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1、10申请公布号CN102007332A43申请公布日20110406CN102007332ACN102007332A21申请号200980112970822申请日20090401102008003454120080415KRF16K31/12620060171申请人金圣镇地址韩国京畿道72发明人金圣镇74专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司11127代理人党晓林王小东54发明名称高纯度用稳压器57摘要本发明涉及一种适合用于处理高纯度流体的领域的高纯度用稳压器。本发明的高纯度用稳压器，在将作为稳压器部件之一的塞子固定于主体一侧时，实现将塞子直接挂接于主体固定的新的塞子固定方式，因此，完全消除。
2、残留异物或产生噪音等问题，确保流体流动的安全性，从而适合用于高纯度用途，另外，因无需单独的部件，从而减少部件数量，实现装置的小型化。30优先权数据85PCT申请进入国家阶段日2010101386PCT申请的申请数据PCT/KR2009/0016762009040187PCT申请的公布数据WO2009/128613KO2009102251INTCL19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书3页附图4页CN102007345A1/1页21一种高纯度用稳压器，其特征在于包括具备入口11及出口12的主体10；设置于上述主体10上部的隔膜13、弹簧14及阀杆15；设置于主体10。
3、下部的阀门部件16；及用于固定上述阀门部件16的塞子17；而且，上述塞子17以挂接固定于一体形成在上述主体10的钩子20的形式安装。2根据权利要求1所述的高纯度用稳压器，其特征在于上述钩子20在作为安装钩子20的位置的塞子安装位置周边两侧，在相对的位置形成一对。3根据权利要求1或2所述的高纯度用稳压器，其特征在于上述钩子20呈字形状，从而以固定塞子17的上面边缘的形式固定塞子17。4根据权利要求1所述的高纯度用稳压器，其特征在于上述塞子17通过利用从部件体突出的突出部21向一侧旋转以结合于上述钩子20。5根据权利要求1或4所述的高纯度用稳压器，其特征在于上述塞子17包括用于在结合时使用夹具的夹。
4、具插入孔22。权利要求书CN102007332ACN102007345A1/3页3高纯度用稳压器技术领域0001本发明涉及一种用于减少管道压力的稳压器，尤其涉及适合用于处理高纯度流体的领域的高纯度用稳压器REGULATORFORHIGHPURITY。背景技术0002一般而言，稳压器为减少压力的装置，在因管道压力过高而影响使用时，将压力调节至适合使用的大小。0003例如，稳压器在输出压力开始高于规定的最大值时，减少或阻断流体压力，而当输出压力充分减少时，开放或增加流体。0004上述稳压器一般包括具备于阀门部件入口的螺旋弹簧及对超过的入口压力敏感反应并关闭阀门部件的压力检测部件。0005在上述装置。
5、中，随着阀门部件接近阀座，将限制通过稳压器的流体流动，而当达到一定压力水平时，阀门部件将与阀座接触，以停止继续限制流体流动，或阻断流体流动。0006当输出压力降低至一定压力以下时，阀门将远离阀座以增加流体流动。0007上述循环迅速重复，以根据所需设定值维持输出压力。0008图1为现有稳压器一例剖面图。0009如图1所示，在主体10上具备入口11和出口12；在主体10的上部，设置用于设定及调节压力的隔膜13、弹簧14及阀杆15等，与此同时，在下部设置用于限制入口11和出口12之间的流体流动的阀门部件；而在上述阀门部件16周围设置塞子17。0010此时，在上述塞子17的外周面和设置塞子17的主体1。
6、0的塞子安装孔25内周面，各形成螺丝部，以使上述塞子17以螺丝结合于塞子安装孔25的结构固定于主体10之上。0011但是，在上例中，塞子和塞子安装孔的螺丝结合部分，存在残留异物等的问题，从而在用于半导体晶片制造工艺等高纯度用途时，将降低纯度。0012即，上述稳压器在用于高纯度气体GAS时存在一定的不足。0013图2为现有稳压器另一例剖面图。0014如图2所示，在主体10上具备入口11和出口12；在主体10的上部，设置用于设定及调节压力的隔膜13、弹簧14及阀杆15等，与此同时，在下部设置用于限制入口11和出口12之间的流体流动的阀门部件；而在上述阀门部件16周围设置塞子17。0015此时，上述。
7、塞子17以被压缩部件18支撑的形式固定。0016即，压缩部件下压塞子以将其固定于主体一侧。0017但是，在上例中，流体通过形成于压缩部件的孔19流动，从而产生涡流，而上述涡流将产生噪音。0018即，因一定的流量以一定的压力通过缝隙孔流动时产生的哨声效应，将产生如口哨声的严重的噪音。0019另外，在上例中，塞子的固定需要单独的压缩部件，从而增加部件数量，使结构变得复杂，降低组装性并提高成本。说明书CN102007332ACN102007345A2/3页4发明内容0020因此，本发明的目的在于克服现有技术之不足而提供一种高纯度用稳压器，其在将作为稳压器部件之一的塞子固定于主体一侧时，实现将塞子直接。
8、挂接于主体固定的新的塞子固定方式，因此，完全消除残留异物或产生噪音等问题，确保流体流动的安全性，从而适合用于高纯度用途，另外，因无需单独的部件，从而减少部件数量，实现装置的小型化。0021本发明的目的是这样实现的提供一种高纯度用稳压器，其特征在于包括具备入口及出口的主体；设置于上述主体上部的隔膜、弹簧及阀杆；设置于主体下部的阀门部件；及用于固定阀门部件的塞子；此时，上述塞子挂接于一体形成于主体的钩子。0022此时，上述钩子在塞子安装位置周边两侧，在相对的位置形成形状的一对，而上述塞子利用从圆形部件体突出的四角形的突出部，可向旁边旋转并结合至钩子。0023本发明所提供的高纯度用稳压器，采用通过一。
9、体形成于主体的钩子挂接塞子的形式，因此，消除现有技术中残留异物的问题，确保流体流动的安全性，从而可有效用于半导体晶片制造工艺等处理高纯度流体的领域。0024另外，因无需单独的部件即可将塞子固定于主体一侧，从而减少部件数量，节省成本，简化结构，实现装置的小型化。0025另外，通过根本上消除产生噪音的原因，从而可实现无噪音的肃静的工作环境。附图说明0026图1为现有稳压器一例剖面图；0027图2为现有稳压器另一例剖面图；0028图3为本发明一实施例高纯度用稳压器剖面图；0029图4为本发明一实施例高纯度用稳压器塞子示意图；0030图5为在本发明一实施例高纯度用稳压器中，安装塞子前后状态示意图。00。
10、31附图标记003210主体11入口003312出口13隔膜003414弹簧15阀杆003516阀门部件17塞子PLUG003618压缩部件19孔003720钩子21突出部003822夹具插入槽23衬垫003924阀门贯通孔25塞子安装孔具体实施方式0040下面，结合附图对本发明进行详细说明。0041图3为本发明一实施例高纯度用稳压器剖面图。0042如图3所示，在上述高纯度用稳压器的主体10上，形成用于流体的流入和排出的入口11和出口12，而在其上部组装用于调节适当压力的隔膜13、弹簧14及阀杆15等。说明书CN102007332ACN102007345A3/3页50043另外，用于限制入口1。
11、1和出口12之间流体流动的阀门部件16，在其上端部接触于隔膜并被弹簧弹性支承的形式，被可上下移动的设置。0044在此，上述阀门部件16、隔膜13等运行机制，与通常的稳压器所具有的运行机制没有多少不同，因此，在此不再赘述。0045尤其是，设置于上述阀门部件16周围的塞子17，以新的固定形式被固定。0046例如，上述塞子17固定衬垫23的部件，以挂接固定于与主体10一体形成的钩子20形式安装。0047即，本发明塞子17不是与现有技术一样结合于主题一侧或利用单独的部件固定的形式，而以形成于主体10一侧的钩子20固定塞子17的形式被固定。0048为此，如图4所示，上述塞子17具有圆盘形状的部件体，而在。
12、部件体上面形成作为实际上挂接于钩子一侧的部分的正四边形突出部21。0049另外，在塞子17的部件体中心形成阀门贯通孔24，从而使阀门部件16贯通设置于其中。0050另外，为在组装或分解塞子17操作的便利，在部件体上面，即在除突出部21之外的上面，形成位于两侧对称位置的两个夹具插入槽22，从而在将夹具未图示挂接于夹具插入槽22之后，在旋转塞子17的同时，较容易组装或分解塞子17。0051固定上述塞子17的钩子20，在作为安装钩子20的位置的主体10的孔25周边，在相对的位置形成一对。0052此时，钩子20呈字形状，从而以固定塞子17的上面边缘的形式，即约束塞子17以防止其向上脱离的形式固定塞子1。
13、7。0053因此，在上述构成的本发明高纯度用稳压器中，安装塞子17的方法如下0054图5为在本发明一实施例高纯度用稳压器中，安装塞子前后状态示意图。0055如图5所示，首先在安装阀门部件16的状态下，在主体10的塞子安装孔25内固定衬垫23的位置之后，在其上安装塞子17的顺序进行组装。0056为安装上述塞子17，沿避免塞子17的突出部21和主体10的钩子20之间干扰的方向，向两侧钩子20的开放端内侧插入塞子17部件体。0057当然，在此时，阀门部件16在适当被按下的状态下，插入塞子17的阀门贯通孔24内。0058接着，利用夹具或其他工具按住塞子17，并在此状态下，向旁边旋转90左右，将突出部2。
14、1挂接于钩子20，从而完成塞子17的安装。0059在此，因塞子17的下侧安装有具有弹力的衬垫23，从而在向下加压时，塞子17可下到下面，而在接触压力时，即在将突出部21挂接于钩子20的状态下，通过衬垫23的复原力塞子17向上，从而紧贴于钩子20一侧。0060因此，塞子17的上部由钩子20固定，而下部有衬垫23的复原力，因此，可维持塞子17坚固的安装状态。0061如上所述，钩子20一体形成于主体10并固定塞子17，而且同时由塞子17固定衬垫23，从而不仅可完美地维持阀门部件16周边气密性的同时，无需单独的部件或螺丝结合，可以固定形式安装塞子17，因此，结构简单，并可减少整体大小。说明书CN102007332ACN102007345A1/4页6图1说明书附图CN102007332ACN102007345A2/4页7图2说明书附图CN102007332ACN102007345A3/4页8图3图4说明书附图CN102007332ACN102007345A4/4页9图5说明书附图CN102007332A。