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低<em>介电常数</em>介电质层的蚀刻方法.pdf
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形成多层低<em>介电常数</em>双镶嵌连线的制程.pdf
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孔密封和清洁多孔低<em>介电常数</em>的结构.pdf
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具有低<em>介电常数</em>的材料及其制造方法.pdf
一种降低SIC<em>介电常数</em>的沉积工艺.pdf
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降低多孔低K膜的<em>介电常数</em>的方法.pdf
具有聚合网状结构的低<em>介电常数</em>材料.pdf
低<em>介电常数</em>材料以及通过CVD的加工方法.pdf
低<em>介电常数</em>低损耗的浸润料及其应用.pdf
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