等离子显示板及其制造方法 本发明涉及用于显示器等的等离子显示板及其制造方法。
近年来，作为用于计算机或电视机等的平面型显示器，等离子显示板(等离子显示器)受到人们的关注。
等离子显示器划分为直流型(DC型)与交流型(AC型)，但是目前，适合于大型画面的AC型成为主流。
在AC型等离子显示器中，通过对由用于保持放电的感应体层覆盖的电极，施加交流脉冲，将放电单元变亮，人们知道有保持电极对在前面面板侧平行地设置的面放电型，以及保持电极对与前面板和背面板相对地设置的相对放电型。
图10表示一般的AC面放电型等离子显示器的一个实例。
在该等离子显示器中，前面板110与背面板120相对地设置，其外周缘部(图中省略)通过由低熔点的玻璃形成的密封材料密封。
前面板110按照下述方式构成，该方式为：在前面基板111的相对面(与背面板相对的一侧的面)上，形成显示电极对112a，112b，将其覆盖，形成由感应体玻璃形成的感应体层113和由MgO形成地保护膜114。
背面板120按照下述方式形成，该方式为：在背面基板121的相对面9与前面板相对的一侧的面)上，呈条带状形成地址电极122，按照覆盖该电极的方式，形成背面感应体层123，在其上再沿地址电极122，呈条带状形成隔壁130，在隔壁130之间的槽中，形成RGB各种颜色的荧光体层140。
显示电极对112a，112b与地址电极122正交，在交叉的部位，形成放电单元。
在该等离子显示器中，根据所显示的图像数据，在地址电极122与显示电极112a之间，施加地址脉冲，之后，在成对的显示电极112a和显示电极112b之间，施加保持脉冲，由此，在各放电单元中，有选择地产生保持放电。由此，在进行保持放电的放电单元中，产生紫外线，从由该紫外线激励的RGB的各种颜色荧光体层140，产生可视光，显示图像。
在这里，相邻的放电单元之间由隔壁130隔开，由此，防止交调失真(crosstalk)(在放电单元之间的界面，混合有放电的现象)。
但是，作为形成隔壁的方法，一般采用下述方法，即，首先，将玻璃材料等的隔壁材料按照隔壁图案(条带状的隔壁形状)成形，将所形成的隔壁材料在大于隔壁材料中的玻璃材料的软化点的温度，进行烧成。
在这里，作为按照隔壁图案形成隔壁材料的方法，例举有下述方法等，即第1，通过丝网印刷法等方式按照图案印刷包含隔壁材料的膏的印刷法；第2，在背面基板的整个表面上涂敷包含隔壁材料的膏，之后在其上，形成感光性薄膜层，通过照相法，形成规定图案，然后，通过喷砂方式，去除隔壁材料中的不要部分的喷砂法；第3，在背面基板的整个表面上涂敷包含隔壁材料的感光性膏，然后，通过照相法，去除不要部分的感光性膏(photopaste)法。
采用任何一个成形方法，均具有下述倾向，即如图1所示，经烧成步骤而形成的隔壁130的端部130a隆起，该端部130a的高度比中间部130b(端部以外的部分)的高度，高出10～20％。
特别是，在于背面基板121上，形成背面感应体层123，在其上形成隔壁130的场合，容易产生隆起。
如果按照上述方式，隔壁端部产生隆起，则在将该背面基板与前面基板贴合，装配等离子显示器时，难于在隔壁与前面基板之间无间隙的情况下实现贴合。
另外，在装配好的等离子显示器中，在隔壁与前面基板之间，产生间隙，在驱动该等离子显示器时，在相邻的单元中，容易产生误放电，或产生异常放电。此外，由于具有上述间隙，在驱动时，前面面板振动，由此，容易产生噪音。
本发明是针对上述问题而提出的，本发明的目的在于针对等离子显示器，提供可容易形成没有端部的隆起的技术，由此，实现可以高品质，进行图像显示的等离子显示器。
在本发明的等离子显示器中，在隔壁中，以大于中间部(除了端部以外的部分)的宽度，形成主隔壁部的端部。
按照该等离子显示器，如果在隔壁形成时，对其进行烧成，可抑制端部隆起的情况。
此外，在形成隔壁图案时，可照样采用以喷砂法，丝网印刷法作为首先的一般的方法。
下面对可按照上述方式防止隔壁端部的隆起的原因进行描述。
一般在隔壁烧成时，由于烧成前的隔壁图案将会收缩，故沿主隔壁部延伸的方向，作用有较大的拉力。在这里，与主隔壁的中间部处于沿主隔壁延伸的方向，朝向相反方向张拉的状态的情况相对，在主隔壁部的端部，朝向主隔壁部的中间部的方向受到张拉，而朝向外部，不受到张拉。
可认为，由于在按照上述方式进行烧成时，沿中间部方向张拉隔壁端部，端部的表面附近的材料移动，由此产生隆起。
但是，如果主隔壁部的端部的宽度大于中间部的宽度，由于作用于主隔壁部的端部的拉力在较大的宽度范围分散，故隔壁材料难于移动。另外，由于在该端部，其尺寸沿宽度方向增加，这样除了朝向主隔壁部的中间部的张拉力以外，还沿主隔壁部的宽度方向，作用有拉力。由此，人们认为，也可通过此拉力，抑制隆起。
为了使隔壁的端部的宽度大于中间部，则可相对多个主隔壁部的各端部，形成沿与该主隔壁部的延伸方向相垂直的方向延伸的副隔壁部，通过该副隔壁部，扩大主隔壁部的宽度。
还有，形成副隔壁部的形式有多种，可通过副隔壁，将相邻接的主隔壁的端部之间连接，也可通过在主隔壁的端部，形成副隔壁，形成T形状或L形状。
特别是，如果通过副隔壁将相邻接的主隔壁部的端部之间连接，由于沿副隔壁的延伸方向，作用有较大的拉力，故减小主隔壁的端部的高度的效果较大。
为了沿副隔壁部的延伸方向作用足够的拉力，最好副隔壁部的宽度大于主隔壁部的宽度，特别是最好是大于该主隔壁部的宽度的1.5倍，但是在打算通过副隔壁部将多个主隔壁部的端部全部连接的场合，即使在副隔壁部的宽度小于主隔壁部的宽度的情况下，仍可沿副隔壁部的延伸方向，施加足够的拉力。
再有，按照本发明，在形成等离子显示器的隔壁时，可在隔壁材料的软化点以上的温度，局部地对烧成后的隔壁端部进行加热处理。
在此场合，即使在于烧成后，隔壁端部隆起的情况下，仍使该隆起程度减小。
可认为，通过局部地软化隔壁端部的方式，减小隆起程度的原因在于由于局部软化的部分发生固化，在该部分作用有表面张力，由此，隆起的部分的隔壁材料分散于周围。
作为局部地加热隔壁端部的具体方法，最好采用对隔壁端部照射激光的方法。
按照上述方式采用本发明，由于可减小等离子显示器的隔壁端部的隆起，故与隔壁相对的基板之间难于产生间隙。于是，可防止在驱动时，在相邻的单元中产生误放电，或产生异常放电，另外还可防止在驱动时，基板振动。
参照结合表示本发明的实施例的附图的下面的描述，容易得出本发明的上述和其它目的，优点和特征，这些附图包括：
图1为表示第1实施例的交流面放电型等离子显示器的结构的主要部分的透视图。
图2为表示上述等离子显示器中的，在背面面板上的背侧感应体层上，形成隔壁的状态的顶视图；
图3为说明采用喷砂法的隔壁形成步骤的图；
图4为实施例和已有实例的烧成前隔壁的部分放大图；
图5为第1实施例的等离子显示器的部分放大图；
图6为说明第1实施例的等离子显示器的特征的剖视图；
图7为表示实施例的隔壁的变换实例的图；
图8为表示第2实施例中的，对隔壁的端部照射激光的状态的图；
图9为表示对隔壁的端部照射激光的状态的图；
图10为表示一般的AC面放电型等离子显示器的一个实例的图；
图11为表示上述等离子显示器中的，端部隆起的状态的图。
(第1实施例)
(等离子显示器的整体结构)
图1为表示第1实施例的交流面放电型等离子显示器的结构的主要部分的透视图。
该等离子显示器按照下述方式构成，该方式为：按照将显示电极12和地址电极22相对的方式相互平行地以一定间隔设置前面面板10和背面面板20，该前面面板10在前面玻璃基板11上，设置有显示电极对(扫描电极12a和保持电极12b)，透明感应体层13，保护层14；该背面面板20在背面玻璃基板21上，设置有地址电极22，背侧感应层23。
上述显示电极12和地址电极22均为条带状，显示电极12沿背面玻璃基板21的纵向(X方向)设置，地址电极22沿与上述纵向相垂直的方向(Y方向)设置。
另外，形成下述面板结构，其中在显示电极12和地址电极22交叉的位置，形成发出红，绿，蓝的相应颜色的光的单元。
地址电极22为金属电极(比如，银电极或Cr—Cu—Cr电极)。
显示电极12也可与地址电极22相同，由金属电极形成，但是该显示电极12也可这样形成，如图1所示，在由ITO，SnO2，ZnO等形成的，具有较大宽度的透明电极121上，叠置宽度较小的偏置(bias)电极122(银电极；Cr—Cu—Cr电极)。
透明感应层13为由按照覆盖前面玻璃基板11中的设有显示电极12的整个表面的方式设置的，感应物质形成的层，其通过比如，铅系低熔点玻璃或铋系低熔点玻璃形成。
保护层14为由氧化镁(MgO)形成的薄层，其覆盖透明感应体层13的整个表面。
在背面面板20中的感应体层23上，设置有隔壁30，前面面板10与背面面板20之间的间隙通过该隔壁30确定。
关于隔壁30，将在后面进行具体描述，其由条带状的主隔壁部31，相对主隔壁部31的端部伸出的副隔壁部32形成。
各主隔壁部31位于相邻的地址电极22之间，在主隔壁部31之间，设置红，绿，蓝的荧光体层40。另外，在主隔壁部31之间，密封有放电气体，形成放电空间。
在用于40英寸的高清晰度(high vision)电视机的场合，一般为下述的类型。
相邻的地址电极22之间的间距小于0.2mm。典型的隔壁间距针对每种颜色为360μm，主隔壁部31的顶部宽度在50～100μm的范围内，主隔壁部31的高度在100～150μm的范围内。
此外，作为密封的放电气体，采用由He，Ne，Xe形成的稀有气体，其密封压力设定在66.5～80kPa的范围内。
在驱动该等离子显示器时，通过驱动电路(图中未示出)，对扫描电极12a和地址电极22，施加地址放电脉冲，由此在打算发光的单元中，累积壁电荷，此后，在显示电极对12之间，施加保持放电脉冲。此时，在累积壁电荷的单元中，进行保持放电，实现发光。通过反复进行这样的动作，在等离子显示器的中间部(图像显示区域)，实现图像显示。
(关于隔壁的形状)
图2为表示在背面面板20中，在背侧感应体层23上，形成隔壁30的状态的顶视图。
隔壁30由主隔壁部31和副隔壁部32形成，该主隔壁部31沿地址电极22，呈按照Y方向延伸的条带状，该副隔壁部32按照将该主隔壁部的端部之间连接的方式，沿X方向延伸，在主隔壁部31之间，形成槽33。
在这里，“主隔壁部31的端部”指相对主隔壁部31的末端(图2的31c)，主隔壁部31中的等于宽度的长度范围。
(等离子显示器的制造方法)
下面对制造上述结构的等离子显示器的方法进行描述。
前面面板制作步骤：
在由厚度约为2.8mm的钠钙玻璃形成的前面玻璃基板11的表面上，通过ITO(Indium Tin Oxide)或SnO2等的导电体材料，按照平行的方式制作厚度约为3000埃的透明电极。另外，在该透明电极上，通过叠置由银或铬—铜—铬这3个层形成的bias电极，形成显示电极12。
这些电极可通过丝网印刷法，照相平版法等的，公知的制作方法来制作。
接着，在形成有显示电极12的前面面板11的整个表面上，涂敷包含铅系玻璃的感应体膏，对其进行烧成，由此形成厚度约在20～30μm的范围内的透明感应体层13。然后，在透明感应体层13的表面上，采用蒸镀法或CVD等方式，形成由氧化镁(MgO)形成的保护膜14。按照上述方式，便制成前面面板10。
背面面板制作步骤：
在由厚度约2.6mm的钠钙玻璃形成的背面玻璃基板21上，通过丝网印刷法，呈条带状，涂敷以银为主成分的导电体材料，由此，按照在5～10μm的范围内的厚度，形成地址电极22。
然后，在形成有地址电极22的背面板玻璃21的整个表面上，涂敷感应体玻璃膏，对其进行烧成，因此按照在20～30μm的范围内的厚度，形成背侧感应体层23。
之后，采用后面将要描述的喷砂法等，形成隔壁30。
另外，在隔壁30之间的间隙中，通过丝网印刷法，涂敷红色，绿色，蓝色的相应颜色的荧光体膏，通过在空气中对其进行烧成，形成相应颜色的荧光体层40，由此，制成背面基板20。
此外，在荧光体层40的形成中，除了丝网印刷以外，也可通过下述方法形成，该方法指在从喷嘴喷射荧光体墨的同时进行扫描的方法，或贴附包含各种颜色的荧光体材料的感光性树脂片，通过照相平版法，制作图案，实现显影的方法。
密封步骤，真空排气和放电气体封入步骤：
在按照上述方式制作的前面面板10和背面面板20中的任何一者或两者的外周部上，涂敷密封材料(密封用玻璃料膏)，形成密封材料层，前面面板10的显示电极12与背面面板20的地址电极22按照垂直相对的方式重合，对其进行加热，使密封材料软化，由此，实现密封。
在按照上述方式密封后，在对密封后的面板的内部空间进行真空排气的同时，对面板进行烧成(在350℃下3个小时)。此后，按照规定压力，将放电气体封入，由此制成等离子显示器。
(采用喷砂法的隔壁形成步骤)
图3(a)～(d)为说明采用喷砂法的隔壁形成步骤。
该隔壁的形成由下述步骤组成，该步骤包括：图3(a)所示的第1步骤(隔壁膜涂敷形成步骤)，图3(b)所示的第2步骤(感光性覆盖膜图案形成步骤)，图3(c)所示的第3步骤(喷砂加工步骤)，图3(d)所示的第4步骤(覆盖膜剥离步骤)，以及第5步骤(隔壁烧成步骤)。下面对各步骤进行描述。
隔壁膜形成步骤(a)
将高分子树脂乙基纤维素与下述有机溶剂混合，制成展色料，该有机溶剂是按照50∶50的重量比，将α萜品醋与二甘醇单正丁基醚(BCA)混合而形成的。
将与用于感应体膏的材料相同的铅系玻璃(PbO—B2O3—SiO2—CaO)粉末，由铝形成的体质颜料粉末(骨材)，氧化钛(TiO2)形成的颜料粉末，按照80∶10∶10的重量比混合，制作隔壁材料混合物。之后，在该隔壁材料混合物中，混合上述展色料，制成隔壁用膏。
在背侧感应体层23上的整个中间部(相当于图象显示区域的区域)，采用丝网印刷法，均匀地印刷隔壁用膏，对其进行燥，反复进行此过程，形成厚度约为150μm的隔壁膜300。
感光性覆盖膜图案形成步骤(b)
在按照上述方式形成的隔壁膜300上，通过感光性材料形成覆盖膜310。在本实施例中，采用厚度为50μm的感光性干燥薄膜保护层(下面称为DFR)，对该DRF进行叠置，形成覆盖膜310。
接着，在该覆盖膜310上，设置仅仅覆盖相当于隔壁30的图案(参照图2)的部分的光掩模，照射紫外线光(UV光)，进行曝光处理。在这里，由于适合的曝光量对应于光掩模的图案宽度和间距而变化，故考虑这些因素而设定上述曝光量。
然后，采用1％的碳酸钠水溶液的显影液，进行显影处理，在显影后，马上用水进行清洗。由此，在覆盖膜310上，形成条带状的槽311(开口部)。该槽311相当于图2中的主隔壁部31之间的槽33，典型的槽的尺寸是这样的，槽顶部的开口宽度为80μm，间距为360μm。
喷砂加工步骤(c)
在按照上述方式，制造覆盖膜310的图案后，对隔壁膜300进行喷砂加工。
具体来说，在Air流量为1500NL/min，研磨材料供给量为1500g/min的条件下，从喷嘴400，喷射研磨材料(比如，玻璃空心粒料)401，同时，如图3中的空白箭头所示，使喷砂嘴400沿覆盖膜310的整个表面，进行扫描。
在这里，作为喷砂嘴400，也可采用其长度与槽33相等(Y方向的长度)的类型，使其沿X方向进行扫描，作为喷砂嘴400，还可采用长度较小的类型，在使其沿Y方向进行扫描的同时，沿X方向进行扫描。
按照上述方式，对覆盖膜310的整个表面，吹拂研磨材料401，由此，在隔壁膜300中，仅仅对从槽311中露出的部分进行喷砂加，形成槽301(开口部)。
还有，对于此喷砂加工的程度，作为典型方式，进行该加工，直至通过喷砂方式将相当于隔壁膜300中的槽301的部分完全去除。
覆盖膜剥离步骤(d)
将按照上述方式在隔壁膜300中形成槽301后的背面玻璃基板21浸泡于剥离液(比如，5％的氢氧化钠水溶液)中，由此，将覆盖膜310剥离掉。图4(a)表示按照上述方式形成的烧成前隔壁302的局部放大图。
该烧成前隔壁302的图案与图2所示的隔壁30的图案相同，其由副隔壁部304(相当于图2中的标号32)形成，该副隔壁部304按照将沿V方向延伸的主隔壁部303(相当于图2中的标号31)的端部303a之间连接的方式，沿X方向延伸。
隔壁烧成步骤：
将覆盖膜剥离后的背面玻璃基板21放入下述烧成炉中，进行加热，该烧成炉是按照温度比隔壁材料的软化温度高一定程度的方式，通过靠模加工(profile)形成的。由此，对烧成前的隔壁302的隔壁材料烧结，形成隔壁30。在此烧成时，由于按照上述方式，在各主隔壁部303的端部303a，形成副隔壁部304，故如下面所描述的那样，防止在主隔壁部的端部，产生隆起。
另外，由于隔壁30的端部隆起程度减小，故难于在隔壁30与前面面板10之间，产生间隙，于是，可防止在等离子显示器的驱动时，产生误放电或异常放电，另外，可防止前面面板10产生振动。
(关于副隔壁部的隆起起的防止效果)
下面对副隔壁部的隆起的防止效果进行具体描述。
图4(b)为表示已有实例的条带状的烧成前隔壁500的图，其形状与在上述已有技术中所描述的等离子显示器的隔壁130的相同。
一般在隔壁烧成时，烧成前的隔壁图案将会收缩，在图4(a)的烧成前隔壁302和图4(b)的烧成前隔壁500中的任何一个中，均沿主隔壁的延伸方向(图4的上下方向)作用有拉力。
在这里，主隔壁部303的中间部303b(除了主隔壁部303的端部303a以外的部分)，以及在烧成前隔壁500的中间部500b(除了烧成前隔壁500中的端部500a以外的部分)，如空白箭头A所示，均沿主隔壁的延伸方向(图4的上下方向)，处于朝向相反方向的拉伸状态。
与此相对，如空白箭头B所示，朝向隔壁中间(图4的上方)，对主隔壁部303的端部303a和烧成前隔壁500的端部拉伸，但是，不朝向与上述方向相反的方向，对上述端部拉伸。
于是，便认为在烧成前隔壁500的端部500a，由于在其烧成时朝向中间部的拉伸力(空白箭头B)的作用，该端部500a的表面附近的隔壁材料移动。特别是，终端附近的隔壁材料靠近中间移动，隔壁材料集中于端部中的较窄的区域，由此产生隆起。
对于烧成前隔壁302中的主隔壁部303的端部303a，作用有在烧成时朝向隔壁中间的拉伸力(空白箭头B)的方面是相同的，但是由于在端部303a，副隔壁部304沿与主隔壁部303相垂直的方向延伸，故作用于端部的拉伸力也分散于副隔壁部304处。由此，隔壁材料难于移动。另外，由于即使在端部303a的终端附近的隔壁材料朝向主隔壁部303的中间部303b移动的情况下，其仍分散于副隔壁部304中，故难于产生隆起。
此外，随着副隔壁部304沿其延伸方向(主隔壁部303的宽度方向)收缩，在端部303a，沿.此方向作用有拉力(空白箭头C)。可认为，这样的拉力作用于端部303a上的情况也会获得使端部303a的高度减小的效果。
还有，由于副隔壁部304的宽度越大，在烧成时，作用于端部303a上的拉力越大，故为了减小烧成后的端部31a和副隔壁部32的高度，最好副隔壁部304的宽度大于主隔壁部303的宽度(在1.5～2倍的范围内)。
虽然也依赖于烧成时的条件等，但是由于按照上述方式，通过增加副隔壁部304的宽度，或使副隔壁部304延伸较大尺寸，在烧成时，对副隔壁部304的延伸方向(主隔壁部303的宽度方向)施加较大的拉力，故如图5所示，也可使端部31a和副隔壁部32的高度小于主隔壁部31的中间部31b的高度。
按照上述方式，如果副隔壁部32的高度小于主隔壁部31的中间部31b，如图6所示，在密封步骤中，当将前面面板10与背面面板20重合时，在副隔壁部32和前面面板110之间，确保间隙34。于是，在密封步骤后的排气步骤和放电电气体封入步骤中，由于副隔壁部32的内侧的空间(槽33)与外侧的空间(副隔壁部32与密封材料)处于通过间隙34连通的状态，故获得在不受到副隔壁部32的妨碍的情况下，实现排气和放电气体封入的效果。
但是，按照本实施例，在使副隔壁部304沿X方向延伸较大尺寸，通过副隔壁部304，连接所有多个主隔壁部303的端部303a的场合，由于即使在副隔壁部304的宽度小于主隔壁部303的宽度的情况下，在烧成时，仍沿副隔壁部304的延伸方向，作用有足够大的拉力，故可使端部31a与副隔壁部32的高度，与主隔壁部31的中间部31b的高度相等。
(隔壁图案的变换实例等)
在上面的描述中，如图1，图2所示，针对在主隔壁部31延伸的方向(Y方向)的两端侧，相邻的主隔壁部31的端部之间通过副隔壁部32全部连接的情况进行了描述，但是，如果主隔壁部31的端部的宽度大于中间部的宽度，则可认为通过同样的作用，获得抑制隆起的效果的情况。
作为隔壁30的变换实例，例举图7(a)～(d)所示的形式。这些隔壁30均包括条带状的主隔壁部31，在各主隔壁部31的端部，形成副隔壁部32，此方面是共同的，但是副隔壁部32的形状分别是不同的。
其中，在图7(a)，图7(b)中，按照线对称的方式形成副隔壁部32。即，在主隔壁31的两端部(图7的上下两端部)，并且在第n个主隔壁31与第(n＋1)个(但是，n为奇数)的主隔壁31的端部之间，形成连接有副隔壁部32，在第m个主隔壁31与第(m＋1)个(但是，m为偶数)的主隔壁31的端部之间，未形成副隔壁部。
在图7(a)的场合，由于在奇数位的槽33的两端，按照封闭的方式，形成有副隔壁部32，故与上述图2的场合相同，为了顺利地进行密封步骤后的排气步骤和放电气体封入步骤，最好使副隔壁部32的高度低于主隔壁部31的中间部31b。
在图7(b)所示的形式中，副隔壁部32不保持线对称，其整体按照呈连续状的隔壁图案的方式形成。即，在主隔壁部31的一端侧(图中底侧)，第n个主隔壁部31与第(n＋1)个(但是，n为奇数)的主隔壁部31的端部之间通过副隔壁部32连接，在主隔壁部31的另一端侧(图中顶侧)，第m个主隔壁部31与第(m＋1)个(但是，m为偶数)的主隔壁部31的端部之间通过副隔壁部32连接，
在图7(b)的图案的场合，由于在全部的槽33中，仅仅在任何一个的端部，具有副隔壁部32，故即使在副隔壁部32的高度与主隔壁部31的高度31b的相同的情况下，仍可顺利地进行密封步骤后的排气步骤和放电气体封入步骤。
再有，在图7(c)，(d)所示的形式中，在各隔壁部31的两个端部，形成副隔壁部32，但是主隔壁部31的端部之间不连接。
在图7(c)的形式中，在各主隔壁部31的两端部，按照沿宽度朝向两个方向扩大的方式(沿图7的左右两个方向)，形成副隔壁部32，该两端部呈T字形。
在图7(d)的形式中，在各主隔壁部31的两端部，按照沿其中1个宽度方向(图7的右方向)扩大的方式，形成副隔壁部32，该两端部呈L字形。
在这样的图7(c)，(d)的图案的场合，由于槽33的两端部未为副隔壁部32封闭，故即使在副隔壁部32的高度等于主隔壁部31的中间部31b的高度的情况下，仍可顺利地进行密封步骤后的排气步骤和放电气体封入步骤。
另外，在图7(a)～(d)所示的任何一种形式中，与上述图2的场合相同，为了使主隔壁部31的端部31a和副隔壁部32的高度小于中间部31b的高度，最好使副隔壁部32的宽度为主隔壁部31的宽度的1.5～2倍，但是根据情况，也可使副隔壁部304的宽度小于主隔壁部303的宽度，还可考虑使端部31a和副隔壁部32的高度等于主隔壁部31的中间部31b的高度。
(其它的变换实例)
在本实施例中，针对主隔壁部31与地址电极相并排，沿直线延伸的场合进行了描述，但是该主隔壁部31也可不必为直线状。
比如，即使在于波浪形延伸的同时，并排设置地址电极的情况下，或在主隔壁部31之间的间隙(槽33)上，设置辅助隔壁的情况下同样可进行实施，获得同样的效果。
此外，即使在主隔壁部31沿与地址电极相垂直的方向延伸的情况下，同样可进行实施，获得同样的效果。
(第2实施例)
本实施例的等离子显示器与整体结构有关，与上述第1实施例相同。
另外，在本实施例等离子显示器中，隔壁的形状呈与在已有技术中所描述的等离子显示器的隔壁130相同的条带状，但是对烧成后的隔壁端部，局部地进行隔壁材料的软化点以上的加热处理，使隔壁端部的隆起减少。
该等离子显示器的制作方法在整体上与在第1实施例中所描述的相同，而不同的是隔壁形成步骤。
下面对该隔壁形成步骤进行描述。
在本实施例的隔壁形成步骤中，首先，与在第1实施例中通过图3所描述的相同，进行第1步骤(隔壁膜涂敷形成步骤)，第2步骤(感光性覆盖膜图案形成步骤)，第3步骤(喷砂加工步骤)，第4步骤(覆盖膜剥离步骤)，第5步骤(隔壁烧成步骤)，由此，形成条带状的隔壁。
但是，在第5步骤结束的阶段，与图11所示的隔壁130相同，由于有在隔壁端部产生隆起的倾向，故在第5步骤后，作为第6步骤，还对隔壁端部照射激光，局部地对其进行加热处理，通过该处理，按照减小隔壁端部的隆起的方式进行形状加工。
下面对该第6步骤(局部加热步骤)进行具体描述。
图8为表示相对进行完第5步骤的背面玻璃基板21上的隔壁230的端部，照射激光的状况的图。
作为激光照射装置410，比如，也可采用输出功率为30W的YAG型激光器，还可采用碳酸气体(CO2)的激光器。图8表示相对激光照射装置410，在使基板21沿空白箭头方向移动的同时，照射激光，由此对多个隔壁230依次进行端部加热处理的状况。
图9为表示对隔壁230的端部230a，照射激光411的状况。
在进行完第5步骤的阶段，在背面玻璃基板21上，形成地址电极22和背侧感应体层23，在该背侧感应体层23上，形成条带状的隔壁230。在图9中，隔壁230的端部230a隆起，比中间部230，高出10～20％。
在该隔壁230的两端部，采用激光照射装置410，照射激光411，由此，将隔壁230的两端部，局部地加热到隔壁材料的软化点以上的温度(550℃或此温度以上)。
这里所述的“局部地加热端部”指仅仅将隔壁230的端部230a加热到软化温度以上，隔壁230的中间部230b(端部230a以外的地方)按照保持在软化点以下的温度的方式加热，通过该局部的加热，仅仅将产生隆起的部位和其附近软化。
按照上述方式，在端部230a的隆起部分和其周边软化后，如果其再次固化，则端部230a的形状变化，隆起减小。人们认为，这样的形状变化是这样产生的，即由于在隔壁材料软化的部分，作用有表面张力，如图9中的空白箭头所示，隆起的部分的隔壁材料分散于周边区域。
此外，在按照上述方式，对端部230a，进行局部加热处理时，还可通过调整其条件，按照端部230a的高度与中间部230b的高度相等的方式，使端部230a的形状变化，还可按照端部230a的高度低于中间部230b的高度的方式，使端部230a的形状变化。
还有，为了获得这样的隆起减小效果，也可不必将整个端部230a加热到软化点以上的温度，不将端部230a的深层部加热到软化温度，仅仅将端部230a的表层部加热到软化温度以上。
按照上述方式，在本实施例中，在隔壁烧成步骤后，通过设置局部地加热隔壁端部的步骤，可减小在烧成时所产生的隔壁端部的隆起。因此，按照本实施例的等离子显示器的制造方法，可容易制造可以高品质进行图像显示的等离子显示器。
再有，在本实施例中，给出的是对隔壁端部进行局部加热是通过从隔壁的表面侧，照射激光的方式进行的实例，但是作为局部加热的方法，除了激光照射以外，还可考虑通过相对隔壁端部，照射电子束，或吹拂高温的空气，与高温加热的部件相接触的方法，来实施。另外，也可不必从隔壁的表面侧进行加热，比如，还可考虑通过比如，从背面玻璃基板21的背面侧，进行加热的方法来实施。
另外，与第1实施例相同，隔壁230也可不必为直线状，即使在沿与地址电极相垂直的方向延伸的情况下，可同样地实施，获得同样的效果。
(第1，2实施例的变化实例)
在上述第1，2实施例中，以在隔壁形成步骤中，形成隔壁图案采用喷砂法进行的场合为实例进行描述的，但是，即使在采用比如，通过丝网印刷法按照图案印刷隔壁用膏的印刷法，在整个表面涂敷感光性的隔壁用膏，之后，通过照相法，去除不要部分的感光性膏(photo paste)法的情况下，同样可进行实施，获得同样的效果。
在上述第1，2实施例中，针对在背面面板侧形成隔壁的场合进行了描述，但是即使在前面panel侧形成隔壁的情况下，同样可进行实施，获得同样的效果。
在上述第1，2实施例中，以交流面放电型等离子显示器为实例进行了描述，但是，同样对于对向放电型的等离子显示器，或DC型的等离子显示器，同样可进行实施，获得同样的效果。
虽然通过参照附图的实例对本发明进行了全面描述，但是应注意到，对于本领域的普通技术人员来说，各种变化和改进是显然的。于是，如果这些变化和改进不脱离本发明的范围，它们应按照包含于本发明内的方式构成。