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本发明公开了一种电涡流位移传感器的温度补偿方法。采用与电涡流位移传感器感应线圈相同材料的导线绕制一个无感补偿线圈;将无感补偿线圈的阻值绕成和电涡流位移传感器感应线圈的阻值相等;将无感补偿线圈布置在电涡流位移传感器感应线圈的内圈、外圈或相互交叉。通过设置与感应线圈阻值相应的无感补偿线圈,对电涡流位移传感器感应线圈的温度漂移给以有效补偿,补偿线圈的设置不影响传感器原有工作特性。本发明结构简单,体积小,。