正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法.pdf

1、10申请公布号CN102346372A43申请公布日20120208CN102346372ACN102346372A21申请号201010247760422申请日20100730G03F7/008200601G03F7/039200601G03F7/00200601G02F1/136820060171申请人奇美实业股份有限公司地址中国台湾台南县仁德乡三甲村591号72发明人施俊安陈凯民74专利代理机构上海新天专利代理有限公司31213代理人王敏杰54发明名称正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法57摘要本发明有关一种流延涂布方式用正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法。特别

2、是一种涂布均匀性佳、感度高、显影性佳及残膜率高的流延涂布方式用正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法。该组成物包含酚醛清漆树脂A、邻萘醌二迭氮磺酸类的酯化物B以及溶剂C。其中，该酚醛清漆树脂A以凝胶渗透色层分析法测得的分子量分布，将分子量介于200120，000的树脂讯号作积分，以分子量及累积重量百分率绘图求得积分分子量分布曲线，分子量介于1，0003，000的酚醛清漆树脂占该酚醛清漆树脂A545重量，分子量30，000以上的酚醛清漆树脂占该酚醛清漆树脂A10重量以下。51INTCL19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书15页附图2页CN10234639

3、2A1/1页21一种流延涂布方式用正型感光性树脂组成物，包含酚醛清漆树脂A；邻萘醌二迭氮磺酸类的酯化物B；以及溶剂C；其中，该酚醛清漆树脂A以凝胶渗透色层分析法测得的分子量分布，将分子量介于200120,000的树脂讯号作积分，以分子量及累积重量百分率绘图求得积分分子量分布曲线，该酚醛清漆树脂A中，分子量介于1,0003,000的酚醛清漆树脂占该酚醛清漆树脂A545，分子量30,000以上的酚醛清漆树脂占该酚醛清漆树脂A10以下。2一种使用权利要求1所述正型感光性树脂组成物形成图案的方法，其是将该正型感光性树脂组成物依序施予预烤、曝光、显影及后烤处理，据此形成图案。3一种薄膜电晶体阵列基板，包

4、含一图案，其中，该图案是执行如权利要求2所述的方法所形成的。4一种液晶显示组件，包含如权利要求3所述的薄膜电晶体阵列基板。权利要求书CN102346372ACN102346392A1/15页3正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法技术领域0001本发明是有关一种流延涂布方式用正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法。特别是提供一种使用在超大型积体电路以下简称VLSI的半导体集积回路组件及薄膜电晶体以下简称TFT的液晶显示组件制造中，涂布均匀性佳、感度高、显影性佳及残膜率高的流延涂布方式用正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法。背景技术0002液晶显示器在制造上，包括

5、薄膜电晶体TFT及彩色滤光片COLORFILTER，基板大型化一直是必然的趋势，从所谓尺寸为320MM400MM的第一代基板，到尺寸为370MM470MM的第二代基板，到尺寸为550MM650MM的第三代基板，再演变至尺寸为680MM880MM730MM920MM的第四代基板，其目的就是要降低制造成本。而今后基板的主流尺寸已确定为边长大于1000MM的第五代以上的基板，例如960MM1100MM、1100MM1250MM、1100MM1300MM、1500MM1800MM、1800MM2000MM等各种尺寸的基板，其生产效益预估较第四代基板高约一倍。0003当基板尺寸在550MM650MM以下

6、时，若以回转涂布方式将TFT回路或铬黑色矩阵CRBLACKMATRIX用的正型感光性树脂涂布在基板形成涂膜时，相对于基板的中央部份，该涂膜于基板的周围的部份有增厚的倾向。同时回转涂布的原料利用率极低，约有90以上的感光性树脂材料会于回转涂布时被甩离基板，亦即，使用回转涂布的方式易造成正型感光性树脂材料的浪费、产能降低。0004当基板尺寸放大至730MM920MM时，为节省单位面积的感光性树脂材料用量，感光性树脂的涂布方式由早期的回转涂布改为流延回转涂布。其中流延回转涂布方式是以流延涂布SLITCOATING的方式先将感光性树脂涂布于基板上，然后再以回转方式让感光性树脂均匀分布在基板上即流延回转

7、涂布法，SLITSPINPROCESS。此种涂布方式的优点是感光性树脂材料的使用量可大幅降低，原材料利用率可由回转涂布方式的10以下，提高至约20，不过，基板边缘残留极厚的感光性树脂形成珠粒的缺点仍无法改善，需要设置基板周边清洗制程清洗感光性树脂于基板边缘所形成过厚的珠粒，所以需增加设备投资成本及清洗液购料成本，且影响整体产能。0005而当液晶显示器使用的基板尺寸边长大于1000MM时，为降低感光性树脂材料的使用成本，感光性树脂的涂布方式已确定改采非回转涂布，意即，只以流延涂布法涂布感光性树脂即可，不须再经过前述回转涂布即所谓不需回转涂布的流延涂布法，以下简称流延涂布法，SPINLESSPRO

8、CESS。例如2002年11月号DISPLAY杂志日文期刊于第36页，提及以流延涂布生产大型化第五代彩色滤光片基板的制造技术及装置，又如2002年6月号电子材料杂志日文期刊于第107页，亦提及流延涂布装置应用于平面显示器的基板的涂布生产。前述流延涂布法不需再经回转涂布，其优点为感光性树脂材料的使用效率为100，感光性树脂材料的购料成本可降低，基板边缘不再残留极厚的感光性树脂材料，制造时不须再加设周边清洗装置及购买清洗液，故可有效低制造成本。说明书CN102346372ACN102346392A2/15页40006然而，采用流延涂布法，却极易产生涂布均匀性不佳的问题，特别是近年来，电视、电脑显示

9、器等影像显示设备的显示面积有日益增大的趋势，此种流延涂布方式难以确保大型显示器的画质均一性。0007日本公开特许2004258099揭露使用两种不同重量平均分子量的酚醛清漆树脂与含萘醌二迭氮基的化合物进行混合作为正型感光性树脂组成物，可于基板上形成良好的图案，然而，该组成物以流延涂布方式涂布于基板上，仍有涂布不均匀、显影性不佳、残膜率低等问题点而未能让业者所接受。发明内容0008本发明主要目的在于提供一种流延涂布方式用正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法。特别是提供一种涂布均匀性佳、感度高、显影性佳及残膜率高的流延涂布方式用正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法。0009

10、本发明是一种流延涂布方式用正型感光性树脂组成物，该组成物包含酚醛清漆树脂A、邻萘醌二迭氮磺酸类的酯化物B以及溶剂C；其中，该酚醛清漆树脂A以凝胶渗透色层分析法测得的分子量分布，将分子量介于200120,000的树脂讯号作积分，以分子量及累积重量百分率绘图求得积分分子量分布曲线，分子量介于1,0003,000的酚醛清漆树脂占该酚醛清漆树脂A545重量，分子量30,000以上的酚醛清漆树脂占该酚醛清漆树脂A10重量以下。0010本发明是一种使用所述正型感光性树脂组成物形成图案的方法，其是将该正型感光性树脂组成物依序施予预烤、曝光、显影及后烤处理，据此形成图案。0011本发明是一种薄膜电晶体阵列基板

11、，包含一图案，其中，该图案是执行所述形成图案的方法所形成的。0012本发明是一种液晶显示组件，包含所述的薄膜电晶体阵列基板。0013以下逐一对本发明各组成做详细的说明00140015酚醛清漆树脂A0016本发明的酚醛清漆树脂A，一般是由芳香族羟基化合物及醛ALDEHYDE类，在酸性触媒存在下经缩合反应而得。其中，芳香族羟基化合物的具体例如苯酚PHENOL；间甲酚MCRESOL、对甲酚PCRESOL、邻甲酚OCRESOL等的甲酚CRESOL类；2，3二甲苯酚、2，5二甲苯酚、3，5二甲苯酚、3，4二甲苯酚等的二甲酚XYLENOL类；间乙基苯酚、对乙基苯酚、邻乙基苯酚、2，3，5三甲基苯酚、2，3

12、，5三乙基苯酚、4第三丁基苯酚、3第三丁基苯酚、2第三丁基苯酚、2第三丁基4甲基苯酚、2第三丁基5甲基苯酚、6第三丁基3甲基苯酚等的烷基苯酚ALKYLPHENOL类；对甲氧基苯酚、间甲氧基苯酚、对乙氧基苯酚、间乙氧基苯酚、对丙氧基苯酚、间丙氧基苯酚等的烷氧基苯酚ALKOXYPHENOL类；邻异丙烯基苯酚、对异丙烯基苯酚、2甲基4异丙烯基苯酚、2乙基4异丙烯基苯酚等的异丙烯基苯酚ISOPROPENYLPHENOL类；苯基苯酚PHENYLPHENOL的芳基苯酚ARYLPHENOL类；4，4二羟基联苯、双酚A、间苯二酚RESORCINOL、对苯二酚HYDROQUINONE、1，2，3苯三酚PYROG

13、ALLOL等的聚羟基苯POLYHYDROXYPHENOL类等。上述化合物可单独一种使用或混合复数种使用。其中，以说明书CN102346372ACN102346392A3/15页5邻甲酚、间甲酚、对甲酚、2，5二甲苯酚、3，5二甲苯酚、2，3，5三甲基苯酚等为较佳。0017本发明与芳香族羟基化合物缩合反应的醛类的具体例如甲醛、多聚甲醛PARAFORMALDEHYDE、三聚甲醛TRIOXANE、乙醛、丙醛、丁醛、三甲基乙醛、丙烯醛ACROLEIN、丁烯醛CROTONALDEHYDE、环己醛CYCLOHEXANEALDEHYDE、呋喃甲醛FURFURAL、呋喃基丙烯醛FURYLACROLEIN、苯甲

14、醛、对苯二甲醛TEREPHTHALALDEHYDE、苯乙醛、苯基丙醛、苯基丙醛、邻羟基苯甲醛、间羟基苯甲醛、对羟基苯甲醛、邻甲基苯甲醛、间甲基苯甲醛、对甲基苯甲醛、邻氯苯甲醛、间氯苯甲醛、对氯苯甲醛、肉桂醛等。上述醛类可单独一种使用或混合复数种使用。其中，以甲醛为较佳。0018本发明芳香族羟基化合物及醛类进行缩合反应所使用的酸性触媒的具体例如盐酸、硫酸、甲酸、醋酸、草酸、对甲苯磺酸等。0019本发明的酚醛清漆树脂A以凝胶渗透色层分析法测得的分子量分布，将分子量介于200120,000的树脂讯号作积分，以分子量及累积重量分率绘图求得积分分子量分布曲线，分子量介于1,0003,000的酚醛清漆树脂

15、占该酚醛清漆树脂A通常为545重量，较佳为1040重量，更佳为1535重量。分子量为30,000以上的酚醛清漆树脂占该酚醛清漆树脂A通常为10重量以下，较佳为8重量以下，更佳为6重量以下。0020当酚醛清漆树脂A中，分子量介于1,0003,000的酚醛清漆树脂占该酚醛清漆树脂A5重量以下，或分子量为30,000以上的酚醛清漆树脂占该酚醛清漆树脂A超过10重量时，所形成的正型感光性树脂组成物于流延涂布时，容易发生涂布不均一的现象，且感度、显影性不佳；另外，分子量介于1,0003,000的酚醛清漆树脂占该酚醛清漆树脂A45重量以上时，则容易产生残膜率降低的问题。0021前述酚醛清漆树脂A可使用单一

16、种类的酚醛清漆树脂，亦可混合两种或两种以上不同种类的酚醛清漆树脂。0022邻萘醌二迭氮磺酸类的酯化物B0023本发明正型感光性树脂组成物的感光性物质，是使用邻萘醌二迭氮磺酸的酯化物B，该酯化物B没有特别的限制，可选用经常使用者，其中，较佳者为邻萘醌二迭氮磺酸与羟基化合物的酯化物，更佳者为邻萘醌二迭氮磺酸与多元羟基化合物的酯化物，且上述酯化物可完全酯化或部份酯化；该邻萘醌二迭氮磺酸的具体例为邻萘醌二迭氮4磺酸、邻萘醌二迭氮5磺酸、邻萘醌二迭氮6磺酸等。前述羟基化合物的种类如下所列。0024一羟基二苯甲酮类化合物，其具体例如2，3，4三羟基二苯甲酮、2，4，4三羟基二苯甲酮、2，4，6三羟基二苯甲

17、酮、2，3，4，4四羟基二苯甲酮、2，2，4，4四羟基二苯甲酮、2，3，4，4，6五羟基二苯甲酮、2，2，3，4，4五羟基二苯甲酮、2，2，3，4，5五羟基二苯甲酮、2，3，4，5，5五羟基二苯甲酮、2，3，3，4，4，5六羟基二苯甲酮等。0025二一般式I所表示的羟基芳基化合物说明书CN102346372ACN102346392A4/15页60026一般式I0027式中R1R3为氢原子或低级的烷基，R4R9为氢原子、卤素原子、低级的烷基、低级的烷氧基ALKOXY、低级的脂烯基ALKENYL以及环烷基CYCLOALKYL，R10及R11为氢原子、卤素原子及低级的烷基，X、Y及Z为13的整数，N

18、为0或1。一般式I所表示的羟基芳基化合物的具体例如三4羟基苯基甲烷、双4羟基3，5二甲基苯基4羟基苯基甲烷、双4羟基3，5二甲基苯基3羟基苯基甲烷、双4羟基3，5二甲基苯基2羟基苯基甲烷、双4羟基2，5二甲基苯基4羟基苯基甲烷、双4羟基2，5二甲基苯基3羟基苯基甲烷、双4羟基2，5二甲基苯基2羟基苯基甲烷、双4羟基3，5二甲基苯基3，4二羟基苯基甲烷、双4羟基2，5二甲基苯基3，4二羟基苯基甲烷、双4羟基3，5二甲基苯基2，4二羟基苯基甲烷、双4羟基2，5二甲基苯基2，4二羟基苯基甲烷、双4羟基苯基3甲氧基4羟基苯基甲烷、双3环己基4羟基苯基3羟基苯基甲烷、双3环己基4羟基苯基2羟基苯基甲烷、

19、双3环己基4羟基苯基4羟基苯基甲烷、双3环己基4羟基6甲基芳基2羟基苯基甲烷、双3环己基4羟基6甲基苯基3羟基苯基甲烷、双3环己基4羟基6甲基苯基4羟基苯基甲烷、双3环己基4羟基6甲基苯基3，4二羟基苯基甲烷、双3环己基6羟基苯基3羟基苯基甲烷、双3环己基6羟基苯基4羟基苯基甲烷、双3环己基6羟基苯基2羟基苯基甲烷、双3环己基6羟基4甲基苯基2羟基苯基甲烷、双3环己基6羟基4甲基苯基4羟基苯基甲烷、双3环己基6羟基4甲基苯基3，4二羟基苯基甲烷、114羟基苯基异丙基41，1双4羟基苯基乙基苯、113甲基4羟基苯基异丙基41，1双3甲基4羟基苯基乙基苯等。0028三一般式II所表示的羟基苯基烃类

20、化合物0029一般式II0030式中的R12及R13为氢原子或低级烷基，X及Y为13的整数。一般式II所表示的羟基苯基烃类的具体例如22，3，4三羟基苯基22，3，4三羟基苯基丙烷、22，4二羟基苯基22，4二羟基苯基丙烷、24羟基苯基24羟基苯基丙烷、双2，3，4三羟基苯基甲烷、双2，4二羟基苯基甲烷等。0031四其他芳香族羟基化合物，其具体例如苯酚、对甲氧基苯酚、二甲基苯说明书CN102346372ACN102346392A5/15页7酚、对苯二酚、双酚A、萘酚NAPHTHOL、邻苯二酚PYROCATECHOL、1，2，3苯三酚甲醚PYROGALLOLMONOMETHYLETHER、1，2

21、，3苯三酚1，3二甲基醚PYROGALLOL1，3DIMETHYLETHER、3，4，5三羟基苯甲酸GALLICACID、部份酯化或部份醚化的3，4，5三羟基苯甲酸等。0032前述羟基化合物以2，3，4三羟基二苯甲酮、2，3，4，4四羟氧基二苯甲酮为较佳。前述羟基化合物可单独使用或混合数种使用。0033本发明树脂组成物中的感光性物质邻萘醌二迭氮磺酸类的酯化物B可使用含有醌二迭氮基的化合物，例如邻萘醌二迭氮4或5磺酸卤盐与上述一四的羟基化合物经过缩合反应完全酯化或部份酯化而得，前述缩合反应通常在二氧杂环己烷DIOXANE、N吡咯烷酮NPYRROLIDONE、乙酰胺ACETAMIDE等有机溶媒中进

22、行，同时在三乙醇胺TRIETHANOLAMINE、碱金属碳酸盐或碱金属碳酸氢盐等碱性缩合剂存在下进行较有利。0034此时，基于羟基化合物中的羟基总量100摩尔，较佳为50摩尔以上，更佳为60摩尔以上与邻萘醌二迭氮4或5磺酸卤盐缩合而成酯化物，亦即酯化度在50以上为较佳，最好是在60以上。0035基于酚醛清漆树脂A100重量份，本发明的邻萘醌二迭氮磺酸类的酯化物B的使用量通常为1100重量份，较佳为1050重量份，更佳为2040重量份。0036溶剂C0037本发明所使用的溶剂需选用较易和其他有机成分互相溶解的有机溶剂。0038本发明中所使用的溶剂C的具体例如乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、二乙二

23、醇单乙基醚、二乙二醇单正丙基醚、二乙二醇单正丁基醚、三乙二醇单甲基醚、三乙二醇单乙基醚、丙二醇单甲基醚、丙二醇单乙基醚、二丙二醇单甲基醚、二丙二醇单乙基醚、二丙二醇单正丙基醚、二丙二醇单正丁基醚、三丙二醇单甲基醚、三丙二醇单乙基醚等的聚亚烷基二醇单烷醚类；乙二醇单甲基醚醋酸酯、乙二醇单乙基醚醋酸酯、丙二醇单甲基醚醋酸酯、丙二醇单乙基醚醋酸酯等的聚亚烷基二醇单烷醚醋酸酯类；二乙二醇二甲基醚、二乙二醇甲基乙基醚、二乙二醇二乙基醚、四氢呋喃等的其他醚类；甲乙酮、环己酮、2庚酮、3庚酮等的酮类；2羟基丙酸甲酯、2羟基丙酸乙酯等乳酸烷酯类；2羟基2甲基丙酸甲酯、2羟基2甲基丙酸乙酯、3甲氧基丙酸甲酯、3

24、甲氧基丙酸乙酯、3乙氧基丙酸甲酯、3乙氧基丙酸乙酯、乙氧基醋酸乙酯、羟基醋酸乙酯、2羟基3甲基丁酸甲酯、3甲基3甲氧基丁基醋酸酯、3甲基3甲氧基丁基丙酸酯、醋酸乙酯、醋酸正丙酯、醋酸异丙酯、醋酸正丁酯、醋酸异丁酯、醋酸正戊酯、醋酸异戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸异丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸正丙酯、乙酰醋酸甲酯、乙酰醋酸乙酯、2氧基丁酸乙酯等的其他酯类；甲苯、二甲苯等的芳香族烃类；N甲基吡咯烷酮、N，N二甲基甲酰胺、N，N二甲基乙酰胺等的羧酸胺类。前述溶剂可单独使用一种或混合复数种使用。其中，以丙二醇单甲基醚醋酸酯以及乳酸乙酯为较佳。0039基于酚醛清漆树脂A

25、100重量份，本发明感光性树脂组成物的溶剂C的使用量通常为7002,000重量份，较佳为8001,800重量份，更佳为9001,600重量份。0040本发明的正型感光性树脂组成物，可进一步添加芳香族羟基化合物，藉以调整组成物的感度或粘度。适合于本发明的芳香族羟基化合物的具体例如TPPA1000P、说明书CN102346372ACN102346392A6/15页8TPPA1002C、TPPA11003C、TPPA11004C、TPPA120024X、TPPA120026X、TPPA1300235T、TPPA16003M6C、TPPAMF等市售品日本本州岛岛岛化学工业制，其中，以TPPA6003M

26、6C、TPPAMF为较佳，前述芳香族羟基化合物可单独一种使用或者混合复数种使用。基于酚醛清漆树脂A100重量份，芳香族羟基化合物的使用量通常为020重量份，较佳为0518重量份，更佳为1015重量份。0041本发明的正型感光性树脂组成物，可进一步视需要添加密着助剂、表面平坦剂、稀释剂及兼容性佳的染料。0042本发明的密着助剂包含三聚氰胺MELAMINE化合物、硅烷系SILANE化合物，其作用在于增加正型感光性树脂组成物与附着基板间的密着性。其中，三聚氰胺的具体例如CYMEL300、CYMEL303三井化学制、MW30MH、MW30、MS11、MS001、MX750、MX706三和化学制等市售品

27、。而硅烷系化合物的具体例如乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、3甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、乙烯基三2甲氧基乙氧基硅烷、N2氨基乙基3氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N2氨基乙基3氨基丙基三甲氧基硅烷、3氨基丙基三乙氧基硅烷、3环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、3环氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、23，4环氧环己基乙基三甲氧基硅烷、3氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3氯丙基三甲氧基硅烷、3甲基丙烯氧基丙基三甲氧基硅烷、3硫醇基丙基三甲氧基硅烷、双1，2三甲氧基硅基乙烷等。基于酚醛清漆树脂A100重量份，三聚氰胺化合物的密着助剂的使用量通常为020重量份，较佳为0518重量份，更佳为1015重量份；硅烷系化合

28、物的密着助剂的使用量通常为02重量份，较佳为00011重量份，更佳为000508重量份。0043本发明的表面平坦剂包含氟系界面活性剂、硅系界面活性剂。其中，氟系界面活性剂的具体例如FLOURATEFC430、FC4313M制，FTOPEF122A、122B、122C、126、BL20TOCHEMPRODUCT制等市售品。而硅系界面活性剂的具体例如SF8427、SH29PATORAYDOWCORNINGSILICON制等市售品。基于酚醛清漆树脂A100重量份，上述界面活性剂的使用量通常为012重量份，较佳为002510重量份，更佳为005008重量份。0044适合于本发明的稀释剂如RE801、R

29、E802帝国INK制等市售品。0045适合于本发明的兼容性佳的染料的具体例如姜黄素CURCUMIN、香豆素COUMARIN系、偶氮AZO染料等，此外，本发明亦可依需要再添加其他的添加剂，例如可塑剂、安定剂等。00460047本发明的正型感光性树脂组成物为将酚醛清漆树脂A、邻萘醌二迭氮磺酸类的酯化物B及溶剂C于搅拌器中搅拌，使其均匀混合成溶液状态，必要时可添加密着助剂、界面活性剂、稀释剂、兼容性佳的染料、可塑剂、安定剂等添加剂。00480049本发明使用前述正型感光性树脂组成物形成图案的方法是以流延涂布的方式，将该感光性树脂组成物涂布在基板上，并于涂布后以预烤PREBAKE方式将溶剂去除而形成一

30、预烤涂膜。其中，预烤的条件，依各成分的种类、配合比率而异，通常为温度在70110间，进行115分钟。说明书CN102346372ACN102346392A7/15页90050预烤后，将该涂膜于指定的光罩下进行曝光，然后于232的温度下浸渍于显影液中，历时15秒5分钟，藉此将不要的部分除去而形成特定的图案。曝光所使用的光线，以G线、H线、I线等紫外线为佳，而紫外线照射装置可为超高压水银灯及金属卤素灯。0051本发明所使用显影液的具体例如氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、碳酸氢钠、碳酸钾、碳酸氢钾、硅酸钠、甲基硅酸钠、氨水、乙胺、二乙胺、二甲基乙醇胺、氢氧化四甲胺、氢氧化四乙铵、胆碱、吡咯、哌啶及1，8

31、二氮杂二环5，4，07十一烯等的碱性化合物。0052较佳地，显影液的浓度是介于0001重量10重量之间，更佳地是介于0005重量5重量之间，又更佳地是介于001重量1重量之间。0053使用前述碱性化合物所构成的显影液时，通常于显影后以水洗净，再以压缩空气或压缩氮气风干。接着，使用热板或烘箱等加热装置进行后烤POSTBAKE处理。后烤温度通常为100250，其中，使用热板的加热时间为1分钟60分钟，使用烘箱的加热时间为5分钟90分钟。经过以上的处理步骤后即可于基板形成图案。00540055本发明的薄膜电晶体阵列基板简称TFT阵列基板的制造方法，乃根据上述形成图案的方法而构成。亦即，将本发明的正型

32、感光性树脂组成物以流延涂布方式涂布于一含有铝、铬、氮化硅或非结晶硅等的薄膜的玻璃基板或塑胶基板上而形成一正型光阻剂层，接着经过预烤、曝光、显影及后烤处理之后，进行蚀刻及光阻剥离，重复上述步骤即可制得一含多数薄膜电晶体或电极的薄膜电晶体阵列基板。0056在此，参照图1对LCD用TFT阵列基板加以说明。0057图1是例示LCD用TFT基板的剖视示意图。1首先，于玻璃基板101上的铝薄膜等处设置闸极102A及储存电容CS电极102B。2其次，于闸极102A上覆盖氧化硅膜SIOX103或氮化硅膜SINX104等而形成绝缘膜，并于此绝缘膜上，3形成作为半导体活性层的非结晶硅层ASI105。4接着，为了降

33、低接面阻抗设置了掺杂N不纯物的非结晶硅层106。5然后，使用铝等金属形成集极107A及源极107B，该集极107A连接于资料讯号线上，而源极107B则连接于画素电极或子画素电极109上。6最后，为保护半导体层ASI层、集极或源极等，设置氮化硅膜等的保护膜108。00580059本发明的液晶显示组件，包含了上述的本发明的TFT阵列基板，其乃根据本发明的图案形成方法而构成者。另外，依需要亦可含有其他的部材。0060上述液晶显示组件的基本构成形态的具体例如1将TFT等的驱动组件与画素电极导电层经排列所形成的上述本发明的TFT阵列基板驱动基板，与由彩色滤光片及对电极导电层所构成的彩色滤光片基板间介入间

34、隔体并且对向配置，最后于间隙部份封入液晶材料而构成。或者，2将于上述本发明的TFT阵列基板上直接形成彩光滤光片的彩色滤光片一体型TFT阵列基板，与配置了对电极导电层的对向基板间介入间隔体并且对向配置，最后于间隙部份封入液晶材料而构成等。0061上述导电层的具体例如ITO膜；铝、锌、铜、铁、镍、铬、钼等的金属膜；二氧化硅等的金属氧化膜等。其中，以具透明性的膜层为较佳，又以ITO膜为最佳。0062上述本发明的TFT阵列基板、彩色滤光片基板及对向基板等所使用的基材，其具体例如钠钙玻璃、低膨胀玻璃、无碱玻璃、石英玻璃等的公知的玻璃，另外，也可采用由塑说明书CN102346372ACN102346392

35、A8/15页10胶膜等构成的基板。附图说明0063图1是示例LCD用TFT基板的剖视示意图。0064图2是示例本发明的酚醛清漆树脂A的积分分子量分布曲线图；其中，横向座标为分子量，纵向座标为累积重量百分率。0065图3是感光性树脂组成物于基板形成预烤涂膜的膜厚测定点的分布示意图。0066【主要组件符号说明】0067101玻璃基板0068102A闸极0069102BCS电极0070103氧化硅膜SIOX0071104氮化硅膜SINX0072105非结晶硅层ASI0073106掺杂N不纯物的ASI层0074107A集极0075107B源极0076108保护膜0077109画素电极007821玻璃基

36、板007922开始端008023末端008124测定点具体实施方式0082本发明将就以下实施例来作进一步说明，但该实施例仅为示例说明之用，而不应被解释为本发明实施的限制。00830084合成例10085在一容积1000毫升的四颈锥瓶上设置氮气入口、搅拌器、加热器、冷凝管及温度计，导入氮气后添加间甲酚6489G06摩尔、对甲酚4326G04摩尔、37重量的甲醛水溶液4869G06摩尔及草酸180G002摩尔。缓慢搅拌使反应溶液升温至100，并于此温度下聚合5小时。然后，将反应溶液升温至180，以10MMHG的压力进行减压干燥，将溶剂脱挥后可得酚醛清漆树脂A1。该酚醛清漆树脂A1以凝胶渗透色层分析

37、法测得分子量分布，其结果如表2所示。0086合成例2至40087合成例2至4是以合成例1相同的步骤分别制备酚醛清漆树脂A2A4，不同的地方在于改变原料的种类及其使用量，以及合成的反应条件如表1所示。酚醛清漆树脂A2A4以凝胶渗透色层分析法测得分子量分布，其结果如表2所示。说明书CN102346372ACN102346392A9/15页110088合成例50089将酚类二聚体含量约40的甲酚酚醛清漆树脂TO547，住友BAKELITE制50重量份与酚类二聚体含量约60的甲酚酚醛清漆树脂GTRM2，群荣化学社制50重量份溶于溶剂丙二醇单甲基醚醋酸酯300重量份，于室温下持续搅拌至完全溶解，接着将溶

38、剂脱挥后可得酚醛清漆树脂A5。所得酚醛清漆树脂A5以凝胶渗透色层分析法测得分子量分布，其结果如表2所示。0090合成例60091将合成例1所得酚醛清漆树脂A1100重量份溶于溶剂丙二醇单甲基醚醋酸酯300重量份，于室温下持续搅拌至完全溶解形成均匀溶液。接着加入丙酮100重量份，同时持续搅拌30分钟后，过滤取出沉淀物，将溶液中的溶剂脱挥后，可得酚醛清漆树脂A6。所得酚醛清漆树脂A6以凝胶渗透色层分析法测得分子量分布，其结果如表2所示。0092合成例70093将合成例2所得酚醛清漆树脂A2100重量份溶于溶剂丙二醇单甲基醚醋酸酯300重量份，于室温下持续搅拌至完全溶解形成均匀溶液。接着加入异丙苯1

39、50重量份，同时持续搅拌30分钟后，过滤取出沉淀物，将溶液中的溶剂脱挥后，可得精制的酚醛清漆树脂，再将该酚醛清漆树脂溶于溶剂丙二醇单甲基醚醋酸酯250重量份中，于室温下持续搅拌至完全溶解形成均匀溶液。接着加入丙酮70重量份，同时持续搅拌30分钟后，过滤取出沉淀物，将溶液中的溶剂脱挥后，可得酚醛清漆树脂A7。所得酚醛清漆树脂A7以凝胶渗透色层分析法测得分子量分布，其结果如表2所示。0094合成例80095将合成例3所得酚醛清漆树脂A3100重量份溶于溶剂丙二醇单甲基醚醋酸酯300重量份，于室温下持续搅拌至完全溶解形成均匀溶液。接着加入丙酮150重量份，同时持续搅拌30分钟后，过滤取出沉淀物，将溶

40、液中的溶剂脱挥后，可得精制的酚醛清漆树脂，再将该酚醛清漆树脂溶于溶剂丙二醇单甲基醚醋酸酯250重量份中，于室温下持续搅拌至完全溶解形成均匀溶液。接着加入丙酮100重量份，同时持续搅拌30分钟后，过滤取出沉淀物，将溶液中的溶剂脱挥后，可得酚醛清漆树脂A8。所得酚醛清漆树脂A8以凝胶渗透色层分析法测得分子量分布，其结果如表2所示。0096合成例90097将合成例4所得酚醛清漆树脂A4100重量份溶于溶剂丙二醇单甲基醚醋酸酯300重量份，于室温下持续搅拌至完全溶解形成均匀溶液。接着加入乙醇180重量份，同时持续搅拌30分钟后，过滤取出沉淀物，将溶液中的溶剂脱挥后，可得精制的酚醛清漆树脂，再将该酚醛清

41、漆树脂溶于溶剂丙二醇单甲基醚醋酸酯250重量份，于室温下持续搅拌至完全溶解形成均匀溶液。接着加入异丙苯100重量份，同时持续搅拌30分钟后，过滤取出沉淀物，将溶液中的溶剂脱挥后，可得酚醛清漆树脂A9。所得酚醛清漆树脂A9以凝胶渗透色层分析法测得分子量分布，其结果如表2所示。0098合成例100099将合成例1所得酚醛清漆树脂A1100重量份溶于溶剂丙二醇单甲基醚醋酸酯300重量份，于室温下持续搅拌至完全溶解形成均匀溶液。接着加入乙苯100重量份，同时持续搅拌30分钟后，过滤取出沉淀物，将溶液中的溶剂脱挥后，可得精制的酚醛清漆树脂，说明书CN102346372ACN102346392A10/15

42、页12再将该酚醛清漆树脂溶于溶剂丙二醇单甲基醚醋酸酯250重量份中，于室温下持续搅拌至完全溶解形成均匀溶液。接着加入丙酮100重量份，同时持续搅拌30分钟后，过滤取出沉淀物，将溶液中的溶剂脱挥后，可得再精制的酚醛清漆树脂，再将该再精制的酚醛清漆树脂溶于溶剂丙二醇单甲基醚醋酸酯200重量份，于室温下持续搅拌至完全溶解形成均匀溶液。最后加入异丙苯80重量份，同时持续搅拌30分钟后，过滤取出沉淀物，将溶液中的溶剂脱挥后，可得酚醛清漆树脂A10。所得酚醛清漆树脂A10以凝胶渗透色层分析法测得分子量分布，其结果如表2所示。01000101实施例10102将100重量份的酚醛清漆树脂A6、25重量份的2，

43、3，4三羟基二苯甲酮与1，2萘醌二迭氮5磺酸的酯化物B1平均酯化度为85、10重量份的2，3，4，4四羟基二苯甲酮与1，2萘醌二迭氮5磺酸的酯化物B2平均酯化度85所组成的混合物，加入1200重量份的丙二醇单甲基醚醋酸酯的溶剂C1中，以摇动式搅拌器搅拌使该混合物溶解于溶剂中，进行聚合反应3小时，即可制得本发明的正型感光性树脂组成物。以下记的各评价项目进行评价，所得结果如表3所示。0103实施例2至70104相同于实施例1的操作方法，不同的地方在于改变原料的种类及其使用量，其配方及评价结果如表3所示。0105比较例1至50106相同于实施例1的操作方法，不同的地方在于改变原料的种类及其使用量，其

44、配方及评价结果如表3所示。0107评价项目01080109使用凝胶渗透色层分析法GPC，并依以下的条件测定酚醛清漆树脂A的分子量分布。其中，于GPC的测定范围中，将分子量介于200120,000的树脂讯号INTENSITY作积分，以分子量为横轴及累积重量百分率为纵轴绘图，可求得积分分子量分布曲线INTEGRALMOLECULARWEIGHTDISTRIBUTIONCURVE如图2所示。分别计算出该酚醛清漆树脂A中，分子量介于1,0003,000，以及分子量大于30,000的酚醛清漆树脂，分别占该酚醛清漆树脂A的重量百分率重量。0110GPC的测定条件0111装置717PLUSWATERS制01

45、12管柱79911GP501、79911GP502、79911GP503、79911GP504AGILENTTECHNOLOGIES制0113检出器2414RIDETECTORWATERS制0114移动相四氢呋喃0115流量10ML/MIN0116注射量100L0117测定温度400118测定时间60分钟说明书CN102346372ACN102346392A11/15页130119分子量标准聚苯乙烯01200121将感光性树脂组成物以流延涂布的方式，涂布在1100MM960MM的大型玻璃基板上，然后于110温度下预烤90秒钟，形成预烤涂膜。接着以TENCORSTEP触针式测定仪量测膜厚；测定点

46、分布如图3所示，其中，玻璃基板21沿X轴方向的长度为960NM，沿Y轴方向的长度为1100NM，令该基板21于X0的一端为开始端22，该基板21相对于该开始端22的另一端为末端23，正型感光性树脂组成物的流延涂布方向是自该开始端22平行于X轴指向该末端23。0122令FTAVG系X，Y座标为240，275、480，275、720，275、240，550、480，550、720，550、240，825、480，825、720，825共9个测定点64所测得膜厚的平均值。0123FTX，YMAX前述9个测定点64，所测得膜厚的最大值。0124FTX，YMIN前述9个测定点64，所测得膜厚的最小值。0

47、125涂布均匀性可以下列公式判断01260127U301283U50129U501300131将评价项目中所得的预烤涂膜于指定的光罩下，以紫外光曝光机型号为AG5004N；MRNANOTECHNOLOGY制10MJ/CM2的光量照射后，接着将涂膜浸渍于23的显影液238四甲基氢氧化铵1分钟显影，将基板上曝光部分的涂膜除去，然后以纯水洗净，再以140后烤20分钟，即可在玻璃基板上形成所需要的感光性树脂图案，以显微镜观察，确定曝光的部分是否有残渣存在。0132无残渣0133有残渣01340135将型号为T2115的光学浓度等级差表TRANSPARENTSTEPWEDGE，STOUFFER公司制，光

48、学浓度等级差分为21等贴紧于评价项目中所得的预烤涂膜，以紫外光曝光机型号为AG5004N；MRNANOTECHNOLOGY制100MJ/CM2的光量照射后，再将涂膜浸渍于23的显影液238四甲基氢氧化铵1分钟显影，然后以纯水洗净，并观察显影的情况以等级数作为判断感度的依据，在此评估法中，等级数越多表示感度越高。0136等级数9210137等级数780138等级数1601390140于评价项目中所得的预烤涂膜上任取一测定点测得一膜厚。说明书CN102346372ACN102346392A12/15页14接着将涂膜浸渍于23的显影液238四甲基氢氧化铵1分钟后，在相同的测定点测得另一膜厚D。最后经

49、下式计算即可得到残膜率。0141残膜率D/1000142残膜率90014390残膜率800144残膜率800145表1是本发明酚醛清漆树脂A的合成例的组成比例。0146表2是本发明酚醛清漆树脂A的合成例的分子量分布。其包含了10003000及3000以上的酚醛清漆树脂占酚醛清漆树脂A的重量百分率。0147表3是本发明实施例及比较例的原料组成及评价结果。0148说明书CN102346372ACN102346392A13/15页150149表20150说明书CN102346372ACN102346392A14/15页160151说明书CN102346372ACN102346392A15/15页17说明书CN102346372ACN102346392A1/2页18图1图2说明书附图CN102346372ACN102346392A2/2页19图3说明书附图CN102346372A