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薄膜<em>微型</em><em>机</em>械式谐振器、薄膜<em>微型</em><em>机</em>械式谐振器陀螺仪、使用该薄膜<em>微型</em><em>机</em>械式谐振器陀螺仪的导航系统及汽车.pdf
毫米级全方位移动<em>微型</em><em>机</em>器人.pdf
<em>微型</em><em>机</em>器人的可扩展双用途轮.pdf
<em>微型</em><em>机</em>械式静电继电器及其制造方法.pdf
为<em>微型</em><em>机</em>械装置提供牺牲分隔层的方法.pdf
用于微电子、<em>微型</em>光电子或<em>微型</em><em>机</em>械器件的支撑件.pdf
用于表面声波切换的<em>微型</em><em>机</em>电装置和方法.pdf
适宜干旱丘陵区的<em>微型</em><em>机</em>械化小粒作物播种<em>机</em>.pdf
一种纤毛振动驱动的<em>微型</em><em>机</em>器人.pdf
一种<em>微型</em><em>机</em>械变速机构专用拨臂.pdf
<em>微型</em><em>机</em>加工的超声换能器与此换能器的制造方法.pdf
一种溶栓方法和<em>微型</em><em>机</em>器人.pdf
热拱形梁<em>微型</em><em>机</em>电装置及有关的制造方法.pdf
具有集成移动传感器的<em>微型</em><em>机</em>电器件.pdf
一种位移连续可变的静电<em>微型</em><em>机</em>电装置.pdf
用于<em>微型</em><em>机</em>电器件的热弯曲致动器.pdf
一种<em>微型</em><em>机</em>械式密码锁盒.pdf
非锚式的静电启动的<em>微型</em><em>机</em>电系统开关.pdf
一种<em>微型</em><em>机</em>械式密码锁盒.pdf
利用<em>微型</em><em>机</em>械的可变衰减度光纤准直器.pdf
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