《光电一体式测试系统和光电测试方法.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《光电一体式测试系统和光电测试方法.pdf（14页珍藏版）》请在专利查询网上搜索。
1、10申请公布号CN101995672A43申请公布日20110330CN101995672ACN101995672A21申请号200910091906822申请日20090828G02F1/1320060171申请人北京京东方光电科技有限公司地址100176北京市经济技术开发区西环中路8号72发明人吴昊黄婕妤74专利代理机构北京同立钧成知识产权代理有限公司11205代理人张红莲54发明名称光电一体式测试系统和光电测试方法57摘要本发明公开了一种光电一体式测试系统和光电测试方法，其中光电一体式测试系统包括支撑测试样品的测试基台，在所述测试基台内部设置有交换组件、集成控制组件和多个测试组件，各个所。
2、述测试组件与所述交换组件和所述集成控制组件相连，所述集成控制组件用于集中控制所述交换组件和所述多个测试组件。本发明还提供了一种光电测试方法。本发明实现对利用一个系统便可以完成对同一个测试样品进行各个阶段的多种光学测试和电学测试，解决了现有技术中需要将测试样品在多个测试设备或驱动设备之间不断移动的问题，保证了测试过程中测试样品的状态和测试环境的稳定性，减少了测试设备或驱动设备的占地面积，节约了成本，实现了设备的集约化和高效化。51INTCL19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书9页附图3页CN101995677A1/1页21一种光电一体式测试系统，其特征在于，包括支。
3、撑测试样品的测试基台，在所述测试基台内部设置有交换组件、集成控制组件和多个测试组件，各个所述测试组件与所述交换组件和所述集成控制组件相连，所述集成控制组件用于集中控制所述交换组件和所述多个测试组件。2根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括设置在所述测试基台表面上的机械导轨；与所述机械导轨滑动连接的机械划臂；活动安置在所述机械划臂上的光学镜头和显微镜头，用于对所述测试样品进行光学测试；设置在所述机械划臂上的监视器，用于与所述光学镜头和显微镜头进行配合完成光学测试。3根据权利要求2所述的系统，其特征在于，还包括多条低压差分信号线和数个探针，分别与所述多个测试组件连接，用于对所述测试样品进行探。
4、测。4根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括与所述集成控制组件相连的外接控制界面，用于与所述集成控制组件配合完成对所述多个测试组件和所述交换组件的控制。5根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述集成控制组件为计算机主机系统，所述外接控制界面为计算机显示系统和计算机外设系统。6根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述多个测试组件包括电流电压测试组件、信号发生组件、点灯机组件、示波器组件和直流电源组件。7根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述交换组件为由多层印刷电路板和控制器件构成的交换机，所述印刷电路板的层数由所述测试组件的个数决定。8根据权利要求7所述的系统，其特征在于，所述交换。
5、组件内部包括多个开关电路，分别位于所述多层印刷电路板上，用于分别对所述多个测试组件进行控制。9一种光电测试方法，其特征在于，包括通过活动安置在光电一体式测试系统中机械划臂上的光学镜头和显微镜头、设置在所述机械划臂上的监视器、点灯机组件、信号发生组件、交换组件以及与测试样品连接的低压差分信号线和探针，对所述测试样品进行模块阶段的测试；通过所述光电一体式测试系统中的所述交换组件、集成控制组件、直流电源组件、所述信号发生组件以及所述低压差分信号线和探针，对所述测试样品进行单元阶段的测试；通过所述光电一体式测试系统中的所述交换组件、电流电压测试组件、示波器组件、所述点灯机组件以及所述低压差分信号线和探。
6、针，对所述测试样品进行阵列阶段的测试。权利要求书CN101995672ACN101995677A1/9页3光电一体式测试系统和光电测试方法技术领域0001本发明涉及光电测试技术，尤其涉及一种光电一体式测试系统和光电测试方法。背景技术0002随着科技的不断发展，液晶显示面板基于其轻薄短小，大幅节省摆放空间等优点，得到了越来越广泛的应用。在液晶显示面板的生产过程中，液晶显示面板的测试步骤至关重要，其中对液晶显示面板的测试包括电学测试和光学测试，如半导体特性测试、光学测试、信号波形测试、点亮测试、电压透过率曲线测试等等。通常，液晶显示面板的测试阶段分为模块MODULE测试、单元CELL测试和阵列AR。
7、RAY测试三个阶段。0003在现有技术中，液晶显示面板的光学测试和电学测试是独立进行的，且需要分别使用不同的光学测试设备或电学测试设备来完成对液晶显示面板的测试。由于测试的项目不同，所使用的测试设备也不同，而且完成一个液晶显示面板的样品的测试通常需要在不同的测试设备之间不断移动测试样品，导致每项测试中测试样品的状态和测试环境均不相同，对于同一测试样品的测试结果的纵向对比和集中分析产生不利影响。另外，由于每项测试所对应的测试设备均不相同，而每个测试设备均具有单独的配套组件，占地面积较大，尤其对于大尺寸产品的测试，设备的使用面积会更大，使得整体的成本增加。发明内容0004本发明的目的在于提供一种光。
8、电一体式测试系统和光电测试方法，使得对液晶显示面板的光学测试和电学测试均在一台设备上完成，在进行各项测试时无需移动液晶显示面板测试样品，保证不同测试阶段中测试样品和测试状态的稳定性，减小测试设备的占地面积，节约整体的成本。0005为了实现上述目的，本发明提供了一种光电一体式测试系统，包括支撑测试样品的测试基台，在所述测试基台内部设置有交换组件、集成控制组件和多个测试组件，各个所述测试组件与所述交换组件和所述集成控制组件相连，所述集成控制组件用于集中控制所述交换组件和所述多个测试组件。0006进一步地，本发明提供的光电一体式测试系统还包括0007设置在所述测试基台表面上的机械导轨；0008与所述。
9、机械导轨滑动连接的机械划臂；0009活动安置在所述机械划臂上的光学镜头和显微镜头，用于对所述测试样品进行光学测试；0010设置在所述机械划臂上的监视器，用于与所述光学镜头和显微镜头进行配合完成光学测试。0011进一步地，本发明提供的光电一体式测试系统还包括多条低压差分信号线和数个探针，分别与所述多个测试组件连接，用于对所述测试样品进行探测。0012进一步地，本发明提供的光电一体式测试系统还包括与所述集成控制组件相连的说明书CN101995672ACN101995677A2/9页4外接控制界面，用于与所述集成控制组件配合完成对所述多个测试组件和所述交换组件的控制。0013具体地，所述集成控制组件。
10、为计算机主机系统，所述外接控制界面为计算机显示系统和计算机外设系统。0014具体地，所述多个测试组件包括电流电压测试组件、信号发生组件、点灯机组件、示波器组件和直流电源组件。0015具体地，所述交换组件为由多层印刷电路板和控制器件构成的交换机，所述印刷电路板的层数由所述测试组件的个数决定。0016具体地，所述交换组件内部包括多个开关电路，分别位于所述多层印刷电路板上，用于分别对所述多个测试组件进行控制。0017本实施例提供了一种光电测试方法，包括0018通过活动安置在光电一体式测试系统中机械划臂上的光学镜头和显微镜头、设置在所述机械划臂上的监视器、点灯机组件、信号发生组件、交换组件以及与测试样。
11、品连接的低压差分信号线和探针，对所述测试样品进行模块阶段的测试；0019通过所述光电一体式测试系统中的所述交换组件、集成控制组件、直流电源组件、所述信号发生组件以及所述低压差分信号线和探针，对所述测试样品进行单元阶段的测试；0020通过所述光电一体式测试系统中的所述交换组件、电流电压测试组件、示波器组件、所述点灯机组件以及所述低压差分信号线和探针，对所述测试样品进行阵列阶段的测试。0021本发明提供的一种光电一体式测试系统和光电测试方法，通过将各种测试设备或驱动设备集成为多个测试组件，并设置在光电一体式测试系统中，通过在集成控制组件和交换组件控制之下，实现对利用一个系统便可以完成对同一个测试样。
12、品进行各个阶段的多种光学测试和电学测试，解决了现有技术中需要将测试样品在多个测试设备或驱动设备之间不断移动的问题，保证了测试过程中测试样品的状态和测试环境的稳定性，减少了测试设备或驱动设备的占地面积，也节省了对测试样品进行测试时的探头、处理器、测试平台等的数量，节约了成本，实现了设备的集约化和高效化；同时克服了现有技术中不能同时对所有光电参数进行测试、监控的缺陷，通过本发明提供的光电一体式测试系统和光电测试方法可以了解同一测试样品的各光电参数之间的内在联系，测试得到的光电参数之间存在相互支持的关系，这样更容易找到引起测试样品不良的原因。附图说明0022图1为本发明光电一体式测试系统实施例的整体。
13、结构示意图；0023图2为本发明光电一体式测试系统实施例的具体结构示意图；0024图3为本发明光电一体式测试系统实施例中的交换组件的第一层印刷电路板的结构示意图；0025图4为本发明光电一体式测试系统实施例中的交换组件的第二层印刷电路板的结构示意图；0026图5为本发明光电一体式测试系统实施例中的交换组件的第三层印刷电路板的说明书CN101995672ACN101995677A3/9页5结构示意图；0027图6为本发明光电一体式测试系统实施例中的交换组件的第四层印刷电路板的结构示意图；0028图7为本发明光电一体式测试系统实施例中的交换组件的第五层印刷电路板的结构示意图；0029图8为本发明光。
14、电一体式测试系统实施例中测试样品的内部结构示意图；0030图9为本发明光电测试方法实施例的流程图。具体实施方式0031下面通过附图和实施例，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。0032图1为本发明光电一体式测试系统实施例的整体结构示意图，如图1所示，本实施例提供了一种光电一体式测试系统，具体可以包括支撑测试样品2的测试基台1，测试基台1内部设置有交换组件3、集成控制组件4以及多个测试组件5。测试基台1内部的各个测试组件5分别与交换组件3和集成控制组件4相连，集成控制组件4用于集中控制交换组件3和多个测试组件5，具体通过控制交换组件3来实现对多个测试组件5的控制。其中，测试组件5可以为液晶显示。
15、技术领域中的各个测试设备或驱动设备，将多个测试设备或驱动设备集成为多个测试组件5设置在本实施例中的光电一体式测试系统中，利用本系统对测试样品进行光学测试和电学测试，通过集成控制组件4向交换组件3下发控制指令，交换组件3根据对应的控制指令对多个测试组件5进行控制，可以具体控制一个或多个测试组件5的工作开关，利用处于工作状态的一个或多个测试组件5完成对测试样品的测试。因此，本实施例提供的光电一体式测试系统通过将各种测试设备或驱动设备集成在同一个测试系统中，通过系统中的集成控制组件对交换组件进行控制，交换组件对测试组件的接通或断开进行控制，实现利用一个系统便可以完成对同一个测试样品进行各个阶段的多种。
16、光学测试和电学测试，解决了现有技术中需要将测试样品在多个测试设备或驱动设备之间不断移动的问题，保证了测试过程中测试样品的状态和测试环境的稳定性，减少了测试设备或驱动设备的占地面积，节约了成本，实现了设备的集约化和高效化。0033图2为本发明光电一体式测试系统实施例的具体结构示意图，如图2所示，并结合图1，本实施例提供的光电一体式测试系统具体可以包括测试基台1，测试基台1对测试样品2进行支撑，在测试基台1内部设置有交换组件3、集成控制组件4和多个测试组件5，各个测试组件5与交换组件3和集成控制组件4相连，集成控制组件4用于集中控制交换组件3和多个测试组件5。进一步地，本实施例提供的光电一体式测试。
17、系统还可以包括机械导轨6、机械划臂7、光学镜头8、显微镜头9以及监视器10。其中，机械导轨6设置在测试基台1的表面上，可以位于测试基台1表面的两端，一端设置一条机械导轨6；机械划臂7设置在测试基台1的上方，一端与机械导轨6滑动连接，使得机械划臂7可以在机械导轨6上自由滑动，另一端用于安置光学镜头8和显微镜头9，通过机械划臂7在机械导轨6上自由滑动，进而使得光学镜头8和显微镜头9进行前后位置的移动，实现对测试样品2的不同角度的光学测试；光学镜头8和显微镜头9安置在机械划臂7上，其中，光学镜头8和显微镜头9可以活动地设置在机械划臂7上，在机械划臂7上自由活动，光学镜头8和显微镜头9用于对测试样品2。
18、进行光学测试，如利用光学镜头8对测试区域进行曝光，利用显微镜头9说明书CN101995672ACN101995677A4/9页6观测测试样品2是否存在漏光等微观情况；监视器10设置在机械划臂7上，监视器10用于与光学镜头8和显微镜头9进行配合，以完成对测试样品2的光学测试，通过监视器10来获取光学镜头8和显微镜头9所观测到的测试样品2的各个状态的光学测试数据。0034更进一步地，本实施例提供的光电一体式测试系统还可以包括多条低压差分信号LOWVOLTAGEDIFFERENTIALSIGNALING；以下简称LVDS线11和数个探针12，分别与多个测试组件5连接，用于对测试样品2进行探测。LVD。
19、S线11或探针12的一端连接在各个测试组件5上，另一端与测试样品2连接，当测试组件5在集成控制组件4和交换组件3的控制之下接通进入工作状态时，通过与该测试组件5连接的LVDS线11或探针12对测试样品2进行探测，实现该测试组件5对测试样品2的测试。0035在本实施例中，集成控制组件4可以为计算机主机系统，另外，本实施例提供的光电一体式测试系统还包括与集成控制组件4相连的外接控制界面13，该外接控制界面13可以具体为计算机显示系统和计算机外设系统，如显示器、鼠标和键盘，用于与集成控制组件4进行配合，完成对测试组件5和交换组件3的集中控制。操作人员通过外接控制界面13输入操作指令，集成控制组件4将。
20、接收到的操作指令转化为具体的控制指令，通过该控制指令对交换组件3进行控制，进而实现对各个测试组件5的控制。0036具体地，本实施例中的光电一体式测试系统中的测试组件5可以具体包括电流电压测试组件51、信号发生组件52、点灯机组件53、示波器组件54和直流电源组件55等。其中，电流电压测试组件51可以具体使用高精度电压电流设备，用于对半导体进行高精度的电流电压测试；信号发生组件52可以具体使用信号发生器，用于产生一定频率的交流信号；点灯机组件53可以具体使用点灯机，用于输出各种信号测试样品2的驱动信号；示波器组件54可以具体使用示波器，用于检测显示一定带宽的信号波形；直流电源组件55可以具体使用。
21、直流稳压电源，用于提供直流驱动。需要指出的是，本实施例提供的光电一体式测试系统中的测试组件5可以包括但不限于上述五种类型的测试设备或驱动设备，还可以在该系统中集成其余的用于对测试样品进行光学测试或电学测试的其他测试设备或驱动设备。0037具体地，本实施例中的交换组件3为由多层印刷电路板和控制器件构成的交换机，其中，多层印刷电路板的层数由测试组件5的个数来决定，即一个测试组件对应于一层印刷电路板，如果该测试系统中包括5个测试组件，则交换组件3由五层印刷电路板和控制器件来构成，多层印刷电路板中的每一层印刷电路板分别对应于每一个测试组件，分别对每个测试组件进行控制。具体地，当测试系统包括5个测试组件。
22、时，交换组件3可以具体为5端口交换机，即交换机的5个端口分别与5个测试组件相对应，每个端口连接一个测试组件，交换机的端口的数量也由测试系统中测试组件的数量来决定。其中，交换组件3内部包括多个开关电路，这些开关电路位于多层印刷电路板上，用于分别对多个测试组件5进行控制，由于交换组件3采用分层的印刷电路板设计，因此各层印刷电路板中的开关电路之间互不干扰。假设本实施例提供的测试系统中包括5个测试组件，则交换组件3的端口数量为5个，交换组件3包括5层印刷电路板，如图3所示为本发明光电一体式测试系统实施例中的交换组件的第一层印刷电路板的结构示意图，其中A1、A2、A3、A4和A5分别代表交换组件3的一侧。
23、的五层印刷电路板对应的5个端口，B1、B2、B3、B4和B5代表交换组件3的另一侧的五层印刷电路板对应的5个端口，即A1为交换组件3的第一层印刷电路板的A端说明书CN101995672ACN101995677A5/9页7口，B1为交换组件3的第一层印刷电路板的B端口，A2为交换组件3的第二层印刷电路板的A端口，B2为交换组件3的第二层印刷电路板的B端口。图3中的开关电路包括6个开关，其中一个开关的一端与A1连接，另一端连接在开关总线上，其余5个开关的一端也连接在开关总线上，另一端则分别与B1、B2、B3、B4和B5连接，这样可以在集成控制组件4的控制下，可以选择性地接通交换组件3的A1B1端口。
24、、A1B2端口、A1B3端口、A1B4端口和A1B5端口，进而实现对与这些端口连接的测试组件5的接通。类似地，交换组件3的其余层印刷电路板中的开关电路与第一层印刷电路板的结构类似，只是开关所连接的端口不是A1，而分别是A2A5中的一个，如图4图7分别是本发明光电一体式测试系统实施例中的交换组件的第二层、第三层、第四层和第五层印刷电路板的结构，通过图3图4所示的各层印刷电路板的开关电路，可以实现在交换组件3的两侧的端口之间实现任意的通路。0038图8为本发明光电一体式测试系统实施例中测试样品的内部结构示意图，其中，区域1为像素区域，区域2为PCB电路板，区域3为涂覆导电介质的区域，区域4为外部驱。
25、动电源，A1、A2和A4为测试样品的源极驱动焊点PAD，B1、B2和B3为测试样品的栅极驱动焊点。在利用本实施例提供的光电一体式测试系统对测试样品进行实际测试时，可以将如图8所示的测试样品放置于测试基台上，在测试之前，先将测试样品的第三个PAD处的源驱动COF进行去除，在露出的金属线处涂敷导电银胶，如图8中3区域所示。结合上图2，首先，在进行MODULE阶段的测试时，需要利用点灯机组件53、直流电源组件55和信号发生组件52，则交换组件3的第一层印刷电路板的A端连接LVDS线，交换组件3的第一层印刷电路板的B端连接D3点灯机组件；交换组件3的第二层印刷电路板的A端连接一个信号驱动探头，交换组件。
26、3的第二层印刷电路板的B端连接直流电源组件；交换组件3的第二层印刷电路板的A端连接另一个信号驱动探头，交换组件3的第二层印刷电路板的B端连接信号发生组件。0039首先进行测试样品2的光学测试，通过在机械导轨6上移动机械划臂7，将光学镜头8移动到A2对应的测试区域，在交换组件3的控制之下，控制点灯机组件53对测试样品进行正常驱动，显示特定图像，使用显微镜头9来观测微观情况，即是否存在漏光等，通过交换组件3控制光学镜头8对测试区域进行曝光，以在监视器10中得到光学数据。然后进行样品的模块VT电压透过率曲线的测试，将光学镜头8移动到区域3对应的测试区域，将第二层印刷电路板的驱动探针放置到涂敷银胶的区。
27、域3处，直流电源组件55通过交换组件3的控制将直流驱动信号传递到驱动探针上，实现对图8中黑色区域的直流驱动。另外，配合光学镜头8进行直流VT曲线的测试，如果将第三层印刷电路板的驱动探针放置到区域3处，同时在交换组件3的控制下开启信号发生组件52，则实现交流VT曲线的测试。在常规的测试过程中，经常是先测试光学特性，如果GAMMA曲线的结果不能满足要求，则需要进行VT曲线的测试，进行PCB上电阻的重新调整，再进行光学特性的测试，直到能够满足要求为止。在本实施例中，整个测试过程不需要移动样品和改变样品的状态，不仅保证了测试结果受干扰少，而且加快了整个过程的进行。0040在完成MODULE阶段的测试之。
28、后，去除测试样品的背光源部分，将测试样品分离成CELL状态，即保留测试样品中的印刷电路板，以进行CELL阶段的的光学测试和VT曲线测试。在进行MODULE阶段的测试时，需要利用直流电源组件55和信号发生组件52，将CELL阶段的测试样品放置于测试基台1上，交换组件3的第一层印刷电路板的A端连接一个信说明书CN101995672ACN101995677A6/9页8号驱动探头，交换组件3的第一层印刷电路板的B端连接直流电源组件55；交换组件3的第二层印刷电路板的A端连接另一个信号驱动探头，交换组件3的第二层印刷电路板的B端连接信号发生组件52。将信号驱动探头放置到区域3处，通过交换组件3控制直流电。
29、源组件55，将直流驱动信号传递到信号驱动探头上，实现图8中黑色区域的直流驱动，进行直流VT曲线的测试。需要指出的是，如果将信号驱动探头放置到3处，同时开启信号发生组件52，则进行的是响应时间、视角等光学测试以及交流VT曲线的测试。0041在完成CELL阶段的测试之后，将测试样品的彩膜基板和TFT基板进行分离，并保留测试样品的印刷电路板，洗去TFT基板上的残余物质如PI液等，以进行ARRAY阶段的电学测试和像素波形观察。将ARRAY阶段的测试样品放置于测试基台1上，半导体电学特性测试需要3个探针，则交换机组件3的第一层印刷电路板的A端连接一个信号驱动针头，交换机组件3的第一层印刷电路板的B端连接。
30、电流电压测试组件51；交换机组件3的第二层印刷电路板的A端连接另一个信号驱动针头，交换机组件3的第二层印刷电路板的B端连接电流电压测试组件51；交换机组件3的第三层印刷电路板的A端连接一个信号探头，交换机组件3的第三层印刷电路板的B端连接电流电压测试组件51；交换机组件3的第四层印刷电路板的A端连接另一个信号探头，交换机组件3的第四层印刷电路板的B端连接示波器组件54；交换机组件3的第四层印刷电路板的A端连接LVDS信号线，交换机组件3的第四层印刷电路板的B端连接点灯机组件53。首先进行TFT电学特性测试，在显微镜头9的帮助下，将第一层印刷电路板连接的信号驱动针头放置在ARRAY基板测试位置所。
31、对应的栅极驱动线上；第二层印刷电路板连接的信号驱动针头放置在所对应的源极驱动线上；第三层印刷电路板连接的信号探头放置在测试位置的像素区域。电流电压测试组件51通过交换机组件3将驱动信号传递给两个驱动针头，栅源极打开，像素区域有电流经过，第三层印刷电路板连接的信号探头将探测到的信号通过交换组件3反馈回电流电压测试组件51，完成测试。然后进行像素及其他区域波形的获取，本实施例仅以像素区域波形为例，将第五层印刷电路板连接的探头连接到图8中的区域2上，正常驱动ARRAY基板，在显微镜头9的帮助下，将第四层印刷电路板连接的探头放置到要探测波形的像素区域，通过交换组件3将得到的信号传递给点灯机组件53，在。
32、点灯机组件53上获得像素区域电流电压的实时波形。0042由于TFT电学特性测试和实时波形探测在测试结果上有着紧密的联系，通常需要进行纵向对比，但在以往的测试过程中由于设备及样品管理的原因，很少能够得到同一块样品的两种测试结果的对比。在本实施例中，在不需要移动样品和改变样品的状态的情况下，得到了同一样品的两项测试结果，不仅实现了数据对比的可行性，也保证了测试结果受其他干扰因素最少。0043本实施例提供了一种光电一体式测试系统，通过将各种测试设备或驱动设备集成为多个测试组件，并设置在光电一体式测试系统中，通过在集成控制组件和交换组件控制之下，实现对利用一个系统便可以完成对同一个测试样品进行各个阶段。
33、的多种光学测试和电学测试，解决了现有技术中需要将测试样品在多个测试设备或驱动设备之间不断移动的问题，保证了测试过程中测试样品的状态和测试环境的稳定性，也节省了对测试样品进行测试时的探头、处理器、测试平台等的数量，节约了成本，实现了设备的集约化和高效化；同时克服了现有技术中不能同时对所有光电参数进行测试、监控的缺陷，通过本发明提供的说明书CN101995672ACN101995677A7/9页9光电一体式测试系统和光电测试方法可以了解同一测试样品的各光电参数之间的内在联系，测试得到的光电参数之间存在相互支持的关系，这样更容易找到引起测试样品不良的原因。0044图9为本发明光电测试方法实施例的流程。
34、图，如图9所示，本实施例提供了一种光电测试方法，本实施例为通过上述实施例中提供的光电一体式测试系统对测试样品进行测试的方法，具体可以包括如下步骤0045步骤901，通过活动安置在光电一体式测试系统中机械划臂上的光学镜头和显微镜头、点灯机组件、交换组件、信号发生组件、设置在所述机械划臂上的监视器以及与测试样品连接的低压差分信号线和探针，对所述测试样品进行模块阶段的测试。0046本步骤为利用光电一体式测试系统对测试样品进行MODULE阶段的测试，结合上述图2和图8所示，测试样品放置于测试基台上，在测试之前，先将测试样品的第三个PAD处的源驱动COF进行去除，在露出的金属线处涂敷导电银胶。在进行MO。
35、DULE阶段的测试时，需要利用点灯机组件53、直流电源组件55和信号发生组件52，则交换组件3的第一层印刷电路板的A端连接LVDS线，交换组件3的第一层印刷电路板的B端连接D3点灯机组件；交换组件3的第二层印刷电路板的A端连接一个信号驱动探头，交换组件3的第二层印刷电路板的B端连接直流电源组件；交换组件3的第二层印刷电路板的A端连接另一个信号驱动探头，交换组件3的第二层印刷电路板的B端连接信号发生组件。首先进行测试样品2的光学测试，通过在机械导轨6上移动机械划臂7，将光学镜头8移动到A2对应的测试区域，在交换组件3的控制之下，控制点灯机组件53对测试样品进行正常驱动，显示特定图像，使用显微镜头。
36、9来观测微观情况，即是否存在漏光等，通过交换组件3控制光学镜头8对测试区域进行曝光，以在监视器10中得到光学数据。然后进行样品的模块VT曲线的测试，将光学镜头8移动到区域3对应的测试区域，将第二层印刷电路板的驱动探针放置到涂敷银胶的区域3处，直流电源组件55通过交换组件3的控制将直流驱动信号传递到驱动探针上，实现对图8中黑色区域的直流驱动。另外，配合光学镜头8进行直流VT曲线的测试，如果将第三层印刷电路板的驱动探针放置到区域3处，同时在交换组件3的控制下开启信号发生组件52，则实现交流VT曲线的测试。在常规的测试过程中，经常是先测试光学特性，如果GAMMA曲线的结果不能满足要求，则需要进行VT。
37、曲线的测试，进行PCB上电阻的重新调整，再进行光学特性的测试，直到能够满足要求为止。在本实施例中，整个测试过程不需要移动样品和改变样品的状态，不仅保证了测试结果受干扰少，而且加快了整个过程的进行。0047步骤902，通过所述光电一体式测试系统中的交换组件、集成控制组件、直流电源组件、信号发生组件以及所述低压差分信号线和探针，对所述测试样品进行单元阶段的测试。0048本步骤为利用光电一体式测试系统对测试样品进行CELL阶段的测试，继续结合上述图2和图8所示，在完成MODULE阶段的测试之后，去除测试样品的背光源部分，将测试样品分离成CELL状态，即保留测试样品中的印刷电路板，以进行CELL阶段的。
38、的光学测试和VT曲线测试。在进行MODULE阶段的测试时，需要利用直流电源组件55和信号发生组件52，将CELL阶段的测试样品放置于测试基台1上，交换组件3的第一层印刷电路板的A端连接一个信号驱动探头，交换组件3的第一层印刷电路板的B端连接直流电源组件55；交说明书CN101995672ACN101995677A8/9页10换组件3的第二层印刷电路板的A端连接另一个信号驱动探头，交换组件3的第二层印刷电路板的B端连接信号发生组件52。将信号驱动探头放置到区域3处，通过交换组件3控制直流电源组件55，将直流驱动信号传递到信号驱动探头上，实现图8中黑色区域的直流驱动，进行直流VT曲线的测试。需要指。
39、出的是，如果将信号驱动探头放置到3处，同时开启信号发生组件52，则进行的是响应时间、视角等光学测试以及交流VT曲线的测试。0049步骤903，通过所述光电一体式测试系统中的所述交换组件、电流电压测试组件、示波器组件、点灯机组件以及所述低压差分信号线和探针，对所述测试样品进行阵列阶段的测试。0050本步骤为利用光电一体式测试系统对测试样品进行ARRAY阶段的测试，继续结合上述图2和图8所示，在完成CELL阶段的测试之后，将测试样品的彩膜基板和TFT基板进行分离，并保留测试样品的印刷电路板，洗去TFT基板上的残余物质，以进行ARRAY阶段的电学测试和像素波形观察。将ARRAY阶段的测试样品放置于测。
40、试基台1上，半导体电学特性测试需要3个探针，则交换机组件3的第一层印刷电路板的A端连接一个信号驱动针头，交换机组件3的第一层印刷电路板的B端连接电流电压测试组件51；交换机组件3的第二层印刷电路板的A端连接另一个信号驱动针头，交换机组件3的第二层印刷电路板的B端连接电流电压测试组件51；交换机组件3的第三层印刷电路板的A端连接一个信号探头，交换机组件3的第三层印刷电路板的B端连接电流电压测试组件51；交换机组件3的第四层印刷电路板的A端连接另一个信号探头，交换机组件3的第四层印刷电路板的B端连接示波器组件54；交换机组件3的第四层印刷电路板的A端连接LVDS信号线，交换机组件3的第四层印刷电路。
41、板的B端连接点灯机组件53。首先进行TFT电学特性测试，在显微镜头9的帮助下，将第一层印刷电路板连接的信号驱动针头放置在ARRAY基板测试位置所对应的栅极驱动线上；第二层印刷电路板连接的信号驱动针头放置在所对应的源极驱动线上；第三层印刷电路板连接的信号探头放置在测试位置的像素区域。电流电压测试组件51通过交换机组件3将驱动信号传递给两个驱动针头，栅源极打开，像素区域有电流经过，第三层印刷电路板连接的信号探头将探测到的信号通过交换组件3反馈回电流电压测试组件51，完成测试。然后进行像素及其他区域波形的获取，本实施例仅以像素区域波形为例，将第五层印刷电路板连接的探头连接到图8中的区域2上，正常驱动。
42、ARRAY基板，在显微镜头9的帮助下，将第四层印刷电路板连接的探头放置到要探测波形的像素区域，通过交换组件3将得到的信号传递给点灯机组件53，在点灯机组件53上获得像素区域电流电压的实时波形。0051本实施例提供了一种光电测试方法，实现利用一个系统便可以完成对同一个测试样品进行各个阶段的多种光学测试和电学测试，解决了现有技术中需要将测试样品在多个测试设备或驱动设备之间不断移动的问题，保证了测试过程中测试样品的状态和测试环境的稳定性，也节省了对测试样品进行测试时的探头、处理器、测试平台等的数量，节约了成本，实现了设备的集约化和高效化；同时克服了现有技术中不能同时对所有光电参数进行测试、监控的缺陷。
43、，通过本发明提供的光电一体式测试系统和光电测试方法可以了解同一测试样品的各光电参数之间的内在联系，测试得到的光电参数之间存在相互支持的关系，这样更容易找到引起测试样品不良的原因。0052最后应说明的是以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽说明书CN101995672ACN101995677A9/9页11管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明实施例技术方案的精神和范围。说明书CN101995672ACN101995677A1/3页12图1图2说明书附图CN101995672ACN101995677A2/3页13图3图4图5图6图7说明书附图CN101995672ACN101995677A3/3页14图8图9说明书附图CN101995672A。