直角弯型对组栅控阴极结构的平板显示器及其制作工艺.pdf

本发明涉及一种直角弯型对组栅控阴结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阴极面板、阳极面板和玻璃围框所构成的密封真空室；设置在阴极面板上的直角弯型对组栅控阴结构；设置在阳极面板上的阳极传导层、阳极引线层、阳极遮盖层以及制备在阳极传导层上面的荧光粉层；位于阳极面板和阴极面板之间的隔离墙以及消气剂，具有成本低廉、制作工艺简单、制作过程稳定可靠的优点。

1.  一种直角弯型对组栅控阴极结构的平板显示器，包括由阴极玻璃面板(1)、阳极玻璃面板(18)和玻璃围框(17)所构成的密封真空室；设置在阳极玻璃面板(18)上的阳极传导层(19)、阳极引线层(22)、阳极遮盖层(21)以及制备在阳极传导层(19)上面的荧光粉层(20)；位于阳极玻璃面板(18)和阴极玻璃面板(1)之间的隔离墙(15)以及消气剂(16)；其特征在于：
在阴极玻璃面板(1)上设置有直角弯型对组栅控阴极结构；所述的直角弯型对组栅控阴极结构的基底材料为阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上印刷并烧结的绝缘浆料形成阴极隔离层(2)；阴极隔离层(2)上面存在阴极导电层(3)，阴极导电层(3)为平面；阴极导电层(3)周围存在阴极引线层(4)，阴极引线层(4)和阴极导电层(3)是相互连通的；阴极导电层(3)上面存在阴极增高一层(5)和阴极增高二层(6)，阴极增高一层(5)和阴极增高二层(6)的形状相同，且是中心对称的；阴极增高一层(5)的纵向截面呈现三角锥型形状，即阴极增高层的下表面为平面，和阴极导电层(3)相接触，阴极增高层的两侧面均为斜坡面，且相交于阴极增高层的顶部；阴极增高一层(5)的横向截面呈现直角弯型，且两个直角边是不等长的；阴极增高一层(5)上面存在阴极牺牲一层(7)，阴极牺牲一层(7)位于阴极增高一层(5)表面顶部位置，阴极增高一层(5)侧面底部是不存在阴极牺牲一层(7)的；阴极增高二层(6)上面存在阴极牺牲二层(8)，阴极牺牲二层(8)位于阴极增高二层(6)表面顶部位置，阴极增高二层(6)侧面底部是不存在阴极牺牲二层(8)的；阴极导电层(3)上面存在绝缘分隔层(9)；绝缘分隔层(9)的上下表面均为平面，下表面和阴极导电层(3)相接触；绝缘分隔层(9)中存在电子束一孔和电子束二孔，在电子束一孔中暴露出底部的阴极增高一层(5)和阴极牺牲一层(7)，在电子束二孔中暴露出底部的阴极增高二层(6)和阴极牺牲二层(8)电子束一孔和电子束二孔的侧壁都是平面，且垂直于阴极导电层(3)表面的；绝缘分隔层(9)中电子束一孔上表面存在栅极导电一层(10)，栅极导电一层(10)的前端延伸到电子束一孔中，呈悬空态；绝缘分隔层(9)中电子束二孔上表面存在栅极导电二层(11)，栅极导电二层(11)的前端延伸到电子束二孔中，呈悬空态；栅极导电一层(10)和栅极导电二层(11)是不连通的；栅极导电一层(10)和栅极导电二层(11)的周围存在栅极引线层(12)；绝缘隔离层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成绝缘覆盖层(13)，绝缘覆盖层(13)要覆盖栅极导电一层(10)、栅极导电二层(11)和栅极引线层(12)；碳纳米管(14)制备在阴极牺牲一层(7)和阴极牺牲二层(8)的上面。

2.  根据权利要求1所述的直角弯型对组栅控阴极结构的平板显示器，其特征在于：所述的阴极导电层(3)为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锌、锡、铟之一；阴极引线层(4)为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锌、锡、铟之一；阴极增高一层(5)为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锌、锡、铟之一；阴极增高二层(6)为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锌、锡、铟之一；阴极牺牲一层(7)为金属铁、钴、镍之一；阴极牺牲二层(8)为金属铁、钴、镍之一；栅极导电一层(10)为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锌、锡、铟之一；栅极导电二层(11)为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锌、锡、铟之一；栅极引线层(12)为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锌、锡、铟之一。

3.  根据权利要求1所述的直角弯型对组栅控阴极结构的平板显示器，其特征在于：阴极玻璃面板采用钠钙玻璃或硼硅玻璃。

4.  一种如权利要求1所述的直角弯型对组栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作步骤如下：
1)阴极玻璃面板(1)的制作：对整体平板玻璃进行切割，制作出阴极玻璃面板；
2)阴极隔离层(2)的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成阴极隔离层(2)；
3)阴极导电层(3)的制作：在阴极隔离层(2)上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极导电层(3)；
4)阴极引线层(4)的制作：在阴极导电层(3)的周围印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阴极引线层(4)；
5)阴极增高一层(5)和阴极增高二层(6)的制作：在阴极导电层(3)上面印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后分别形成阴极增高一层(5)和阴极增高二层(6)；
6)阴极牺牲一层(7)的制作：在阴极增高一层(5)的上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极牺牲一层(7)；
7)阴极牺牲二层(8)的制作：在阴极增高二层(6)的上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极牺牲二层(8)；
8)绝缘分隔层(9)的制作：在阴极导电层(3)上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成绝缘分隔层(9)；
9)栅极导电一层(10)的制作：在绝缘分隔层(9)中电子束一孔的上表面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成栅极导电一层(10)；
10)栅极导电二层(11)的制作：在绝缘分隔层(9)中电子束二孔的上表面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成栅极导电二层(11)；
11)栅极引线层(12)的制作：在栅极导电一层(10)和栅极导电二层(11)的周围印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成栅极引线层(12)；
12)绝缘覆盖层(13)的制作：在绝缘隔离层上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成绝缘覆盖层(13)；
13)直角弯型对组栅控阴极结构的表面清洁处理：对直角弯型对组栅控阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；
14)碳纳米管(14)的制备：将碳纳米管(14)制备在阴极牺牲一层(7)和阴极牺牲二层(8)上面；
15)阳极玻璃面板(18)的制作：对整体平板玻璃进行切割，制作出阳极玻璃面板；
16)阳极传导层(19)的制作：在阳极玻璃面板上制备出锡铟氧化物膜层，经常规刻蚀工艺后形成阴极传导层；
17)阳极引线层(22)的制作：在阳极玻璃面板上印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阳极引线层；
18)阳极遮盖层(21)的制作：在阳极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成阳极遮盖层；
19)荧光粉层(20)的制作：在阳极传导层上面印刷荧光粉，经常规烘烤工艺后形成荧光粉层；
20)器件装配：将阳极玻璃面板(18)、阴极玻璃面板(1)、支撑墙结构(15)、四周玻璃边框(17)装配到一起，并将消气剂附属元件(16)安装到空室当中，用低熔点玻璃粉固定；
21)、成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

5.  根据权利要求5所述的直角弯型对组栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤18具体为在阳极面板的非显示区域以及显示区域的阳极传导层间空余位置印刷绝缘浆料；经过烘烤，烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟，之后放置在烧结炉中进行烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

6.  根据权利要求5所述的直角弯型对组栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤19具体为在阳极面板的显示区域中阳极传导层上面印刷荧光粉；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

7.  根据权利要求5所述的直角弯型对组栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤21具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

直角弯型对组栅控阴极结构的平板显示器及其制作工艺
技术领域
本发明属于平板显示技术领域、真空科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作，特别涉及到直角弯型对组栅控阴极结构的平板显示器及其制作工艺。
背景技术
平板显示器已经成为了未来显示设备的主流装置，这也是显示技术市场发展的大势所趋。平板显示技术已经有了实质性进步，在大屏幕户外广告牌、高清晰度电视、计算机终端显示以及军事系统等设备应用的推动下正在蓬勃发展。场致发射显示器是一种新型的固体真空显示器件，属于平板显示器中的一种，但是由于它将CRT显示器的高图像质量、液晶显示器的超薄型、以及等离子体显示器的大面积性等优势集于一身，已经被公认为是理想的下一代显示设备。碳纳米管的出现，则是加速了场致发射显示器的研发进展。碳纳米管具有小的尖端曲率半径，能够在较低的电场强度下发射出大量的电子，非常适合于用作场致发射显示器的阴极材料。利用碳纳米管作为阴极材料而制作的场致发射显示器通常为三极结构，即阳极、栅极和阴极。由于栅极和阴极的距离很近，理论上讲栅极的工作电压应该很低，这符合低压平板器件的要求。但是在目前所研发的三极结构场致发射显示器件中，普遍都存在着栅极电压偏高、器件制作过于复杂等不利因素，这主要是由于栅极结构的加入而造成的，对于栅极结构制作材料和制作工艺的要求更高。还需要投入大量的物力和财力进行研究，以期达到进一步降低栅极工作电压和工作电流的目的。此外，碳纳米管阴极的制作形状和制作工艺也对居高不下的栅极电压负有不可推卸的责任。对于这些实际问题，目前还没有一个比较完美的解决办法，都需要众多研究人员认真的考虑和解决。
此外，在三极结构的平板场致发射显示器件当中，还需要尽可能的降低总体器件成本，进行稳定可靠、成本低廉、性能优良、高质量的器件制作。
发明内容
本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作工艺简单的直角弯型对组栅控阴极结构的平板场致发射显示器及其制作工艺。
本发明的目的是这样实现的：
一种直角弯型对组栅控阴极结构的平板显示器，包括由阴极玻璃面板、阳极玻璃面板和玻璃围框所构成的密封真空室；设置在阳极玻璃面板上的阳极传导层、阳极引线层、阳极遮盖层以及制备在阳极传导层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的隔离墙以及消气剂；其特征在于：
在阴极玻璃面板上设置有直角弯型对组栅控阴极结构；所述的直角弯型对组栅控阴极结构的基底材料为阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上印刷并烧结的绝缘浆料形成阴极隔离层；阴极隔离层上面存在阴极导电层，阴极导电层为平面；阴极导电层周围存在阴极引线层，阴极引线层和阴极导电层是相互连通的；阴极导电层上面存在阴极增高一层和阴极增高二层，阴极增高一层和阴极增高二层的形状相同，且是中心对称的；阴极增高一层的纵向截面呈现三角锥型形状，即阴极增高层的下表面为平面，和阴极导电层相接触，阴极增高层的两侧面均为斜坡面，且相交于阴极增高层的顶部；阴极增高一层的横向截面呈现直角弯型，且两个直角边是不等长的；阴极增高一层上面存在阴极牺牲一层，阴极牺牲一层位于阴极增高一层表面顶部位置，阴极增高一层侧面底部是不存在阴极牺牲一层的；阴极增高二层上面存在阴极牺牲二层，阴极牺牲二层位于阴极增高二层表面顶部位置，阴极增高二层侧面底部是不存在阴极牺牲二层的；阴极导电层上面存在绝缘分隔层；绝缘分隔层的上下表面均为平面，下表面和阴极导电层相接触；绝缘分隔层中存在电子束一孔和电子束二孔，在电子束一孔中暴露出底部的阴极增高一层和阴极牺牲一层，在电子束二孔中暴露出底部的阴极增高二层和阴极牺牲二层电子束一孔和电子束二孔的侧壁都是平面，且垂直于阴极导电层表面的；绝缘分隔层中电子束一孔上表面存在栅极导电一层，栅极导电一层的前端延伸到电子束一孔中，呈悬空态；绝缘分隔层中电子束二孔上表面存在栅极导电二层，栅极导电二层的前端延伸到电子束二孔中，呈悬空态；栅极导电一层和栅极导电二层是不连通的；栅极导电一层和栅极导电二层的周围存在栅极引线层；绝缘隔离层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成绝缘覆盖层，绝缘覆盖层要覆盖栅极导电一层、栅极导电二层和栅极引线层；碳纳米管制备在阴极牺牲一层和阴极牺牲二层的上面。
所述的阴极导电层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锌、锡、铟之一；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锌、锡、铟之一；阴极增高一层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锌、锡、铟之一；阴极增高二层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锌、锡、铟之一；阴极牺牲一层为金属铁、钴、镍之一；阴极牺牲二层为金属铁、钴、镍之一；栅极导电一层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锌、锡、铟之一；栅极导电二层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锌、锡、铟之一；栅极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锌、锡、铟之一。
阴极玻璃面板采用钠钙玻璃或硼硅玻璃。
一种所述的直角弯型对组栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作工艺如下：
1)阴极玻璃面板的制作：对整体平板玻璃进行切割，制作出阴极玻璃面板；
2)阴极隔离层的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成阴极隔离层；
3)阴极导电层的制作：在阴极隔离层上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极导电层；
4)阴极引线层的制作：在阴极导电层的周围印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阴极引线层；
5)阴极增高一层和阴极增高二层的制作：在阴极导电层上面印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后分别形成阴极增高一层和阴极增高二层；
6)阴极牺牲一层的制作：在阴极增高一层的上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极牺牲一层；
7)阴极牺牲二层的制作：在阴极增高二层的上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极牺牲二层；
8)绝缘分隔层的制作：在阴极导电层上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成绝缘分隔层；
9)栅极导电一层的制作：在绝缘分隔层中电子束一孔的上表面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成栅极导电一层；
10)栅极导电二层的制作：在绝缘分隔层中电子束二孔的上表面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成栅极导电二层；
11)栅极引线层的制作：在栅极导电一层和栅极导电二层的周围印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成栅极引线层；
12)绝缘覆盖层的制作：在绝缘隔离层上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成绝缘覆盖层；
13)直角弯型对组栅控阴极结构的表面清洁处理：对直角弯型对组栅控阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；
14)碳纳米管的制备：将碳纳米管制备在阴极牺牲一层和阴极牺牲二层上面；
15)阳极玻璃面板的制作：对整体平板玻璃进行切割，制作出阳极玻璃面板；
16)阳极传导层的制作：在阳极玻璃面板上制备出锡铟氧化物膜层，经常规刻蚀工艺后形成阴极传导层；
17)阳极引线层的制作：在阳极玻璃面板上印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阳极引线层；
18)阳极遮盖层的制作：在阳极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成阳极遮盖层；
19)荧光粉层的制作：在阳极传导层上面印刷荧光粉，经常规烘烤工艺后形成荧光粉层；
20)器件装配：将阳极玻璃面板、阴极玻璃面板、支撑墙结构、四周玻璃边框装配到一起，并将消气剂附属元件安装到空室当中，用低熔点玻璃粉固定；
21)、成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。
所述步骤18具体为在阳极面板的非显示区域以及显示区域的阳极传导层间空余位置印刷绝缘浆料；经过烘烤，烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟，之后放置在烧结炉中进行烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。
所述步骤19具体为在阳极面板的显示区域中阳极传导层上面印刷荧光粉；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。
所述步骤21具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。
本发明具有如下积极效果：
本发明中的主要特点在于制作了具有直角弯型对组栅控阴极结构的、碳纳米管阴极的平板场致发射平板显示器件。在充分利用碳纳米管阴极以“场致发射”形式发射大量电子的基础上，由位于碳纳米管阴极上方的栅极来控制碳纳米管阴极的电子发射。将高性能的制作材料和低成本的制作工艺有机结合起来，制作出性能更加优良的平板发光器件。
其一，采用了直角弯型对组栅控结构，不仅简化了栅极结构的制作工艺，降低了制作难度，而且还进一步缩减了栅极-阴极之间的有效距离，从而达到降低器件工作电压的目的，能够极大地提升碳纳米管的发射效率；
其二，在本发明中，是在阳极结构和栅极控制结构全部制作完毕的情况下，最后才进行碳纳米管阴极的制作，极大减少了碳纳米管阴极的损伤，提高了显示器件制作的成功率。
此外，在本发明中的器件制作过程中，并没有采用特殊的器件制作材料以及特殊的器件制作工艺，降低了器件制作成本，具有成本低廉、制作工艺简单、制作过程稳定可靠的优越之处。
附图说明
图1给出了直角弯型对组栅控阴极结构的纵向结构示意图；
图2给出了直角弯型对组栅控阴极结构的横向结构示意图；
图3给出了带有直角弯型对组栅控阴极结构的、碳纳米管场致发射平面显示器的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明，但本发明并不局限于实施例。
如图1、2、3所示，本发明包括由阴极玻璃面板1、阳极玻璃面板18和玻璃围框17所构成的密封真空室；设置在阳极玻璃面板18上的阳极传导层19、阳极引线层22、阳极遮盖层21以及制备在阳极传导层19上面的荧光粉层20；位于阳极玻璃面板18和阴极玻璃面板1之间的隔离墙15以及消气剂16；其特征在于：
在阴极玻璃面板1上设置有直角弯型对组栅控阴极结构；所述的直角弯型对组栅控阴极结构的基底材料为阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上印刷并烧结的绝缘浆料形成阴极隔离层；阴极隔离层上面存在阴极导电层，阴极导电层为平面；阴极导电层周围存在阴极引线层，阴极引线层和阴极导电层是相互连通的；阴极导电层上面存在阴极增高一层和阴极增高二层，阴极增高一层和阴极增高二层的形状相同，且是中心对称的；阴极增高一层的纵向截面呈现三角锥型形状，即阴极增高层的下表面为平面，和阴极导电层相接触，阴极增高层的两侧面均为斜坡面，且相交于阴极增高层的顶部；阴极增高一层的横向截面呈现直角弯型，且两个直角边是不等长的；阴极增高一层上面存在阴极牺牲一层，阴极牺牲一层位于阴极增高一层表面顶部位置，阴极增高一层侧面底部是不存在阴极牺牲一层的；阴极增高二层上面存在阴极牺牲二层，阴极牺牲二层位于阴极增高二层表面顶部位置，阴极增高二层侧面底部是不存在阴极牺牲二层的；阴极导电层上面存在绝缘分隔层；绝缘分隔层的上下表面均为平面，下表面和阴极导电层相接触；绝缘分隔层中存在电子束一孔和电子束二孔，在电子束一孔中暴露出底部的阴极增高一层和阴极牺牲一层，在电子束二孔中暴露出底部的阴极增高二层和阴极牺牲二层电子束一孔和电子束二孔的侧壁都是平面，且垂直于阴极导电层表面的；绝缘分隔层中电子束一孔上表面存在栅极导电一层，栅极导电一层的前端延伸到电子束一孔中，呈悬空态；绝缘分隔层中电子束二孔上表面存在栅极导电二层，栅极导电二层的前端延伸到电子束二孔中，呈悬空态；栅极导电一层和栅极导电二层是不连通的；栅极导电一层和栅极导电二层的周围存在栅极引线层；绝缘隔离层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成绝缘覆盖层，绝缘覆盖层要覆盖栅极导电一层、栅极导电二层和栅极引线层；碳纳米管制备在阴极牺牲一层和阴极牺牲二层的上面。
所述的阴极导电层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锌、锡、铟之一；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锌、锡、铟之一；阴极增高一层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锌、锡、铟之一；阴极增高二层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锌、锡、铟之一；阴极牺牲一层为金属铁、钴、镍之一；阴极牺牲二层为金属铁、钴、镍之一；栅极导电一层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锌、锡、铟之一；栅极导电二层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锌、锡、铟之一；栅极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锌、锡、铟之一。
阴极玻璃面板采用钠钙玻璃或硼硅玻璃。
一种所述的直角弯型对组栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作步骤如下：
1)阴极玻璃面板1的制作：对整体平板玻璃进行切割，制作出阴极玻璃面板；
2)阴极隔离层2的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成阴极隔离层；
3)阴极导电层3的制作：在阴极隔离层上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极导电层；
4)阴极引线层4的制作：在阴极导电层的周围印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阴极引线层；
5)阴极增高一层5和阴极增高二层6的制作：在阴极导电层上面印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后分别形成阴极增高一层和阴极增高二层；
6)阴极牺牲一层7的制作：在阴极增高一层的上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极牺牲一层；
7)阴极牺牲二层8的制作：在阴极增高二层的上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极牺牲二层；
8)绝缘分隔层9的制作：在阴极导电层上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成绝缘分隔层；
9)栅极导电一层10的制作：在绝缘分隔层中电子束一孔的上表面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成栅极导电一层；
10)栅极导电二层11的制作：在绝缘分隔层中电子束二孔的上表面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成栅极导电二层；
11)栅极引线层12的制作：在栅极导电一层和栅极导电二层的周围印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成栅极引线层；
12)绝缘覆盖层13的制作：在绝缘隔离层上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成绝缘覆盖层；
13)直角弯型对组栅控阴极结构的表面清洁处理：对直角弯型对组栅控阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；
14)碳纳米管14的制备：将碳纳米管制备在阴极牺牲一层和阴极牺牲二层上面；
15)阳极玻璃面板18的制作：对整体平板玻璃进行切割，制作出阳极玻璃面板；
16)阳极传导层19的制作：在阳极玻璃面板上制备出锡铟氧化物膜层，经常规刻蚀工艺后形成阴极传导层；
17)阳极引线层22的制作：在阳极玻璃面板上印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阳极引线层；
18)阳极遮盖层21的制作：在阳极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成阳极遮盖层；
19)荧光粉层20的制作：在阳极传导层上面印刷荧光粉，经常规烘烤工艺后形成荧光粉层；
20)器件装配：将阳极玻璃面板18、阴极玻璃面板1、支撑墙结构15、四周玻璃边框17装配到一起，并将消气剂附属元件16安装到空室当中，用低熔点玻璃粉固定；
21)、成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。
所述步骤18具体为在阳极面板的非显示区域以及显示区域的阳极传导层间空余位置印刷绝缘浆料；经过烘烤，烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟，之后放置在烧结炉中进行烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。
所述步骤19具体为在阳极面板的显示区域中阳极传导层上面印刷荧光粉；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。
所述步骤21具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。