液晶板及液晶板的制造方法 【技术领域】
本发明涉及液晶板(液晶パネル)及液晶板的制造方法，特别是涉及在端部具有气体阻挡层(ガスバリア)的液晶板及这样的液晶板的制造方法。
背景技术
在将液晶封入到薄膜基板间的液晶盒(液晶セル)中，有时气体会进入到封入了液晶的区域内，产生气泡。
因此，已知这样的方案，即，在液晶盒的端部设置环氧粘着剂作为气体阻挡层，防止气体从液晶盒的端部侵入到液晶盒内(例如专利文献1)。然而，环氧粘着剂等有机材料，有时不能完全地防止气体进入，气体依然进入到液晶盒内导致气泡的发生。
另外，已知这样的方案，即，在2片基板间配置由能够获得电致发光(EL：Electro Luminescence)的发光材料构成的薄膜，在其端面，为了防止水蒸汽的进入，设置DLC(类金刚石碳)膜作为气体阻挡层(例如专利文献2)。
可是，作为在基板形成薄膜的一般方法，已知例如在基板保持架在垂直方向载置多片基板而成膜的方法(例如专利文献3)。
专利文献1：日本特开2001-221998号公报(图2)
专利文献2：日本特开2002-151253号公报(图1)
专利文献3：日本特开平9-167763号公报
【发明内容】
图15为用于说明液晶盒的制造工序的一部分的图。
如图15(a)所示，同时形成多个液晶盒110，该液晶盒110具有第一透明基板111、第一透明电极图案112、第一定向层113、液晶层114、第二定向层115、第二透明电极图案116、第二透明基板117、多个衬垫118及密封材料119等，在该第一透明基板111及第二透明基板117的外部由等离子镀膜方式形成用于防止气体侵入的第二气体阻挡层121及第三气体阻挡层122。
此后，在图15(a)中，由刀具(未图示)切断箭头a及b所示部分，将液晶盒110一个一个地切出。
另外，图15(b)为用刀具切断了的液晶盒110的端面的局部放大图，如图所示，在切断面形成多个深1μm左右的细槽g。微观地看，该槽g可考虑是因为用圆形前端的刀将具有柔性的基板撕碎地切断而产生。
因此，如在液晶盒110的端部就这样涂覆无机气体阻挡层，则不能够到达槽g的部分地涂覆，产生不能完全地防止气体从槽g的部分进入的问题。
因此，本发明的目的在于提供一种能够有效地防止气体从液晶盒的端部进入的液晶板及这样的液晶板的制造方法。
另外，在第一基板111及第二基板117的切断部位近旁(图1的虚线c-f)，在第二及第三气体阻挡层121及第三气体阻挡层122产生裂缝，所以，如仅在液晶盒110的端部设置气体阻挡层，则仍然存在气体从该裂缝的部分进入的可能性。另外，在第二及第三气体阻挡层121及122上分别隔着粘着层配置偏振光片，为此，还存在从粘着层发生的气体从上述第二及第三气体阻挡层121及122的裂缝部分进入到液晶盒内的可能性。
因此，本发明的目的在于提供一种能够有效地防止气体从液晶盒的端部及切断部位近旁进入的液晶板及这样的液晶板的制造方法。
图16为表示进行成膜的例子的图。
图16(a)表示在设置于反应管152内的基板支承夹具150上载置了晶片(基板)159的状态的剖视图。图16(b)为从上方观看图16(a)的状态的图。如图16所示那样，基板159支承在基板支承夹具150的框架151上。在图16所示方法中，以在基板159的上面成膜为目地，不以在基板的周边成膜为目的。为此，在基板159的周边部中的靠近基板支承夹具部150的部分不成膜，不能用于在基板周边部成膜的目的。另外，在框架151与基板159接触的部分如存在尘土，则有可能在基板159的背面产生划痕。在硅晶片等那样即使在背面产生划痕也不产生大的问题的场合，能够利用图16所示那样的基板支承夹具，但在液晶板那样在背面产生的划痕也对外观质量产生影响的那样的场合，划痕可能成为影响质量的原因，所以，图16所示那样的基板支承夹具不能利用。
因此，本发明的目的在于提供一种能够在液晶板的端部进行成膜，并且能够抑制在液晶板的基板产生划痕的液晶板的制造方法。
本发明的液晶板的特征在于：具有液晶盒、平坦化层、气体阻挡层；该液晶盒包含第一基板、第二基板、密封构件及在第一和第二基板间由密封构件封入的液晶层；该平坦化层覆盖液晶盒的端部地配置着；该气体阻挡层配置在平坦化层上。
另外，本发明的液晶板的制造方法的特征在于：形成包含第一基板、第二基板、密封构件及在第一和第二基板间由密封构件封入的液晶层的液晶盒，覆盖液晶盒的端部地涂覆平坦化层，在平坦化层上形成气体阻挡层。
在上述本发明的液晶板及按照本发明的制造方法制造的液晶板的场合，能够防止气体从液晶板的端部进入，能够避免气泡在液晶层内发生。
本发明的液晶板的特征在于：具有液晶盒、平坦化层、气体阻挡层；该液晶盒包含第一基板、第二基板、密封构件及在第一和第二基板间由密封构件封入的液晶层，具有端部、上面及下面；该平坦化层覆盖液晶盒的端部、上面及下面的一部分地配置着；该气体阻挡层配置在平坦化层上。
另外，本发明的液晶板的制造方法的特征在于：形成多个包含第一基板、第二基板、密封构件及在第一和第二基板间由密封构件封入的液晶层，并具有端部、上面及下面的液晶盒，切断液晶盒的端部从而按盒单位切出液晶盒，覆盖液晶盒的端部、上面及下面地涂覆平坦化层，在平坦化层上形成气体阻挡层。
在上述本发明的液晶板及按照本发明的制造方法制造的液晶板的场合，能够防止气体从液晶板的端部及用于切出液晶盒的切断部位近旁进入，能够避免气泡在液晶层内发生。
本发明的液晶板的制造方法的特征在于：准备显示屏保持架，该显示屏保持架具有对液晶板进行支承的显示屏支承部，使显示屏支承部接触在液晶板端部的一部分而对液晶板进行支承地在显示屏保持架上安放液晶板，在液晶板端部形成成膜材料的膜。
在本发明的液晶板的制造方法中，最好利用多个显示屏支承部在液晶板端部的多个部位进行支承。
另外，在本发明的液晶板的制造方法中，最好液晶板端部与显示屏支承部接触的部分的形状为线状或点状。
在本发明的液晶板的制造方法中，最好由溅镀法在液晶板端部进行成膜。在该场合，最好使液晶板端部与成膜材料的飞来方向相向，一边使液晶板在外形的周向转动一边实施溅镀法。
按照上述本发明的液晶板的制造方法，能够不在液晶板的表面及背面形成划痕地在液晶板的端面及液晶板的端部的表面及下面进行成膜。
【附图说明】
图1为本发明液晶板的概略剖视图。
图2(a)为表示切出一个液晶盒110的状态的图，图2(b)为表示覆盖液晶盒110的端部地涂覆平坦化层141的状态的图，图2(c)为表示在平坦化层141上形成无机气体阻挡层142的状态的图，图2(d)为表示在无机气体阻挡层142上涂覆有机保护层143的状态的图。
图3为表示用于平坦化层的涂覆的夹具的图。
图4(a)为用于说明无机气体阻挡层的成膜方法的图，图4(b)为用于说明重叠多个液晶盒100的层叠体330的图。
图5为本发明另一液晶板的概略剖视图。
图6(a)为表示切出一个液晶盒110的状态的图，图6(b)为表示覆盖液晶盒110的端部地涂覆平坦化层241的状态的图，图6(c)为表示在平坦化层241上形成无机气体阻挡层242的状态的图，图6(d)为表示在无机气体阻挡层242上涂覆有机保护层243的状态的图。
图7为溅镀装置的概略图。
图8为用于图7所示溅镀装置的显示屏保持架403的立体图。
图9(a)为未载置液晶盒110的状态的显示屏保持架403的从上方的俯视图，图9(b)为载置了液晶盒110的状态的显示屏保持架403的从上方的俯视图。
图10(a)为未载置液晶盒110的状态的显示屏保持架403的正视图，图10(b)为载置了液晶盒110的状态的显示屏保持架403的正视图。
图11(a)为未载置液晶盒110的状态的显示屏保持架403的侧视图，图11(b)为载置了液晶盒110的状态的显示屏保持架403的侧视图。
图12(a)为表示在显示屏保持架403载置液晶盒110的顺序(1)的图，图12(b)为表示在显示屏保持架403载置液晶盒110的顺序(2)的图。
图13(a)为表示在显示屏保持架403载置液晶盒110的顺序(3)的图，图13(b)为表示在显示屏保持架403载置液晶盒110的顺序(4)的图。
图14为用于图7所示溅镀装置的另一显示屏保持架503的立体图。
图15(a)为用于说明液晶盒的制造工序的一部分的图，图15(b)为由刀具切断了的液晶盒110的端面的局部放大图。
图16(a)为在设置于反应管152内的基板支承夹具150上载置了晶片(基板)159的状态的剖视图，图16(b)为从上方观看到的状态的图。
【具体实施方式】
下面，参照附图说明本发明的液晶板及其制造方法。
图1为本发明液晶板的概略剖视图。
图1所示液晶板100由液晶盒110、配置在液晶盒110的上面上的第一偏振光片130、用于固定第一偏振光片130的第一粘着层132、配置在液晶盒110的下面上的第二偏振光片131、用于固定第二偏振光片131的第二粘着层133、覆盖液晶盒110的(作为切断面的)端部地配置的第一气体阻挡层140等构成。
液晶盒110具有第一透明基板111、第二透明基板117、密封材料119、为了保持第一及第二透明基板111及117间的间隔而配置了多个的衬垫118、封入在第一及第二透明基板111及117与密封材料119间的液晶层114、配置在第一透明基板111上的第二气体阻挡层121、配置在第二透明基板117上的第三气体阻挡层122等。另外，在第一透明基板111上形成第一透明电极图案112及第一定向层113，在第二透明基板117上形成与第一透明电极图案112相向的第二透明电极图案116及第二定向层115。请留意，为了进行说明，图1的比例尺可能与实际不同。
在液晶层114使用一般使用的TN(双扭式向列型)液晶等。
第一及第二透明基板111及117为柔性的，由厚度100μm的聚碳酸酯树脂形成。然而，第一及第二透明基板111及117不限于此，也可为变性丙烯酸树脂、聚甲基丙烯酸树脂、聚醚砜树脂、聚对苯二甲酸乙二酯树脂、降冰片烯(ノルボルテン)树脂、玻璃等，厚度也可以为50～250μm。
第一及第二透明电极图案112及115通过在第一及第二透明基板111及117上分别用溅镀法形成厚约0.03μm的由ITO构成的透明导电膜，此后由腐蚀将不需要的部分除去而图案化。对第一及第二透明电极图案实施规定的配线，从液晶板100的显示驱动控制部(未图示)施加规定的交流电压地构成。液晶板100的显示驱动控制部在第一及第二透明电极图案112及115间施加规定的交流电压，从而能够在透过模式与非透过模式间切换液晶层114。
第二及第三气体阻挡层121及122由二氧化硅构成，在制造液晶盒时由溅镀法在第一及第二透明基板111及117上成膜。
第一气体阻挡层140由平坦化层141、无机气体阻挡层142及有机保护层143构成。在图2中，仅表示液晶板100的一部分的剖视图，第一气体阻挡层140在液晶盒110的大体整个周围进行配置。
作为平坦化层141，使用以环氧树脂为主成分的、作为气体阻挡性树脂的“马克西布(マクシ一ブ)”(注册商标)，使干燥时的膜厚成为约5～10μm地进行涂覆。如上述那样，在液晶盒110的端部形成在切断时产生的细槽(参照图15(b))，即使想就这样利用溅镀等涂覆无机气体阻挡层，槽也不能被无机气体阻挡层可靠地覆盖，不能防止气体的进入。因此，为了对槽进行填充，覆盖液晶盒110的端部地先设置了平坦化层141。而且，在本实施例中，作为平坦化层141，利用了以环氧树脂为主成分的树脂，该环氧树脂还兼有气体阻挡性能，所以，能够进一步提高气体阻挡性能。
作为无机气体阻挡层142，使用二氧化硅，由溅镀法使膜厚成为100nm地成膜。而且，无机气体阻挡层不限于于由二氧化硅形成的阻挡层，例如也可由氮化硅、DLC、铝箔、铜箔等构成。另外，膜厚如在10nm以上，则能够获得所期望的气体阻挡特性。无机气体阻挡层142在由平坦化层141平滑化了的表面上成膜，所以，能够确实地覆盖液晶盒110的端部。
作为有机保护层143，使用以环氧树脂为主成分的、作为气体阻挡性树脂的“马克西布(マクシ一ブ)”(注册商标)，使干燥时的膜厚成为约5～10μm地涂覆。由具有气体阻挡特性的平坦化层141和无机气体阻挡层142，能够获得足够的气体阻挡功能，所以，不一定非要设置有机保护层143。然而，无机气体阻挡层142为硬质，所以，除了成膜时的针孔外，还存在发生划痕、裂纹等的可能性，有机保护层143的目的在于弥补这样的针孔、划痕、裂纹等导致的气体阻挡特性的不完备。因此，通过设置有机保护层143，能够可靠地维持液晶盒110的端部的气体阻挡特性。
图2是用于说明液晶板100的制造工序的图。
图2(a)表示由刀具切断同时形成了多个的液晶盒110而切出一个液晶盒110的状态(即图15(a)的工序后的状态)。
在图2(a)所示状态下，液晶盒110具有第一透明基板111、第一透明电极图案112、第一定向层113、液晶层114、第二定向层115、第二透明电极图案116、第二透明基板117、衬垫118、密封材料119、第二气体阻挡层121、第三气体阻挡层122等。另外，如上述那样，在液晶盒110的端部形成在切断时产生的细槽(参照图15(b))。
图2(b)为表示覆盖液晶盒110的端部地涂覆了平坦化层141的状态的图。
平坦化层141的涂覆利用图3所示那样的夹具进行。即，在配置于基座300的金属板301和磁铁302间，将图2(a)所示液晶盒110夹入，使得容易涂覆液晶盒110的周围的端部地固定。由磁铁302与金属板301间的磁力固定液晶盒110，所以，不在液晶盒110形成划痕，另外，也不利用特别的粘着剂等，能够简单地进行平坦化层141的涂覆。
固定液晶盒110后，在三聚氰酰胺树脂制海绵310的前端部抹上以环氧树脂为主成分的作为气体阻挡性树脂的“马克西布(マクシ一ブ)”(注册商标)与溶剂混而获得的溶液312，涂覆在液晶盒110的规定区域地作业。平坦化层141的涂覆除了利用三聚氰酰胺树脂制海绵310以外，还可利用高密度的海绵、高精细纤维的布等。在涂覆溶液312后，在60～80℃下对液晶盒110进行约1小时烧成，使溶剂挥发，完成平坦化层141的涂覆。平坦化层141也可通过分成多次反复涂覆溶液而成膜。
图2(c)为表示在平坦化层141上形成了无机气体阻挡层142的状态的图。
无机气体阻挡层142通过一边使液晶板100转动，一边在氩与氧的混合气氛中使从靶221飞出来的硅与氧反应，从而成膜。如图4(a)所示，层叠了多个液晶板100的层叠体330载置在按k方向自转的小型转盘323上，该小型转盘323配置在按j方向公转的大型转盘322上，该大型转盘322配置在容器320内。层叠体330如图4(b)所示，通过使30片左右的液晶盒100与比液晶盒110小一圈的衬垫交替地层叠而成，使液晶盒110的端部附近露出地配置。二氧化硅分子341与氩分子340冲撞而随机移动，所以，能够在液晶盒110的端部均匀地形成规定厚度(例如100nm)的无机气体阻挡层142。而且，由于液晶盒110的端部附近露出地配置，所以，例如在液晶盒110具有图4(b)所示开口部150的场合，开口部150的部分也能够良好地形成无机气体阻挡层。
图2(d)为表示在无机气体阻挡层142上涂覆了有机保护层143的状态的图。
有机保护层143的涂覆与平坦化层141的涂覆同样，利用图3所示那样的夹具，在三聚氰酰胺树脂制海绵310的前端部抹上以环氧树脂为主成分的作为气体阻挡性树脂的“马克西布(マクシ一ブ)”(注册商标)与溶剂混而获得的溶液312，涂覆在液晶盒110的规定区域地作业。在涂覆溶液312后，在60～80℃下对液晶盒110进行约1小时烧成，使溶剂挥发，完成有机保护层143的涂覆。
如上述那样，按照图2(a)～图2(d)的制造工序，在液晶盒110的端部形成第一气体阻挡层140。
形成第一气体阻挡层140后，在液晶盒110的上面配置第一粘着层132及第一偏振光片，在液晶盒110的下面配置第一粘着层132及第一偏振光片，完成液晶板100。
可是，在利用铝箔作为无机气体阻挡层142的场合，涂覆平坦化层141后，覆盖涂覆面地使铝箔粘着，用自动皱纹加压装置加压，使气泡消失后，在铝箔的端部也涂覆粘着剂，完成铝箔的配置。在铝箔粘着时，最好使用在平坦化层141利用的树脂。
图5为本发明的另一液晶板的概略剖视图。
图5所示液晶板200由液晶盒110、配置在液晶盒110的上面x上的第一偏振光片230、用于固定第一偏振光片230的第一粘着层232、配置在液晶盒110的下面y上的第二偏振光片231、用于固定第二偏振光片231的第二粘着层233、覆盖液晶盒110的上面x的一部分(切断部位近旁)、下面y的一部分(切断部位近旁)及端部z(切断面)地配置的第一气体阻挡层240等构成。液晶盒110与图1所示液晶盒110中的液晶盒同样，所以，省略说明。
第一气体阻挡层240由平坦化层241、无机气体阻挡层242、及有机保护层243构成。在图5中，仅表示液晶板200的一部分的剖视图，但气体阻挡层240实际上配置在液晶盒110的大体整个周围。
作为平坦化层241，使用以环氧树脂为主成分的、作为气体阻挡性树脂的“马克西布(マクシ一ブ)”(注册商标)，使干燥时的膜厚成为约5～10μm地涂覆。如上述那样，在液晶盒110的上面x及下面y的切断部位近旁，在切断时产生裂缝，如果这样，则存在气体从裂缝的部分进入的危险。另外，即使想利用溅镀等涂覆无机气体阻挡层，裂缝的部分也不被无机气体阻挡层可靠地覆盖，不能防止气体的进入。同样，在液晶盒110的端部z形成在切断时产生的细槽(参照图15(b))，即使想就这样利用溅镀等涂覆无机气体阻挡层，槽也不被无机气体阻挡层可靠地覆盖，不能防止气体的进入。为此，为了对裂缝、槽进行填充，覆盖液晶盒110的上面x及下面y的切断部位近旁和端部z地先设置平坦化层241。而且，在本实施例中，作为平坦化层241，利用了以环氧树脂为主成分的树脂，该环氧树脂还兼有气体阻挡性能，所以，能够进一步提高气体阻挡性能。
无机气体阻挡层242使用二氧化硅，用溅镀法使膜厚成为100nm地成膜。而且，无机气体阻挡层不限于用二氧化硅获得，例如也可由氮化硅、DLC、铝箔、铜箔等构成。另外，膜厚如在10nm以上，则能够获得所期望的气体阻挡特性。无机气体阻挡层242在由平坦化层241平滑化了的表面上成膜，所以，能够确实地覆盖液晶盒110的上面x及下面y的切断部位近旁和端部z。
作为有机保护层243，使用以环氧树脂为主成分的、作为气体阻挡性树脂的“马克西布(マクシ一ブ)”(注册商标)，使干燥时的膜厚成为约5～10μm地涂覆。由具有气体阻挡特性的平坦化层241和无机气体阻挡层242，能够获得足够的气体阻挡功能，所以，不一定非要设置有机保护层243。然而，无机气体阻挡层242为硬质，所以，除了成膜时的针孔外，还存在发生划痕、裂纹等的可能性，有机保护层243的目的在于弥补这样的针孔、划痕、裂纹等导致的气体阻挡特性的不完备。因此，通过设置有机保护层243，能够可靠地维持液晶盒110的上面x及下面y的切断部位近旁和端部z的气体阻挡特性。
图6为用于说明液晶板200的制造工序的图。
图6(a)表示同时形成了多个的液晶盒110由刀具切断、切出了一个液晶盒110的状态(即图15的工序后的状态)。在图6(a)所示状态下，液晶盒110与图2(a)所示状态相同。
图6(b)为表示覆盖液晶盒110的上面x及下面y的切断部位近旁c及e和端部z地涂覆平坦化层241的状态的图。
平坦化层241的涂覆利用图3所示那样的夹具进行。平坦化层241涂覆的具体的顺序与关于图2(b)使用图3说明的顺序相同，所以，省略说明。
图6(c)为表示在平坦化层241上形成无机气体阻挡层242的状态的图。
无机气体阻挡层242通过一边使液晶板100转动，一边在氩与氧的混合气氛中使从靶221飞出来的硅与氧反应，从而成膜。无机气体阻挡层142成膜的具体的顺序与关于图2(c)使用图4说明的顺序相同，所以，省略说明。
图6(d)为表示在无机气体阻挡层242上涂覆了有机保护层243的状态的图。
有机保护层243的涂覆与平坦化层241的涂覆同样，利用图3所示那样的夹具进行。有机保护层243的涂覆的具体的顺序与使用图3对图2(d)进行了说明的顺序相同，所以，省略说明。
如上述那样，按照图6(a)～图6(d)的制造工序，在液晶盒110的端部和其近旁，形成第一气体阻挡层240。而且，与图6(d)所示那样，第一气体阻挡层240最好从液晶盒110的切断部位到距离w的范围覆盖液晶盒110的端部部分。在本实施例中，距离w为0.5mm。
第一气体阻挡层240形成后，避开第一气体阻挡层240，在液晶盒110的上面x上配置第一粘着层232及第一偏振光片230，在液晶盒110的下面y上配置第二粘着层233及第二偏振光片231，完成液晶板100。而且，由于存在从第一粘着层232及第二粘着层233发生气体的可能性，所以，最好第一粘着层232及第二粘着层233与气体阻挡层140相互不接触地设置。
可是，在利用铝箔作为无机气体阻挡层242的场合，平坦化层241的涂覆后，覆盖涂覆面地粘着铝箔，用自动皱纹加压装置进行加压，使气泡消失后，在铝箔的端部也涂覆粘着剂，完成铝箔的配置。在铝箔粘着时，最好使用在平坦化层241利用的树脂。
下面，说明按照上述方法制造的液晶板100及200的评价结果。
在70℃、2.2大气压的环境下保管液晶板，经过规定时间后，将液晶板取出到常温及常压的环境，利用铁球进行在液晶板施加10秒、20N/cm2的压力的加压实验。此时，观察液晶板内的气泡的存在、非存在、及发生了的气泡消失的时间。结果，对于气体阻挡层140及240都未设置在端部的液晶板，在经过300～400h后实施了加压实验的场合，开始在液晶板内观察到气泡。另外，对于仅在端面设置了气体阻挡层140的液晶板100，在经过约700h后实施了加压实验的场合，开始在液晶板内观察到气泡。另外，对于覆盖端部地设置了气体阻挡层240的液晶板200，在经过约1000h后实施了加压实验的场合，开始在液晶板内观察到气泡。
根据上述结果和其它可靠性试验的结果，推断上述测定结果的加速系数，加以适用，得到这样的结论，即，在气体阻挡层140及240都未设置在液晶板的端部的场合，可以认为气泡的发生使得实用期间为2年左右。相对于此，对于气体阻挡层140仅设置在端面的液晶板100，实用期间为4～5年，对于覆盖端部地设置了气体阻挡层240的液晶板200，已经明确实用期间大幅度延长为5～6年。
如上述那样，对于液晶板100及200，由图4所示装置实施无机气体阻挡层142及242的成膜。然而，也能够使用以下所示装置由溅镀成膜。
图7为溅镀装置的概略图。
在真空室401内配置转动的盘402，在其上安置水平地载置了液晶盒的显示屏保持架403。盘402在R方向转动，而载置了盘402的盘支承台404也在室401内沿T方向转动。并且使成膜材料从显示屏保持架403的侧面方向飞来地配置由硅构成的靶405，在氧气氛中将活化了的氩气照射到靶405，由溅镀法形成SiO2膜。通过这样实施成膜，能够在液晶板端部进行成膜。
图8为用于图7所示溅镀装置的显示屏保持架403的立体图。
显示屏保持架403在长方形的支承台406上具有配置在液晶盒110的一方的短边侧的可动支柱407和配置在液晶盒110的周边的其它5根第一固定支柱481～第五固定支柱485。如后述那样，可动支柱407在液晶盒110的载置时能够装拆，第一固定支柱481～第五固定支柱485固定在支承台406。显示屏保持架403还相应于载置的液晶盒110的片数在第一固定支柱481～第五固定支柱485固定显示屏支承部409。另一方面，显示屏支承部409未固定在可动支柱407上。在本实施例中，表示了载置5片液晶盒110的例子，但显示屏支承部409的数量不限于此，而且也可不在全部显示屏支承部409载置液晶盒110。
图9为显示屏保持架403的从上方的俯视图。
图9(a)表示未载置液晶盒110的状态的显示屏保持架403，图9(b)表示载置了液晶盒110的状态的显示屏保持架403。如图9(a)所示，在支承台406设置了可动支柱407和第一固定支柱481～第五固定支柱485。在第一固定支柱481与第二固定支柱482间固定有折曲的板状第一显示屏支承部491，在第三固定支柱第三固定支柱483与第四固定支柱484间固定折曲了的板状的第二显示屏支承部492。另外，使一部分处于第一显示屏支承部491及第二显示屏支承部492上地设有一端固定在第一固定支柱485的折曲的板状的第三显示屏支承部493。如上述那样，第三显示屏支承部493不与可动支柱407固定。另外，第一显示屏支承部491及第二显示屏支承部492分别具有2个部位的折曲部411，第三显示屏支承部493也具有2个部位的折曲部413。由第一显示屏支承部491～第三显示屏支承部493构成1组显示屏支承部409，在1组显示屏支承部409载置1片液晶盒110。在图9(a)中仅表示1组显示屏支承部409，但实际上能够朝附图的里侧构成多组显示屏支承部。
设于第一显示屏支承部491的2个折曲部11间的距离比液晶盒110的横向宽度小。第二显示屏支承部492也同样，设于第二显示屏支承部492的2个折曲部412间的距离比液晶盒110的横向宽度小。
图9(b)表示在显示屏保持架403载置了液晶盒110的状态。液晶盒110从各支柱离开规定距离地载置。例如，设液晶盒110的第一短边1001与可动支柱407的距离为d1，设液晶盒110的第二短边1003与第五固定支柱485的距离为d4，则d1、d4的距离最好使得能够在液晶盒110的端部均匀地成膜地离开规定的距离。另外，最好d1与d4的大小大致相等。另外，如设液晶盒110的第一长边1002与第二固定支柱482的距离为d2，第一长边1002与第四固定支柱484的距离为d3，第二长边1004与第三固定支柱483的距离为d5，第二长边1004与第一固定支柱481的距离为d6，则d2、d3、d5、d6的距离最好使得能够在液晶盒110的端面均匀地成膜地离开规定距离。另外，最好d2、d3、d5、d6的大小大致相等。
液晶盒110最好在第一显示屏支承部491及第二显示屏支承部492共4个部位受到支承。另外，如液晶盒110在第三显示屏支承部493的至少1个部位受到支承，在共5个部位或6个部位受到支承，则更理想。
图10为表示从图8的前面侧观看显示屏保持架403的状态的图。
图10(a)为表示在显示屏保持架403未载置液晶盒110的状态的图。另外，表示为了说明而除去了可动支柱407的状态。在支承台406上设置第一固定支柱481和第二固定支柱482，在两者间设置多个第一显示屏支承部491。另外，虽然未在图中表示，但实际上在支承台406上设置第三固定支柱483和第四固定支柱484，在两者间设置多个第二显示屏支承部492。第一显示屏支承部491在2个部位的折曲点411折曲，具有澡盆形状。图中未表示的第二显示屏支承部492也同样。在第一显示屏支承部491及第二显示屏支承部492上设有一端固定在第五固定支柱485的多个第三显示屏支承部493，如后述那样，第三显示屏支承部493也在2个部位的折曲点折曲，具有澡盆形状。由第一显示屏支承部491、第二显示屏支承部492、第三显示屏支承部493构成一组显示屏支承部409。
图10(b)为表示在图10(a)所示显示屏保持架403的各显示屏支承部409上载置了液晶盒110的状态。液晶盒110保持在第一显示屏支承部491上，第一显示屏支承部491仅与液晶盒110的棱412接触。在这里，第一显示屏支承部491具有板状，所以，在构成液晶盒110的棱412的直线与第一显示屏支承部491平行的场合，第一显示屏支承部491与液晶盒110的棱412接触的部分成为线状。这里所说的线状指液晶盒110与显示屏支承部接触的部分的形状的纵向长度与宽度相比非常大的状态。另一方面，在构成液晶盒110的棱412的直线与第一显示屏支承部491不平行的场合，第一显示屏支承部491与液晶盒110的棱412接触的部分为点状。这里所说的点状，指液晶盒110与显示屏支承部接触的部分的面积相比于液晶盒110的尺寸非常小的状态。
这样，液晶盒110与第一显示屏支承部491接触的部分的面积非常小，液晶盒110的端部的侧面、表面、下面都不与第一显示屏支承部491接触，所以，一边使显示屏保持架403转动，一边从显示屏保持架403的侧面方向进行溅镀，从而能够在液晶盒110的侧面、表面及下面形成具有足够膜厚的薄膜。虽然图中未表示，但实际上液晶盒110与第二显示屏支承部492接触的部分也同样地形成为线状或点状。
图11为图8所示显示屏保持架403的侧视图。
图11(a)为表示未在显示屏保持架403载置液晶盒110的状态的图。在图11中，与图10所示场合不同，表示设置了可动支柱407的状态。在支承台406上设有第一固定支柱481(图中未表示)和第二固定支柱482，在两者间设有多个第一显示屏支承部491(图中未表示)。另外，在支承台406上设有第三固定支柱483(图中未表示)和第四固定支柱484，在两者间设有多个第二显示屏支承部492(图中未表示)。在第一显示屏支承部491及第二显示屏支承部492上设有在第五固定支柱485固定了一端的多个第三显示屏支承部493，在2个部位的折曲点413折曲，呈澡盆形状。由第一显示屏支承部491、第二显示屏支承部492、第三显示屏支承部493构成一组显示屏支承部409。
图11(b)为表示在图11(a)所示显示屏保持架403的各显示屏支承部409载置了液晶盒110的状态的图。液晶盒110虽然也可与第三显示屏支承部493接触地受到支承，但在受到支承的场合，第三显示屏支承部493仅与液晶盒110的棱414接触。在这里，第三显示屏支承部493具有板状，所以，在构成液晶盒110的棱414的直线与第三显示屏支承部493平行的场合，第三显示屏支承部493与液晶盒110的棱414接触的部分成为线状。另一方面，在构成液晶盒110的棱414的直线与第三显示屏支承部493不平行的场合，第三显示屏支承部493与液晶盒110的棱414接触的部分成为点状。这样，液晶盒110与第三显示屏支承部493接触的部分的面积非常小，液晶盒110的端部的侧面、表面、下面都不与第三显示屏支承部493接触，所以，一边使显示屏保持架403转动，一边从显示屏保持架403的侧面方向溅镀，从而能够在液晶盒110的侧面、表面及下面形成具有足够膜厚的薄膜。
下面，说明在显示屏保持架403载置液晶盒110的顺序。
首先，如图12(a)所示，从支承台406的连接部415分离显示屏保持架403的可动支柱。然后，在多个显示屏支承部409上载置液晶盒110。图12(b)为表示在最上部的显示屏支承部409载置了液晶盒110的状态的图。第二片以后的液晶盒110也同样地载置在显示屏支承部409，图13(a)表示在全部显示屏支承部409载置了液晶盒110的状态。最后，如图13(b)所示，将可动支柱407安装在支承台406的连接部415。通过设置可动支柱407，能够防止在成膜工序中液晶盒110飞出到外部，通过使得能够拆卸可动支柱407，能够容易地在显示屏保持架403载置液晶盒110。
作为显示屏保持架403的构成材料，例如不锈钢能够较好地得以使用。但是，只要是不发生气体、微粒且具有刚性，则也可选择其它材料。
另外，第一显示屏支承部491～第三显示屏支承部493表示了由具有折曲点的直线部分构成的例子，但也可具有曲线形状。
图14为用于图7所示溅镀装置的另一显示屏保持架503的立体图。
显示屏保持架503与上述的显示屏保持架403不同，显示屏支承部成为细线状。在这里，细线状指截面大小相比于长度方向非常小的形状。这些显示屏支承部例如能够由金属线等构成。
另外，显示屏保持架503的显示屏支承部509具有细线状，所以，显示屏支承部509与液晶盒110的棱接触的部分成为点状。这里所说的点状指液晶盒110与显示屏支承部509接触的部分的面积相比于液晶盒110的尺寸非常小的状态。这样，液晶盒110与显示屏支承部509接触的部分的面积非常小，液晶盒110的端部的侧面、表面、下面都不与显示屏支承部509接触，所以，一边使显示屏保持架503转动，一边从显示屏保持架503的侧面方向溅镀，从而能够在液晶盒110的端部的侧面、表面及下面形成具有足够膜厚的薄膜。显示屏保持架503的其它构成与显示屏保持架403相同，所以，省略其说明。
在本实施例的说明中，表示了第一显示屏支承部491～第三显示屏支承部493由具有折曲点的直线部分构成的例子，但如与液晶盒110接触的部分为点状，则也可具有曲线形状。
作为显示屏保持架503的构成材料，例如不锈钢能够较好地得到使用。但是，只要是不发生气体、微粒且具有刚性，则也能够选择其它材料。