搅拌装置、具有搅拌装置的纳米粉末制造装置及制造方法.pdf

一种搅拌装置、具有搅拌装置的纳米粉末制造装置及制造方法，其中该纳米粉末制造装置包括：搅拌槽(530)，用于容纳纳米材料的支持体(520)；垂直输送部件(531)，位于搅拌槽(530)中，用于通过螺旋式旋转将所述支持体从搅拌槽(530)的下部垂直输送至搅拌槽的上部；支持板(534)，位于搅拌槽(5300中以及垂直输送部件(531)的上部，用于支持所述垂直输送部件输送来的支持体(520)，所述支持板(534)为中间高、外周低的锥形或锥台形；以及沉积装置，其包括沉积源，该沉积源位于搅拌槽(530)中以及支持板(534)的上方，用于利用物理沉积方式向支持体沉积纳米粉末。该纳米粉末制造装置可以使支持体或支持体芯片混合均匀，并减少支持体或支持体芯片之间的摩擦。

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