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1、10申请公布号CN102007398A43申请公布日20110406CN102007398ACN102007398A21申请号200980000375522申请日20090325200800245220080417JP200800277620080430JPG01N21/66200601H01L31/04220060171申请人日清纺控股株式会社地址日本国东京都72发明人下斗米光博马场史伸74专利代理机构中科专利商标代理有限责任公司11021代理人张宝荣54发明名称太阳电池的检查装置及检查装置用输送装置57摘要本发明提供一种太阳电池的检查装置及检查装置用输送装置。所述太阳电池的检查装置是给太阳。
2、电池通顺向电流而使其EL发光的检查装置，是结构简单且廉价的太阳电池的检查装置，所述检查装置用输送装置在将层压处理前的被测定物即太阳电池的结构构件以层叠状态向上述检查装置输送时不会产生被测定物即太阳电池的结构构件的位置偏离。包括在上表面具有开口部或透明板112的暗室110、设置在所述暗室的上表面111且载置被测定物的支承机构、设置在所述暗室110的内部的照相机120的太阳电池的检查装置，设置有用于对从所述开口部及所述开口部112与载置在所述支承机构上的所述太阳电池的边界的间隙进入所述暗室内的光进行遮挡的遮光罩。另外在上述检查装置中，对于将太阳电池的结构构件在层压处理之前以层叠的状态向所述检查装置。
3、输送的输送装置，将具有比作为输送的太阳电池的所述结构构件的透明基板等的厚度尺寸低的壁部的多个输送构件环形连接，并相对于输送方向对称地设置1对2列来输送导向，由此在输送过程中太阳电池的结构构件不会偏离。30优先权数据85PCT申请进入国家阶段日2009112486PCT申请的申请数据PCT/JP2009/0567742009032587PCT申请的公布数据WO2009/136525JA2009111251INTCL19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书2页说明书12页附图14页CN102007411A1/2页21一种太阳电池的检查装置，包括在上表面具有开口部的暗室；设置在该暗。
4、室的所述上表面且载置作为被测定物的太阳电池的支承机构；设置在所述暗室内部的照相机，其特征在于，所述太阳电池的检查装置还包括遮光罩，该遮光罩用于遮挡从所述开口部及所述开口部与载置在所述支承机构上的所述太阳电池的边界的间隙进入所述暗室内的光。2根据权利要求1所述的太阳电池的检查装置，其特征在于，在所述检查装置的所述遮光罩的侧面设有用于输入输出作为被测定物的太阳电池的开闭式门。3根据权利要求1或2所述的太阳电池的检查装置，其特征在于，在所述检查装置的所述遮光罩的上表面设有开闭式门。4根据权利要求13中任一项所述的太阳电池的检查装置，其特征在于，所述太阳电池的检查装置设有所述照相机的移动机构。5根据权。
5、利要求14中任一项所述的太阳电池的检查装置，其特征在于，所述太阳电池的检查装置设有反射板，该反射板位于所述暗室的内部，且相对于所述暗室的上表面倾斜设置。6一种太阳电池的检查装置，包括具备平坦的上表面的暗室；设置在该暗室的所述上表面且载置作为被测定物的太阳电池的透明板；设置在所述暗室的内部的照相机，其特征在于，所述太阳电池的检查装置还包括遮光罩，该遮光罩用于遮挡从所述透明板及所述透明板与载置在所述透明板上的所述太阳电池的边界的间隙进入所述暗室内的光。7根据权利要求6所述的太阳电池的检查装置，其特征在于，在所述检查装置的所述遮光罩的侧面设有用于输入输出作为被测定物的太阳电池的开闭式门。8根据权利要。
6、求6或7所述的太阳电池的检查装置，其特征在于，在所述检查装置的所述遮光罩的上表面设有开闭式门。9根据权利要求68中任一项所述的太阳电池的检查装置，其特征在于，所述太阳电池的检查装置设有所述照相机的移动机构。10根据权利要求69中任一项所述的太阳电池的检查装置，其特征在于，所述太阳电池的检查装置设有反射板，该反射板位于所述暗室的内部，且相对于所述暗室的上表面倾斜设置。11一种太阳电池的检查装置用输送装置，所述太阳电池的检查装置包括具备平坦的上表面的暗室；设置在该暗室的所述上表面且载置作为被测定物的太阳电池的透明板；拍摄被测定物的像的照相机，所述太阳电池的检查装置用输送装置将太阳电池的结构构件在层。
7、压处理之前以层叠的状态向所述检查装置输送，其特征在于，将环形连接多个输送构件而成的输送导向部相对于输送方向对称地设置1对即2列，其中，所述多个输送构件具有比作为输送的太阳电池的所述结构构件的透明基板等的厚度尺寸低的壁部，并且，通过所述壁部引导所述透明基板等来进行输送。12根据权利要求11所述的太阳电池的检查装置用输送装置，其特征在于，将具有环形的带状构件的输送导向部相对于输送方向对称地设置1对即2列，其中，所权利要求书CN102007398ACN102007411A2/2页3述环形的带状构件具有比作为输送的太阳电池的所述结构构件的透明基板等的厚度尺寸低的壁部，并且，通过所述壁部引导所述透明基板。
8、等来进行输送。13根据权利要求11或12所述的太阳电池的检查装置用输送装置，其特征在于，能够根据作为输送的太阳电池的结构构件的所述透明基板等的宽度尺寸改变所述输送装置的输送导向部的所述壁部的位置。权利要求书CN102007398ACN102007411A1/12页4太阳电池的检查装置及检查装置用输送装置技术领域0001本发明涉及用于检查太阳电池单元、将太阳电池单元连接成一列而成的电池串、平行配置有多个电池串的太阳电池板等太阳电池的通常的性能的装置及用于该检查装置的输送装置。背景技术0002作为太阳能的利用方法已知有硅型太阳电池。在太阳电池的制造中，太阳电池是否具有目标发电能力的性能评价是非常重。
9、要的。性能评价中通常进行输出特性的测定。0003输出特性在光照射下作为测定太阳电池的电流电压特性的光电转换特性来进行。作为光源，优选的是太阳光，但由于照射强度会因天气而变化，所以使用的是太阳模拟器。在太阳模拟器中，代替太阳光使用氙气灯或卤化金属灯等。若长期点亮上述光源，则会因温度上升等而使光量发生变化。因此，利用上述灯的闪光，将横轴设成电压、纵轴设成电流，用收集到的数据制作曲线，由此获得太阳电池的输出特性曲线例如，参照专利文献1。0004作为不同于太阳模拟器的方法，专利文献2中提出的是通过向多晶硅太阳电池元件顺向施加电压来产生场致发光EL的方法。通过观察从太阳电池元件发出的EL，能够获知电流密。
10、度分布，并能够根据电流密度分布的不均匀得知太阳电池元件的缺陷。即，不发光的部分可判断为缺陷部分，如果该缺陷部分的面积少于预定量，则可判断为具有规定的发电能力。0005图15是示意性表示专利文献2所记载的检查装置的结构的图。检查装置10包括暗室11、设置在该暗室11的上部的CCD照相机12、给载置在暗室11的地板面上的太阳电池单元13通电流的电源14、对来自CCD照相机12的图像信号进行处理的图像处理装置15。0006暗室11具有窗11A，此处有CCD照相机12的取景器12A，通过从此处用肉眼观察，能够确认CCD照相机12的拍摄图像。作为图像处理装置15使用微型计算机。0007专利文献1日本特开。
11、200788419；0008专利文献2WO/2006/059615。0009图15所示的检查装置10是将太阳电池单元13放在下面，用照相机从上面拍摄的装置，但从太阳电池单元13发出的EL是1000NM1300NM波长的微弱光，如果不是在暗室11就无法检测到。如果被测定物是1块太阳电池单元，则为100平方毫米左右，所以暗室11也可以很小。0010但如果是太阳电池，则为2M1M左右的大小，暗室11也需要有能够收容该太阳电池的大小。另外，只要作为被测定物的太阳电池不进入暗室内就无法用照相机12进行拍摄，所以在暗室必须设置能够使太阳电池出入的门。若设置成将检查装置输入这种暗室内的结构，则还必须确保设置。
12、的门关闭时的遮光性。另外，在暗室内还需要设置被输入检查装置的太阳电池的定位构件及输送导向构件。进而，在暗室内还需要设置用于给太阳电池通电流的通电机构。这种情况下结构复杂且成本高。说明书CN102007398ACN102007411A2/12页50011再有，在将这种检查装置作为太阳电池生产线的一个装置进行组装时产生以下问题。由于作为被测定物的太阳电池的大型化，当用照相机拍摄太阳电池整体来进行检查时，在将该照相机设置在太阳电池的下方的情况下，需要设定较长的太阳电池与照相机之间的距离。因此，在要统一生产线上的太阳电池的通路线从工厂地面到输送太阳电池的位置的高度尺寸时，只有设置该检查装置的部位必须深。
13、挖工厂地面来进行设置。因而，导入装置时的附带成本增加。0012另外，在将这种检查装置作为太阳电池的生产线的一个装置进行组装时有以下要求。即，希望将构成作为被测定物的太阳电池的构件即透明基板/太阳电池单元以下，所谓太阳电池单元还包括将太阳电池单元串联连接而成的电池串、还有将电池串多列连接而成的板。/填充材料/背面材料在层叠层压处理之前向上述检查装置输送进行检查的要求。太阳电池存在大型化的倾向，达到2M1M以上的大小。如后所述，层压处理前的被测定物是最上面的背面材料覆盖最下面的透明基板/太阳电池单元/填充材料并伸出到透明基板的外侧层叠而成。因而，在向上述检查装置输送时，若背面材料与装置的结构构件接。
14、触，则层叠的太阳电池的结构构件位置相互偏离。另外，由于这种输送过程中的故障导致构成电池串及太阳电池板的单元相互之间的位置也偏离，无法进行太阳电池单元的准确的缺陷检查，给后工序的层压处理也带来障碍。发明内容0013本发明是鉴于上述情况而实现的，目的在于提供一种给太阳电池通顺向电流使其EL发光的检查装置，其是结构简单且廉价的太阳电池的检查装置。另外，本发明的第二目的在于提供一种将层压处理前的作为被测定物的太阳电池的结构构件以层叠状态向上述检查装置输送时，不会产生作为被测定物的太阳电池的结构构件位置偏离的输送装置。0014为了达到上述目的，本发明的太阳电池的检查装置，包括在上表面具有开口部的暗室；设。
15、置在该暗室的所述上表面且载置作为被测定物的太阳电池的支承机构；设置在所述暗室的内部的照相机，其特征在于，所述太阳电池的检查装置还包括遮光罩，该遮光罩用于遮挡从所述开口部及所述开口部与载置在所述支承机构上的所述太阳电池的边界的间隙进入所述暗室内的光。0015另外，为了达到上述目的，本发明的太阳电池的检查装置，包括具备平坦的上表面的暗室；设置在该暗室的所述上表面且载置作为被测定物的太阳电池的透明板；设置在所述暗室的内部的照相机，其特征在于，所述太阳电池的检查装置还包括遮光罩，该遮光罩用于遮挡从所述透明板及所述透明板与载置在所述透明板上的所述太阳电池的边界的间隙进入所述暗室内的光。0016所述检查装。
16、置的遮光罩既可以是在其侧面设有用于输入输出作为被测定物的太阳电池的开闭式门的结构，也可以是在遮光罩的上表面设有开闭式门的结构。0017所述检查装置既可以是设有其拍摄用照相机的移动机构的结构，也可以是设有位于检查装置的所述暗室的内部且相对于所述暗室的上表面倾斜的反射板的结构。0018为了达到上述目的，在本发明的太阳电池的检查装置用输送装置中，所述太阳电池的检查装置包括具备平坦的上表面的暗室；设置在该暗室的所述上表面且载置作为被测定物的太阳电池的透明板；拍摄被测定物的像的照相机，所述太阳电池的检查装置用输说明书CN102007398ACN102007411A3/12页6送装置将太阳电池的结构构件在。
17、层压处理之前以层叠的状态向所述检查装置输送，其特征在于，将环形连接多个输送构件而成的输送导向部相对于输送方向对称地设置1对2列，其中，所述多个输送构件具有比作为输送的太阳电池的所述结构构件的透明基板等的厚度尺寸低的壁部，并且，通过所述壁部引导所述透明基板等来进行输送。0019另外，也可以是以下结构，即，将具有环形的带状构件的输送导向部相对于输送方向对称地设置1对2列，其中，所述环形的带状构件具有比作为输送的太阳电池的所述结构构件的透明基板等的厚度尺寸低的壁部，并且，通过所述壁部引导所述透明基板等来进行输送0020另外，还可以是以下结构，即，能够根据作为输送的太阳电池的结构构件的所述透明基板等的。
18、宽度尺寸改变所述输送装置的输送导向部的输送部件或带状部件的壁部的位置。0021发明効果0022本发明的太阳电池的检查装置，在将作为被测定物的太阳电池从暗室的外侧置于暗室上表面的透明板上时，能够通过遮光罩遮挡来自暗室上表面和作为被测定物的太阳电池的边界的间隙的光，处于暗室中的照相机能够拍摄图像。在拍摄时，预先给太阳电池通电流，所以太阳电池EL发光。用照相机拍摄该发光状态，并用与照相机连接的图像处理装置进行分析，由此能够获知太阳电池有无缺陷。0023在本发明的检查装置的遮光罩的上表面设有开闭式门，所以在向太阳电池单元通顺向电流时，能够容易进行连接器与该太阳电池的电极的连接。进而，由于在本检查装置的。
19、遮光罩的侧面设有开闭式门，所以能够将作为被测定物的太阳电池容易地相对于装置输入输出。0024另外，根据本发明的检查装置的遮光罩，在设置于太阳电池的生产线上时，容易将被测定物的输入输出及连接器与太阳电池的电极连接的作业自动化。0025能够将太阳电池从暗室外载置到暗室上表面来进行检查，所以无须设置用于使作为被测定物的太阳电池出入暗室的门。因此，能够将暗室小型化，能够简化其结构。0026特别是，由于设有相对于所述暗室的上表面倾斜设置的反射板，所以能够将照相机配置在暗室的侧面。因而，即使作为被测定物的太阳电池板大型化，也能够降低暗室高度。由此能够将生产线的通路线与本发明的检查装置的前工序及后工序相统一。
20、。0027进而，对于太阳电池而言，在生产线层压装置等制造装置等上，将受光面设置在下方来进行输送。因而，通过将本发明的检查装置设置成在暗室上表面设置作为被测定物的太阳电池的支承机构或在暗室上表面设置透明板的结构，不用将太阳电池翻转就能够载置到本检查装置上。0028根据本发明的太阳电池的检查装置用输送装置，在将层压处理前的太阳电池的结构构件以层叠状态向上述检查装置输送时，不会发生结构构件与输送装置的其他构件接触造成位置相互偏离的情况。0029因而，在层压处理前也能够正常检查太阳电池单元的缺陷，并且不会给后工序的层压处理带来障碍。附图说明0030图1是表示本发明的太阳电池的检查装置的俯视图。说明书C。
21、N102007398ACN102007411A4/12页70031图2是表示本发明的太阳电池的检查装置的主视图。0032图3是表示本发明的太阳电池的检查装置的左视图。0033图4是本发明的太阳电池的检查装置的遮光罩的说明图，A为俯视图，B为主视图。0034图5是本发明的太阳电池的检查装置的遮光罩的说明图，A为从被测定物的输入方向A方向观察的侧视图，B为从被测定物的输出方向B方向观察的侧视图。0035图6是本发明的太阳电池的检查装置的遮光罩的俯视图，是上表面的开闭式门打开状态的说明图。0036图7是用本发明的检查装置测定的太阳电池的结构的说明图，A是为了理解太阳电池内部的太阳电池单元而作的俯视图。
22、，B为其剖视图。0037图8是表示暗室内设有反射板的本发明的太阳电池的检查装置的俯视图。0038图9是表示暗室内设有反射板的本发明的太阳电池的检查装置的左视图。0039图10是本发明的检查装置所使用的照相机移动机构的说明图，A为俯视图，B为主视图，C为右视图。0040图11是从本发明的输送装置的第一实施例的输送方向观察的说明图。0041图12是从与本发明的输送装置的第一实施例的输送方向呈直角的方向观察的说明图。0042图13是从本发明的输送装置的第二实施例的输送方向观察的说明图。0043图14是用本发明的检查装置测定的太阳电池的结构的说明图，A是为了理解太阳电池内部的太阳电池单元而作的俯视图，。
23、B是从其输送方向观察的剖视图。0044图15是示意性表示现有的太阳电池的检查装置的结构的图。0045符号说明004628太阳电池单元004730太阳电池板0048100太阳电池的检查装置0049110暗室0050111上表面0051112开口部透明板0052114导向构件输送导向部0053120照相机0054121照相机收纳部0055130Y轴导向部0056132，142马达0057140X轴导向部0058144同步带0059190反射板0060191反射板支承构件0061200被测定物0062210输入带说明书CN102007398ACN102007411A5/12页80063220传送带装。
24、置输送装置0064221R/L输送导向部0065221，321输送部0066222链0067223上部链导向件0068224下部链导向件0069225输送导向件0070226附件0071227，327壁部0072228，328厚部0073229，329支承部0074322带状体0075323上部带支架0076324下部带支架0077230输出带0078240遮光罩0079241门0080242门0081243盖0082244连接器0083400控制装置具体实施方式0084以下，参照附图对本发明的实施例进行说明。0085被测定物太阳电池0086首先，对本发明的检查装置所处理的对象即被测定物200。
25、的例子进行说明。图7是用本发明的检查装置测定的太阳电池的结构的说明图，A是为了理解太阳电池内部的太阳电池单元而作的俯视图，B为其剖视图。0087如图7A的俯视图所示，作为被测定物200的太阳电池是将多个方形太阳电池单元28通过导线29串联连接而形成电池串25，再将该电池串通过多列导线29连接而成的结构。0088作为被测定物200的太阳电池，既可以是仅有1块太阳电池单元28的结构，也可以是将多块太阳电池单元28直线连接而成的电池串25的状态，还可以是将电池串25平行排列多列，将太阳电池单元28矩阵状配置的太阳电池板30。0089另外，被测定物的截面结构如图7B所示，具有在配置于上侧的背面材料22。
26、和配置于下侧的透明罩玻璃21之间，通过填充材料23、24将多列电池串25夹在中间的三明治结构。0090背面材料22例如使用PET或氟类树脂等材料。填充材料23、24例如使用EVA树脂聚乙烯醋酸乙烯树脂等。电池串25是如上所述在电极26、27之间，将太阳电池单元说明书CN102007398ACN102007411A6/12页928通过导线29连接而成的结构。0091这种太阳电池如上所述，将结构构件层叠并通过层压装置等在真空的加热状态下施加压力，使EVA交联反应，再进行层压加工而获得。0092另外，作为被测定物200，一般可以将称作薄膜式的太阳电池作为对象。0093在该薄膜式的代表性结构例中，在配。
27、置于下侧的透明罩玻璃上，预先蒸镀有由透明电极、半导体、背面电极构成的发电元件。并且，对于这种薄膜型太阳电池，以将透明罩玻璃朝下配置，在玻璃上的太阳电池元件上覆盖填充材料，再在填充材料上覆盖背面材料的结构，同样进行层压加工而获得。0094这样，作为被测定物200的薄膜式太阳电池，只是变化成蒸镀有结晶系单元的发电元件，基本的密封结构与所述结晶系单元的情况相同。0095检查装置的整体结构0096图1是表示本发明的检查装置的结构的俯视图，图2是主视图，图3是左视图。这些图所示的本发明的太阳电池的检查装置100设有四方形箱状的暗室110，并且在其平坦的上表面111上设有开口部112。此外，为了防止尘埃或。
28、异物侵入暗室内部，并防止被测定物落到暗室内，该开口部112还可以设置透明板。关于透明板，可以是安装丙烯酸树脂等合成树脂制或玻璃制的透明板的结构。暗室内设有对作为被测定物200的太阳电池太阳电池单元、电池串、太阳电池板进行检查测定的照相机120。照相机既可以在暗室内固定使用，也有使照相机120移动使用的情况，此时还可以设置移动机构。照相机移动机构后面叙述。0097暗室110除了上表面111的开口部透明板112以外，由不让光进入暗室110内的遮光性原材料构成。不过，如果在上表面111上作为被测定物200载置太阳电池后，将包括被测定物200在内的上表面111整体用遮光机构覆盖，则可以将上表面111整。
29、体作成开口部，也可以作成透明板。另外，上表面以外的4个侧面和底面采用遮光性构件。0098此外，在暗室上表面111的开口部112不设置透明板时，设置作为被测定物的太阳电池的支承机构。支承机构既可以是后述的被测定物的输送导向机构，也可以设置能够对作为被测定物的太阳电池的两端或4角进行支承的构件。0099被测定物的输送及定位0100为了将被测定物200输入到本检查装置、前工序及后工序的交接，在上表面111的上部设有输送装置220。本输送装置可以使用电气马达起动的链式输送器或带式输送器。该输送装置220设有具有对被测定物200进行输送及引导的功能的输送导向部221R/L。输送导向部221R、221L之。
30、间的距离能够根据被测定物200的尺寸来改变。0101在从本发明的检查装置的前工序输送来作为被测定物的太阳电池时，通过本检查装置的输入带210，沿着图1的黑色箭头方向输送，移送到本检查装置的输送导向部221R/L。被测定物200被输送导向部的输送带装置220移动输送。因而，在对被测定物200输送过程中及测定过程中，下面的罩玻璃21不会与检查装置100的上表面的透明板112接触。将被测定物200在本检查装置内输送，通过以下方法定位到测定位置。0102在输送导向部221R/L的侧面具有可通过促动器等出入的定位零件，通过使该定位零件突出，对输送的被测定物200进行输送方向的定位。定位零件也可以不是从输。
31、送导向构件221R/L的侧面出入的结构，而是从导向构件的上方上下移动的方法及从导向构件说明书CN102007398ACN102007411A7/12页10回旋下降等的结构。0103定位结束后输送带装置停止，开始检查。检查方法如后所述。检查结束时，输送带装置220工作，将被测定物200移送到输出带230沿着图1黒色箭头方向并向下一工序输送。0104另外，作为被测定物的太阳电池的输送机构，可以是如图10所示的结构。暗室上表面的导向构件114为矩形截面的细长导轨状，在本发明的检查装置100的上表面，沿着被测定物200的移动方向设置一对。在各导向构件114的内侧侧面配置多个辊子，被测定物200在该辊子。
32、上移动输送。移动机构既可以是手动，也可以是通过电气马达等驱动辊子的结构。0105拍摄用照相机0106从被测定物200发出的EL发光是1000NM1300NM波长的微弱光，在暗室内发光，用拍摄用照相机120拍摄该微弱光。因此，作为拍摄用照相机120必须使用对微弱光的灵敏度高的CCD照相机。0107在实施例的图1、图2、图3中，没有图示照相机移动机构，但也可以通过设置照相机移动机构使照相机120移动到XY平面内的任意位置，对被测定物200从角部到角部进行全面拍摄。另外，也可以不设置照相机120的移动机构，而是将照相机120固定使用。0108暗室内部的照相机移动机构0109图10表示照相机的移动机构。
33、的结构。暗室110内具有照相机120和使该照相机120沿Y轴方向移动的Y轴导向部130。在Y轴导向部130的一端具有马达132，通过马达132的旋转，能够使照相机120沿Y轴方向进退。0110Y轴导向部130的两端支承在X轴导向部140、140上。并且，通过马达142和两侧的同步带144，Y轴导向部130能够在X轴导向部上沿着X轴方向进退。在以上结构中，由X轴导向部140、140、Y轴导向部130、马达132、142、同步带144构成照相机120的驱动机构。X轴导向部140、140及Y轴导向部130可以使用各种线性促动器，但在该实施例中，使用了滚珠螺杆及马达。0111通过旋转控制驱动机构的马达。
34、132、142，能够使照相机120移动到XY平面内的任意位置，对被测定物200从角部到角部进行全面拍摄。0112此外，驱动方式不限定于使用马达及滚珠螺杆的上述实施例，还可以使用各种线性促动器。0113暗室内部的反射板0114本检查装置也可以采用在暗室内部设有相对于暗室上表面111倾斜的反射板190的结构。图8是表示在暗室内设有反射板的检查装置的结构的俯视图，图9是其左视图。反射板是通过对铝制或不锈钢制等的金属板进行表面加工而使用的。不过，其材质不限定于金属，只要是不会透过吸收光且反射率大的材质就可使用。该反射板由反射板支承构件191相对于开口部透明板112倾斜地支承。由此，安装在暗室侧面的照相。
35、机120能够拍摄载置在开口部透明板112上的被测定物200的像。实施例的图9中倾斜角大致为45，但并不限定于该角度。0115图8、图9中，没有设置照相机120的移动机构。照相机120在照相机收纳部121内固定使用。此外，通过设置图10中说明的移动机构，还能够使照相机120移动到ZX平说明书CN102007398ACN102007411A8/12页11面内的任意位置，对被测定物200从角部到角部进行全面拍摄。此时，图8及图9的照相机收纳部121只要采用在X方向上延长移动行程量而使照相机能够移动的结构即可。0116其他设备0117除上述之外，设有省略图示的图15的现有例所示的电源14及利用了微型计。
36、算机的图像处理装置15。上述装置收纳在图2的控制装置400中。进而，利用微型计算机，控制照相机120的移动机构，可以对作为被测定物200的太阳电池整体拍摄1张照片，或对各个太阳电池单元28的每一个进行拍摄。0118检查装置的使用方法0119作为被测定物200以太阳电池为例，说明本发明的太阳电池的检查装置的使用方法。0120通过层压装置等制造并输出的太阳电池，接着通过输入带210被输送到本发明的太阳电池的检查装置的前面。输送来的太阳电池在一对输送导向部221R、221L之间被输送导向而到达暗室110的上方。然后，通过使在输送导向部221R/L的侧面可利用促动器等出入地设置的定位零件突出，进行输送。
37、方向的定位。0121设有遮光罩240，以使光不会从暗室上表面111的开口部或透明板112与被测定物200之间的间隙等进入到暗室110内。0122到达暗室上表面111的规定位置的作为被测定物200的太阳电池使透明的罩玻璃板向下并在暗室110的开口部透明板112上停止，在与未图示的电源之间通过连接器连接。由于被测定物200比开口部透明板112小，所以光会从周围进入到暗室内，因此用后述的遮光罩等从被测定物200的上方覆盖暗室110的上表面整体。接着，从电源向被测定物200通顺向电流。由此，被测定物200EL发光，用照相机120进行拍摄。0123在通过本检查装置100对被测定物200的整体进行拍摄，并。
38、利用其图像进行检查时，可以不设置照相机的移动机构，或不使用移动机构而是将照相机120固定在暗室110底部的大致中央位置来进行拍摄。此外，当在暗室内使用反射板时，可以将照相机固定在图8的位置进行拍摄。作为此时的被测定物200，可以是太阳电池单元28、将太阳电池单元用多根导线连接而成的电池串25、以及将电池串25用多列导线连接而成的矩阵状太阳电池板30中的任一个。0124当通过本检查装置100对在太阳电池板30上矩阵状配置的太阳电池单元逐一拍摄并利用其图像进行检查时，设置如图10那样的照相机移动机构，使照相机能够在暗室内移动。0125通过利用了微型计算机的控制装置400驱动照相机移动机构，照相机1。
39、20对在太阳电池板30上矩阵状配置的太阳电池单元28逐一进行拍摄，并向由微型计算机等构成的图像处理装置传送图像数据。图像处理装置从各太阳电池单元的图像提取不发光的部分进行分析，判断各太阳电池单元28的合格与否，根据所有太阳电池单元合格与否的结果，判断太阳电池板30整体的合格与否。0126此外，照相机120的拍摄既可以是移动照相机对太阳电池单元逐一进行，也可以是几块几块进行，还可以不移动照相机而将其固定，对太阳电池板30整体进行。0127遮光罩0128遮光罩将暗室的上表面111的上部整个覆盖。但是，对于太阳电池而言，树脂制的说明书CN102007398ACN102007411A9/12页12背面。
40、材料22为不透明，遮光性充分。另外，暗室110的上表面111除了透明板112以外也由遮光性的构件构成。因而，用遮光构件只要盖住暗室110与被测定物200之间的间隙部分就足够。被测定物200与透明板112密接且比透明板112大，在透明板112整体被被测定物200覆盖时，不再需要遮光机构。0129本实施例中，如图1、图2、图3所示，采用的是用具有遮光性的罩240覆盖暗室上表面111和输送部221R/L还有被测定物200的结构。在本检查装置的输入带210侧和输出带230侧设有开闭式门241。门241的开闭既可以采用通过气缸等自动开闭的结构，也可以采用通过作业者手动操作开闭的结构。当从前工序输送被测定。
41、物，在输入带上移动到本检查装置的跟前时，该入口侧的门打开，通过输送装置220将被测定物输入本检查装置内，完成后该门关闭。另外，检查结束后，出口侧的门打开，将被测定物200输出。这样，在检查过程中，将被测定物输入输出的门关闭，来自外部的光不会进入载置有被测定物的部分。0130对于本发明的检查装置的遮光罩的实施方式，利用图4、图5、图6进行说明。图4A为遮光罩的俯视图，图4B为主视图。图5A是从被测定物的输入侧A方向观察遮光罩的侧视图，图5B是从被测定物的输出侧B方向观察遮光罩的侧视图。图6是打开遮光罩的上表面的开闭式门的状态的说明图。0131如图4所示，遮光罩240固定于暗室，覆盖整个暗室上表面。
42、110的上部。241是用于输入及输出被测定物的开闭式门，242是遮光罩上表面的开闭式门，243是维护用的可拆卸的盖。上述构件全部由遮光性构件构成。另外，在门侧或遮光罩的主体侧优选贴附橡胶薄板等构成的背部薄板，以使开闭式门与遮光罩的主体的对接部分不会进入光。0132门241的开闭既可以采用通过气缸等自动开闭的结构，也可以采用通过作业者手动操作开闭的结构。当从前工序输送被测定物，在输入带上移动到本检查装置的跟前时，该入口侧的门打开，将被测定物输入到本检查装置内，完成后该门关闭。另外，检查结束后，出口侧的门打开，输出被测定物200。这样，在检查过程中，输入输出被测定物的门关闭，来自外部的光不会进入载。
43、置有被测定物的部分及暗室内。0133另外，在遮光罩的上表面设有开闭式门242。门242的开闭既可以采用通过气缸等自动开闭的结构，也可以采用通过作业者手动操作开闭的结构。在从前工序输送被测定物，打开先前叙述的开闭式的入口侧的门241，将被测定物输入到检查装置而到达规定位置时，打开该门242。若该门242打开，则如图6所示，被测定物200露出。将遮光罩内的连接器244与被测定物的电极26、27连接。连接结束后，关闭门241和242。由此，光不会从外部进入到暗室内，所以对被测定物通电使其EL发光来进行检查。检查结束后，再次打开门242，将连接器244从电极上拆卸。然后，再次打开出口侧的门241，将被。
44、测定物从本检查装置输出。此外，连接器与电极的连接及拆卸作业，作业者可以通过手工作业进行，也可以用机器人等实现自动化。0134优选在本检查装置的遮光罩上适当设置维护用的开口部。例如在图4中，该开口部在遮光罩的上表面2处作为双点划线部设置，并用盖243覆盖。不限于此，这种开口部可以通过用盖覆盖而在遮光罩的上表面及侧面适当设置。0135在本实施方式的说明中，将遮光罩240设置成覆盖整个暗室上表面并固定于暗室的结构，但也可以将该遮光罩240设置成利用促动器上下可动式的结构。0136另外，太阳电池的树脂制的背面材料22为不透明，遮光性充分。另外，暗室110的说明书CN102007398ACN102007。
45、411A10/12页13上表面111除了开口部透明板112以外也由遮光性构件构成。因而，还可以设置成用遮光构件只盖住暗室110的开口部透明板112与被测定物200之间的间隙部分的结构。0137在本发明的太阳电池的检查装置100中，只要将作为被测定物200的太阳电池载置在暗室的外侧即可，所以不再需要用于使被测定物200出入暗室的门。另外，向太阳电池通电流的电源及布线也可以设置在暗室110之外，完全不需要在暗室内。因此，能够简化暗室110的结构。0138本发明的检查装置的遮光罩的上表面设有开闭式门，所以在向太阳电池单元通顺向电流时可容易地进行连接器与该太阳电池的电极的连接。再有，由于在本检查装置的。
46、遮光罩的侧面设有开闭式门，所以能够容易地将作为被测定物的太阳电池相对于装置内输入输出。0139另外，根据本发明的检查装置的遮光罩，容易实现对被测定物的输入输出及连接器与太阳电池的电极的连接作业的自动化。因而，本发明的检查装置适于太阳电池的生产线的自动化。0140特别是，通过将反射板190相对于被测定物200倾斜安装，将照相机在暗室内横向设置，能够降低暗室110的高度，能够实现装置的进一步小型化。由此不再需要为了将生产线的通路线统一而对设置装置的部分的地面进行深挖等附带工程。0141进而，本发明的太阳电池的检查装置100在太阳电池等的生产线上配置使用，但此时，在暗室110的上表面111上将太阳电。
47、池的受光面置于下侧来载置。在太阳电池的层压加工等通常的加工工序中，将太阳电池的受光面置于下方来输送，所以当向检查装置100载置时无须翻转，从而能够简化制造工序。0142接着，参照附图对本发明的太阳电池的检查装置用输送装置的实施例进行说明。0143被测定物太阳电池的结构构件为层叠状态的构件0144首先，对本检查装置所处理的对象即被测定物200的另一例进行说明。图14是用本检查装置测定的太阳电池的结构的说明图，A是为了理解太阳电池内部的太阳电池单元而作的俯视图，B为A的剖视图从输送方向观察。0145如图14A的俯视图所示，作为被测定物200的太阳电池是将多个方形太阳电池单元28通过导线29串联连接。
48、而形成电池串25，再将该电池串通过多列导线29连接而成的结构。0146作为被测定物200的太阳电池单元，既可以是仅有1块太阳电池单元28的结构，也可以是将多块太阳电池单元28串联连接而成的电池串25的状态，还可以是将电池串25平行排列多列，将太阳电池单元28矩阵状配置的太阳电池板30。0147另外，被测定物的截面结构如图14B所示，表示的是在配置于上侧的背面材料22和配置于下侧的透明基板21之间，通过填充材料23、24层叠多列电池串25的状态。本检查装置是以如上所述对层压处理前的构成太阳电池的构件进行层叠的状态来测定太阳电池单元的缺陷。如图14B所示，由于是层压处理前，所以覆盖透明基板/太阳电。
49、池单元/填充材料的背面材料是明显伸出到上述构件的外部的状态。另外，除本例之外，也可以对透明基板21、填充材料23和太阳电池单元2825或30以层叠状态用本检查装置进行检查，然后将背面材料22和填充材料24层叠。0148背面材料22例如使用PET或氟系树脂等材料。因而，从透明基板向外部伸出的部说明书CN102007398ACN102007411A11/12页14分成为下垂状态。填充材料23、24例如使用EVA树脂聚乙烯醋酸乙烯树脂等。电池串25如上所述是在电极26、27之间，通过导线29连接太阳电池单元28的结构。0149另外，作为被测定物200，可以以的说明中记载的称作薄膜式的太阳电池为对象。0150本发明的输送装置的实施例10151利用图11及图12对上述的太阳电池的检查装置的输送装置的第一实施例进行说明。图11是从输送方向观察的主视图，图12是侧视图。输送部221R/L由链222、上部链导向件223、下部链导向件224、输送导向件225、输送导向件安装用的附件226构成。输送导向件在链上利用附件设置多个，通过链环形连接。上述链由沿输送方向设置的上部链导向件和下部链导向件支承。这种输送部相对于输送方向对称地设置1对2列。如图11所示，在输送导向件225上载置被测定物200并输送。0152如先前所述，要被输送的被测定物是层压处理前，是透明基板、太阳电池单元、填充材料、。