一种应用于半导体设备的角度限位铰链技术领域
本发明涉及一种角度限位铰链，尤其涉及到半导体等离子体设备中的
固定角度铰链，属于半导体制造技术领域。
背景技术
如今，半导体行业中等离子体设备反应模块中固定角度铰链的设计十
分重要，它不仅涉及到进行开关腔操作时的轻便性、灵活性，而且也涉及
开关腔时所占用的空间和腔体上盖板带来的压力过大问题。在以往的设计
中，等离子体设备开关腔时角度随意性大，腔体上盖板重量过大，在开腔
时上盖板极容易对传送模块造成压迫。目前，随着半导体技术水平的不断
发展，要求我们在保证开关腔灵活轻便的同时，能够减小开关腔的施力并
且能够对传送模块的压力降到最小。因此，需要设计一种新型的固定铰链
装置或者是对传统的固定铰链装置进行改善设计，以此来达到设计目的。
本专利是在传统的固定铰链装置基础上进行改善设计的。增加了限位
块的固定角度铰链避免了开腔后上盖板对传送模块的压力过大问题，又能
在紧凑的结构中高效的利用空间位置，使反应模块的开关腔操作更加灵活、
轻便、安全。
发明内容
本发明是鉴于改善等离子体设备中开关腔时角度不可控现象而提出
的，其目的是提供一种在保证较好的轻便性、灵活性的基础上，角度可固
定的铰链装置。
本发明第一方面，是一种可实现半导体等离子体处理装置中开关腔更
加轻便、灵活，并且能够保持一定角度的铰链，所述的固定角度铰链是连
接在反应腔模块中的上盖板和反应腔外表面之间。
进一步地，所述的角度限位铰链，其特征在于：由上铰链、下铰链、
固定销、转轴和限位块五部分组成。
进一步地，所述的角度限位铰链，其特征在于：上下铰链之间通过转
轴连接，上铰链可随转轴转动。
进一步地，所述的角度限位铰链，其特征在于：铰链上设有两个销孔。
进一步地，所述的角度限位铰链，其特征在于：可拆卸的固定销在开
关腔时处于不同的销孔内。
进一步地，所述的角度限位铰链，其特征在于：在开腔时，固定销位
于上销孔内，可使铰链保持一固定角度。
进一步地，所述的角度限位铰链，其特征在于：在下铰链上方设有限
位块。
本发明的有益效果及特点：
本发明设计的新型固定角度铰链，通过对铰链角度的固定，可实现半
导体等离子体设备开关腔的轻便性和灵活性，结构简单，不仅实现了在特
定位置有限空间内结构的紧凑性，而且能够避免开关腔时等离子体设备传
送模块压力过大的影响。本发胆能够简单有效地增大安装范围，易于使用
和在半导体技术领域中推广。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
下面结合附图,对本发明的具体实施方式作进一步的详细说明。根据
下面说明，本发明的优点和特征将更清楚。
具体实施方式
实施例
参考图1，一种应用于半导体设备的角度限位铰链，由上铰链2、下
铰链5、固定销3、转轴4和限位块1五个部分组成。
所述上铰链2与下铰链5之间通过转轴连接，上铰链2可随转轴4转
动；
所述上铰链2与下铰链5上分别设有两个销孔。
所述固定销3可拆卸，并在开关腔时处于不同的销孔内。
所述固定销在开腔时，位于上销孔内，可使铰链保持一固定角度。
所述下铰链5上方设有限位块1。
本发明的上铰链和反应腔上盖板连接，下铰链和反应腔体连接，两铰
链之间通过转轴固定，上铰链可沿转轴转动；可拆卸的固定销可固定于销
孔内，并与限位块配合，可使上铰链与下铰链保持以固定角度。