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一种使用悬浮拉制法制作<em>硅单晶</em>的方法.pdf
一种使用区域连续铸造法制作<em>硅单晶</em>的方法.pdf
一种具有晶格补偿的重掺硼<em>硅单晶</em>衬底.pdf
多晶硅融化掺氮生长微氮<em>硅单晶</em>的方法.pdf
一种去除大直径碳化<em>硅单晶</em>应力的方法.pdf
一种区熔<em>硅单晶</em>生长中消除多晶刺的工艺.pdf
一种直拉<em>硅单晶</em>的镓元素掺杂装置及其掺杂方法.pdf
高电阻率碳化<em>硅单晶</em>体及制造方法.pdf
检测N型重掺<em>硅单晶</em>片或锭晶格缺陷的方法.pdf
一种生长直拉<em>硅单晶</em>的重掺杂方法及掺杂装置.pdf
一种用于直拉<em>硅单晶</em>制备中的掺杂方法及其装置.pdf
一种用于碳化<em>硅单晶</em>生长的籽晶处理方法.pdf
<em>硅单晶</em>的生长方法、生长装置及由其制造的硅片.pdf
物理气相传输生长碳化<em>硅单晶</em>的方法及其装置.pdf
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一种快速生长大尺寸碳化<em>硅单晶</em>的方法.pdf
一种碳化<em>硅单晶</em>片的镀膜方法和装置.pdf
18英寸热场生长Φ8″太阳能级直拉<em>硅单晶</em>工艺.pdf
一种太阳能级直拉<em>硅单晶</em>埚底料清洗方法.pdf
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