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显示重掺P<em>型</em><em>直拉</em><em>硅单晶</em>空洞<em>型</em>缺陷的腐蚀液及其应用.pdf
一种大尺寸<em>直拉</em><em>硅单晶</em>生长方法.pdf
带水冷夹套的<em>直拉</em>式<em>硅单晶</em>生长炉.pdf
<em>直拉</em>法<em>硅单晶</em>生长用硅籽晶及其加工方法.pdf
一种<em>直拉</em><em>硅单晶</em>的装料方法及其装置.pdf
一种提高<em>直拉</em><em>硅单晶</em>生产效率的方法.pdf
一种<em>直拉</em>式<em>硅单晶</em>生长炉用导流筒.pdf
<em>直拉</em><em>硅单晶</em>炉热屏方法及热屏蔽器.pdf
<em>直拉</em><em>硅单晶</em>的镓元素掺杂方法及所用掺杂装置.pdf
<em>直拉</em><em>硅单晶</em>炉热场的气流控制方法及装置.pdf
一种用于显示重掺N<em>型</em><em>直拉</em><em>硅单晶</em>空洞<em>型</em>缺陷的腐蚀液.pdf
一种增加<em>直拉</em><em>硅单晶</em>装料量的方法及装置.pdf
一种提高<em>直拉</em><em>硅单晶</em>生长速度的新型导流筒.pdf
用于重掺<em>直拉</em><em>硅单晶</em>制造的掺杂方法及其掺杂漏斗.pdf
生产高强度<em>直拉</em><em>硅单晶</em>用的籽晶的制备方法.pdf
磷砷锑共掺杂的N<em>型</em>重掺<em>直拉</em><em>硅单晶</em>及其硅外延片.pdf
一种<em>直拉</em><em>硅单晶</em>的镓元素掺杂装置及其掺杂方法.pdf
一种生长<em>直拉</em><em>硅单晶</em>的重掺杂方法及掺杂装置.pdf
一种用于<em>直拉</em><em>硅单晶</em>制备中的掺杂方法及其装置.pdf
<em>直拉</em><em>硅单晶</em>炉的硅熔体液面位置及<em>单晶</em>棒直径的测量方法.pdf
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