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一种具有平坦式区块选择晶体管的高密度<em>掩模</em>式非挥发性存储器阵列结构.pdf
用于抗蚀剂下层膜的硬<em>掩模</em>组合物及使用该组合物生产半导体集成电路器件的方法.pdf
形成光学图象的方法、用于本方法的<em>掩模</em>、用本方法制造器件的方法及实施本方法的设备.pdf
芘主链聚合物及含有该聚合物的抗反射硬<em>掩模</em>组合物以及材料层的图案化方法.pdf
萘主链聚合物及含有该聚合物的抗反射硬<em>掩模</em>组合物以及材料层的图案化方法.pdf
具有非均一电流路径的自旋力矩驱动的磁性隧道结及用于形成所述磁性隧道结的复合硬<em>掩模</em>架构.pdf
负型抗蚀剂组合物、使用其的抗蚀剂膜及图案形成方法、以及具备抗蚀剂膜的空白<em>掩模</em>.pdf
光增感化学放大型抗蚀剂材料及使用了其的图案形成方法、半导体器件、光刻用<em>掩模</em>、以及纳米压印用模板.pdf
薄膜晶体管的制造方法、薄膜晶体管、集成电路、液晶显示装置和使用了网目调型<em>掩模</em>的曝光方法.pdf
永久<em>掩模</em>抗蚀剂用感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法和印刷配线板的制造方法.pdf
将基片传递给用于盘形基片的薄膜形成装置的方法、基片传递机构和该方法中使用的<em>掩模</em>,以及使用该方法的盘形记录媒体制造方法.pdf
将基片传递给用于盘形基片的薄膜形成装置的方法、基片传递机构和该方法中使用的<em>掩模</em>,以及使用该方法的盘形记录媒体制造方法.pdf
感活性光线性或感放射线性树脂组合物、感活性光线性或感放射线性膜、具备感活性光线性或感放射线性膜的空白<em>掩模</em>、图案形成方法、电子器件的制造方法、电子器件及新型化合物.pdf
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