液晶显示器的阵列基板及其制造方法、维修方法.pdf

本发明公开了一种液晶显示器的阵列基板及其制造方法、维修方法，涉及液晶显示器技术领域。解决了现有液晶显示器的阵列基板维修成功率低的技术问题。该液晶显示器的阵列基板包括多条栅极扫描线和多条数据扫描线，栅极扫描线和数据扫描线交叉形成多个像素区域，像素区域包括薄膜晶体管、像素电极、与数据扫描线电连接的连接电极。该阵列基板的制造方法，在数据扫描线上方的钝化层形成数据扫描线过孔或沟槽；在钝化层上形成通过数据扫描线过孔或沟槽与数据扫描线电连接的连接电极。该阵列基板的维修方法，包括步骤：在两个连接电极上沉积可导电的维修线，通过可导电的维修线连接两个连接电极。本发明主要应用于液晶显示装置中。

1、  一种液晶显示器的阵列基板，其特征在于，包括：多条栅极扫描线和多条数据扫描线，所述栅极扫描线和所述数据扫描线交叉形成多个像素区域，所述像素区域包括至少一薄膜晶体管、一像素电极、一连接电极，所述连接电极与所述数据扫描线电连接。

2、  根据权利要求1所述的液晶显示器的阵列基板，其特征在于：
所述数据扫描线与所述薄膜晶体管的源电极和漏电极为同一层；
所述像素电极与所述连接电极互相断开且为同一层；
所述两层之间形成有一钝化层，所述钝化层形成有数据扫描线过孔或沟槽；所述连接电极通过所述数据扫描线过孔或沟槽与所述数据扫描线电连接。

3、  根据权利要求2所述的液晶显示器的阵列基板，其特征在于：所述数据扫描线过孔或沟槽形成在所述栅极扫描线或所述公共电极引线与所述数据扫描线交叉处上方的钝化层上。

4、  根据权利要求2所述的液晶显示器的阵列基板，其特征在于：所述像素区域内的数据扫描线的侧部形成有与所述数据扫描线一体的维修金属块，所述数据扫描线过孔或沟槽形成在所述维修金属块上方的所述钝化层上。

5、  根据权利要求4所述的液晶显示器的阵列基板，其特征在于：所述维修金属块形成在所述栅极扫描线或所述公共电极引线与所述数据扫描线交叉处的数据扫描线的侧部。

6、  根据权利要求4所述的液晶显示器的阵列基板，其特征在于：所述维修金属块与所述数据扫描线的材料为铝、铬、钨、钽、钛、钼及铝镍合金其中的一种或多种的组合。

7、  根据权利要求1所述的液晶显示器的阵列基板，其特征在于：所述连接电极的材料为氧化铟锡、氧化铟锌或氧化铝锌其中的一种或多种的组合。

8、  一种权利要求1至权利要求7任意一项所述的液晶显示器的阵列基板的维修方法，其特征在于：包括以下步骤：
找出数据扫描线断裂处两边最接近的两个连接电极；
在所述两个连接电极上沉积可导电的维修线，通过可导电的维修线连接所述两个连接电极。

9、  根据权利要求8所述的液晶显示器的阵列基板的维修方法，其特征在于：所述可导电的维修线材料为金属。

10、  一种液晶显示器的阵列基板的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：
在基板上沉积金属薄膜，通过构图工艺，在所述基板上形成栅电极和栅极扫描线；
在完成上述步骤的所述基板上沉积栅电极绝缘层；
在完成上述步骤的所述基板上沉积非晶硅薄膜，通过构图工艺，形成有源层；
在完成上述步骤的所述基板上沉积金属薄膜，通过构图工艺形成数据扫描线、源电极和漏电极；
在完成上述步骤的所述基板上沉积钝化层，通过构图工艺，在所述数据扫描线上方的钝化层上形成数据扫描线过孔或沟槽，在所述漏电极上方的钝化层上形成漏电极过孔或沟槽；
在完成上述步骤的所述基板上沉积像素电极薄膜，通过构图工艺形成像素电极和连接电极，所述像素电极和连接电极互相断开；
所述像素电极通过所述漏电极过孔或沟槽与所述的漏电极电连接；
所述连接电极通过所述数据扫描线过孔或沟槽与所述数据扫描线电连接。

11、  根据权利要求10所述的液晶显示器的阵列基板的制造方法，其特征在于：所述数据扫描线过孔或沟槽形成在所述栅极扫描线或所述公共电极引线与所述数据扫描线交叉处上方的钝化层上。

12、  根据权利要求10所述的液晶显示器的阵列基板的制造方法，其特征在于：在形成所述数据扫描线的步骤中，在所述数据扫描线的侧部还形成有与所述数据扫描线一体的维修金属块，所述数据扫描线过孔或沟槽形成在所述维修金属块上方的钝化层上。

13、  根据权利要求12所述的液晶显示器的阵列基板的制造方法，其特征在于：在形成所述数据扫描线的步骤中，所形成的维修金属块形成在所述栅极扫描线或所述公共电极引线与所述数据扫描线交叉处的数据扫描线的侧部。

14、  根据权利要求10所述的液晶显示器的阵列基板的制造方法，其特征在于：所述连接电极的材料为氧化铟锡、氧化铟锌或氧化铝锌其中的一种或多种的组合。

液晶显示器的阵列基板及其制造方法、维修方法
技术领域
本发明涉及液晶显示器技术领域，具体涉及一种液晶显示器的阵列基板及其制造方法、维修方法。
背景技术
近年来，随着液晶显示技术的不断发展，液晶显示器已经广泛地应用于个人数码助理PDA(Personal Digital Assistant)、移动电话、掌上游戏机PSP(Play Station Portable)以及户外电视等各个领域，尤其是薄膜晶体管液晶显示器TFT LCD(Thin film transistor Liquid Crystal Display)由于具有功耗低、辐射小的优点，已经在平板显示器市场占据了主导地位。
液晶显示器由液晶显示屏、背光源及驱动电路三大核心部件组成。液晶显示屏包括对盒而成的阵列基板和彩膜基板以及液晶，液晶填充在阵列基板和彩膜基板之间的间隙内。
如图1和图3所示，现有的液晶显示器阵列基板，包括一组栅极扫描线1和与之垂直的一组数据扫描线5，相邻的一条栅极扫描线1和一条数据扫描线5定义了一个像素区域。每个像素区域包含有一个TFT(Thin film transistor，薄膜晶体管)开关器件、像素电极10和部分公共电极引线11，TFT器件由栅电极2、栅电极绝缘层、有源层3、源电极6以及漏电极7组成，源电极6和漏电极7分别与有源层3的两端电连接；钝化层8覆盖在TFT器件上，并在漏电极7上方的钝化层8上形成漏电极过孔或沟槽92，像素电极10通过漏电极过孔或沟槽92与TFT器件的漏电极7电连接。为了进一步降低对盒后像素里的漏光，在每个像素区域平行于数据扫描线5的两侧形成挡光条12。
如图2所示，当数据扫描线5发生断裂时，采用如下的维修方法：
检测阵列基板上各数据扫描线5，找出断裂的数据扫描线5所在的像素区域；
在数据扫描线5断裂处的两端确定维修点9的位置，并在维修点9处的钝化层8和数据扫描线5上打上连接孔；
在数据扫描线5断裂处的两端的连接孔上沉积可导电的维修线13。
沉积在数据扫描线5上的可导电的维修线13可以与数据扫描线5连接孔的内壁表面接触而形成电连接，所以通过可导电的维修线13将数据扫描线5断裂处的两端重新电连接起来，达到了维修断裂的数据扫描线的目的。
现有技术的维修方法，虽然一定程度上能够实现对断裂的数据扫描线重新连接，但是由于连接孔内壁的表面积比较小，所以与可导电的维修线的接触面积也比较小，维修后易出现连接不稳定或者未连接上的现象，从而导致维修失败，所以维修成功率较低。
发明内容
本发明实施例提供了一种液晶显示器的阵列基板，能够使数据扫描线维修更方便、维修成功率更高。
为达到上述目的，本发明实施例采用如下技术方案：
该液晶显示器的阵列基板，包括：
多条栅极扫描线和多条数据扫描线，所述栅极扫描线和所述数据扫描线交叉形成多个像素区域，所述像素区域包括至少一薄膜晶体管、一像素电极、一连接电极，所述连接电极与所述数据扫描线电连接。
与现有技术相比，本发明中连接电极与数据扫描线形成了可靠的电连接，在维修断裂的数据扫描线时，不需要打孔，只需将可导电的维修线沉积在连接电极上，可导电的维修线与连接电极的接触面积可根据需要制作的比现有技术中维修断裂的数据扫描线时所打的连接孔的内壁表面积大的多，所以间接的增大了可导电的维修线与数据扫描线的接触面积；由于电连接中接触面积越大，连接的可靠性和稳定性越好，维修成功率也越高，所以本发明能够使数据扫描线维修更方便、维修成功率更高。
本发明实施例还提供了一种液晶显示器的阵列基板的制造方法，能制造出数据扫描线维修更方便、维修成功率更高的阵列基板。
为达到上述目的，本发明采用如下技术方案：
该液晶显示器的阵列基板的制造方法，包括以下步骤：
在完成上述步骤的所述基板上沉积栅电极绝缘层；
在完成上述步骤的所述基板上沉积非晶硅薄膜，通过构图工艺，形成有源层；
在完成上述步骤的所述基板上沉积金属薄膜，通过构图工艺形成数据扫描线、源电极和漏电极；
在完成上述步骤的所述基板上沉积钝化层，通过构图工艺，在所述数据扫描线上方的钝化层上形成数据扫描线过孔或沟槽，在所述漏电极上方的钝化层上形成漏电极过孔或沟槽；
在完成上述步骤的所述基板上沉积像素电极薄膜，通过构图工艺形成像素电极和连接电极，所述像素电极和连接电极互相断开；
所述像素电极通过所述漏电极过孔或沟槽与所述的漏电极电连接；
所述连接电极通过所述数据扫描线过孔或沟槽与所述数据扫描线电连接。
与现有技术中阵列基板的制造方法相比，本发明中数据扫描线上方的钝化层形成有数据扫描线过孔或沟槽，数据扫描线过孔或沟槽上形成的连接电极通过数据扫描线过孔或沟槽与数据扫描线相接触而形成电连接，由于数据扫描线过孔或沟槽的面积远大于现有技术中所打的连接孔的内壁表面积，所以本发明中连接电极与数据扫描线的接触面积大于现有技术中可导电的维修线与数据扫描线的接触面积；而本发明中可导电的维修线与连接电极的接触面积可根据需要制作的比连接孔的内壁面积大的多，间接的增大了数据可导电的维修线与扫描线的接触面积、使其电连接的可靠性和稳定性更好，维修成功率也更高，所以本发明实施例制造方法能制造出数据扫描线维修更方便、维修成功率更高的阵列基板。
本发明实施例还提供了上述液晶显示器的阵列基板的维修方法，能够使数据扫描线维修更方便、维修成功率更高。
为达到上述目的，本发明采用如下技术方案：
该液晶显示器的阵列基板的维修方法，包括以下步骤：
找出数据扫描线断裂处两边最接近的两个连接电极；
在所述两个连接电极上沉积可导电的维修线，通过可导电的维修线连接所述两个连接电极。
与现有技术相比，本发明维修断裂的数据扫描线时无须打连接孔，只需要在像素区域上断裂的数据扫描线相邻的连接电极上沉积可导电的维修线，即可将断裂的数据扫描线电连接上；连接电极与数据扫描线的接触面积远大于连接孔的内壁表面积，可导电的维修线与连接电极的接触面积也大于连接孔的内壁表面积，所以间接增大了可导电的维修线与数据扫描线的接触面积，使电连接可靠性更好，维修成功率更高。
附图说明
图1为现有技术中液晶显示器的阵列基板的其中一个像素区域的俯视图；
图2为图1所示的现有技术中液晶显示器的阵列基板中的数据扫描线维修方法示意图；
图3为图2沿A-A线的剖视图；
图4为本发明实施例1所提供的一种液晶显示器的阵列基板的其中一个像素区域的俯视图；
图5为图4沿B-B线的剖视图；
图6为本发明实施例1所提供的另一种液晶显示器的阵列基板的其中一个像素区域的俯视图；
图7为本发明实施例2所提供的一种液晶显示器的阵列基板的其中一个像素区域的俯视图；
图8为图7沿C-C线的剖视图；
图9为图7沿D-D线的剖视图；
图10为本发明所提供的一种液晶显示器的阵列基板维修方法用于维修图4或图6所示的本发明实施例1所提供的液晶显示器的阵列基板数据扫描线的示意图；
图11为本发明所提供的一种液晶显示器的阵列基板维修方法用于维修图7所示的本发明实施例2所提供的液晶显示器的阵列基板数据扫描线的示意图；
图12为图11沿E-E线的剖视图。
图中标记：1、栅极扫描线；2、栅电极；3、有源层；4、栅电极绝缘层；5、数据扫描线；6、源电极；7、漏电极；8、钝化层；9、维修点；91、数据扫描线过孔或沟槽；92、漏电极过孔或沟槽；10、像素电极；11、公共电极引线；12、挡光条；13、可导电的维修线；14、连接电极；15、维修金属块；16、基板。
具体实施方式
本发明实施例提供了一种液晶显示器的阵列基板及其制造方法、维修方法，解决了现有液晶显示器的阵列基板不便维修且维修成功率低的技术问题。
下面结合附图对本发明的实施例进行详细描述。
本发明实施例所提供的液晶显示器的阵列基板，能够使数据扫描线维修更方便、维修成功率更高。
实施例1：
如图4和图5所示，本发明实施例液晶显示器的阵列基板，包括：玻璃材料的基板16；在基板16之上，形成有栅电极2、挡光条12和栅极扫描线1；在栅电极2、栅极扫描线1以及挡光条12之上，形成有栅电极绝缘层4；在栅电极绝缘层4之上，形成有有源层3；在有源层3以及栅电极绝缘层4之上，形成有数据扫描线5和分别搭接在有源层3两端的源电极6和漏电极7，源电极6、漏电极7与数据扫描线5为同一层，源电极6、漏电极7、栅电极2以及栅电极绝缘层4共同构成薄膜晶体管。
每相邻的栅极扫描线1和数据扫描线5交叉形成了一个像素区域，在数据扫描线5以及薄膜晶体管的源电极6、漏电极7之上，形成有钝化层8，数据扫描线5上方的钝化层8上形成有数据扫描线过孔或沟槽91，漏电极7上方的钝化层8上形成有漏电极过孔或沟槽92；在钝化层8之上，形成有连接电极14和像素电极10，连接电极14和像素电极10互相断开且为同一层，连接电极14通过数据扫描线过孔或沟槽91与数据扫描线5电连接，连接电极14为氧化铟锡、氧化铟锌或氧化铝锌其中的一种或多种组合而成的材料制成；像素电极10通过漏电极过孔或沟槽92与漏电极7电连接。为了在维修断裂的数据扫描线时，快速、准确的定位连接电极14的位置，可将数据扫描线过孔或沟槽91优选为形成在栅极扫描线1与数据扫描线5交叉处上方的钝化层8上，当然，数据扫描线过孔或沟槽91也可以如图6所示形成在公共电极引线11与数据扫描线5交叉处上方的钝化层8上，这样维修断裂的数据扫描线时也可以快速、准确的找到连接电极14的位置。
本发明实施例中数据扫描线上方的钝化层上形成有数据扫描线过孔或沟槽，连接电极通过数据扫描线过孔或沟槽与数据扫描线电连接，由于数据扫描线过孔或沟槽的面积远大于现有技术中所打的连接孔的内壁表面积；维修断裂的数据扫描线时，不需要打孔，只需将可导电的维修线沉积在连接电极上，可导电的维修线与连接电极的接触面积可根据需要制作的比连接孔的内壁表面积大的多，间接的增大了可导电的维修线与数据扫描线的接触面积；由于电连接中接触面积越大，电连接的可靠性和稳定性越好，所以本发明能够增大可导电的维修线与数据扫描线的接触面积，使数据扫描线维修更方便、维修成功率更高。
实施例2：
如图7、图8和图11所示，本发明实施例与实施例1基本相同，其不同点在于：在栅极扫描线1与数据扫描线5交叉处的数据扫描线5的侧部形成有与数据扫描线5连为一体而形成电连接的维修金属块15；当然，维修金属块15也可以形成在公共电极引线11与数据扫描线5交叉处的数据扫描线5的侧部；维修金属块15形成在数据扫描线5的侧部增大了数据扫描线5的表面积；维修金属块15与数据扫描线5的材料均为铝、铬、钨、钽、钛、钼及铝镍合金其中的一种或多种的组合；数据扫描线过孔或沟槽91形成在维修金属块15上方的钝化层8上。维修金属块15与数据扫描线过孔或沟槽91均形成在栅极扫描线1或公共电极引线11与数据扫描线5交叉处，使维修金属块15、数据扫描线过孔或沟槽91的制作以及维修时维修点9的定位更为迅速、准确，使维修更为方便。
请一并参阅图9，由于维修金属块15与数据扫描线5可以形成可靠、稳定的电连接，同时维修金属块15增加了数据扫描线5的表面积使数据扫描线5与连接电极14的接触面积更大。数据扫描线5断裂处通常都有尖棱或毛刺，可导电的维修线13直接沉积到数据扫描线5上方的连接电极14，很容易接触到尖棱或毛刺而损坏，本发明实施例中将维修金属块15的设置位置，优选为形成在数据扫描线5的侧部，使沉积在维修金属块15上的可导电的维修线13饶过数据扫描线5断裂处的尖棱或毛刺。
如图11和图12所示，维修本发明实施例中断裂的数据扫描线5时，不需要打孔，只需将可导电的维修线13沉积在连接电极14上，使数据扫描线5维修更方便、维修成功率更高。
本发明所提供的液晶显示器的阵列基板的制造方法，能制造出数据扫描线维修更方便、维修成功率更高的阵列基板。
如图7、图8和图9所示，本发明实施例还提供了一种液晶显示器的阵列基板的优选制造方法，包括以下步骤：
S1、使用磁控溅射方法，在玻璃材料的基板16上沉积钼、铝或铝镍合金材料的金属薄膜，通过曝光、显影和刻蚀等构图工艺在玻璃基板16的形成栅电极扫描线1、栅电极2、公共电极引线11和挡光条12；
S2、在完成步骤S1的基板16上，利用化学汽相沉积方法连续沉积到材料为氮化硅、二氧化硅或氧化铝的栅电极绝缘层4和到非晶硅薄膜，通过曝光、显影和刻蚀等构图工艺形成有源层3；
S3、在完成步骤S2的基板16上沉积金属薄膜，通过曝光、显影和刻蚀等构图工艺形成数据扫描线5、源电极6和漏电极7以及维修金属块15，数据扫描线5、源电极6和漏电极7以及维修金属块15为同一层，维修金属块15形成在数据扫描线5的侧部且与数据扫描线5连为一体，其与数据扫描线5的材料均为铝、铬、钨、钽、钛、钼及铝镍合金其中的一种或多种的组合；
S4、在完成步骤S3的基板16上沉积钝化层8，钝化层8的材料为氮化硅或氧化铝，然后通过曝光、显影和刻蚀等构图工艺，在维修金属块15上方的钝化层8上形成数据扫描线过孔或沟槽91，在漏电极7上方的钝化层8上形成漏电极过孔或沟槽92；
S5、在完成步骤S4的基板16上沉积像素电极薄膜，像素电极薄膜的材料为氧化铟锡、氧化铟锌或氧化铝锌，通过曝光、显影和刻蚀等构图工艺，形成连接电极14和像素电极10，连接电极14和像素电极10为同一层且互相断开；连接电极14通过数据扫描线过孔或沟槽91与数据扫描线5电连接；像素电极10通过漏电极过孔或沟槽92与的漏电极7电连接。
本发明实施例在数据扫描线上方的钝化层形成数据扫描线过孔或沟槽，钝化层上形成连接电极，连接电极通过数据扫描线过孔或沟槽与数据扫描线上的维修金属块相接触而形成可靠的电连接，由于数据扫描线过孔或沟槽的面积远大于现有技术中所打的连接孔的内壁表面积，而维修金属块与数据扫描线连为一体，可以形成可靠的电连接；维修断裂的数据扫描线时，不需要打孔，只需将可导电的维修线沉积在连接电极上。
本发明所提供的液晶显示器的阵列基板的维修方法，能够使数据扫描线维修更方便、维修成功率更高。
本发明实施例液晶显示器的阵列基板的维修方法，包括以下步骤：
S1、检测如图4或图6或图7所示的阵列基板16上各数据扫描线5，找出断裂的数据扫描线5所在的像素区域；
S2、找出如图10或图11所示的数据扫描线5断裂处两边最接近的两个连接电极14；
S3、如图10或图11所示，在两个连接电极14上沉积材料为金属的可导电的维修线13，通过可导电的维修线13连接两个连接电极14；
如图10所示，若连接电极14形成在数据扫描线5断裂处的上方，则将可导电的维修线13沉积为朝数据扫描线5断裂处的侧部凸出的弯曲状，饶过数据扫描线5断裂处的尖棱或毛刺；
如图11所示，若连接电极14形成在数据扫描线5断裂处的侧部则直接在连接电极14上沉积可导电的维修线13；
S4、检测如图10或图11所示的可导电的维修线13与连接电极14的连接是否可靠，同时检测可导电的维修线13的边沿是否与像素电极10相接触，如果相接触则需要将可导电的维修线13与像素电极10相接触的部分切掉，避免可导电的维修线13与像素电极10电连接。
本发明维修方法在一个像素区域上断裂的数据扫描线相邻的连接电极上沉积可导电的维修线，即可将断裂的数据扫描线连接上；连接电极与数据扫描线的接触面积远大于现有技术中连接孔的内壁的表面积，可导电的维修线与连接电极的接触面积也大于连接孔内壁的表面积，所以间接增大了可导电的维修线与数据扫描线的接触面积，使电连接可靠性更好，维修成功率更高。