平面屏幕的玻璃槽板及其制作方法 本发明涉及一种平面屏幕的玻璃槽板，这种板具有许多平行延伸的、通过肋条隔开的槽，这些槽在平面玻璃基体上形成显微结构；这种板具有一个边缘区，位于槽底部的电极导线可引到该边缘区上，此外，本发明涉及一种制作这种槽板的方法。
平面屏幕的显示屏，典型地，例如现代等离子电视屏所需的显示屏即所谓等离子显示屏(PDP)或等离子寻址液晶显示屏(PALC)，其功能就需要这种所谓的槽板，这种槽板具有许多平行延伸的、通过肋条隔开的微槽形的高精度显微结构。
图3表示明显放大比例的这种槽板的一部分示意图。必须费用合理地和大批量地对不同的显示屏尺寸(屏幕对角线到60英寸或更大)产生图中清晰可见地槽形显微结构。根据屏幕规格可用下列范围的结构尺寸：肋条间距X＝50～1000微米，肋条高度Y＝50～300微米，肋条宽度Z＝10～100微米。对42英寸的高级图像等离子显示屏来说，在肋条间距即所谓行距X约为161微米、肋条高度Y为150微米、肋条宽度Z为30微米和大约520毫米长度的公差为几微米的情况下，例如大约需要加工5760个槽。
根据显示屏的规格，在肋条之间的槽中设置零到三根印制导线作为电极。
这种现代平面显示屏尤其是这种槽板的结构是众所公知的。
对这种槽结构的形成业已提出了不同的方法。其中的一种方法是，在形成槽的情况下，用丝网印刷法在一个平面的玻璃基体上涂覆多层肋条。这种方法很复杂而且昂贵。
另一种方法是在平面的玻璃基体上形成槽结构。
这种形成可用不同的方式来实现。
通过压花以热成型的方式来产生槽形显微结构是熟知的。
通过一个制成微结构的掩模进行喷砂来产生槽形显微结构也是众所周知的。
通过磨削过程来产生槽形结构也已作过试验。在磨削时最好采用一种高精度的多砂轮磨具，这种磨具具有多个精密砂轮，它们通过定距环按一定轴向距离非常精确地布置在一根共同的轴上。由于这些槽制成很精细的结构且其间距很小，所以采用多砂轮磨具通过磨削来制作这种槽板存在如下的困难，即多砂轮磨具的单个砂轮不可能按相应小的轴向间距进行布置，由于这个原因，单个砂轮的距离选用肋条间距“X”的整数倍。因为多砂轮磨具的长度受到了加工轴的振动性能和转数的限制，所以在这种情况下通过所谓的位错磨削来制作槽板，即通过多砂轮磨具的多倍的超程来制作槽板结构。在单个超程之间，多砂轮磨具与槽的纵轴呈直角错开，即正好错开要加工的节距。
槽板至少在一侧上具有一个平的边缘区，必要时为了连接目的设置在槽底部的金属电极导线可引到该边缘区上。平的边缘区的上平面位于要形成的槽底部的设计高度上。当通过前面所述的方法在平面玻璃基体上形成槽时，由于不可避免的制造误差，槽的深度是不同的，亦即槽底部相对于边缘区上平面的高度是波动的，从而产生了过渡阶梯，这些过渡阶梯对金属电极导线的光刻图形及其对拉应力和压应力的机械承受能力产生不利的影响。
本发明旨在这样制作前述的玻璃槽板，使电极引线无干扰地进行结构成形并具有足够的机械承载能力。
根据本发明的平面屏幕的玻璃槽板，这个目的是这样实现的，该槽板具有许多平行延伸的、通过肋条隔开的槽，这些槽在一个平面的玻璃基体上形成显微结构，而且该槽板具有一个边缘区，位于槽底部的电极导线可引到该边缘区，其中从槽底部到该边缘区的过渡是这样形成的，即在槽底部和边缘区之间不产生阶梯，与制造公差无关。
根据本发明的槽板结构，把电极引到该连接边缘区是不成问题的。
根据本发明的第一解决方案，槽板的结构是这样的，即到该边缘区的无阶梯的过渡具有一个朝边缘方向不断下降到一个平的分段的斜台，它具有一个最高点和最低点，该最高点和最低点分别高于或低于槽底规定设计高度的一定尺寸。
这样，在形成槽结构时就可在两个方向内吸收制造公差。
其中，最好将斜台的最高点设置在肋条上侧的高度上，而最低点则至少比槽底的设计高度低两倍制造公差。
根据本发明的第二解决方案，槽板可做成使该边缘区基本上位于与肋条上缘相同的高度上，且从槽底部到该边缘区形成倒圆的过渡。
在两种结构型式中，最好磨削成无阶梯的过渡，这在制造工艺上是可以特别经济地实现的，特别是，根据本发明的一种结构，把槽结构也磨入玻璃基体中时。其中，玻璃基体至少在研磨过程开始的一侧上磨成平面，以尽量减少槽深度的公差。
根据本发明，实现上述目的是通过槽板制作方法的下列步骤来实现的：
-制备具有规定尺寸的平面矩形玻璃板；
-在玻璃板要加工槽的区域和这些槽汇合的至少一个边缘区之间形成一个无突变的过渡；
-在玻璃板上最好通过磨削来形成槽。
本发明的其他结构可从各项从属权利要求和附图说明中得知。
下面结合附图所示的两个实施例来详细说明本发明。
附图表示：
图1具有加工的槽结构和按第一实施例磨削成倾斜边缘区的一块槽板的俯视图，电极导线可引到该边缘区上；
图2图1的槽板第二实施例的示意横截面，用于磨削在制成的槽底和电极导线引到的边缘区之间的连续过渡的；
图3一块槽板的槽结构的理想示意透视图。
图3表示现代平面屏幕的一槽板结构的放大的理想示意图。该槽板具有许多平行延伸的、通过肋条1隔开的槽2。在这些槽的底部3设置有0～3个电极，视显示屏规格和结构而定。
制作具有本发明特征的这种玻璃板按下列步骤进行：
首先根据要求的屏幕尺寸制作一块具有规定尺寸的平面矩形玻璃板4即玻璃基体，该玻璃板最好用浮法或拉伸制成并最好用硼硅玻璃。
典型地，这样制成的玻璃板在其表面具有大的波长的波纹状的不平整性即所谓“凹凸”和具有相对很小波长的波纹。在下一个步骤中，通过平面磨削玻璃表面的一侧或两侧使凹凸和波纹减少到最低限度，从而减小制成的槽板的误差范围，在使用适当砂轮的情况下，通过平面磨削玻璃表面使槽板用于等离子寻址液晶显示中的干扰的杂散辐射减小到最低限度，从而提高对比度。
按前面所述的各种方法之一，最好用高精度的多砂轮磨具在磨平的玻璃板4的有效区4a进行槽2的制作。
典型地，这种高精度多砂轮磨具具有多个精密砂轮，它们通过定距环轴向相隔一定距离十分精确地安装在一根共同的轴上，以便同时磨出一个工件内的相互平行延伸的显微结构。其中，砂轮必须具有很小误差的高精确的相互距离。由于前面述及的原因，槽结构的磨削是通过该处所述的所谓位错磨削来实现的。
然后根据显示屏规格把作为电极的金属印制导线嵌入这些槽2中。金属印制导线的敷设最好根据先前的德国专利申请19841900.7-33在电极区用光刻制图的无外电流和电镀方法沉积金属来实现，该专利也作为本发明申请的参考内容。也可用其他方法，例如溅射和汽化喷镀。
为了连接目的，这些金属印制导线必须从槽底部3引到槽板的一个边缘区，其中该边缘区的上表面位于槽底部3的设计高度上。在这种情况下将产生下面的问题。
由于在磨削过程中或别的成型方法时不可避免的制造公差，得出了槽底3和槽板边缘区的不同高度，亦即在电极引到的边缘区之间产生一个阶梯。这种阶梯对敷设印制导线时电极的光刻图形产生不利影响。例如在凹进的角内产生胶的聚集和凸出的角部则形成无胶层。这会导致金属印制导线的短路和断开。而且沉积的电极局部承受较高的拉应力和压应力。所以根据本发明，在连接区和槽底之间形成的无突变的过渡，最好进行磨削。在图1例子中，在例如通过一个适当宽度和轮廓的砂轮开始在槽板上侧制槽之前，槽板4的边缘区朝边缘方向形成一个倾斜的平缓延伸的台面4b，该台面与一个平的连接区4c连接，而该连接区的位置低于槽底3的设计高度。这样就保证了电极的金属印制导线不用克服槽底和边缘区之间的突变，而且也保证了槽底的实际高度在规定的公差范围内变化。
在边缘区4b，c和槽底3之间呈钝角延伸的过渡保证了电极的明显较好的光刻图形和制成电极的较小的荷载，因此不产生短路和断开，并明显减少了电极断裂的危险，所以这一措施导致了槽板的产量提高。
斜台4b的坡度为例如3°，斜台的最低点比槽底3的设计高度例如低10微米。最好斜台4b做成使最低点比槽底设计高度低两倍制造公差。
改善光刻图形和减小电极荷载的另一个可能性是在玻璃板4的表面和槽底之间保持连续的过渡。这种连续的过渡例如是这样实现的，即按图2在用磨具的砂轮5开始制作槽2之前在一定转速下从上方或以一定的角度切入玻璃板4中。
这样就在结构的边缘区4b仿造出砂轮5的半径。这个半径也导致了在边缘4b内的槽板的槽底和玻璃表面之间的连续过渡。由于这个原因，同样可减小作用到电极上的荷载。用砂轮5切入玻璃板4的另一个优点是附带地省去了单独的边缘加工，因而可省掉一个加工或处理步骤。
边缘区也可用于搁置和支承微片(薄玻璃)或作为玻璃罩的机械支承。