下面， 依次对各步骤 [1]、 [2] 进行说明。
[1]
首先， 准备频率调整前 ( 未调整 ) 的振动片 2。
此时， 如图 7(a) 所示， 在振动臂 28 上设置所述由质量部 511、 512 构成的第 1 质量 部 51 以及由质量部 541、 542、 543、 544 构成的第 2 质量部 54。 并且， 此时， 振动臂 28 的频率 ( 谐振频率 ) 被设定为比目标频率 ( 谐振频率 ) 低。
[2]
( 粗调 )
然后， 首先进行频率的粗调。
具体而言， 如图 7(b) 所示， 通过照射能量线， 根据需要去除第 1 质量部 51 的一部 分或全部。
在图 7(b) 中， 作为一例， 图示了去除第 1 质量部 51 的质量部 511 的全部的情况。 因此， 在上述能量线照射后的振动臂 28 上设置有由质量部 512 构成的粗调后的第 1 质量部 151。 需要说明的是， 可根据需要， 恰当地设定在该粗调中所要去除的第 1 质量部 51 的形状、 部位及其去除量， 而不限于图示的情况。例如， 在通过照射激光而去除质量部 511 的一部分 的情况下， 第 1 质量部 51 的被去除的部分可为线状、 点状等形状。
通过这种粗调， 第 1 质量部 51 的质量减小而成为第 1 质量部 151， 所以， 振动臂 28 的频率提高。并且， 在该粗调后， 振动臂 28 的频率 ( 谐振频率 ) 比目标频率 ( 谐振频率 ) 稍低， 以便进入到能够利用后述的微调进行调整的范围内。 即， 通过照射能量线而逐渐去除 第 1 质量部 51， 直到成为振动臂 28 的频率 ( 谐振频率 ) 比目标频率 ( 谐振频率 ) 稍低的状 态。
并且， 关于在这种粗调中使用的能量线， 只要能够在不对振动臂 28 造成不良影响 的情况下去除第 1 质量部 51 的必要部位即可， 没有特别限定， 可列举出放射线、 电子线、 激 光、 离子束等， 而优选使用碳酸气体激光、 准分子激光、 YAG 激光等激光。由此， 能够简单且 可靠地按照期望量去除第 1 质量部 51 的一部分或全部。
( 微调 )
然后， 进行频率的微调。
具体而言， 如图 7(c) 所示， 通过照射能量线， 根据需要去除第 2 质量部 54 的一部 分或全部。
在图 7(c) 中， 作为一例， 图示了分别去除第 2 质量部 54 的质量部 541、 542 的全部 的情况。因此， 在上述能量线照射后的振动臂 28 上设置有由质量部 543、 544 构成的微调后 的第 2 质量部 154。需要说明的是， 可根据需要， 恰当地设定在该微调中所要去除的第 2 质 量部 54 的形状、 部位及其去除量， 而不限于图示的情况。例如， 在通过照射激光而去除质量 部 541 的一部分的情况下， 第 2 质量部 54 的被去除的部分可为线状、 点状等形状。
通过这种微调， 第 2 质量部 54 的质量减小而成为第 2 质量部 154， 所以， 振动臂 28 的频率提高。并且， 在该微调后， 振动臂 28 的频率 ( 谐振频率 ) 与目标频率 ( 谐振频率 ) 一致。即， 通过照射能量线而逐渐去除第 2 质量部 54， 直到振动臂 28 的频率 ( 谐振频率 ) 与目标频率 ( 谐振频率 ) 一致。
并且， 关于在这种微调中使用的能量线， 可使用与在所述粗调中使用的能量线相 同的能量线， 优选使用碳酸气体激光、 准分子激光、 YAG 激光等激光。由此， 能够简单且可靠 地按照期望量去除第 2 质量部 54 的一部分或全部。
通过以上方式， 能够将振动臂 28 的频率调整为与目标频率一致。特别是在上述频 率调整方法中， 能够与能量线的照射位置对应地， 分别 ( 选择性地 ) 去除第 1 质量部 51 和 第 2 质量部 54。因此， 能够简单且高精度地进行频率 ( 谐振频率 ) 的调整。
( 振动片的制造方法 )
这里， 简单说明所述振动片 2 的制造方法的一例。
所述振动片 2 的制造方法包括以下步骤 ： [A] 在振动臂 28、 29、 30 上形成第 1 电 极层 221、 231、 241、 第 1 质量部 51、 52、 53 和第 2 质量部 54、 55、 56 ； [B] 在第 1 电极层 221、 231、 241 上形成压电体层 222、 232、 242 ； 以及 [C] 在压电体层 222、 232、 242 上形成第 2 电极 层 223、 233、 243。
下面， 简单地说明各个步骤。
[A]
首先， 准备用于形成振动基板 21 的基板。
然后， 对该基板进行蚀刻， 由此形成振动基板 21。
更 加 具 体 而 言， 例 如 在 上 述 基 板 是 石 英 基 板 的 情 况 下， 通 过 将 BHF(buffer hydrogen fluoride) 用作蚀刻液的各向异性蚀刻， 去除石英基板的作为薄壁部 271 的部 分， 从而实现薄壁化。 然后， 通过与上述相同的各向异性蚀刻， 局部去除该薄壁化后的部分， 形成振动臂 28、 29、 30。由此形成振动基板 21。
然后， 在振动臂 28、 29、 30 上形成第 1 电极层 221、 231、 241、 第 1 质量部 51、 52、 53 和第 2 质量部 54、 55、 56。此时， 根据需要， 还同时形成配线等。
作为该第 1 电极层 221、 231、 241、 第 1 质量部 51、 52、 53 和第 2 质量部 54、 55、 56 的 形成方法， 可列举出溅射法、 真空蒸镀法等物理成膜法、 CVD(Chemical Vapor Deposition) 等化学蒸镀法等气相成膜法、 以及喷墨法等各种涂布法等， 而优选使用气相成膜法 ( 特别 是溅射法或真空蒸镀法 )。并且， 在形成第 1 电极层 221、 231、 241 时， 优选使用光刻法。
另外， 可在同一成膜步骤中一并形成第 1 电极层 221、 231、 241。
[B]
接着， 在第 1 电极层 221、 231、 241 上形成压电体层 222、 232、 242。
作为该压电体层 222、 232、 242 的形成方法， 可列举出溅射法、 真空蒸镀法等物理成膜法、 CVD(Chemical Vapor Deposition) 等化学蒸镀法等气相成膜法、 以及喷墨法等各 种涂布法等， 而优选使用气相成膜法 ( 特别是反应性溅射法 )。并且， 在压电体层 222、 232、 242 的形成 ( 构图 ) 时， 优选使用光刻法。并且， 在对压电体层 222、 232、 242 进行构图时， 优 选使用湿蚀刻来去除不必要的部分。
另外， 可在同一成膜步骤中一并形成压电体层 222、 232、 242。
[C]
接着， 在压电体层 222、 232、 242 上形成第 2 电极层 223、 233、 243。此时， 还同时形 成连接电极 41、 42 等。
可与所述第 1 电极层 221、 231、 241 同样地形成该第 2 电极层 223、 233、 243。
然后， 根据需要进行所述频率调整。
另外， 可以在将振动片 2 收纳到封装 3 内之前进行该频率调整， 也可以在将振动片 2 收纳到封装 3 内之后进行该频率调整。并且， 可以在将振动片 2 收纳到封装 3 内之前进行 由第 1 质量部 51、 52、 53 实现的频率调整和由第 2 质量部 54、 55、 56 实现的频率调整中的一 方的频率调整， 在将振动片 2 收纳到封装 3 内之后进行另一方的频率调整。
通过以上所说明的方式， 能够制造出振动片 2。 另外， 在上述制造方法的例子中， 是 与第 1 电极层 221、 231、 241 一并形成第 1 质量部 51、 52、 53 和第 2 质量部 54、 55、 56， 但不限 于此， 例如， 也可以与第 2 电极层 223、 233、 243 一并形成第 1 质量部 51、 52、 53 和第 2 质量 部 54、 55、 56。并且， 第 1 质量部 51、 52、 53 也可以由在第 1 电极层 221、 231、 241 中成膜得到 的部分与在第 2 电极层 223、 233、 243 中成膜得到的部分的层叠体构成。
( 封装 )
接着， 对收纳并固定振动片 2 的封装 3 进行说明。
如图 1 所示， 封装 3 具有板状的底座基板 31、 框状的框部件 32 以及板状的盖部件 33。底座基板 31、 框部件 32 和盖部件 33 从下侧向上侧按顺序层叠。底座基板 31 和框部 件 32 由后述的陶瓷材料等形成， 彼此烧结成一体而接合。而且， 框部件 32 和盖部件 33 通 过粘接剂或焊接材料等接合。而且， 封装 3 在由底座基板 31、 框部件 32 和盖部件 33 划分出 的内部空间 37 中收纳振动片 2。另外， 在封装 3 内， 除了振动片 2 以外， 还可以收纳对振动 片 2 进行驱动的电子部件 ( 振荡电路 ) 等。
作为底座基板 31 的构成材料， 优选具有绝缘性 ( 非导电性 ) 的材料， 例如可使用 各种玻璃、 氧化物陶瓷、 氮化物陶瓷、 碳化物陶瓷等各种陶瓷材料、 聚酰亚胺等各种树脂材 料等。
此外， 作为框部件 32 和盖部件 33 的构成材料， 例如可使用与底座基板 31 相同的 构成材料、 Al、 Cu 这样的各种金属材料、 各种玻璃材料等。特别是在使用玻璃材料等具有透 光性的材料作为盖部件 33 的构成材料的情况下， 即使在将振动片 2 收纳到封装 3 内之后， 通过隔着盖部件 33 对所述质量部照射激光， 去除所述金属覆盖部而减小振动片 2 的质量 ( 质量削减方式 )， 由此也能够进行振动片 2 的频率调整。
在该底座基板 31 的上表面， 经由固定件 36 固定着所述振动片 2。该固定材料 36 例如由环氧系、 聚酰亚胺系、 硅酮系等粘接剂构成。 在底座基板 31 上涂布未硬化 ( 未固化 ) 的粘接剂， 进而在该粘接剂上载置振动片 2， 之后使该粘接剂硬化或固化， 由此形成这种固 定件 36。由此， 振动片 2( 基部 27) 被可靠地固定在底座基板 31 上。另外， 也可以使用含有导电性粒子的环氧系、 聚酰亚胺系、 硅酮系等导电性粘接剂 来进行该固定。
并且， 在底座基板 31 的上表面， 以露出于内部空间 S 的方式形成有一对电极 35a、 35b。
该电极 35a 经由例如通过线键合技术形成的金属线 ( 键合线 )38 与所述连接电极 42 电连接。并且， 电极 35b 经由例如通过线键合技术形成的金属线 ( 键合线 )37 与所述连 接电极 41 电连接。
另外， 一对电极 35a、 35b 与连接电极 41、 42 之间的连接方法不限于此， 例如也可以 通过导电性粘接剂来进行连接。该情况下， 例如只需使振动片 2 的图示的正面背面反转、 或 在振动片 2 的下表面形成连接电极 41、 42 即可。
并且， 在底座基板 31 的下表面上设置有 4 个外部端子 34a、 34b、 34c、 34d。
这 4 个外部端子 34a ～ 34d 中的外部端子 34a、 34b 分别是经由导体柱 ( 未图示 ) 与电极 35a、 35b 电连接的热端子， 该导体柱设置在形成于底座基板 31 中的通孔内。而另外 2 个外部端子 34c、 34d 分别是虚设端子， 该虚设端子用于在将封装 3 安装到安装用基板上 时， 提高接合强度并使封装 3 与安装用基板之间的距离均匀。
例如， 可通过在镀钨和镀镍的衬底层上实施镀金， 来分别形成这种电极 35a、 35b 以及外部端子 34a ～ 34d。
另外， 在封装 3 的内部收纳有电子部件的情况下， 可根据需要， 在底座基板 31 的 下表面形成写入端子， 该写入端子用于进行电子部件的特性检查、 电子部件内的各种信息 ( 例如振子的温度补偿信息 ) 的改写 ( 调整 )。
根据以上说明的第 1 实施方式， 在从 Z 轴方向观察时 ( 即在平面视图中 )， 第1质 量部 51 和第 2 质量部 54 具有彼此不重叠的部分， 所以， 能够与能量线的照射位置对应地， 分别 ( 选择性地 ) 去除第 1 质量部 51 和第 2 质量部 54。因此， 能够高精度地调整通过照射 能量线而实现的第 1 质量部 51 和第 2 质量部 54 的去除量。因此， 能够简单且高精度地进 行频率 ( 谐振频率 ) 的调整。
并且， 具有这种振动片 2 的振子 1 的可靠性良好。
< 第 2 实施方式 >
接着， 对本发明的第 2 实施方式进行说明。
图 8 是用于说明本发明的第 2 实施方式的第 1 质量部和第 2 质量部的局部放大图 ((a) 是俯视图， (b) 是 (a) 中的 D-D 线截面图 )。
以下， 关于第 2 实施方式， 以与上述实施方式的不同之处为中心进行说明， 省略相 同事项的说明。
除了第 1 质量部和第 2 质量部的结构不同以外， 第 2 实施方式与第 1 实施方式大 致相同。另外， 在图 8 中， 对与上述实施方式相同的结构标注相同标号。并且， 在本实施方 式中， 也以设置在振动臂 28 上的第 1 质量部和第 2 质量部为代表进行说明， 而对于设置在 振动臂 29、 30 上的第 1 质量部和第 2 质量部也同样如此。
如图 8 所示， 在振动臂 28 的上表面 281 上设置有第 1 质量部 51A， 并且， 在振动臂 28 的下表面 282 上设置有第 2 质量部 54A。
关于该第 1 质量部 51A 和第 2 质量部 54A， 例如各自通过照射能量线而被去除一部分或全部， 从而质量减小， 用以调整振动臂 28 的谐振频率。
更具体而言， 第 1 质量部 51A 由多个质量部 513、 以及比该多个质量部 513 更靠振 动臂 28 的基端侧而并排设置的多个质量部 514 构成。
这里， 多个质量部 513 构成在 Y 轴方向和 X 轴方向上排列成阵列状的多个块部。 同 样， 多个质量部 514 构成在 Y 轴方向和 X 轴方向上排列成阵列状的多个块部。
在本实施方式中， 各质量部 513、 514 分别为以 Y 轴方向为长边的带状 ( 长方形 )。 并且， 各质量部 513、 514 具有彼此相同的形状和大小。
另一方面， 第 2 质量部 54A 由多个质量部 545、 以及比多个质量部 545 更靠振动臂 28 的基端侧而并排设置的多个质量部 546 构成。
这里， 多个质量部 545 构成在 Y 轴方向和 X 轴方向上排列成阵列状的多个块部。 同 样， 多个质量部 546 构成在 Y 轴方向和 X 轴方向上排列成阵列状的多个块部。
在本实施方式中， 各质量部 545、 546 分别为以 Y 轴方向为长边的带状 ( 长方形 )。 并且， 各质量部 545、 546 具有彼此相同的形状和大小。
关于这种第 1 质量部 51A 和第 2 质量部 54A， 在从 Z 轴方向观察时， 沿 Y 轴方向排 列的质量部 513 的列与沿 Y 轴方向排列的质量部 545 的列被排列成在 X 轴方向上彼此不重 叠。
同样， 在从 Z 轴方向观察时， 沿 Y 轴方向排列的质量部 514 的列与沿 Y 轴方向排列 的质量部 546 的列被排列成在 X 轴方向上彼此不重叠。
这样， 第 1 质量部 51A 和第 2 质量部 54A 分别具有排列成阵列状的多个块部， 所以， 通过照射能量线， 能够针对每个块部 ( 即各质量部 513、 514、 545、 546) 分别去除第 1 质量部 51A 和第 2 质量部 54A。因此， 能够迅速 ( 简单 ) 地按照期望量去除第 1 质量部 51A 和第 2 质量部 54A。并且， 容易预测与第 1 质量部 51A 和第 2 质量部 54A 的去除量对应的振动臂 28 的频率变化量。其结果， 频率调整更加简单且精度更高。
并且， 根据以上说明的第 2 实施方式， 能够发挥与上述第 1 实施方式相同的效果。
< 第 3 实施方式 >
接着， 对本发明的第 3 实施方式进行说明。
图 9 是用于说明本发明的第 3 实施方式的第 1 质量部和第 2 质量部的局部放大图 ((a) 是俯视图， (b) 是 (a) 中的 E-E 线截面图 )。
以下， 关于第 3 实施方式， 以与上述实施方式的不同之处为中心进行说明， 省略相 同事项的说明。
除了第 1 质量部和第 2 质量部的结构不同以外， 第 3 实施方式与第 1 实施方式大 致相同。另外， 在图 9 中， 对与上述实施方式相同的结构标注相同标号。并且， 在本实施方 式中， 也以设置在振动臂 28 上的第 1 质量部和第 2 质量部为代表进行说明， 而对于设置在 振动臂 29、 30 上的第 1 质量部和第 2 质量部也同样如此。
如图 9 所示， 在振动臂 28 的上表面 281 上设置有第 1 质量部 51B， 并且， 在振动臂 28 的下表面 282 上设置有第 2 质量部 54B。
关于该第 1 质量部 51B 和第 2 质量部 54B， 例如各自通过照射能量线而被去除一部 分或全部， 从而质量减小， 用以调整振动臂 28 的谐振频率。
更具体而言， 第 1 质量部 51B 由多个质量部 ( 线状部 )515 构成。各质量部 515 为以 X 轴方向为长边的线状 ( 带状 )。这里， 多个质量部 515 构成在 Y 轴方向上隔开间隔而设置的多个线状部。
另一方面， 第 2 质量部 54B 由多个质量部 547 构成。
各质量部 547 为以 X 轴方向为长边的线状 ( 带状 )。这里， 多个质量部 547 构成在 Y 轴方向上隔开间隔地设置的多个线状部。
关于这种第 1 质量部 51B 和第 2 质量部 54B， 在从 Z 轴方向观察时， 各质量部 515 与各质量部 547 以不重叠的方式沿 Y 轴方向交替地排列。
这样， 第 1 质量部 51B 和第 2 质量部 54B 分别具有彼此隔开间隔地设置的多个线 状部， 所以， 通过照射能量线， 使能量线照射部针对每个线状部 ( 即各质量部 515、 547) 分别 进行扫射， 由此， 能够一并去除第 1 质量部 51B 和第 2 质量部 54B。因此， 能够简单地将第 1 质量部 51B 和第 2 质量部 54B 去除期望量。其结果， 频率调整更加简单且精度更高。并且， 由于是隔开间隔地形成质量部 ( 线状部 )， 所以， 能够防止利用激光切削金属膜时产生的切 屑附着在其他金属膜上， 能够抑制因切屑引起频率偏移。
并且， 根据以上说明的第 3 实施方式， 能够发挥与上述第 1 实施方式相同的效果。
< 第 4 实施方式 >
接着， 对本发明的第 4 实施方式进行说明。
图 10 是用于说明本发明的第 4 实施方式的第 1 质量部和第 2 质量部的局部放大 图 ((a) 是俯视图， (b) 是 (a) 中的 F-F 线截面图 )。
以下， 关于第 4 实施方式， 以与上述实施方式的不同之处为中心进行说明， 省略相 同事项的说明。
除了第 1 质量部和第 2 质量部的结构不同以外， 第 4 实施方式与第 1 实施方式大 致相同。另外， 在图 10 中， 对与上述实施方式相同的结构标注相同标号。并且， 在本实施方 式中， 也以设置在振动臂 28 上的第 1 质量部和第 2 质量部为代表进行说明， 而对于设置在 振动臂 29、 30 上的第 1 质量部和第 2 质量部也同样如此。
如图 10 所示， 在振动臂 28 的上表面 281 上设置有第 1 质量部 51C， 并且， 在振动臂 28 的下表面 282 上设置有第 2 质量部 54C。
关于该第 1 质量部 51C 和第 2 质量部 54C， 例如各自分别通过照射能量线而被去除 一部分或全部， 从而质量减小， 用以调整振动臂 28 的谐振频率。
更具体而言， 第 1 质量部 51C 由多个质量部 ( 线状部 )516 构成。
各质量部 516 为以 Y 轴方向为长边的线状 ( 带状 )。这里， 多个质量部 516 构成在 X 轴方向上隔开间隔地设置的多个线状部。
另一方面， 第 2 质量部 54C 由多个质量部 548 构成。
各质量部 548 为以 Y 轴方向为长边的线状 ( 带状 )。这里， 多个质量部 548 构成在 X 轴方向上隔开间隔地设置的多个线状部。
关于这种第 1 质量部 51C 和第 2 质量部 54C， 在从 Z 轴方向观察时， 各质量部 516 与各质量部 548 以不重叠的方式沿 X 轴方向交替地排列。
这样， 第 1 质量部 51C 和第 2 质量部 54C 分别具有彼此隔开间隔地设置的多个线 状部， 所以， 通过照射能量线， 能够针对每个线状部 ( 即各质量部 516、 548) 分别去除第 1 质 量部 51C 和第 2 质量部 54C。因此， 能够简单地将第 1 质量部 51C 和第 2 质量部 54C 去除期望量。其结果， 频率调整更加简单且精度更高。并且， 由于是隔开间隔地形成质量部 ( 线状 部 )， 所以， 能够防止利用激光切削金属膜时产生的切屑附着在其他金属膜上， 能够抑制因 切屑引起的频率偏移。
并且， 根据以上说明的第 4 实施方式， 能够发挥与上述第 1 实施方式相同的效果。
< 第 5 实施方式 >
接着， 对本发明的第 5 实施方式进行说明。
图 11 是用于说明本发明的第 5 实施方式的第 1 质量部和第 2 质量部的局部放大 图 ((a) 是俯视图， (b) 是 (a) 中的 G-G 线截面图， (c) 是 (a) 中的 H-H 线截面图 )。
以下， 关于第 5 实施方式， 以与上述实施方式的不同之处为中心进行说明， 省略相 同事项的说明。
除了第 1 质量部和第 2 质量部的结构不同以外， 第 5 实施方式与第 1 实施方式大 致相同。并且， 除了第 1 质量部的结构不同以外， 第 5 实施方式与第 3 实施方式大致相同。 并且， 除了第 2 质量部的结构不同以外， 第 5 实施方式与第 4 实施方式大致相同。另外， 在 图 11 中， 对与上述实施方式相同的结构标注相同标号。并且， 在本实施方式中， 也以设置在 振动臂 28 上的第 1 质量部和第 2 质量部为代表进行说明， 而对于设置在振动臂 29、 30 上的 第 1 质量部和第 2 质量部也同样如此。 如图 11 所示， 在振动臂 28 的上表面 281 上设置有第 1 质量部 51C， 并且， 在振动臂 28 的下表面 282 上设置有第 2 质量部 54B。
在本实施方式中， 第 1 质量部 51C 的多个质量部 516( 线状部 ) 和第 2 质量部 54B 的多个质量部 547( 线状部 ) 彼此垂直地设置。
由此， 在振动臂 28 上形成第 1 质量部 51C 和第 2 质量部 54B 时， 不需要高精度地进 行 Y 轴方向和 X 轴方向上的定位， 在从 Z 轴方向观察时， 第 1 质量部 51C 和第 2 质量部 54B 具有彼此不重叠的部分。
并且， 根据以上说明的第 5 实施方式， 能够发挥与上述第 1 实施方式相同的效果。
以上说明的各实施方式的振动片能够应用于各种电子设备， 所得到的电子设备的 可靠性高。
这里， 根据图 12 ～图 14 对具有本发明的振动片的电子设备进行详细说明。
图 12 是示出应用了具有本发明的振动片的电子设备的移动型 ( 或笔记本型 ) 的 个人计算机的结构的立体图。
在该图中， 个人计算机 1100 由具有键盘 1102 的主体部 1104 以及具有显示部 100 的显示单元 1106 构成， 显示单元 1106 通过铰链构造部以能够转动的方式支承在主体部 1104 上。
在这种个人计算机 1100 中内置有作为滤波器、 谐振器、 基准时钟等发挥功能的振 子 1。
图 13 是示出应用了具有本发明的振动片的电子设备的便携电话机 ( 也包括 PHS) 的结构的立体图。
在该图中， 便携电话机 1200 具有接听口 1204、 通话口 1206 以及多个操作按钮 1202， 在操作按钮 1202 与接听口 1204 之间配置着显示部 100。
在这种便携电话机 1200 中内置有作为滤波器、 谐振器等发挥功能的振子 1。
图 14 是示出应用了具有本发明的振动片的电子设备的数字静态照相机的结构的 立体图。另外， 在该图中， 还简单地示出与外部设备之间的连接。
这里， 通常的照相机是通过被摄体的光像对银盐胶片进行感光， 与此相对， 数字静 态照相机 1300 通过 CCD(Charge Coupled Device) 等摄像元件对被摄体的光像进行光电转 换， 生成摄像信号 ( 图像信号 )。
在数字静态照相机 1300 中的外壳 ( 机身 )1302 的背面设置有显示部， 构成为根据 CCD 的摄像信号进行显示， 显示部作为取景器发挥功能， 将被摄体显示为电子图像。
并且， 在外壳 1302 的正面侧 ( 图中背面侧 ) 设置有包含光学镜头 ( 摄像光学系 统 ) 和 CCD 等的受光单元 1304。
摄影者确认在显示部中显示的被摄体像， 当按下快门按钮 1306 时， 将该时刻的 CCD 的摄像信号转送到存储器 1308 内进行存储。
并且， 在该数字静态照相机 1300 中， 在外壳 1302 的侧面设置有视频信号输出端子 1312 和数据通信用的输入输出端子 1314。而且， 如图所示， 根据需要， 在视频信号输出端子 1312 上连接电视监视器 1430， 在数据通信用的输入输出端子 1314 上连接个人计算机 1440。 而且构成为， 通过规定操作， 将存储在存储器 1308 中的摄像信号输出到电视监视器 1430 或 个人计算机 1440。
在这种数字静态照相机 1300 中内置有作为滤波器、 谐振器等发挥功能的振子 1。
另外， 除了图 12 的个人计算机 ( 移动型个人计算机 )、 图 13 的便携电话机、 图 14 的数字静态照相机 1300 以外， 具有本发明的振动片的电子设备例如还能够应用于喷墨式 排出装置 ( 例如喷墨打印机 )、 膝上型个人计算机、 电视、 摄像机、 录像机、 车载导航装置、 寻 呼机、 电子记事本 ( 也包含通信功能 )、 电子辞典、 计算器、 电子游戏设备、 文字处理器、 工作 站、 视频电话、 防盗用电视监视器、 电子双筒镜、 POS 终端、 医疗设备 ( 例如电子体温计、 血压 计、 血糖计、 心电图计测装置、 超声波诊断装置、 电子内窥镜 )、 鱼群探测器、 各种测定设备、 计量仪器类 ( 例如车辆、 飞机、 船舶的计量仪器类 )、 飞行模拟器等。
以上， 根据图示的实施方式对本发明的振动片、 频率调整方法、 振子、 振动器件以 及电子设备进行了说明， 但是， 本发明不限于此， 各个部分的结构可置换为具有相同功能的 任意结构。并且， 在上述实施例中， 说明了使能量线照射第 1 质量部或第 2 质量部而进行频 率调整的例子， 但是不限于此， 也可以通过离子蚀刻、 喷砂、 湿蚀刻来减小质量部的质量。 此 外， 可通过溅射或蒸镀对第 1 质量部或第 2 质量部附上膜来增加质量部的质量， 由此进行频 率调整。并且， 本发明还可以附加其他任意的构成物。并且， 本发明也可以组合上述各实施 方式中的任意 2 个以上的结构 ( 特征 )。
例如， 在上述实施方式中， 以振动片具有 3 个振动臂的情况为例进行了说明， 但 是， 振动臂的数量也可以是 1 个或 2 个， 还可以是 4 个以上。
并且， 本发明的振动器件在振动片上连接有振荡电路， 由此， 不但能够应用于石英 振荡器 (SPXO)、 压控石英振荡器 (VCXO)、 温度补偿石英振荡器 (TCXO)、 带恒温槽的石英振 荡器 (OCXO) 等压电振荡器， 还能够应用于陀螺仪传感器等。