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1、10申请公布号CN102017119A43申请公布日20110413CN102017119ACN102017119A21申请号200980116740922申请日2009031361/036,35320080313USH01L21/673200601B65D85/38200601B65D85/86200601B65D81/1820060171申请人安格斯公司地址美国明尼苏达州72发明人詹姆斯A沃森约翰伯恩斯马丁L福布斯马修A富勒马克V史密斯74专利代理机构上海旭诚知识产权代理有限公司31220代理人郑立王萍萍54发明名称具有管状环境控制部件的晶圆容器57摘要一种晶圆容器，利用刚性聚合物管状塔，。
2、所述塔具有狭槽和在其中的吸气剂，用于吸收和过滤所述晶圆容器中的湿气和蒸汽。所述塔优选利用容器基部的净化护环，并且在其中可以具有止回阀，以相对于所述塔控制进出容器的气体包括空气的流向。所述塔与所述护环密封地连接。所述塔可以具有以长圆形型式卷绕而形成或者成形为管状的吸气介质片，所述吸气介质布置在所述塔内并且可以具有轴向的延伸。介质可以提供主动的和/或被动的过滤以及具有再充装的能力。用于300MM尺寸的晶圆的前部开口的晶圆容器，在容器部的内后部中的左侧和右侧上，通常具有一对凹部。这些凹部优选地用于细长塔，这种塔基本上从底部晶圆位置延伸到顶部晶圆位置。在替换实施方式中，管状形状的吸气材料暴露在前部开口。
3、的容器内，而不会像在端部处那样使吸气剂不散开。管状吸气剂的形式优选为被支撑在离散的位置，以最大限度地暴露到内部容器环境。阻挡构件能够选择性地关闭孔。弹性盖可以有助于将管状部件固定在容器部中。30优先权数据85PCT申请进入国家阶段日2010110486PCT申请的申请数据PCT/US2009/0371432009031387PCT申请的公布数据WO2009/114798EN2009091751INTCL19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书5页说明书6页附图7页按照条约第19条的修改5页CN102017131A1/5页21一种前部开口的晶圆容器，用于300MM以及更大的晶圆。
4、，所述容器包括容器部，具有围绕限定了开放内部的闭合的左侧、闭合的右侧、闭合的底部、闭合的顶部和闭合的后侧而延伸的容器壁，所述容器部具有间隔开的多个水平晶圆架，所述多个水平晶圆架连接在所述容器部中并且在所述开放内部中限定了通常为圆筒状的晶圆接收区，用于保持一堆放置在所述架中的水平间隔开的晶圆，限定了开放的前部的门框，其中，在所述后侧的所述容器部壁具有向内延伸的凹部，所述凹部从所述容器部的所述顶部延伸到所述容器部的所述底部，在所述凹部的两旁侧，所述壳体的突出部限定了一对直立的脚，用于当所述晶圆容器向后转动而所述开口前部面朝上时，放置所述晶圆容器，所述脚限定了多个内部隔室，每个隔室，具有一对相对的侧。
5、壁部，后壁部，两个内部垂直转角，顶壁部和底壁部；门，装配在所述开放前部中并且可闩锁至所述门框；至少一个细长管状环境控制部件，固定在所述多个隔室中的一个内并且与所述一对侧壁部和所述后壁部间隔开，所述细长管状环境控制部件具有一长度，所述长度基本上以所述顶壁部和所述底壁部之间的距离延伸。2根据权利要求1所述的前部开口的晶圆容器，其中，所述细长管状环境控制部件包括两个细长部，每个细长部均由多个闩锁件连接以将所述细长部固定在一起，所述两个细长部限定了容纳区。3根据权利要求2所述的前部开口的晶圆容器，其中，所述两个细长部铰接在一起，限定了容纳部，并且所述容纳部包含过滤材料或蒸汽吸收材料中的至少一个。4根据。
6、权利要求1所述的前部开口的晶圆容器，其中，所述细长管状环境控制部件具有带有内部的容纳部，和提供了所述容纳部的所述内部与所述容器部的所述开放内部之间的连通的多个孔，其中，所述细长管状环境控制部件具有直立的轴线，并且所述细长管状环境控制部件在净化开口处连接至所述容器部的所述底部，所述净化开口偏离所述管状环境控制部件的所述轴线。5根据权利要求4所述的前部开口的晶圆容器，还包括细长阻挡构件，其可布置在所述管状环境控制部件上，以选择性地阻断所述容纳部的所述内部与所述容器部的所述开放内部之间的连通。6根据权利要求5所述的前部开口的晶圆容器，其中，所述细长阻挡构件由弹性材料形成，所述管状环境控制部件具有围绕。
7、所述多个孔延伸的连接结构，所述阻挡部件与所述连接结构弹性地配合，以密封地阻挡所述容纳部的所述内部与所述容器部的所述开放内部之间的连通。7根据权利要求5所述的前部开口的晶圆容器，其中，所述细长阻挡构件能够与所述容纳部可滑动地配合，并且能够在阻挡位置和孔开放位置之间可滑动地移动。8根据权利要求1所述的前部开口的晶圆容器，其中，所述细长管状环境控制部件包括限定了容纳部的两个细长部，其中，所述细长管状环境控制部件还包括弹性盖，所述弹性盖弹性地扩张，以粘附性地盖住所述容纳部的所述顶部。9根据权利要求1所述的前部开口的晶圆容器，还包括位于内部隔室内的额外的细长管状环境控制部件，其中，所述两个细长管状环境控。
8、制部件都连接至所述晶圆容器的所权利要求书CN102017119ACN102017131A2/5页3述底部上的净化入口，其中，所述晶圆容器具有布置在所述晶圆容器的所述底部上的靠近所述门框的另一净化入口，并且还包括在所述晶圆容器的所述底部上的靠近所述门框的净化出口。10根据权利要求1所述的前部开口的晶圆容器，其中，所述细长管状环境控制部件包括弹性盖，所述弹性盖弹性地扩张以粘附性地盖住所述容纳部的所述顶部，其中，所述盖具有壳体配合部，由此，所述管状环境控制部件具有两个相反的端部并且在两个端部处都固定到所述容器部。11根据权利要求1所述的前部开口的晶圆容器，其中，所述细长管状环境控制部件包括蒸汽吸收材。
9、料，所述晶圆容器还包括托架，所述托架具有弹簧臂以将所述托架固定到所述多个隔室中的一个的所述一对侧壁部中间，所述细长管状环境控制部件能够可移动地连接到所述托架。12一种前部开口的晶圆容器，用于300MM以及更大的晶圆，包括容器部，具有围绕限定了开放内部的闭合的左侧、闭合的右侧、闭合的底部、闭合的顶部和闭合的后侧而延伸的容器壁，所述容器部具有间隔开的多个水平晶圆架，所述多个水平晶圆架连接在所述容器部中并且在所述开放内部限定了通常为圆筒状的晶圆接收区，用于保持一堆放置在所述架中的水平间隔开的晶圆，限定了开放前部的门框，其中，在所述后侧的所述容器部壁具有从所述容器部的所述顶部延伸至所述容器部的所述底部。
10、的一对转角区；门，装配在所述开放前部中并且可闩锁至所述门框；一对细长管状环境控制部件，布置在所述转角区中，每个细长管状环境控制部件均具有带有内部的容纳部，和提供所述容纳部的所述内部与所述容器部的所述开放内部之间的连通的多个孔，其中，每个所述细长管状环境控制部件均具有直立的轴线，并且所述细长管状环境控制部件在净化开口处连接至所述容器部的所述底部，所述净化开口偏离所述管状环境控制部件的所述轴线。13根据权利要求12所述的前部开口的晶圆容器，其中，所述一对细长管状环境控制部件都向外暴露在所述后侧上。14根据权利要求12所述的前部开口的晶圆容器，所述一对细长管状环境控制部件与所述壁部和所述后侧间隔开，。
11、所述细长管状环境控制部件具有一长度，所述长度基本上以所述顶壁部和所述底壁部之间的距离延伸。15根据权利要求12所述的前部开口的晶圆容器，其中，每个细长管状环境控制部件均包括两个细长部，每个细长部均通过多个闩锁件和铰链中的至少一个连接到另一细长部，所述两个细长部限定了容纳部。16根据权利要求15所述的前部开口的晶圆容器，还包括细长阻挡构件，其可布置在所述一对管状环境控制部件中的至少一个上，以选择性地阻断所述容纳部的所述内部与所述容器部的所述开放内部之间的连通。17根据权利要求16所述的前部开口的晶圆容器，其中，所述细长阻挡构件由弹性材料形成，所述管状环境控制部件具有围绕所述多个孔而延伸的连接结构。
12、，所述阻挡部件弹性地配合到所述连接结构，以密封地阻挡所述容纳部的所述内部与所述容器部的所述开放内部之间的连通。权利要求书CN102017119ACN102017131A3/5页418根据权利要求16所述的前部开口的晶圆容器，其中，所述细长阻挡构件与一个所述容纳部可滑动地配合，并且在阻挡位置和孔开放位置之间，在所述容器部上可滑动地移动。19根据权利要求12所述的前部开口的晶圆容器，其中，每个所述细长管状环境控制部件均包括限定了容纳部的两个细长部，其中，所述细长管状环境控制部件还包括弹性盖，所述弹性盖弹性地扩张，以粘附性地盖住所述容纳部的所述顶部。20根据权利要求8所述的前部开口的晶圆容器，其中，。
13、所述盖具有壳体配合部，由此，所述管状环境控制部件具有两个相对的端部，并且在两个端部处都固定到所述容器部。21根据权利要求12所述的前部开口的晶圆容器，其中，每个所述容纳部在其中均具有过滤材料和吸收材料中的至少一个。22一种前部开口的晶圆容器，用于300MM以及更大的晶圆，所述晶圆容器包括容器部，具有围绕限定了开放内部的闭合的左侧、闭合的右侧、闭合的底部、闭合的顶部和闭合的后侧而延伸的容器壁，所述容器部具有间隔开的多个水平晶圆架，所述多个水平晶圆架连接在所述容器部中并且在所述开放内部限定了通常为圆筒状的晶圆接收区，用于保持一堆放置在所述架中的水平间隔开的晶圆，限定了开放前部的门框，其中，在所述后。
14、侧的所述容器部壁具有从所述容器部的所述顶部延伸至所述容器部的所述底部的一对转角区；门，装配在所述开放前部中并且可闩锁至所述门框；细长管状环境控制部件，布置在所述一对转角区中的一个中，所述细长管状环境控制部件具有带有内部的容纳部，和提供了所述容纳部的所述内部与所述容器部的所述开放内部之间的连通的多个孔，其中，所述细长管状环境控制部件具有直立的轴线，并且所述细长管状环境控制部件在净化开口处连接至所述容器部的所述底部，所述净化开口偏离所述管状环境控制部件的所述轴线，其中，所述细长管状环境控制部件包括两个细长部，每个细长部均被多个闩锁件和铰链中的至少一个连接到另一细长部，所述两个细长部限定了容纳部。2。
15、3根据权利要求22所述的前部开口的晶圆容器，其中，所述容纳部在其中具有过滤材料和吸收材料中的至少一个。24根据权利要求22所述的前部开口的晶圆容器，还包括细长阻挡构件，其可布置在所述管状环境控制部件上，以选择性地阻断所述容纳部的所述内部与所述容器部的所述开放内部之间的连通。25根据权利要求24所述的前部开口的晶圆容器，其中，所述细长阻挡构件由弹性材料形成，所述管状环境控制部件具有围绕所述多个孔延伸的连接结构，所述阻挡部件弹性地配合到所述连接结构，以密封地阻挡所述容纳部的所述内部与所述容器部的所述开放内部之间的连通。26根据权利要求22所述的前部开口的晶圆容器，其中，所述细长阻挡构件与一个所述容。
16、纳部可滑动地配合，并且在至少一个阻挡位置和孔开放位置之间，在所述容纳部上可滑动地移动。27根据权利要求22所述的前部开口的晶圆容器，其中，所述细长管状环境控制部件权利要求书CN102017119ACN102017131A4/5页5还包括弹性盖，所述弹性盖弹性地扩张，以粘附性地盖住所述容纳部的所述顶部。28根据权利要求27所述的前部开口的晶圆容器，其中，所述盖具有壳体配合部，由此，所述管状环境控制部件具有两个相对的端部，并且在两个端部处都固定到所述容器部。29根据权利要求1所述的前部开口的晶圆容器，其中，每个所述容纳部在其中均具有过滤材料和吸收材料中的至少一个。30一种前部开口的晶圆容器，包括容。
17、器部，具有围绕限定了开放内部的闭合的左侧、闭合的右侧、闭合的底部、闭合的顶部和闭合的后侧而延伸的容器壁，所述容器部具有间隔开的多个水平晶圆架，所述多个水平晶圆架连接在所述容器部中并且在所述开放内部限定了通常为圆筒状的晶圆接收区，用于保持一堆放置在所述架中的水平间隔开的晶圆，限定了开放前部的门框，其中，在所述后侧的所述容器部壁具有从所述容器部的所述顶部延伸至所述容器部的所述底部的一对转角区；门，装配在所述开放前部中并且可闩锁至所述门框；细长管状环境控制部件，布置在所述容器部中并且基本上从所述容器部的所述底部延伸到所述容器部的所述顶部，所述细长管状环境控制部件具有带有内部的容纳部，和提供了所述容纳。
18、部的所述内部与所述容器部的所述开放内部之间的连通的多个孔，其中，所述细长管状环境控制部件具有直立的轴线，并且在净化开口处连接到所述容器部的所述底部，其中，所述细长管状环境控制部件还包括细长阻挡构件，其可布置在所述管状环境控制部件上，以选择性地阻断所述容纳部的所述内部与所述容器部的所述开放内部之间的连通。31根据权利要求30所述的前部开口的晶圆容器，其中，所述细长阻挡构件由弹性材料形成，所述管状环境控制部件具有围绕所述多个孔而延伸的连接结构，所述阻挡部件弹性地配合到所述连接结构，以密封地阻挡所述容纳部的所述内部与所述容器部的所述开放内部之间的连通。32根据权利要求30所述的前部开口的晶圆容器，其。
19、中，所述细长阻挡构件由刚性聚合物形成，与一个所述容纳部可滑动地配合，并且在至少一个阻挡位置和孔开放位置之间，在所述容纳部上可滑动地移动。33根据权利要求30所述的前部开口的晶圆容器，其中，所述细长管状环境控制部件还包括由弹性材料形成的盖，所述盖弹性地扩张，以粘附性地盖住所述容纳部的所述顶部。34根据权利要求33所述的前部开口的晶圆容器，其中，所述盖具有壳体配合部，由此，所述管状环境控制部件具有两个相对的端部，并且在两个端部处都固定到所述容器部。35一种前部开口的晶圆容器，包括容器部，具有围绕限定了开放内部的闭合的左侧、闭合的右侧、闭合的底部、闭合的顶部和闭合的后侧而延伸的容器壁，所述容器部具有。
20、间隔开的多个水平晶圆架，所述多个水平晶圆架连接在所述容器部中并且在所述开放内部限定了通常为圆筒状的晶圆接收区，用于保持一堆放置在所述架中的水平间隔开的晶圆，限定了开放前部的门框，其权利要求书CN102017119ACN102017131A5/5页6中，在所述后侧的所述容器部壁具有从所述容器部的所述顶部延伸到所述容器部的所述底部的一对转角区；门，装配在所述开放前部中并且可闩锁至所述门框；布置在所述容器部中的一对细长管状环境控制部件，在每个所述转角区处有一个细长管状环境控制部件，并基本上从所述容器部的所述底部延伸到所述容器部的所述顶部，每个所述细长管状环境控制部件均具有带有内部的容纳部，和在所述容。
21、纳部的所述内部和所述容器部的所述开放内部之间提供了连通的多个孔，其中所述细长管状环境控制部件在净化开口入口处连接至所述容器部的所述底部，并且其中所述容器部具有额外的净化开口入口，所述容器部还具有净化开口出口。权利要求书CN102017119ACN102017131A1/6页7具有管状环境控制部件的晶圆容器0001相关申请0002本申请要求2008年3月13日递交的美国临时申请NO61/036,353的权益，该美国临时申请整体上通过引用包含于此。背景技术0003晶圆容器和光罩盒RETICLEPOD通常是称为FOUP前部开口一体盒、FOSB前部开口传输盒或者SMIF标准机械接口盒的密封容器。在存储。
22、、运输和处理晶圆和衬底这些材料期间，这些容器提供微环境，以隔离和控制用于制造集成电路的晶圆衬底周围的环境。这种材料的处理传统地在通常被称为“清洁室”的无微粒环境中实现。然而，将这种“清洁室”维持在无污染物的状态需要许多注意和努力，特别是在材料的处理期间。0004这种微环境的内部气氛可以更容易地控制和维持。经常地，这种容器利用惰性气体或者清洁的干燥空气CDA或者额外的CDA，是可净化的。已经注意到，不仅由离散粒子而且在晶圆或光罩上发生的起雾而引起这种容器中的光罩的污染。请参见由本申请的所有人拥有的公布WO2007/149513A2，该公布通过引用包含于此，包括在本申请的附录中。这种起雾也可能在晶。
23、圆容器中的晶圆上发生，并且对晶圆有害，参见通过引用包含于此的美国专利NO5,346,518。另外，由本申请的申请人拥有的相关的美国专利NO6,042,651公开了在底部开口的SMIF盒和前部开口的晶圆容器中使用带喷嘴的塔，该前部开口的晶圆容器使用晶圆架组件作为净化出口。这种结构相关联的问题和这种结构的最佳使用仍没有得到充分的处理。0005例如，在衬底容器中使用干燥剂和蒸汽吸收剂，典型地，在清洗这种衬底容器之前，需要移除或者拆卸干燥剂和蒸汽吸收剂，因为所使用的流体可能毁坏用于过滤和/或蒸汽吸收的介质。此外，由于用于输送净化气体的区域封闭，除了介质物质之外，垂直设置于衬底容器中的净化开口是难以清洁。
24、和干燥的。在不拆卸和移除介质和净化部件的情况下，有助于这种衬底容器的清洁的手段将是非常有利的。特别地，诸如美国专利NO6,042,651公开的独立式塔在清洁过程中是有问题的。此外，这种塔由于它们的传统布置而遭受移动和潜在地移位，在该传统布置中，它们可能不注意地接触而它们的连接仅在基板容器的基部。更好的布置和连接方法和结构将是有利的，特别是不依赖于延伸通过壁或者其它障碍的孔或者紧固件的方法，所述壁或其它障碍将容器的被围起来的内部与外部分离开。0006在前部开口盒中使用离散塔、使用一个以上的排放塔、以及排放塔或管状环境控制部件的最佳放置和固定，在这之前还没有被充分地考虑、优化，以令人满意地处理可靠。
25、性、起雾、污染和粒子控制，以及前部开口的大直径晶圆容器的清洁事物。当从300MM晶圆向450MM晶圆过渡时，这些方面的改善将更加重要。说明书CN102017119ACN102017131A2/6页8发明内容0007在本发明的实施方式中，晶圆容器包括管状环境控制部件，该管状环境控制部件构造有与晶圆容器的内部连通的开放内部和狭槽。管状部件中的一个或两个可以策略地放置在晶圆容器的后部转角或隔室中，并且可以连接到晶圆容器的底部的净化入口。某些实施方式除吸收材料之外或者作为吸收材料的替换，可以具有过滤体。在某一实施方式中，另外的净化入口开口可以用于全部的三个净化入口。管状部件或净化开口可以在其内具有止回。
26、阀，以相对于所述塔控制进出容器的气体包括空气的流向。净化开口可以利用弹性护环和密封地连接在其上的管状部件。管状部件可以具有以长圆形型式卷绕形成或者成形为管状并置于所述塔内的吸气介质片。介质可以提供主动的和/或被动的过滤以及能够被再充装。0008用于300MM尺寸的晶圆的前部开口的晶圆容器的一种构造，在容器部的内后部中的左侧和右侧上具有一对隔室。这些隔室反映由晶圆容器的后壁上的一对垂直的外部的突部形成的内部结构，当容器部向后转动90度时，所述外部的突部用作脚或者用于放置的特征。某些实施方式的特征和优点是利用这些隔室来全部地或者部分地包含细长管状环境控制部件，所述细长管状环境控制部件基本上从底部晶。
27、圆位置延伸到顶部晶圆位置，或者从容器部的底部延伸到顶部。在一个实施方式中，管状的吸气材料以最小的吸气剂容量在一个或者两个隔室中暴露在前部开口的容器内，而不是主动净化系统的一部分。在另一实施方式中，构造成净化塔的管状环境控制部件可以放置在一个或两个隔室中。所述塔可以构造成可以容纳介质的容纳部。介质可以是过滤介质和/或吸收介质。0009在特定的实施方式中，管状环境控制部件具有孔，要么用于使净化气体流入容器部的开放内部，要么用于允许部件中的吸收介质吸收蒸汽，包括来自容器部的内部的湿气。特征和优点是，这种孔可以选择性地阻断以停止管状部件的内部与晶圆容器的开放内部之间的连通。这对清洗容器非常有利，使得能。
28、够保护管状部件的过滤体、吸气剂或其它成分免受清洗流体的影响，而无需移除所述部件。可以由密封孔的弹性条，或者由能够覆盖和暴露孔的刚性可滑动连接构件来阻断。此外，这种选择性的阻挡能够可调整，以改变容器部的内部和管状部件的内部之间的开口的尺寸。0010某些实施方式的特征和优点在于，具有孔的管状部件可以从连接到其上的净化入口水平地偏离。这提供相对于晶圆的间隙。此外，将排放孔布置在管状部件背面的凹部或隔室中，相信为净化气体提供更好的流体流特性。将管状部件布置在背面凹部中提供的优点是，保护净化部件免受碰撞或无意的接触。0011某些实施方式的特征和优点是将环境控制部件连接在后方隔室中。这些隔室反映由晶圆容器。
29、的后壁上的一对垂直的外部的突部形成的内部结构，当容器部向后转动90度时，所述外部的突部用作脚或者用于放置的特征。这些内部隔室具有通常向后会聚的壁。在一特定实施方式中，柔软的弹性连接构件固定到管状环境控制部件的顶部和容器部的聚合物壁之间。这种弹性连接构件确保塔在适当位置，而孔不通过壁，最佳地利用聚碳酸酯容器部壁与弹性材料之间的高磨擦系数。所述构件可以成形为盖，所述盖进一步提供将细长部件固定在一起的有利功能，所述细长部件包括管状环境控制部件的容纳部。管状部件可以在两端部具有这种构件，利用高磨擦系统和弹性构件的压缩以将所述管状环境控制部件全部地或部分地保持在后方隔室中。在另一实施方式中，由金属或刚说。
30、明书CN102017119ACN102017131A3/6页9性聚合物形成的刚性托架可以具有弹簧齿，以将托架楔入隔室的相对壁之间，其中所述齿戳入容器部壁的表面中。这些连接方法和结构的特点和优点在于，利用用于连接部件配合的相对壁进行连接，而没有延伸通过晶圆容器的壁的单独结构或紧固件。因此，晶圆容器可以容易地翻新，而对产品不进行变型或减少变型。0012利用管状吸气介质的实施方式的特征和优点在于，相对大面积的介质有效地暴露到晶圆容器中的有限的区域内。此外，后方隔室对于没有介质并且用于纯净化的管状部件也很适用。0013某些实施方式的另外的特征和优点在于，净化气体通过塔排出，管状吸气介质可以有效地定期再。
31、充装，当其内的环境为静态时。0014这里的实施方式的另外的特征和优点在于，在现有的300MM晶圆容器中适用本发明需要在这些容器中进行最少的改变。另外的特征和优点在于，本发明非常适于较大的晶圆容器。附图说明0015图1是根据本发明的实施方式的前部开口的晶圆容器的透视图；0016图2是图1的晶圆容器的仰视图；0017图3是向容器部的不同实施方式的开放的前部内看去的前透视图；0018图4是图3的实施方式的俯视截面的细节图，示出相对于容器部的壁和其内的晶圆，管状部件和净化开口的位置；0019图5是管状部件的正视图；0020图6是适用于将塔部件固定到前部开放的晶圆容器的容器部的底壁的连接特征的细节图；0。
32、021图7是具有一对管状环境控制部件的容器部的前正视图，该管状环境控制部件被构造成利用托架安装在其内的过滤筒；0022图8是根据本发明的实施方式的构造成吸收过滤筒的管状环境控制部件的透视图；0023图9是适用于将管状环境控制部件连接到诸如图4和5示出的晶圆容器的后部区域的托架；0024图10是示出用于晶圆容器的管状环境控制部件的连接装置的顶部剖视图；0025图11是托架中的过滤筒的透视图；0026图12是图11中的托架的透视图；0027图13是沿图4中的线1313截取的剖视图；0028图14是根据本发明的实施方式的管状环境控制部件的分解图；0029图15是图14的管状环境控制部件的管状环境控制。
33、部件的分解图；0030图16是管状环境控制部件的前侧透视图；0031图17是图16中的管状环境控制部件的后视图；0032图18是图16和17的管状环境控制部件的前透视图，管状环境控制部件具有与其配合的阻挡构件；0033图19是根据本发明的实施方式的管状环境控制部件的前侧透视图；说明书CN102017119ACN102017131A4/6页100034图20是打开以展现出活动铰链的图19的管状环境控制部件的细节图；0035图21是根据本发明的实施方式的容器部；以及0036图22是根据本发明的阻挡构件800的替换实施方式的透视图。具体实施方式0037参照图1和2，描绘了前部开口的晶圆容器20，其通。
34、常包括门24和容器部26。容器部26具有通向开放内部32的前部开口30，在开放内部32中，多个晶圆W保持在晶圆架35上。门24具有钥匙进入孔36，和在门内部部分地示出的闩锁机构38，门被闩锁头41包围，闩锁头41与容器部门框40内的凹部39配合。晶圆容器利用一对前方净化开口48和后方净化开口54而具有净化能力，前方净化开口48具有固定到容器部的底部52上的护环接收结构51中的净化护环50。止回阀56可以插入到护环中，以控制净化气体流体流的方向。示出了构造为净化塔60的管状环境控制部件，其也可以利用护环62和止回阀64。参考晶圆W在图2中示出净化孔的示例位置。0038参照图3、4和13，利用适当。
35、的部件布置，示出了具体表现本发明的，具有不同构造部64的晶圆容器的进一步的细节。容器部64具有壳体65以及闭合的顶部66、闭合的底部661、闭合的左侧662、闭合的右侧663、开放的前部67和闭合的后部671。容器的内部具有多个架70，多个架70可以在容器的顶部和底部处固定到容器部。运动联接板74图4中未示出布置在容器部的底部，并且具有适当的开口，用于接收前侧护环和位于后方口54处的后侧护环77。开口将延伸通过壳体65。容器部具有两个后方孔80，该后方孔80从晶圆容器的内部32向外部延伸。0039如图3和13所描绘的构造为塔部件的管状环境控制部件78从内部到孔80中，而被插入到容器部64中。管。
36、状部件具有容纳部81、偏离部83和口部85。弹性护环77可以密封地放置在管状部件的下部94中，止回阀62可以放置在其中。圆筒状的过滤和/或吸气介质材料100可以包括在容纳部中，并且圆筒状的过滤和/或吸气介质材料100被构造成与管状部件的内部一致。所述管状部件具有多个轴向延伸的孔110，构造为在此公开的水平狭槽。在优选实施方式中，可以具有用于每个晶圆的狭缝，利用狭缝位置排出净化气体到各个晶圆的表面。介质材料，如果在容纳部中有的话，借助于所述轴向延伸的开口，从而暴露到晶圆容器的内部。应当特别注意，该容器部64是由在后部671处的向后的突部112所限定的后方隔室111。壁113被构造成，当容器向后倾。
37、斜90度，由此具有门24的前部向上，诸如用于运输时，提供两个脚114。每个隔室111具有一对侧壁部115、后壁部116和隔室开口117。0040参照图5和6，本实施方式中的管状部件119具有垂直的狭缝并且具有多个指状部122，该指状部122通过壳体和运动联接板74向下延伸到孔80中。该指状部弹性地径向向内弯曲，并且允许固定装配在容器部的底部的孔中。凸缘113可以有助于部件的适当放置。0041参照图711，描绘了另外的实施方式，具有一对管状环境控制部件，该一对管状环境控制部件构造为，安装到后方的有3面的隔室202中的，在近似相同位置的过滤筒200，该一对管状环境控制部件被构造为，没有图14中所示。
38、出的容器的相关的主动净化能力的，吸气剂GETTER。这种筒可以具有由聚合物或者其它适当的材料制成的外壳说明书CN102017119ACN102017131A5/6页11210，介质211布置在其中。在优选实施方式中，筒和介质将是管状形状。借助于延伸通过外壁的螺钉，能够利用图8的筒上的凸起部212将筒直接连接到容器部的壁上。作为替换，图9和图7图示的托架220可以连接到容器部的后部的壁上，从而将该筒夹持在其中。0042特别地，参照图10、11和12，示出了过滤筒300的另一实施方式，并且其又具有封闭在外壳308内的介质304。筒300被夹持在夹具320中，该夹具320具有带有突片TAB322的弹。
39、性的捕捉腿330，该突片322能够通过简单插入其中而嵌入容器的壁中，而不需要另外的连接机构。弹簧壁335将该筒固定在托架中。0043可以用在这里所图示的筒和塔中的具体吸气剂介质在国际公布号WO2007/149513A2中公开，该国际公布通过引用包含于此。用于再充装作为这里在图2、3和4中图示的晶圆容器内的净化系统的一部分的吸气剂的，类似的方法和系统，在所述公布中主要参照光罩盒详细描述。所述系统和方法及设备也可以应用到这里，以及与其直接相关的为公开而包含的引用文献。0044参照图1418，这里图示了根据本发明的管状环境控制部件400的细节。该部件具有一对细长部402、406，其可以组装到一起以形。
40、成具有容纳内部414的容纳部410。容纳部具有轴线418并且连接到偏离部422，该偏离部422连接至净化开口部428。弹性护环432可以装配在护环接收器440中。两个细长部被构造成细长夹持壳体部。后方部406具有边缘部444，该边缘部444具有构造成环的闩锁部448。前方部402也具有边缘部448，该边缘部448具有构造成与该环配合的突片的闩锁部452。闩锁部起作用以将细长部固定在一起，同时允许为清洁或者介质放置或更换而拆卸。前方部402具有孔部451，该孔部451具有提供容纳内部414和容器部的开放内部之间的连通的多个孔453。0045特别地，参照图1318，弹性的细长阻挡构件460被构造成。
41、条状，以通过将突片464装配到孔453中并密封孔453，而与孔部配合。图13和图18图示了构件460位于阻挡位置。因而，阻挡构件可以选择性地阻挡容纳部的内部或者使容纳部的内部暴露到容器部的内部。0046仍然参照图1318，构造成弹性盖500的弹性保持体弹性地扩张并且装配到管状部件400的上端部506上。盖500具有圆顶形状并且具有延伸部516，该延伸部516被构造成在顶部与容器部的内部表面520配合。该盖起将细长部固定在一起并且进一步与容器部弹性地配合的作用，由此使管状部件和塑料与塑料接触、塑料部件部和壳体的振动最小化。管状部件被插入，使盖处于压缩状态，并且盖的弹性材料和壳体的，典型地为聚碳酸。
42、酯，的硬质塑料之间的高磨擦将管状部件保持在适当位置。0047参照图19和20，示出了管状环境控制部件600的另一实施方式。该部件具有通过活动铰链610或类似物，铰接在一起的两个夹持壳体部604、606。两个壳体部可以利用闩锁部闩锁。孔630提供围封部或容纳部644的内部634与晶圆容器的开放内部之间的连通。容纳部也可以连接到偏离部650，然后连接到净化开口部654。0048参照图21，在晶圆容器692的实施方式中，管状环境控制部件700被放置在容器部718的后侧壁714的凹部710中。该凹部，从顶部720至底部722，可以具有被布置的并被分隔开的孔。偏离部726可以提供容纳部730与布置在内部。
43、的净化开口部未示出之间的连通。该布置在与一些其它实施方式一样的程度上，允许更换管状环境控制部件，而不打扰容器部的内部。说明书CN102017119ACN102017131A6/6页120049参照图22，图示了阻挡构件800的替换实施方式。例如聚碳酸酯的该刚性塑料片夹持在诸如图19的构造的管状环境控制部件的周围。紧持指状部810可以通过利用楔形齿812锁定到后方的转角670上，而将该构件固定到管状构件。在另一实施方式中，阻挡构件可以具有孔820，该孔820与管状部件上的孔630对应。该部件可以接着通过垂直滑动而与管状环境控制部件可滑动地配合，而可以打开、关闭或调节管状部件的内部与容器部的内部之。
44、间的连通。类似形状的刚性阻挡部件可以具有弓形指状部，该指状部部分包绕在具有圆筒状或椭圆形截面形状的管状部件的周围。0050本发明可以具体表现为其它具体形式，而不背离本发明的实质特质的精神；因此，经图示说明的实施方式，在所有方面，应当被认为是例证性的而非限制性的，参照所附的权利要求而非前述描述，以指示本发明的范围。说明书CN102017119ACN102017131A1/7页13图2图1说明书附图CN102017119ACN102017131A2/7页14图22说明书附图CN102017119ACN102017131A3/7页15图4图7图8图3说明书附图CN102017119ACN102017。
45、131A4/7页16图12图9图10图11说明书附图CN102017119ACN102017131A5/7页17图15图13图14说明书附图CN102017119ACN102017131A6/7页18图18图16图17说明书附图CN102017119ACN102017131A7/7页19图21图20图19说明书附图CN102017119ACN102017131A1/5页201一种前部开口的晶圆容器，用于300MM以及更大的晶圆，所述容器包括容器部，具有围绕限定了开放内部的闭合的左侧、闭合的右侧、闭合的底部、闭合的顶部和闭合的后侧而延伸的容器壁，所述容器部具有间隔开的多个水平晶圆架，所述多个水平。
46、晶圆架连接在所述容器部中并且在所述开放内部中限定了通常为圆筒状的晶圆接收区，用于保持一堆放置在所述架中的水平间隔开的晶圆，限定了开放的前部的门框，其中，在所述后侧的所述容器部壁具有向内延伸的凹部，所述凹部从所述容器部的所述顶部延伸到所述容器部的所述底部，在所述凹部的两旁侧，所述壳体的突出部限定了一对直立的脚，用于当所述晶圆容器向后转动而所述开口前部面朝上时，放置所述晶圆容器，所述脚限定了多个内部隔室，每个隔室，具有一对相对的侧壁部，后壁部，两个内部垂直转角，顶壁部和底壁部；门，装配在所述开放前部中并且可闩锁至所述门框；至少一个细长管状环境控制部件，固定在所述多个隔室中的一个内并且与所述一对侧壁。
47、部和所述后壁部间隔开，所述细长管状环境控制部件具有一长度，所述长度基本上以所述顶壁部和所述底壁部之间的距离延伸。2根据权利要求1所述的前部开口的晶圆容器，其中，所述细长管状环境控制部件包括两个细长部，每个细长部均由多个闩锁件连接以将所述细长部固定在一起，所述两个细长部限定了容纳区。3根据权利要求2所述的前部开口的晶圆容器，其中，所述两个细长部铰接在一起，限定了容纳部，并且所述容纳部包含过滤材料或蒸汽吸收材料中的至少一个。4根据权利要求1所述的前部开口的晶圆容器，其中，所述细长管状环境控制部件具有带有内部的容纳部，和提供了所述容纳部的所述内部与所述容器部的所述开放内部之间的连通的多个孔，其中，所。
48、述细长管状环境控制部件具有直立的轴线，并且所述细长管状环境控制部件在净化开口处连接至所述容器部的所述底部，所述净化开口偏离所述管状环境控制部件的所述轴线。5根据权利要求4所述的前部开口的晶圆容器，还包括细长阻挡构件，其可布置在所述管状环境控制部件上，以选择性地阻断所述容纳部的所述内部与所述容器部的所述开放内部之间的连通。6根据权利要求5所述的前部开口的晶圆容器，其中，所述细长阻挡构件由弹性材料形成，所述管状环境控制部件具有围绕所述多个孔延伸的连接结构，所述阻挡部件与所述连接结构弹性地配合，以密封地阻挡所述容纳部的所述内部与所述容器部的所述开放内部之间的连通。7根据权利要求5所述的前部开口的晶圆。
49、容器，其中，所述细长阻挡构件能够与所述容纳部可滑动地配合，并且能够在阻挡位置和孔开放位置之间可滑动地移动。8根据权利要求1所述的前部开口的晶圆容器，其中，所述细长管状环境控制部件包括限定了容纳部的两个细长部，其中，所述细长管状环境控制部件还包括弹性盖，所述弹性盖弹性地扩张，以粘附性地盖住所述容纳部的所述顶部。9根据权利要求1所述的前部开口的晶圆容器，还包括位于内部隔室内的额外的细长管状环境控制部件，其中，所述两个细长管状环境控制部件都连接至所述晶圆容器的所权利要求书按照条约第19条的修改CN102017119ACN102017131A2/5页21述底部上的净化入口，其中，所述晶圆容器具有布置在。
50、所述晶圆容器的所述底部上的靠近所述门框的另一净化入口，并且还包括在所述晶圆容器的所述底部上的靠近所述门框的净化出口。10根据权利要求1所述的前部开口的晶圆容器，其中，所述细长管状环境控制部件包括弹性盖，所述弹性盖弹性地扩张以粘附性地盖住所述容纳部的所述顶部，其中，所述盖具有壳体配合部，由此，所述管状环境控制部件具有两个相反的端部并且在两个端部处都固定到所述容器部。11根据权利要求1所述的前部开口的晶圆容器，其中，所述细长管状环境控制部件包括蒸汽吸收材料，所述晶圆容器还包括托架，所述托架具有弹簧臂以将所述托架固定到所述多个隔室中的一个的所述一对侧壁部中间，所述细长管状环境控制部件能够可移动地连接。