图案制造方法.pdf

1、10申请公布号CN102338983A43申请公布日20120201CN102338983ACN102338983A21申请号201110196959322申请日20110714102010006812020100714KRG03F7/0020060171申请人韩国科学技术院地址韩国大田广域市72发明人梁民阳康凤哲74专利代理机构北京万慧达知识产权代理有限公司11111代理人邬玥张一军54发明名称图案制造方法57摘要本发明涉及一种图案制造方法，具体涉及利用激光的图案制造方法。该方法包括在基板上形成有机金属油墨层20的第一阶段；将有机金属油墨层20固化成半固体状态的第二阶段；将激光照射在半固体状

2、态的有机金属油墨层20上，由此被照射的部分固化成固体状态以形成图案的第三阶段；去除半固体状态的有机金属油墨层20而只留下图案的第四阶段。30优先权数据51INTCL19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书11页附图12页CN102338996A1/1页21一种图案制造方法，其特征在于，包括在基板上形成有机金属油墨层20的第一阶段；将上述有机金属油墨层20固化成半固体状态的第二阶段；将激光照射在上述半固体状态的有机金属油墨层20上，由此被照射的部分固化成固体状态以形成图案的第三阶段；去除上述半固体状态的有机金属油墨层20而只留下图案的第四阶段。2根据权利要求1所述的图

3、案制造方法，其特征在于，上述第二阶段中用加热灯加热形成有有机金属油墨层20的基板，使上述有机金属油墨层20固化成半固体状态。3根据权利要求1所述的图案制造方法，其特征在于，上述第二阶段中通过热板或对流烤箱对形成有机金属油墨层20的基板进行加热，使上述有机金属油墨层20固化成半固体状态。4根据权利要求1所述的图案制造方法，其特征在于，上述的第四阶段还包括将上述基板浸泡在洗涤液中或进行超声波洗涤或喷射洗涤液，去除上述半固体状态的有机金属油墨层20的阶段。5根据权利要求4所述的图案制造方法，其特征在于，上述的第四阶段还包括对形成由上述图案的基板进行加热的阶段。权利要求书CN102338983ACN1

4、02338996A1/11页3图案制造方法技术领域0001本发明涉及一种图案制造方法，具体而言，利用激光制造图案的方法。背景技术0002最近，光产业、显示产业、半导体产业、生物工程产业对产品薄膜化高性能化的要求越来越高。为了符合这些要求，构成各个部件的布线或功能性薄膜层应该形成更小更均匀的图案。因此，细微图案的制造方法是这些产业的基础技术。0003以往，作为非曝光的制造细微图案的方式，采用纳米粒油墨的LDW方式相关的研究较多。0004但是，数十NM大小的纳米粒油墨上直接照射激光形成图案时，由于大量的溶剂和高温纳米粒熔点300400，需要较长的图案形成时间。当然，也可以将纳米粒油墨中的纳米粒制造

5、成更小的，但是这会大幅提高制造成本。由于上述理由，油墨烧结不好，会发生金属电极的阻抗增加等现象。0005并且，激光照射时由于热扩散，图案的宽度大于激光的焦点尺寸，形成10M以下的图案时无法使用扫描仪，利用扫描仪制造精确多样的图案存在局限性。因此，需要采用尽可能接近衍射极限DIFFRACTIONLIMIT进行聚焦FOCUSING的高价物镜。0006另外，向液状油墨照射激光时，形成表面张力梯度SURFACETENSIONGRADIENT引发的马兰格尼对流MARANGONYFLOW。由此，图案的边缘部分较厚，图案的中心部分较薄，图案的截面形状类似于火山喷火口截面形状。0007为了解决这些问题，需要采

6、用烧结更加容易，在低温下可以烧结，传导率优秀的透明的有机金属油墨TRANSPARENTORGANOMETALLICINK。但是，由于这样的油墨不同于纳米粒油墨，内部不含金属粒子，所以透明，激光吸收率低，因此同样发生制造图案PATTERNING时需要较多的光能、图案宽幅增加的问题。发明内容0008因此，为了解决上述的透明有机金属油墨上存在的制造图案PATTERNING问题，本发明的目的在于提供一种通过将透明的有机金属油墨层20固化成半固体状态，金属离子还原成比现有的纳米粒更细微的纳米粒，增加光吸收率，激光照射时热扩散减少，可以容易制造细微图案的利用激光的图案制造方法。0009另外，本发明的目的在

7、于提供一种较少受到图案边缘部分较厚，图案中心部分较薄的马兰格尼对流MARANGONYFLOW影响，可以形成均匀厚度的图案的利用激光的图案制造方法。0010另外，本发明的目的在于提供一种通过将有机金属油墨层20固化成半固体状态，激光吸收率提高，激光照射时的热扩散距离短，在较低的激光输出条件下可以快速制造图案PATTERNING的利用激光的图案制造方法。0011另外，本发明的目的在于提供一种在低温下烧结有机金属油墨，可以适用于柔性说明书CN102338983ACN102338996A2/11页4基板的利用激光的图案制造方法。0012另外，本发明的目的在于提供一种采用低价的油墨，制造成本低廉的利用激

8、光的图案制造方法。0013另外，本发明的目的在于去除基板上的残留物，提高图案的传导率。0014第一方式的图案制造方法包括，基板上形成有机金属油墨层20的第一阶段；将有机金属油墨层20固化成半固体状态的第二阶段；在半固体状态的有机金属油墨层20上照射激光，被照射部分固化成固体状态而形成图案的第三阶段；去除半固体状态的有机金属油墨层20，只留下图案的第四阶段。0015因此，根据第一方式的图案制造方法，将有机金属油墨层20固化成半固体状态，所以能提高光吸收率，并且激光照射时减少热扩散，可以容易制造细微的图案。另外，通过这种半固体状态固化，较少受到马兰格尼对流MARANGONYFLOW的影响，较大受到

9、流体动力学对流HYDRODYNAMICFLOW的影响，所以不仅能够形成厚度均匀的图案，而且图案较厚，传导率得到改善。另外，激光照射时的热扩散距离变短，在较低的激光输出条件下快速制造图案PATTERNING。0016另外，由于是有机金属油墨在较低的温度下被烧结，在柔性基板上也可以适用本图案制造方法。况且，有机金属油墨的价格低廉，可以低成本制造图案。0017第二方式所述的图案制造方法是，在权利要求1所述的图案制造方法中的第二阶段，利用加热灯对形成有机金属油墨层20的基板进行加热，将油墨层20固化成半固体状态的阶段。0018因此，根据第二方式所述的图案制造方法，光吸收率增加，激光照射时热扩散减少，因

10、此可以容易制造细微的图案。另外，通过半固体状态的固化，较少受到马兰格尼对流MARANGONYFLOW的影响，可以形成厚度均匀的图案。另外，在较低的激光输出条件下，可以快速制造图案PATTERNING。不仅如此，可以实现连续工序，以均匀的温度进行加热。0019第三方式所述的图案制造方法是，在权利要求1所述的图案制造方法中的第二阶段，利用热板HOTPLATE或对流烤箱CONVECTIONOVEN对形成有机金属油墨层20的基板进行加热，将有机金属油墨层20固化成半固体状态的阶段。0020因此，根据第三方式所述的图案制造方法，光吸收率增加、激光照射时的热扩散减少，可以容易制造细微的图案。另外，通过这种

11、半固体状态的固化，较少受到马兰格尼对流MARANGONYFLOW的影响，可以形成均匀厚度的图案。另外，在较低的激光输出条件下，可以快速制造图案PATTERNING。不仅如此，设定所需的温度，加热时可以维持其温度。0021第四方式所述的图案制造方法，在权利要求1所述的图案制造方法中的第四阶段，还包括将基板浸泡在洗涤液或进行超声波洗涤或喷射洗涤液，去除半固体状态的有机金属油墨层20，只留下图案的阶段。0022因此，根据第四方式所述的图案制造方法，未被激光照射的部分没有被洗涤液去除，所以只将固化成固体状态的图案留在基板上。0023第五方式所述的图案制造方法，在权利要求1所述的图案制造方法中的第四阶段

12、，还包括对形成图案的基板进行加热的阶段。0024因此，根据第五方式所述的图案制造方法，对形成有图案的基板进行加热，所以能去除基板上的残留物，提高图案的传导率，去除渗透在图案的有机溶剂，可以对图案进行再说明书CN102338983ACN102338996A3/11页5固化和烘干。最终，更有效地烧结图案，提高形成有图案的基板的完成度。0025本发明可以提供一种通过将有机金属油墨层20固化成半固体状态，金属离子还原成比现有的纳米粒更加细微的纳米粒，提高光吸收率，激光照射时的热扩散减少，可以快速容易地制造细微图案的利用激光的图案制造方法。0026另外，本发明可以提供一种较少受到图案边缘部分较厚，图案中

13、心部分较薄的马兰格尼对流MARANGONYFLOW的影响，可以形成厚度均匀的利用激光的图案制造方法。0027另外，本发明可以提供一种通过将有机金属油墨层20固化成半固体状态，激光吸收率提高，并且由于激光照射时的热扩散距离短，因此在较低的激光输出条件下可以快速制造图案PATTERNING的利用激光的图案制造方法。0028另外，本发明可以提供一种在低温下烧结有机金属油墨，可以适用于柔性基板的利用激光的图案制造方法。0029另外，本发明可以提供一种由于采用低价的油墨，因此制造费用低廉的利用激光的图案制造方法。0030另外，本发明去除基板上的残留物，可以提高图案的传导率。附图说明0031图1为第一方式

14、的图案制造方法的顺序图；0032图2为一系列图案制造过程的示意图；0033图3为根据预热时间的变化涂布的有机金属油墨的厚度和吸收率532NM变化的示意图；0034图4为经过90秒预热后自主生成的银纳米粒的粒子大小分布和透射型电子显微镜图像的统计分析结果图；0035图5为马兰格尼对流MARANGONYFLOW的影响下，图案的边缘部分较厚，图案的中心部分较薄的状态图；0036图6为将纳米粒油墨利用激光制造图案PATTERNING后的图案截面图；0037图7为马兰格尼对流MARANGONYFLOW的示意图；0038图8为流体动力学对流HYDRODYNAMICFLOW的影响下，形成均匀厚度的图案状态图

15、；0039图9为流体动力学对流HYDRODYNAMICFLOW的示意图；0040图10为利用检流计扫描的图案制造方法示意图；0041图11为利用接触式掩模的图案制造方法示意图；0042图12为利用掩模投影的图案制造方法示意图；0043图13为利用SLM的图案制造方法示意图；0044图14A为表示在90秒的预热时间内，以1000RPM的转速旋转涂层的图案宽度，对激光1070NM输出和扫描速度SCANRATE的依赖性的图；0045图14B为AFM剖面和经过激光处理的银线形图案1000RPM旋转涂层，200MW激光输出，25MM/S扫描速度示意图；0046图14C显示2DAFM表面粗度形象和相应的激

16、光处理图案的剖面；0047图14D为E光束沉积图案的表面示意图。说明书CN102338983ACN102338996A4/11页60048附图标记说明004910基板005020油墨层005121图案005223固体金属粒子005330洗涤液具体实施方式0054下面结合附图详细说明本发明的具体实施方式。但是，附图只是为了更好地解释本发明内容而使用，本发明的范围并不限定于附图的范围对于所属技术领域的技术人员来说应该容易理解。本发明的优点、特征以及实现方法是参照附图和下面的具体实施方式，将会非常清楚。整个说明书中同一个参照符号都代表相同的构成要素。马兰格尼对流MARANGONYFLOW和流体动力学

17、对流HYDRODYNAMICFLOW对说明现有的图案制造方法上存在的问题以及本发明效果有必要并且会持续提到。只是，马兰格尼对流MARANGONYFLOW和流体动力学对流HYDRODYNAMICFLOW是介绍完各权利要求后，统一进行解释。0055为了进一步理解本发明，参照论文“BONGCHULKANG，SEUNGHWANKO，JONGSUKIMANDMINYANGYANG，“MICROELECTRODEFABRICATIONBYLASERDIRECTCURINGOFTINYNANOPARTICLESELFGENERATEDFROMORGANOMETALLICINK，”31JANUARY2011/

18、VOL19，NO3/OPTICSEXPRESS25732579”0056图1为图案制造方法的顺序图。图1中可见，本发明的图案制造方法包括，基板10上形成有机金属油墨层20的第一阶段；将有机金属油墨层20固化成半固体状态的第二阶段；半固体状态的有机金属油墨层20上照射激光，被照射的部分固化成固体状态，形成图案21的第三阶段；去除半固体状态的有机金属油墨层20只留下图案21的第四阶段。0057图2为图案制造的一系列过程示意图。结合图1和图2，说明图案制造方法。0058第一阶段是在基板10上形成有机金属油墨层20的阶段，在玻璃等硬基板以下简称基板10上涂布液状有机金属油墨的阶段S100。因此，图2的

19、A中，下层代表基板10，上层代表基板10上形成的有机金属油墨层20。此时，在第一阶段中使用的有机金属油墨层20的形成方法有，旋转涂层SPINCOATING、滚轴涂层BLADINGCOATING、喷雾SPRAY、喷墨INKJET、卷对卷ROLLTOROLL方法等。0059第二阶段是将有机金属油墨层20固化成半固体状态的阶段S200。只要能把有机金属油墨层20固化成半固体状态，采用什么方法都无妨。半固体状态指，流动性比完全固化的固体高，但是可以沿着坡面流动的液体相比，其流动性小很多的状态。施加一定程度以上的力量时，不是被破裂，而是维持形状多少有些变形的状态，并且，在有机金属油墨内部通过还原开始形成

20、固体粒子的状态。与液状的有机金属油墨相比，半固体状态的有机金属油墨的厚度更薄，这是因为有机金属油墨从液状变成半固体状态的过程中，构成有机金属油墨的大部分成分的有机溶剂23发生蒸发。但是，不能出现有机溶剂完全蒸发，有机金属油墨层20变成固体状态，应该是大部分有机溶剂蒸发，有机金属油墨层20变成半固体状态。0060本发明的实施方式中，有机金属油墨是透明的，为了对这些透明的有机金属油墨说明书CN102338983ACN102338996A5/11页7制造图案PATTERNING而采用的特定波段的激光大部分会透射透明的有机金属油墨。因此，由于只有透射透明的有机金属油墨后剩下的少量的光能参与到制造图案P

21、ATTERNING作业，所以过去为了制造图案PATTERNING不得不使用高输出的激光。另外，现有的制造图案PATTERNING方式中，以有机溶剂23为基料的油墨厚厚地涂布在基板10上，油墨很厚的状态下照射了激光，所以不能形成很薄的图案21，会形成较厚的图案。相反，本发明中不是透明的有机金属油墨被涂布在基板10后立即照射激光，而是构成透明有机金属油墨的大部分有机溶剂23挥发，油墨层20变薄的状态下照射激光，所以能形成很薄的图案21。0061本发明中，完成第二阶段后透明的有机金属油墨会变成褐色。如前所述，有机金属油墨透明时，用来制造图案PATTERNING的激光中大部分会透射油墨，但是变成褐色时

22、，与透明的有机金属油墨相比，激光的吸收率增加，导致透射率显著下降。因此，意味着激光对有机金属油墨制造图案PATTERNING的效率得到提高。最终，有机金属油墨的颜色也不是透明色，而是褐色，有机金属油墨的状态也不是液态，而是半固体状态，所以激光照射到透明的有机金属油墨层20时，有机金属油墨的光吸收率会整体提高。由于基板10的加热，有机金属油墨内的大量的有机溶剂23，准确地讲未经MC键MCBOND的有机溶剂23已被去除的状态，所以激光照射时热扩散减少，容易制造细微的图案21，且形成图案21为目的的热扩散距离短，因此可以以较低的激光输出条件下快速制造图案PATTERNING。0062如前所述，本图案

23、制造方法中将举例，采用透明的有机金属油墨TRANSPARENTORGANOMETALLICINK，尤其，在金属中含有银AG的透明的有机金属银油墨TRANSPARENTORGANOMETALLICAGINK的情况。有机金属银油墨具有银离子溶解在有机溶剂的结构，所以在常温中呈透明液体状。只是，虽然作为金属采用了银，但是采用铜、金等其它传导率高的金属也无妨。有机金属银油墨相关的详细说明，在下面的第二阶段做进一步的说明。0063在第二阶段，向有机金属银油墨加热，银离子的还原和有机溶剂的蒸发会同时发生，银离子被还原成固体状态金属析出。这里需要注意的是，油墨所含的银离子析出成固体状态金属的，而不是油墨本身

24、变成固体状态的。如前所述，油墨本身会成为半固体状态。有机金属银油墨与纳米粒油墨不同，烧结温度较低只有150200。0064通常来讲，柔性基板是用聚合物材料制造，比如，用PI菲林FILM制造。这些聚合物材料在350左右的温度下大部分被融化掉。但是，为了烧结液体状态的纳米粒油墨需要300400的温度。即使将银AG制造成纳米粒状态，要将纳米粒状态的银AG进行烧结，也需要300400的温度，所以在柔性基板上通常难以采用现有的利用纳米粒油墨的制造图案PATTERNING方法。使用含有比通常的纳米粒油墨粒子更小粒子的纳米粒油墨时，能降低烧结温度，能适用于柔性基板上。但是，油墨的单价会急剧上涨，要用到批量生

25、产体制还是存在局限性的。与此相比，有机金属银油墨是粒子被还原成纳米粒，成为固体状态的银粒子。此时，被还原的纳米粒尺寸小于一般的纳米粒油墨粒子，光吸收率增加，在较低的温度下容易进行烧结。结果，由于油墨在较低的温度下烧结，所以本发明的制造图案PATTERNING方法具有可以适用于柔性基板的优势。纳米粒的尺寸分布将在后面的图4中详细说明。0065经过第二阶段，半固体状态的有机金属油墨内还原的金属粒子的量会增多，有机金属油墨内会存在固体金属粒子，所以在第三阶段，激光照射到有机金属油墨层20时，有机金属油墨会更好地吸收激光。因此，激光照射时进一步减少热扩散，容易制造细微的图案说明书CN102338983

26、ACN102338996A6/11页821。并且，激光照射时的热扩散距离进一步变短，所以在更低的激光输出条件下更快制造图案PATTERNING。尤其，油墨价格更低廉，可以节省图案21制造成本。0066第三阶段是，将激光照射到半固体状态的有机金属油墨层20，被照射的部分固化成固体状态而形成图案21的阶段S300。在第三阶段，根据转印材料和基板10的特性，可以选用CW激光CONTINUOUSWAVELASER或脉冲激光PULSEDLASER。激光照射到有机金属油墨层20中需要形成图案21的区域，将照射的部分固化成固体状态。关于第三阶段，结合图2C进行说明。图2C显示，利用反面NEGATIVE方式被

27、激光照射的部分形成图案21的。此时，完成到第二阶段时，有机金属油墨层20为半固体状态，所以在有机金属油墨层20全部固化之前，利用激光选择局部进行固化。此时，通过激光的输出、移送速度、光束的大小等调节固化。0067第四阶段是去除半固体状态的有机金属油墨层20，只留下图案21的阶段S400。有机金属油墨层20中已经固化成固体状态，形成图案21的规定领域的油墨层20之外，去除半固体状态的有机金属油墨层20时，只有固体状态的图案21留在基板10上。图2F显示，第四阶段已经完成，最终形成图案21的基板10。0068下面进一步详细说明第二阶段。本图案制造方法包括，基板10上形成油墨层20的第一阶段；利用加

28、热灯对形成有机金属油墨层20的基板10进行加热，将有机金属油墨层20固化成半固体状态的第二阶段；激光照射半固体状态的有机金属油墨层20，被照射的部分固化成固体状态而形成图案21的第三阶段；去除半固体状态的有机金属油墨层20只留下图案21的第四阶段。0069下面结合图1和图2，进一步详细说明第二阶段。利用加热灯加热形成有机金属油墨层20的基板10。图2B作为对形成有机金属油墨层20的基板10进行加热的方式之一，显示用热板HOTPLATE加热的方式。但是，该行业的从业人员应该很容易理解，利用加热灯的辐射热对形成有机金属油墨层20的基板10进行加热的过程。本图案制造方法的第二阶段中，为了将有机金属油

29、墨层20固化成半固体状态，利用加热灯对形成有机金属油墨层20的基板10进行加热，就可以蒸发掉涂布在基板10上的油墨层20的大部分有机溶剂23。加热灯加热方式利用的是辐射热。这种方式虽然在加热过程中难以维持所设定的温度，但是与后面要介绍的热板HOTPLATE或对流烤箱CONVECTIONOVEN加热方式相比，可以保证连续工序，以均匀的温度加热方面有优势。0070下面进一步详细说明第二阶段。本图案制造方法包括，基板10上形成油墨层20的第一阶段；利用热板HOTPLATE或对流烤箱CONVECTIONOVEN对形成有机金属油墨层20的基板10进行加热，将有机金属油墨层20固化成半固体状态的第二阶段；

30、激光照射半固体状态的有机金属油墨层20，被照射的部分固化成固体状态而形成图案21的第三阶段；去除半固体状态的有机金属油墨层20只留下图案21的第四阶段。0071结合图1和图2，进一步具体说明第二阶段。利用热板HOTPLATE或对流烤箱CONVECTIONOVEN加热形成有有机金属油墨层20的基板10。图2B作为对形成有有机金属油墨层20的基板10进行加热的方式之一，显示用热板HOTPLATE加热的方式。本图案制造方法的第二阶段中，为了将有机金属油墨层20固化成半固体状态，采用热板HOTPLATE或对流烤箱CONVECTIONOVEN对形成有有机金属油墨层20的基板10进行加热，就可以蒸发掉涂布

31、在基板10上的油墨层20的大部分有机溶剂23。利用热板加热基板10说明书CN102338983ACN102338996A7/11页9的方式是利用传导CONDUCTION现象，利用对流烤箱CONVECTIONOVEN加热基板10的方式是利用对流现象。这种方式尽管不能保证连续工序和恒温加热，但是与利用加热灯的辐射热加热的方式相比，可以设定所需的温度后，可以维持所设定的温度进行加热方面有优势。0072下面进一步详细介绍第四阶段骤。本图案制造方法包括，基板10上形成有机金属油墨层20的第一阶段；将有机金属油墨层20固化成半固体状态的第二阶段；激光照射到半固体状态的有机金属油墨层20，被照射的部分固化成

32、固体状态而形成图案21的第三阶段；将基板10浸泡在洗涤液30中或进行超声波洗涤或喷射洗涤液30，去除半固体状态的有机金属油墨层20只留下图案21的第四阶段。0073结合图1和图2进行说明。图2D显示，有机金属油墨层20的部分已被固化成图案21，部分以半固体状态形成在基板10上，这些基板10被浸泡在装有洗涤液30的容器的状态。图上只显示，将基板10浸泡在洗涤液30中，去除半固体状态油墨层20的过程。但是，本图案制造方法的第四阶段不仅包括上述过程，还包括进行超声波洗涤或喷射洗涤液30，去除半固体状态的有机金属油墨层20的过程。不管采取其中的哪个方式，都应视为属于本图案制造方法的第四阶段。并且，该行

33、业的从业人员应该很容易掌握，通过超声波洗涤或喷射洗涤液30去除图案21之外的油墨层20的方法。0074此时，用来去除半固体状态的有机金属油墨层20的有机溶剂可以采用，比如，原来构成金属有机银油墨基料的有机溶剂23或丙酮、己烷或IPA等。在第四阶段，利用有机溶剂清洗所形成的图案21之外的层。通常来讲，在装有用作有机金属油墨基料的有机溶剂23或丙酮、己烷或IPA等的容器中，直接放入形成有图案21的基板10进行清洗。因此，只有被固化成固体状态的图案21留在基板10上。超声波洗涤是将基板10浸泡在洗涤液30的状态下，施加超声波振动的方式。喷射洗涤液30的方法是以喷雾的方式将洗涤液30直接喷射在基板10

34、上，只留下图案21的方式。0075下面开始，进一步具体介绍第四阶段。本图案制造方法包括，基板10上形成有机金属油墨层20的第一阶段；将有机金属油墨层20固化成半固体状态的第二阶段；将激光照射到半固体状态的有机金属油墨层20上，被照射的部分固化成固体状态而形成图案21的第三阶段；将基板10浸泡在洗涤液30中或进行超声波洗涤或喷射洗涤液30，去除半固体状态的有机金属油墨层20只留下图案21，并加热基板10的第四阶段。0076结合图1和图2，说明本图案制造方法。图2E显示，将基板10上只留下图案21的基板10放入烤箱加热的过程。这是作为基板10加热方式中的一个例子，不仅将基板10浸泡在洗涤液30中或

35、进行超声波洗涤或喷射洗涤液30，去除半固体状态的有机金属油墨层20只留下图案21，还对基板10进行加热。0077需要这些附加阶段的原因是，因为在第四阶段只是洗涤基板10的话，有机溶剂会渗透到在洗涤过程中固化的图案21中，导致图案21可能再次被液化。因此，是为了对图案21进行再固化或烘干，进而对图案21进行进一步的坚固烧结。附加的加热基板10的阶段，不能说是基板10上形成图案21的必备阶段，但是只留下图案21，用洗涤液30清洗半固体状态的有机金属油墨层20后，去除残留在基板10上的有机溶剂，提高传导率等，为了提高形成图案21的基板10的完成度所需的阶段。0078图3显示随着预热时间的变化，所涂布

36、的有机金属油墨的厚度和吸收率532NM说明书CN102338983ACN102338996A8/11页10发生变化的示意图。半固体状态指，有机金属油墨的粘度远低于沿着坡面流动的液体粘度，粘度高于完整固体的状态。以1000RPM的速度将有机金属化合物油墨旋转涂层到碱石灰玻璃基板上，观察了100的温度下各个时间段的厚度变化以及光吸收率的变化。在预热温度100上加热时，取得了均匀的厚度。在不发生纳米粒子凝聚的条件下，温度更高时，油墨的每个部分的厚度会不同，所以厚度会不均匀。实施60秒的预热后，厚度逐渐减少收敛到约033UM，光吸收率会随着预热时间产生线性增加。光吸收率的增加过程中，在有机金属油墨中大

37、部分的有机物被蒸发掉，只增加纳米粒的自主生成量。0079图4为经过90秒预热后，利用透射型电子显微镜观察到的，自主形成的银纳米粒生成状态的统计分析结果。尽管预热温度低于烧结温度，银纳米粒不会发生纳米颗粒的凝聚，均匀地生成粒子。透射型电子显微镜的统计分析结果，自主生成的纳米粒子的平均尺寸为254NM，标准偏差为067NM，3NM以下纳米粒子的比率达到88，生成非常均匀的超细微纳米粒子。可以确认23NM的超细微粒子在银和有机物的结合物内均匀地自主生成。如预计，超细微粒子是银纳米粒的微热分解和微成长现象下生成的。0080图5为马兰格尼对流MARANGONYFLOW的影响下，图案的边缘部分较厚，图案的

38、中心部分较薄的状态。图6为将纳米粒油墨利用激光制造图案PATTERNING后的图案截面图，图7为马兰格尼对流MARANGONYFLOW示意图。0081结合图5至图7，说明现有的利用纳米粒油墨制造图案PATTERNING中马兰格尼对流MARANGONYFLOW的影响。图5的左图显示对涂布在基板10上的油墨的作用力，右图显示在这些作用力下形成的图案21的截面形状。左图中，在油墨的上方指向远离油墨的方向的两个箭头，代表马兰格尼对流MARANGONYFLOW的力量，在油墨的下方指向油墨中心方向的两个箭头，代表流体动力学对流HYDRODYNAMICFLOW的力量。并且，该两种力量大小与箭头的尺寸成比例。

39、关于流体动力学对流HYDRODYNAMICFLOW以后再说明。0082假设激光从上至下的方向照射到图5所示基板10上的油墨的情形时，激光不是均匀地照射到油墨上，而是激光中心部分的温度更高。因此，油墨中央部分的蒸发比边缘部分的蒸发更多，此时，蒸发的主要是有机溶剂。此时，被激光强烈照射的油墨中央部分的表面张力，小于激光照射较弱的边缘部分的表面张力。因此，油墨从表面张力小的部分流向表面张力大的部分，最终图案化的油墨截面变成像火山喷火口一样的形状。造成这种形状的就是马兰格尼对流MARANGONYFLOW的力量。当然，基板10和油墨相会的部分会存在流体动力学对流HYDRODYNAMICFLOW的力量，但

40、是小于马兰格尼对流MARANGONYFLOW的力量，所产生的影响微乎其微。结果，马兰格尼对流MARANGONYFLOW的力量成为作用于油墨的支配性力量，所以如图5所示，图案21的中央部分会凹陷。这种形状在日后图案21上涂布其他物质时，引发涂布不均匀的问题，还降低传导率。0083图6显示中央部分凹陷的图案21的特定数值。对纳米粒油墨利用激光制造图案PATTERNING后，图案21中央部分的厚度约为400NM，边缘部分的厚度约为600800NM。但是，这只是特殊情况下的例示，类似于图6的截面具有喷火口形状的图案21可以存在很多。0084结合图7，进一步详细说明马兰格尼对流MARANGONYFLOW

41、。激光从上至下照射到油墨上，激光中心部分的温度高，所以激光中心部分的热量向被照射油墨的周边扩散，在热的作用下产生有机溶剂23的蒸发。图中蜿蜒的箭头表示有机溶剂23的蒸发。远离激光说明书CN102338983ACN102338996A9/11页11中心部分的油墨，与被激光中心部分照射的油墨相比，其表面张力大，所以会产生表面张力梯度SURFACETENSIONGRADIENT。由此，被激光的中心部分照射的油墨会流向远离激光中心部分的油墨方向。这种流动称之为马兰格尼对流MARANGONYFLOW，由于这种流动，图案21边缘部分的厚度较厚，中心部分的厚度较薄。0085图8显示流体动力学对流HYDROD

42、YNAMICFLOW的影响下图案的厚度均匀形成的状态。图9为流体动力学对流HYDRODYNAMICFLOW的说明图。比较图5和图8可能更容易理解。图8的左图显示对涂布在基板10上的油墨的作用力，右图显示在这些作用力下形成的图案的截面形状。左图中，在油墨上方指向远离油墨方向的两个箭头，表示马兰格尼对流MARANGONYFLOW的力量，在油墨的下方指向油墨中心方向的两个箭头，表示流体动力学对流HYDRODYNAMICFLOW的力量。并且，两种力量的大小与箭头的大小成比例。图8显示通过利用透明有机金属油墨的图案制造而形成的图案21。不同于图6，虽然受到马兰格尼对流MARANGONYFLOW的力量，但

43、是流体动力学对流HYDRODYNAMICFLOW的力量是作用于油墨的支配性力量，所以图案21的厚度从边缘部分到中心部分为止均匀地形成。0086图9为流体动力学对流HYDRODYNAMICFLOW示意图。图中，朝上的箭头表示有机溶剂23的蒸发。如前所述，激光中心部分的光强更大，温度更高，所以激光的中心部分照射到的油墨上所产生的有机溶剂23的挥发更强。图9的左侧为激光中心部分照射到的图案21的中心部分，右侧为图案21的边缘部分。图9中，图案21中心部分的有机溶剂23的高度比图案21边缘部分的有机溶剂23的高度更低，所以为了调整有机溶剂23的高度，产生图案21边缘部分的有机溶剂23向图案21中心部分

44、移动的溶剂流，随着该溶剂流，还原状态的固体金属粒子移向图案21的中心部分。最终，应该形成图案21的部分汇聚固体金属粒子，所以能形成薄图案21。当然，利用纳米粒油墨的图案制造过程中也存在流体动力学对流HYDRODYNAMICFLOW。图5中，用左侧的两个小箭头表示流体动力学对流HYDRODYNAMICFLOW。但是，纳米粒要随着有机溶剂23的流动移动，其纳米粒的粒子太大，且受到纳米粒相互之间的力量，流体动力学对流HYDRODYNAMICFLOW的影响微乎其微。0087结合图5至图9说明了马兰格尼对流MARANGONYFLOW和流体动力学对流HYDRODYNAMICFLOW的原理。通过该说明，可以

45、更好地理解利用激光的图案制造方法的各个阶段，尤其，可以加深对第二阶段和第三阶段的理解。图案制造方法中，向纳米粒油墨照射激光时，马兰格尼对流MARANGONYFLOW的效果会增强，流体动力学对流HYDRODYNAMICFLOW的效果会减弱。相反，向半固体状态的有机金属油墨照射激光时，马兰格尼对流MARANGONYFLOW的效果会减弱，流体动力学对流HYDRODYNAMICFLOW效果会增强。因此，不仅可以形成厚度均匀的图案21，且由于图案21厚度较厚，因此有效地提高传导率。0088另外，如上所述的图案制造方法中，照射激光的方法可以采用图10至图13所示的照射方法。0089图10为利用检流计扫描制

46、造图案的方法。图10中，激光束LASERBEAM依次穿过AODADVANCEDOPTICALDISK、校正仪CORRECTION、振镜GALVANOMETER、扫描透镜SCANLENS、圆筒透镜CYLINDRICALLENS，投射到基板上。不移动激光，移动基板的方式制造图案的方法。该方法可以支持10M/S以上的高速扫描。0090图11是利用接触式掩模制造图案的方法。图11中，当激光依次穿过捆束BUNDLE、均化器HOMOGENIZER、线光束发生器LINEBEAMGENERATOR时，会产生多均说明书CN102338983ACN102338996A10/11页12质线光束MULTIHOMOGE

47、NIZEDLINEBEAM，由此在基板上进行涂布，通过掩模的直接接触以11进行投影PROJECTION的图案形成方法。该方法的优点是对扫描的精确度要求不高。0091图12为利用掩模投影的图案制造方法。图12中，激光穿过光束均化器BEAMHOMOGENIZER和成形器SHAPING通过掩模MASK时，形状的光束会通过投影透镜PROJECTIONLENS。此时根据距离比率，图案被缩小和投影的方式。与接触式掩模CONTACTMASK的区别是，接触式掩模CONTACTMASK是激光从投影光学仪器照射到掩模的方式，但是，掩模投影MASKPROJECTION是激光从掩模照射到投影光学仪器的方式的差异。00

48、92图13为利用SLM制造图案的示意图。图13中，空间光调制器SLM，SPATIALLIGHTMODULATOR是在空间上改变光线的空间光调制器，光线穿过空间光调制器后按特定的形状发生变化，由此制造图案的方式。SLM是通过计算机调节，所以不需要掩模，可以容易制造所需形状的图案。0093另外，不限定于上述的四种激光照射方法，还可以使用其它的激光照射方法。0094图14A显示，在1000RPM下经过90秒的旋转涂层的图案宽度对激光1070NM输出和扫描速度SCANRATE的依赖性。图14B显示，AFM形状和经过激光处理的线性图案1000RPM旋转涂层、200MW激光输出、25MM/S扫描速度。图1

49、4C显示，2DAFM表面粗度形象和相应的激光处理图案的剖面。图14D显示E光束沉积图案的表面。0095图14A显示，图案宽度对激光输出和固化率CURINGRATE的依赖性。这是现在的基于有机金属油墨的LDC方法25MM/S甚至比以前的基于纳米粒子油墨的LDC方法02MM/S高出好几个层次的速度下，也可以形成图案。不仅是图案速度，分辨率也可以容易调整。如图14A所示，相同焦点尺寸的激光中，只改变输出就做出了各种范围的图案尺寸20100UM。比所照射的激光焦点尺寸小的图案是，通过相对较低的吸收率来减轻均匀的热扩散得到的。现有的图案宽度，尤其是现有的基于纳米粒子油墨的LDC工序中，金属纳米粒子在较高的热传导率下出现热扩散，所以图案宽度会大于焦点尺寸。热扩散效果是可以通过基于有机金属油墨的LDC工序中通过预热油墨PREBAKEDINK的高热敏感度和银有机物复合体的较低的热传导率来缓解的。本发明中利用10UM焦点尺寸的激光束可以将分辨率改善至10UM。但是，图案分辨率可以利用更加精确的光学仪器减少光束尺寸的方式进一步改善。考虑到激光的波长1070NM和热扩散时，实际上预计可以取得至少25UM左右的分辨率。0096图14B中的图案剖面显示，现有的基于纳米粒子油墨的LDC工序中看不到的参照图6环形的凸状出现在末端。这是因为预热过程中油墨的黏性相对