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<em>重</em><em>掺</em><em>硼</em><em>硅单晶</em>棒的拉制方法.pdf
一种具有晶格补偿的<em>重</em><em>掺</em><em>硼</em><em>硅单晶</em>衬底.pdf
一种具有晶格补偿的<em>重</em><em>掺</em><em>硼</em><em>硅单晶</em>衬底.pdf
一种气相<em>重</em><em>掺</em><em>硼</em>区熔<em>硅单晶</em>的制备方法.pdf
用于<em>重</em><em>掺</em>直拉<em>硅单晶</em>制造的掺杂方法及其掺杂漏斗.pdf
检测N型<em>重</em><em>掺</em><em>硅单晶</em>片或锭晶格缺陷的方法.pdf
一种气相<em>重</em><em>掺</em>磷区熔<em>硅单晶</em>的生产方法.pdf
以纯氮作为保护气氛的<em>重</em><em>掺</em>锑<em>硅单晶</em>的制造方法.pdf
一种生产直拉<em>重</em><em>掺</em>极低电阻率<em>硅单晶</em>的方法.pdf
一种拉制8英寸<em>重</em><em>掺</em>砷<em>硅单晶</em>的热系统.pdf
用于八英寸<em>重</em><em>掺</em>砷直拉<em>硅单晶</em>制造的上部热场.pdf
显示<em>重</em><em>掺</em>P型直拉<em>硅单晶</em>空洞型缺陷的腐蚀液及其应用.pdf
<em>硼</em>镓共<em>掺</em>的<em>重</em><em>掺</em>P型<em>单晶</em>硅的生长及掺杂方法.pdf
磷砷锑共掺杂的N型<em>重</em><em>掺</em>直拉<em>硅单晶</em>及其硅外延片.pdf
一种用于显示<em>重</em><em>掺</em>N型直拉<em>硅单晶</em>空洞型缺陷的腐蚀液.pdf
一种<em>硼</em>镓共<em>掺</em>的<em>重</em><em>掺</em>P型<em>单晶</em>硅的生长及掺杂方法.pdf
用于六英寸及八英寸<em>重</em><em>掺</em>磷直拉<em>硅单晶</em>制造的上部热场.pdf
一种6英寸直拉<em>重</em><em>掺</em><em>硅单晶</em>无位错生长工艺及其热场系统.pdf

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