黑底基板的制造方法、黑底基板和滤色器 【技术领域】
本发明涉及使用黑色感光性抗蚀剂的黑底基板的制造方法、由该方法制造的基板、和使用该基板的滤色器。
背景技术
滤色器是在透明基板上相互间隔地配置的多个滤色区域而构成。以前，为了防止从插入了滤色器的液晶显示板的外周部漏出背面光，在个滤色区域的外周部形成宽1～10毫米左右的框状遮光性图案(黑底)。
通常，黑底多数情况是在透明基板上由微细图案构成的金属薄膜形成。例如，通过蒸镀法、溅射法等真空成膜法在基板上形成铬、镍、铝等金属或金属化合物的薄膜之后，通过照相平版印刷法加工该薄膜而形成微细图案的方法是熟知的。更具体地说，在金属或金属化合物的薄膜上涂布光致抗蚀剂、进行干燥、通过光掩模为媒介对该光致抗蚀剂膜照射紫外线，通过显影形成抗蚀图案之后，蚀刻金属或金属化合物地薄膜，经过抗蚀剂剥离步骤形成黑底。
但是，用上述方法制得的黑底基板因为其制造步骤复杂，制造成本非常高。因此，使用该基板的滤色器的成本也高。另外，黑底的制造中通常使用的金属的薄膜(例如铬薄膜)表面的反射率是高的，因此，在透过型液晶显示器中搭载了具有由金属薄膜构成的黑底的滤色器的场合，在有强的外来光入射至滤色器上时，显示品质显著降低。
鉴于这种情况，正在研究具有使用黑色感光性抗蚀剂形成的黑底的滤色器。
但是，使用上述黑色感光性抗蚀剂形成的黑底同透明基板的密合性是弱的，因此，将具有该黑底的滤色器组装至液晶显示板中之后，有时黑底会从与透明基板的界面上剥离下来。
日本国特开平10-133370号公报中，公开了为提高同透明基板的密合性而添加硅烷偶合剂的黑色感光性抗蚀剂。但是，在使用该黑色感光性抗蚀剂的场合，同透明基板的密合性效果得以改善，显影时，抗蚀剂残渣残留在透明基板的不需要部分。另外，在这些抗蚀剂中硅烷偶合剂同空气中的水分反应，因此不能回收再生抗蚀剂，在经济上是不利的。
因此，本发明的目的是提供一种制造黑底基板的方法，该基板具有同透明基板之间有实用上充分的密合性的黑底。
另外，本发明的另一目的是提供由此种方法制造的基板、和使用该基板的滤色器。
本发明者为解决上述课题进行了潜心研究，结果发现，在透明基板上涂布黑色感光性抗蚀剂，以光掩模为媒介从黑色感光性抗蚀剂涂布面侧照射活性能量线，显影形成黑底图案之后，通过从上述黑色感光性抗蚀剂涂布面的相反侧的透明基板侧照射活性能量线，可得到具有同透明基板之间有实用上充分的密合性的黑底的黑底基板，从而实现本发明。
也就是说，本发明提供一种黑底基板的制造方法，其特征在于，在具有第一主面和该第一主面的相反侧的第二主面的透明基板的该第一主面上实质上全面地涂布黑色感光性抗蚀剂，对该涂布的黑色感光性抗蚀剂层，通过光掩模为媒介从前述第一主面侧照射第一活性能量线，将该第一活性能量线照射的黑色感光抗蚀剂层供作显影处理以形成黑底图案，其次，对该黑底图案，从前述第二主面侧照射第二活性能量线。
在本发明中，黑色感光性抗蚀剂，通常包含黑色颜料和活性能量线固化性化合物。
在本发明中，前述第二活性能量线的线量优选是前述第一活性能量线的线量的0.1％～150％。
另外，本发明提供一种用本发明的制造方法制造的黑底基板。
本发明还提供一种滤色器，其特征在于，在本发明的黑底基板上，形成除黑色以外的至少两色的滤色区域。
以下更详细地说明本发明。
在本说明书中，黑底基板就是指在透明基板上形成黑底的基板。
为了制造本发明的黑底基板，首先，在透明基板的一个表面(第一主面)上实质上全面地涂布黑色感光性抗蚀剂。
作为可在本发明中使用的透明基板，可使用碱石灰玻璃、低碱硼硅酸玻璃、无碱铝硼硅酸玻璃之类的玻璃板、和聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚对苯二酸乙二酯之类的树脂。通常地，黑底对玻璃基板具有密合性低的倾向，因此通过本发明的方法在玻璃基板上形成黑底时具有许多优点。另外，在玻璃基板和树脂基板的表面上，可以形成由氧化铟、氧化锡之类的透明金属氧化物材料构成的透明电极以用于液晶驱动。
可用于本发明的黑色感光性抗蚀剂至少含有黑色颜料和活性能量线固化性化合物。
作为黑色颜料，可以使用碳黑、钛黑、苯胺黑、蒽酚系黑色颜料、苝系黑色颜料、具体地说，可使用C.I.Pignent black 1、6、7、12、20、31、32等，但是从价格、遮光性方面考虑优选使用碳黑。碳黑可以用树脂等进行表面处理。
黑色感光性抗蚀剂中的黑色颜料的含量以黑色感光性抗蚀剂的总重量为基准优选是3～80重量％。黑色颜料的含量不满3重量％时，黑底的单位膜厚的遮光性具有降低的倾向，而如果超过80重量％，有难以形成薄膜的倾向。
黑色感光性抗蚀剂中，除了黑色颜料之外，为了提高黑色颜料的分散性、调整色调等、可以添加黑色颜料以外的偶氮颜料、酞菁系颜料、蒽系颜料、靛系颜料、perinone系颜料、苝系颜料、酞酮系颜料、二噁嗪系颜料、喹丫酮系颜料、异吲哚满系颜料、金属配位化合物系颜料、次甲基·偶氮次甲基系颜料、二氧代吡咯并吡咯系颜料和这些颜料的衍生物。这些黑色颜料之外的颜料相对于黑色颜料，可以40重量％以下的比率使用。
作为在黑色感光性抗蚀剂中含有的活性能量线固化性化合物，可以使用单体、低聚物、感光性树脂等。
作为活性能量线固化性的单体和低聚物，例如可以示例性地举出：2-羟乙基(甲基)丙烯酸酯、2-羟丙基(甲基)丙烯酸酯、环己基(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三环癸烯(甲基)丙烯酸酯、密胺(甲基)丙烯酸酯、环氧(甲基)丙烯酸酯等各种(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酰胺、N-羟基甲基(甲基)丙烯酰胺、苯乙烯、醋酸乙烯酯、丙烯腈。
作为感光性树脂，可以使用在具有羟基、羧基、氨基之类的反应性取代基的线状高分子中通过以异氰酸酯基、醛基、环氧基等为媒介导入(甲基)丙烯酸酯化合物和肉桂酸之类的光交联基的树脂。另外，通过羟基烷基(甲基)丙烯酸酯之类具有羟基的(甲基)丙烯酸酯化合物也可将苯乙烯-马来酸酐共聚物和α-烯烃-马来酸酐共聚物之类的含有酸酐基的线状高分子用作半酯化聚合物。
这些活性能量线固化性化合物可以基于黑色感光性抗蚀剂的总重量的1～97重量％的比率使用。
在用于本发明中的黑色感光性抗蚀剂中，还可含有通过活性能量线不固化的活化能量线非固化性的热固化性树脂、热塑性树脂。但是，在滤色器的制造步骤中，为了能够进行高温加热的处理，优选使用在加热处理中耐性也好的树脂。另外，在滤色器的制造步骤中，为了还能够进行由各种溶剂和药品进行的处理，优选使用耐溶剂性和耐药品性优良的树脂。
作为可在黑色感光性抗蚀剂中含有的活性能量线非固化性的热固化性树脂和热塑性树脂，例如可示例性地举出：丁醛树脂、苯乙烯-马来酸共聚物、氯化聚乙烯、氯化聚丙烯、聚氯乙烯、氯乙烯-醋酸乙烯酯共聚物、聚醋酸乙烯酯、聚氨酯系树脂、酚醛树脂、聚酯树脂、丙烯酸系树脂、醇酸树脂、苯乙烯树脂、聚酰胺树脂、橡胶系树脂、环化橡胶、环氧树脂、纤维素类、聚丁二烯、聚酰亚胺、苯并鸟粪胺树脂、密胺树脂、尿素树脂。这些活性能量线非固化性树脂相对于活性能量线固化性化合物可以70重量％以下的比率使用。
另外，在通过紫外线照射使黑色感光性抗蚀剂硬化的场合，在黑色感光性抗蚀剂中含有光引发剂。作为光引发剂，可以使用4-苯氧基二氯乙酰苯、4-叔丁基-二氯乙酰苯、二乙氧基乙酰苯、1-(4-异丙基苯基)-2-羟基-2-甲基丙-1-酮、1-羟基环己基苯基酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉基苯基)-丁-1-酮等乙酰苯系光引发剂、苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻异丙基醚、苄基二甲醛缩苯乙酮等苯偶姻系、二苯酮系光引发剂、二苯甲酮、苯甲酰苯甲酸、苯甲酰苯甲酸甲酯、4-苯基二苯酮、羟基二苯酮、丙烯酰化二苯酮、4-苯甲酰-4’-甲基二苯基硫化物等二苯酮系光引发剂、噻吨酮、2-氯噻吨酮、2-甲基噻吨酮、异丙基噻吨酮、2，4-二异丙基噻吨酮等噻吨酮系光引发剂、2，4，6-三氯-s-三嗪、2-苯基-4，6-二(三氯甲基)-s-三嗪、2-(对甲氧基苯基)-4，6-二(三氯甲基)-s-三嗪、2-(对甲苯基)-4，6-二(三氯甲基)-s-三嗪、2-胡椒基(pipenyl)-4，6-二(三氯甲基)-s-三嗪、2，4-二(三氯甲基)-6-苯乙烯基-s-三嗪、2-(萘-1-酰基)-4，6-二(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-甲氧基-萘-1-酰基)-4，6-二(三氯甲基)-s-三嗪、2，4-三氯甲基-(胡椒基)-6-三嗪、2，4-三氯甲基(4’-甲氧基苯乙烯基)-6-三嗪等三嗪系光引发剂和咔唑系光引发剂、咪唑系光引发剂。光引发剂可单独地使用或两种以上混合使用。这些光引发剂可以活性能量线固化性化合物的0.01～100重量％的比率使用。
另外，增感剂也可同光引发剂一起使用。作为这样的增感剂，例如可以示例性地举出：α-酰氧基酯(acyloxyme ester)、酰基膦氧化物、甲基苯基乙醛酸、联苯酰、9，10-菲醌、樟脑醌、甲基蒽醌、4，4’-二乙基异酞酚酮、3，3’，4，4’-四(丁基过氧化羰基)二苯酮、4，4’-二乙基氨基二苯酮等化合物。这些增感剂，可以活性能量线固化性化合物的100重量％以下的比率使用。
为了使得黑色颜料充分地分散、在透明基板上涂布成所需的膜厚，在本发明中所用的黑色感光性抗蚀剂中可以含有溶剂。作为溶剂，例如可以使用环己六醇、乙基溶纤剂乙酸酯、丁基溶纤剂乙酸酯、1-甲氧基-2-丙基乙酸酯、二乙二醇二甲基醚、甲基苯、乙二醇二乙醚、二甲苯、甲基溶纤剂、甲基-正戊基酮、丙二醇单甲醚甲苯、甲基乙基酮、醋酸乙酯、甲醇、乙醇、异丙醇、丁醇、异丁酮、石油系溶剂等。这些溶剂，可以单独使用，或者两种以上混合使用。溶剂可以95重量％的比率在黑色感光性抗蚀剂中含有。
优选的是，在本发明中使用的黑色感光性抗蚀剂通过离心分离、烧结过滤器、膜过滤器等手段，除去5微米以上的粗大粒子、优选是1微米以上的粗大粒子、更优选是0.5微米以上的粗大粒子和混入的灰尘。
调制溶剂显影型或碱显影型的黑色感光性抗蚀剂可以通过旋涂法、缝涂法、辊涂法等涂布方法涂布在玻璃板等透明基板上。
所涂布的黑色感光性抗蚀剂层的厚度优选是使得最终得到的黑底的厚度为0.1～5微米的范围的厚度，更优选是使得最终得到的黑底的厚度为能实现涂布性和遮光性的平衡的0.4～2微米的范围的厚度。
涂布后，基板上的感光性抗蚀剂可以干燥以调整涂布基板的操作、图案的形状。干燥是使用减压干燥、常压风干、加热干燥等，干燥至所需的溶剂残留量。干燥后，基板上的黑色抗蚀剂层中可以残留0～25重量％的溶剂。
在如上所述的透明基板的第一主面上涂布黑色感光性抗蚀剂之后，对黑色感光性抗蚀剂层，通过以光掩模为媒介(选择性地)从第一主面侧照射第一活性能量线，将被第一活性能量线照射的该黑色感光性抗蚀剂层供作显影处理而形成黑底。
作为第一活性能量线，可以使用电子线、紫外线、400～500纳米的可见光。对于电子线的线源，可以使用热电子发射枪、场致发射枪等。另外，对于紫外线和400～500纳米的可见光的线源(光源)，例如可以使用高压水银灯、超高压水银灯、金属卤化物灯、稼灯、氙灯、碳弧灯等。具体地说，作为点光源，从辉度稳定性方面看，多数使用氙水银灯。当然，在本发明使用的黑色感光性抗蚀剂中含有的活性能量线固化性化合物是通过所述第一活性能量线固化得到的。
第一活性能量线的线量是可适宜地设定在5～1000mJ的范围内，优选是工程上易于管理的50～300mJ的范围。
再者，为了提高通过第一活性能量线的曝光感度、涂布黑色感光性抗蚀剂、干燥后，通过在该黑色感光性抗蚀剂层上涂布水溶性或碱水溶性树脂例如聚乙烯醇或水溶性丙烯酸酯树脂、干燥，形成防止通过氧引起的聚合抑制的膜之后，可以从透明基板的第一主面侧照射第一活性能量线。
为了对经第一活性能量线照射的黑色感光性抗蚀剂层显影以形成黑底，可以将具有经第一活性能量线照射的黑色感光性抗蚀剂层的透明基板浸渍在由溶剂或碱性液构成的显影液中，或者可以将如此的显影液通过喷雾器喷雾至黑色感光性抗蚀剂层整个表面上，通过显影液除去黑色感光性抗蚀剂层的未照射部、即未固化部分，从而形成所需的黑底图案。
作为显影液使用的溶剂，可使用上述的能够添加至黑色感光性抗蚀剂中的溶剂。另外，作为显影液使用的碱性液，可使用碳酸钠、氢氧化钠等水溶液或二甲基苄胺、三乙二醇胺等液状有机碱。在显影液中，也可添加消泡剂和表面活性剂。
对于通过这样显影形成的黑底，通过以透明基板为媒介，从透明基板的第二主面侧照射第二活性能量线。
作为第二活性能量线的线光源，不仅可以使用第一活性能量线的线源，而且也可以使用各种荧光灯。
第二活性能量线的线量，优选是第一能量线的线量的0.1～150％。如果第二活性能量线的线量是第一活性能量线的线量的0.1％以下，则得不到充分的密合性，如果超过150％，则使密合性改善的效果降低。更优选的第二活性能量线的线量是第一活性能量线的线量的0.1～90％以便能够以较少的能量得到实用上充分的效果，特别优选的第二活性能量线的线量是第一活性能量线的线量的0.1～60％以利于工程上管理。
虽然通过第二活性能量线的照射提高和黑底图案的透明基板的密合性的构造是不明确的，但是如果提高第二活性能量线的线量，则同黑底的透明基板的密合性提高的效果降低，因此与仅仅通过活性能量线的线量的增加而促进固化是不同的，据认为是由于透明基板和黑底的密合面的某个地方的固化状态变化引起的。
本发明的滤色器是在以上述方法制造的黑底基板上，形成黑色以外的至少两色的滤色区域。滤色区域的颜色是可从蓝色、绿色、红色、黄色、品红色、橙色、紫色等之中选择的大约2～6色。同色系的颜色，可以形成浓度不同的滤色区域。
作为向黑底基板上形成滤色区域的方法，可列举出：凹版胶印印刷法、无水胶印印刷法、丝网印刷法、使用溶剂显影型或碱显影型着色抗蚀剂的照相平版印刷法、通过胶体粒子的电泳在透明导电膜上电沉积形成着色材料的电沉积法、使在转印膜的表面上预先形成的滤色区域层转印至黑底基板上的转印法等。
为了使得仅仅通过重复印刷和干燥就能图案化，作为滤色器的制造方法，印刷法应当是低成本、且批量生产性优良。另外，通过印刷技术的发展，可以进行高尺寸精度的和平滑度的微细图案的印刷。在通过印刷法制造滤色器的场合，印刷机上的油墨的流动性的控制是重要的，也可通过分散剂或体质颜料调整油墨粘度。
使用溶剂显影型或碱显影型着色抗蚀剂的黑底法是在黑底基板上通过旋转涂布、狭缝涂布、辊涂等涂布方法涂布着色抗蚀剂，其次通过以光掩模为媒介进行紫外线曝光，用溶剂或碱显影液冲洗未曝光部形成所需的图案之后，对其它的颜色重复同样的操作而制造滤色器的方法。该制造方法可制造比上述印刷法精度更高的滤色器。
着色抗蚀剂含有在本发明中使用的黑色感光性抗蚀剂中含有的黑色颜料之外的所需颜色的着色剂抗蚀剂。作为着色剂，可使用各种耐受性优良的色剂，但是从耐光性、耐热性和耐溶剂性的观点看优选使用颜料，从光吸收能的大小看特别优选使用有机颜料。以下，用颜色指数示出了代表性的颜料的具体例。
作为黄色的着色剂，可列举出：Pigment Yellow 12，13，14，20，24，83，86，93，94，109，110，117，125，137，138，139，147，148，153，154，166，173等。
作为橙色的着色剂，可列举出：Pigment Orange 13，31，36，38，40，42，43，5l，55，59，61，64，65等。
作为红色和品红色的着色剂，可列举出：Pigment Red 9，97，122，123，144，149，166，168，177，190，192，215，216，224，254，255等。
作为紫色的着色剂，可列举出：Pigment Violet 19，23，29，32，33，36，37，38等。
作为蓝色和青色的着色剂，可列举出：Pigment Blue 15(15，15∶1，15∶2，15∶3，15∶4，15∶6等)，21、22、60、64等。
作为绿色的着色剂，可列举出Pigment Green 7，10，36，47等。
这些着色剂，可以组合使用两种以上以得到所需的颜色。
以下，基于实施例说明本发明，但是本发明不限制于此。另外，以下的实施例和比较例中，“份”表示重量份，“％”表示重量％。
(丙烯酸树脂溶液的调制)
将800份环己酮加入至反应容器中，在向反应容器中注入氮气的同时，加热至100℃，在该温度下，在1小时之内滴下由60.0份苯乙烯、60.0份甲基丙烯酸、65.0份甲基丙烯酸甲酯、65.0份甲基丙烯酸丁酯和10.0份偶氮二异丁腈组成的混合物，进一步在100℃下反应3小时之后，加入2.0份偶氮二异丁腈溶解在50份环己酮中所得的溶液，进一步在100℃下继续反应1小时，从而合成树脂溶液。冷却至室温以后，抽取约2克树脂溶液，在180℃下加热干燥20分钟，测定不挥发成分，根据这个测定结果，添加环己酮使得最初合成的树脂溶液中不挥发成分是20％，从而调制成所需的丙烯酸酯树脂溶液。另外，丙烯酸酯树脂的重均分子量是40000。
(黑色感光性抗蚀剂的调制)
将8份碳黑(Degussa公司制“Pritex 75”)、0.5份分散剂、24份上述的丙烯酸酯树脂溶液、和40份环己酮均匀地混合，采用直径为1毫米的玻璃珠、用砂磨机分散5小时之后，通过5微米的过滤器滤过而调制成黑色颜料分散体。
将由72.5份上述制得的黑色颜料分散体、5.4份三丙烯酸三羟甲基丙酯(新中村化学社制“NKェステルATMPT”)、0.3份光引发剂(Ciba Geigy公司制“Irgacure 907”)、0.2份增感剂(保土ケ谷化学社制“EAB-F”)、和21.6份环己酮组成的混合物均匀地搅拌混合后，用1微米的过滤器滤过而调制成碱显影型黑色感光性抗蚀剂。
实施例1
在100毫米×100毫米、1.1毫米厚的玻璃基板上，使用旋转涂布器涂布上述黑色感光性抗蚀剂，在70℃下干燥20分钟。抗蚀剂的干燥膜厚是1.0微米。使用超高压水银灯、以掩膜为媒介，从抗蚀剂涂布面侧照射光量为200mJ的紫外线(第一活性能量线)。将该涂布基板在2％的碳酸钠水溶液中浸渍约20秒而进行显影，形成黑底图案。
其次，使用高压水银灯从抗蚀剂涂布面侧照射光量为40mJ的紫外线(第二活性能量线)。之后，在230℃下加热1小时，制作成黑底基板。
比较例1
除了不进行作为第二活性能量线的紫外线照射之外，与实施例1同样地制作成黑底基板。
实施例2～5
除了将作为第二活性能量线的紫外线的照射条件变更成表1中所示的条件之外，与实施例1同样地制作成黑底基板。
实施例6～7
除了将碳黑变更成Cabot Corporation制的“Monarch 280”、将光引发剂变更成BASF公司制的“Lucirin TP0”之外，与实施例1同样地制作成黑底基板。
比较例2
除了不进行作为第二活性能量线的紫外线照射之外，与实施例6同样地制作成黑底基板。
针对上述各实施例和各比较例得到的黑底基板，使用压力锅试验器，在120℃、100％RH、2大气压的条件下放置50小时后，基于JIS K5400的基盘目附着性试验方法评价密合性，计算100个基盘目中的剥离个数。结果示于表1中。
表1实施例号 黑色颜料 光引发剂第二紫外 线照射 第二紫外线 的照射条件 100个中的 剥离个数实施例1 Pritex 75 Irgacure 907 有超高压水银灯光量400mJ 0比较例1 Pritex 75 Irgacure 907 无---- 82实施例2 Pritex 75 Irgacure 907 有黑光荧光灯光量15mJ 0实施例3 Pritex 75 Irgacure 907 有荧光化学灯光量5mJ 0实施例4 Pritex 75 Irgacure 907 有超高压水银灯光量100mJ 3实施例5 Pritex 75 Irgacure 907 有超高压水银灯光量200mJ 50实施例6 Monarch 280 Lucirin TPO 有超高压水银灯光量40mJ 0实施例7 Monarch 280 Lucirin TPO 有黑光荧光灯光量15mJ 0比较例2 Monarch 280 Lucirin TPO 无 ---- 90
(红色感光性抗蚀剂的调制)
将20份红色颜料C.I.Pigment Red 254(Ciba Geigy公司制“イルガフオ一レツド B-CF”)、108份上述丙烯酸酯、和100份环己酮均匀地混合，使用直径为1毫米的玻璃珠，用砂磨机分散5小时后，用5微米的过滤器滤过而调制成红色颜料分散体。
将由288份上述制得的红色颜料分散体、13份三丙烯酸三羟甲基丙酯(新中村化学社制“NKェステルATMPT”)、3份光引发剂(Ciba Geigy公司制“Irgacure 907”)、1份增感剂(保土ケ谷化学社制“EAB-F”)、和153份环己酮组成的混合物均匀地搅拌混合后，用1微米的过滤器滤过而调制成红色抗蚀剂。
(绿色感光性抗蚀剂的调制)
将11份绿色颜料C.I.Pigment Green 36(东洋油墨制造株式会社制“リオノ一ルグリ一ン6YK”)、8份黄色颜料C.I.Pigment Yellow 150(ノバイェル社制“フ アンチョンフア一ストイェ口-Y-5668”)、102份上述丙烯酸酯、14份三丙烯酸三羟甲基丙酯(新中村化学社制“NKェステルATMPT”)、4份光引发剂(Ciba Geigy公司制“Irgacure 907”)、2份增感剂(保土ケ谷化学社制“EAB-F”)、和257份环己酮混合，与上述红色感光性抗蚀剂同样地调制成绿色抗蚀剂。
(蓝色感光性抗蚀剂的调制)
将30份蓝色颜料C.I.Pigment Blue 15∶6(东洋油墨制造株式会社制“リオノ一ノルブル-ES”)、97份上述丙烯酸酯、18份三丙烯酸三羟甲基丙酯(新中村化学社制“NKェステルATMPT”)、4份光引发剂(Ciba Geigy公司制“Irgacure 907”)、2份增感剂(保土ケ谷化学社制“EAB-F”)、和267份环己酮混合，与上述红色感光性抗蚀剂同样地调制成蓝色抗蚀剂。
实施例8～12
在实施例1～3和6～7中制成的黑底基板上，与上述黑色感光性抗蚀剂同样地涂布红色感光性抗蚀剂，干燥。其次，通过以具有宽100微米的条纹状的开口部的光掩模为媒介，从涂布面侧照射紫外线(曝光)，用5％的碳酸钠水溶液冲洗未曝光部分，在230℃下用热风炉烘烤30分钟，从而在黑底基板上形成宽为100微米的条纹状的滤红色区域。
其次，使用绿色感光性抗蚀剂和上述蓝色感光性抗蚀剂，与滤红色区域同样地，依次在黑底基板上形成滤绿色区域和滤蓝色区域，从而形成滤色器。
比较例3～4
除了将黑底基板变更成在比较例1、2中制成的之外，与实施例8同样地制成滤色器。
对于实施例和比较例中制成的滤色器，评价黑底部分的密合性。而且，密合性的评价是按照与黑底基板的评价同样地进行。结果是示于表2中。
表2 实施例号 黑底基板100个中的剥离个数 实施例8 实施例1 0 实施例9 实施例2 0 实施例10 实施例3 0 比较例3 比较例l 80 实施例11 实施例6 0 实施例12 实施例7 0 比较例4 比较例2 91
如上所述，通过本发明，可以制造与实用性充分的透明基板具有密合性的黑底基板。另外，通过使用本发明的方法制造的黑底基板，可提供与黑底和透明基板的密合性良好的滤色器。