用于气体中悬浮微粒及酸性气体的净化装置.pdf

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1、10申请公布号CN102451592A43申请公布日20120516CN102451592ACN102451592A21申请号201010518082022申请日20101019B01D46/30200601B01D53/0420060171申请人杰智环境科技股份有限公司地址中国台湾桃园县72发明人简弘民张丰堂74专利代理机构北京市浩天知识产权代理事务所11276代理人刘云贵54发明名称用于气体中悬浮微粒及酸性气体的净化装置57摘要本发明一种用于气体中悬浮微粒的净化装置，该悬浮微粒净化装置包含一过滤床及一填充材，用于净化气体中的悬浮微粒，另可进一步包含一再生洒水统；而一种用于气体中悬浮微粒及酸。

2、性气体的净化装置则包含一前段过滤床及一后段吸附床，该前段过滤床用于净化气体中悬浮微粒，而该后段吸附床则用于净化气体中酸性气体，且该后段吸附床进一步执行一在线再生，用以再生吸附床中的吸附滤材。而本发明所提供的净化装置可有效降低气体中的悬浮微粒及酸性气体浓度，以解决工厂气体排放所造成的异味、臭味、黄烟及白烟问题。51INTCL权利要求书2页说明书8页附图4页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书2页说明书8页附图4页1/2页21一种用于气体中悬浮微粒的净化装置，其特征在于，其包含一过滤床，用于过滤气体中所含的悬浮微粒；以及一填充材，容置于该过滤床之中，且该填充材为一多孔性填充材。

3、。2如权利要求1所述的净化装置，其特征在于，该多孔性填充材可为活性碳、活性氧化铝、陶瓷或沸石。3如权利要求1所述的净化装置，其特征在于，该多孔性填充材的形式可为球形、发泡形、蜂巢形、圆柱形、马鞍形、纤维状或颗粒状。4如权利要求1所述的净化装置，其特征在于，其进一步包含一再生洒水统，设置于该过滤床之内，用以提供再生溶剂，以洗涤再生该过滤床中的填充材。5如权利要求4所述的净化装置，其特征在于，该再生溶剂为水。6一种用于气体中悬浮微粒及酸性气体的净化装置，其包含一前段过滤床，其用于净化气体中悬浮微粒，及一后段吸附床，其用于净化气体中酸性气体，其特征在于，该前段过滤床包含一过滤床，用于过滤气体中所含的。

4、悬浮微粒；一填充材，容置于该过滤床的中，且该填充材为一多孔性填充材；以及该后段吸附床包含一吸附床，用于吸附气体中所含的酸性气体；一吸附滤材，容置于该吸附床之中，且该吸附滤材为一经改质多孔性吸附材，其材质可为活性碳、活性氧化铝、奈米碳管、多孔性树酯或沸石，以吸附气体中所含的低浓度酸性污染分子。7如权利要求6所述的净化装置，其特征在于，该多孔性填充材可为活性碳、活性氧化铝、陶瓷或沸石。8如权利要求6所述的净化装置，其特征在于，该多孔性填充材的形式可为球形、发泡形、蜂巢形、圆柱形、马鞍形、纤维状或颗粒状。9如权利要求6所述的净化装置，其特征在于，该前段过滤床进一步包含一再生洒水统，设置于该过滤床的内。

5、，用以提供再生溶剂，以洗涤再生该过滤床中的填充材。10如权利要求9所述的净化装置，其特征在于，该再生溶剂为水。11如权利要求6所述的净化装置，其特征在于，该后段吸附床可进一步执行一在线再生，其进一步包含一加药桶，其用以调配贮放所欲使用的还原溶液及改质再生溶液；及该吸附床进一步包含一对气体出入口，用于提供风干及再风干处理的空气流通；一进料口，其用于提供该还原溶液及改质溶液进入该吸附床进行还原步骤及改质步骤；以及一出料口，其用于排出该还原溶液及该改质溶液。12如权利要求11所述的净化装置，当以洗涤方式进行还原步骤或/及改质步骤时，其特征在于，该吸附床进一步包含一洒水头。13一种吸附滤材的在线再生方。

6、法，其用于气体中悬浮微粒及酸性气体的净化装置，其特征在于，包含如下步骤权利要求书CN102451592A2/2页31还原步骤以还原溶液还原使用后的吸附滤材；2风干步骤将还原后的吸附滤材进行风干处理；3改质步骤以再生改质液改质风干后的吸附滤材；4再风干步骤将改质后的吸附滤材进行再风干处理。14如权利要求13的再生方法，其特征在于，当该步骤1中的气体为无机酸、NOX、SOX或醋酸时，该还原溶液可为水或稀释碱溶液如01MKOH、KMNO4或CUSO4，且该还原步骤可以洗涤或浸泡方式为之，并该还原时间依气体浓度而有差别，一般至少为30分钟。15如权利要求13的再生方法，其特征在于，步骤2中的风干处理，。

7、指导入空气或以自然通风进行风干程序，且该空气的相对湿度小于80RH。16如权利要求13的再生方法，其特征在于，当该步骤3中的气体为无机酸、NOX、SOX或醋酸时，该再生改质液，即以该吸附滤材最后所欲达成的目标浓度为准如3MKOH、KMNO4或CUSO4，且该改质步骤可以洗涤或浸泡方式为的。17如权利要求13的再生方法，其特征在于，步骤4中的再风干处理，指导入空气或以自然通风进行风干程序，且该空气的相对湿度小于80RH。权利要求书CN102451592A1/8页4用于气体中悬浮微粒及酸性气体的净化装置技术领域0001本发明揭示用于气体中悬浮微粒及酸性气体的净化装置，特别是指用于净化工厂气体中的悬。

8、浮微粒及酸性气体，且该酸性气体指氟化氢、氯化氢、磷化氢、氮氧化物NOX、硫氧化物SOX、硝酸、硫酸及醋酸等酸性气体。背景技术0002近来，国际间对于环保议题及工业安全卫生及高科技厂空气污染物净化问题日益重视，考虑工业气体对环境及劳工以至于一般大众身体产生的危害，对于工业气体排放标准日趋严格，国内外法规都制定出浓度及臭味的排放标准，环保署有鉴于近年空气污染的恶臭类陈情案件居高不下，已研拟依空气污染防制法的规定，研修“固定污染源空气污染物排放标准”的“臭气或厌恶性异味排放标准”；另一方面，近来高科技厂的高阶制程对于含硫化合物及醋酸等难处理的分子污染物，在外气引入洁净室前的净化程度要求愈为严苛，例如。

9、于“半导体制造业空气污染管制及排放标准”的第四条即规定半导体制造业产生的空气污染物应由密闭排气统导入污染防制设备始得排放。0003而在半导体晶圆制造厂及TFTLCD面板光电制造业面板制程中气体主要可分成毒性气体、酸气、碱气及VOCS气体，其中在湿蚀刻制程会使用到无机酸硝酸、硫酸、氢氟酸、盐酸及有机酸如醋酸等酸液或者干蚀刻制程或洗净程序会使用到大量的氟化合物如PFCNF3、SF6、CF4、C2F6经净化设备分解处理后衍生无机酸硝酸、氢氟酸，其中有机酸及无机酸的比例配置不尽相同，主要的蚀刻作用由无机酸进行，加入有机酸如醋酸主要是使无机酸更稳定，提高蚀刻的良率，然而却造成大量的毒性气体、臭气或厌恶性。

10、异味排放。0004此外，悬浮微粒SUSPENDEDPARTICULATE泛指在气流中悬浮的固态或液态粒子，在提及一般空气质量时多以此为评估项目，在测量时则以高量采样器作水平向过滤采气测定。而悬浮微粒因不同粒径的颗粒进入人体呼吸统的能力差异极大，且一般医学界认为10微米以下的颗粒方可进入人体呼吸道，其中又以25微米以下的颗粒对呼吸统的危害最为强烈。0005目前一般环保单位对于空气悬浮微粒的污染程度多改用“粒径小于等于10微米的悬浮微粒PARTICULATEMATTER10M，简称PM10“，在公卫界则多采用“粒径小于等于25微米的悬浮微粒PARTICULATEMATTER25M，简称PM25”以。

11、评估污染对健康的影响。此25微米以下的微粒因此又被称为“可呼吸性悬浮粒子RESPIRABLESUSPENDEDPARTICLE”。0006然而，以传统冷凝法及吸收法等并无法完全去除上述的悬浮微粒及酸性气体硝酸、硫酸、氢氟酸、盐酸、氨；尤其是氢氟酸等难处理的分子污染物，而且该等悬浮粒子若为人体吸入将引发身体健康的安危；同时该等酸性气体于低浓度下即会产生恶臭，极易影响厂房周围生活环境而引发民众抗议，同时也影响到厂房周围其它高科技厂高阶制程的产品良率。说明书CN102451592A2/8页50007再者，空气中酸性气体等难处理的分子污染物气体的净化技术可运用物理方法及化学方法。物理方法将空气通过采用。

12、吸收、分离等物理步骤的净化设备以除去空气中无机酸碱硝酸、硫酸、氢氟酸、盐酸、氨；尤其是氢氟酸，常用的物理方法有机械分离法、过滤法、吸附法、洗涤法和静电法。常用的化学方法有热氧化法和催化燃烧法等。国内目前最常采用的净化设备以抽风与简易滤网或一般吸附或水洗洗涤处理，此传统设备及方法无法有效净化低浓度无机酸碱硝酸、硫酸、氢氟酸、盐酸、氨；尤其是氢氟酸等难处理的分子污染物的气体，是造成空气污染臭味陈情的主因；同时，也是造成被污染的外气导引进入如半导体晶圆制造厂及TFTLCD面板光电制造厂等高阶制程洁净室，影响产品良率的分子污染物主要来源的一。0008此外，尚有运用触媒滤材来净化处理空气中含硫化合物、硝。

13、酸及醋酸等物质气体的方法，该触媒滤材净化气体的优点为含硫化合物、硝酸及醋酸等物质气体的脱除效率高、反应温度低、能源消耗低、避免生成二次污染物等，是一种环境友好的催化净化技术。然而，在该触媒滤材净化法中，该触媒的使用量大，于进行去除气体的净化反应后，该触媒滤材含活性碳AC即需更换，方可使该触媒滤材净化法得以持续进行，惟该触媒滤材的每次更换，都得耗费大量成本，如何改善使得该触媒滤材再生重复使用，为一重要课题。发明内容0009本发明的一目的，在于提供一种用于气体中悬浮粒子的净化装置，减少该等悬浮粒子自工厂排放进入大气的中，以减少对大气的污染。0010为达上述目的，本发明提供一种用于净化气体中悬浮微粒。

14、的装置，其包含0011一过滤床，用于过滤气体中所含的悬浮微粒；以及0012一填充材，容置于该过滤床之中，且该填充材为一多孔性填充材。0013本发明的另一目的，在于所提供用于气体中悬浮微粒及酸性气体的净化装置，可于其内吸附滤材长期使用后，进行在线再生改质运作，以节省运作成本。0014为达上述的目的，本发明一种用于气体中悬浮微粒及酸性气体的净化装置，其包含一前段过滤床，其用于净化气体中悬浮微粒，及一后段吸附床，其用于净化气体中酸性气体，其中0015该前段过滤床包含0016一过滤床，用于过滤气体中所含的悬浮微粒；0017一填充材，容置于该过滤床的中，且该填充材为一多孔性填充材；以及0018该后段吸附。

15、床包含0019一吸附床，用于吸附气体中所含的酸性气体；0020一吸附滤材，容置于该吸附床之中，且该吸附滤材为一经改质多孔性吸附材，其材质可为活性碳、活性氧化铝、奈米碳管、多孔性树酯或沸石，以吸附气体中所含的低浓度酸性污染分子。0021上述的净化装置，其中该多孔性填充材可为活性碳、活性氧化铝、陶瓷或沸石；其中该多孔性填充材的形式可为球形、发泡形、蜂巢形、圆柱形、马鞍形、纤维状或颗粒状。0022上述的净化装置，其中该过滤床进一步包含一再生洒水统，设置于该过滤床之内，用以提供再生溶剂，以洗涤再生该过滤床中的填充材；且该再生溶剂为水。说明书CN102451592A3/8页60023上述的净化装置，其中。

16、该后段吸附床可进一步执行一在线再生，其进一步包含0024一加药桶，其用以调配贮放所欲使用的还原溶液及改质再生溶液；及0025该吸附床进一步包含0026一对气体出入口，用于提供风干及再风干处理的空气流通；0027一进料口，其用于提供该还原溶液及改质溶液进入该吸附床进行还原步骤及改质步骤；以及0028一出料口，其用于排出该还原溶液及该改质溶液。0029上述的净化装置，当以洗涤方式进行还原步骤或/及改质步骤时，该吸附床进一步包含一洒水头。0030本发明进一步提供一种吸附滤材的在线再生方法，用于气体中悬浮微粒及酸性气体的净化装置，包含如下步骤00311还原步骤以还原溶液还原使用后的吸附滤材；00322。

17、风干步骤将还原后的吸附滤材进行风干处理；00333改质步骤以再生改质液改质风干后的吸附滤材；00344再风干步骤将改质后的吸附滤材进行再风干处理。0035如上所述的再生方法，当该步骤1中的气体成份为无机酸、NOX、SOX或醋酸时，该还原溶液可为水或稀释碱溶液如01MKOH、KMNO4或CUSO4，且该还原步骤可以洗涤或浸泡方式为的，并该还原时间依气体浓度而有差别，一般至少为30分钟。0036如上所述的再生方法，其中步骤2中的风干处理，指导入空气或以自然通风进行风干程序，且该空气的相对湿度小于80RH。0037如上所述的再生方法，当该步骤3中的气体成份为无机酸、NOX、SOX或醋酸时，该再生改质。

18、液，即以该吸附滤材最后所欲达成的目标浓度为准如3MKOH、KMNO4或CUSO4，且该改质步骤可以洗涤或浸泡方式为的。0038如上所述的再生方法，其中步骤4中的再风干处理，导入空气或以自然通风进行风干程序，且该空气的相对湿度小于80RH。0039因此本发明中用于气体中悬浮微粒及酸性气体的净化装置，可以净化气体中的悬浮微粒，亦可同时净化气体中的悬浮微粒及酸性气体，同时提供该吸附滤材的在线再生，以重复使用该吸附滤材，以降低除去悬浮微粒及酸性气体污染所需的成本。0040下列实验设计为说明，不应限制本发明的范畴，合理的变化，诸如对于本领域技术人员显而易见为合理者，可于不脱离本发明的范畴下进行。附图说明。

19、0041图1为本发明中用于气体中悬浮微粒的净化装置具体实施例的一示意图。0042图2为本发明中用于气体中悬浮微粒的净化装置具体实施例的另一示意图。0043图3为本发明中用于气体中悬浮微粒及酸性气体的净化装置具体实施例的一示意图。0044图4为本发明中用于气体中悬浮微粒及酸性气体的净化装置后段吸附床的在线再生装置具体实施例的一示意图。0045【主要组件符号说明】说明书CN102451592A4/8页700462贮液桶00473气体入口00484气体出口00495喷头00506洒水头00517阀门00528阀门00539填充材005410过滤床005511出水阀门005612过滤床005713气体。

20、入口005814气体出口005915喷头006016洒水头006117阀门006218阀门006319吸附滤材006420吸附床006521出水阀门006623供水阀门0067100用于气体中悬浮微粒的净化装置0068110前段过滤床0069120后段吸附床0070200用于气体中悬浮微粒及酸性气体的净化装置具体实施方式0071为使充分了解本发明的目的、特征及功效，兹借由下述具体的实施例，并配合所附的图式，对本发明做一详细说明，说明如后0072请参见图1，其为本发明用于气体中悬浮微粒的净化装置的一示意图，其中该用于气体中悬浮微粒的净化装置100包含一过滤床10，用于过滤气体中所含的悬浮微粒；一。

21、填充材9，容置于该过滤床10的中，且该填充材9为一多孔性填充材。0073本发明中用于气体中悬浮微粒的净化装置100的运作如下，首先，一待处理气体经由一阀门7控制而流经一气体入口3进入该过滤床10的中，并流经该填充材9时，该待处理气体中的悬浮微粒为该填充材9中所吸附，再经由该过滤床10的一气体出口4由一阀门8所排出。0074上述的多孔性填充材可为活性碳、活性氧化铝、陶瓷或沸石，且该该多孔性填充材的形式可为球形、发泡形、蜂巢形、圆柱形、马鞍形、纤维状或颗粒状。0075实施例1说明书CN102451592A5/8页80076其中该多孔性填充材采用1012MM的亲水性活性氧化铝球，其比表面积为255M。

22、2/G，填充高度为20公分，填充层空塔面风速为05M/S。0077实施例20078其中该多孔性填充材采用1012MM的亲水性活性氧化铝球，其比表面积为255M2/G，填充高度为15公分，再加上高度15公分的活性碳比表面积为1113M2/G，填充层面风速为10M/S。0079实施例30080其中该多孔性填充材采用高度30公分的活性碳比表面积为1113M2/G，填充层面风速为005M/S。0081以上述实施例1、2及3进行实场测试，检测的状况为将工厂气体流经本发明的用于净化气体中悬浮微粒的装置100，监测其净化前后的悬浮微粒质量浓度，其结果如下列三表表1、表2、及表3所示0082表10083008。

23、4表200850086表30087说明书CN102451592A6/8页90088由上述三表中的实施例1、2、3结果可知，本发明的用于净化气体中悬浮微粒的装置可有效净化气体中的悬浮粒子达44以上，不论是PM10、PM25、PM10悬浮微粒都有相当良好的净化效果，可为悬浮微粒的初步净化装置。0089请参见图2，其为本发明用于气体中悬浮微粒的净化装置的另一示意图，其中该用于气体中悬浮微粒的净化装置100包含一过滤床10，用于过滤气体中所含的悬浮微粒；一填充材9，容置于该过滤床10的中；一再生洒水统，包含一贮液桶2、喷头5及洒水头6。0090本发明中用于气体中悬浮微粒的净化装置100利用该再生洒水统。

24、，可于该过滤床的填充材于过滤悬浮粒子达饱和之时，利用该贮液桶2提供再生溶剂水，经由喷头5及洒水头6提供再生溶剂水，并经由一出水阀门11来排出再生溶剂，来洗涤过滤床10中的填充材9，以使该过滤床10恢复其过滤效能。0091再参见图3，其为本发明用于气体中悬浮微粒及酸性气体的净化装置的一示意图，其中该用于气体中悬浮微粒及酸性气体的净化装置200包含一前段过滤床110，用于净化气体中所含的悬浮微粒；及一后段吸附床120，其用于净化气体中酸性气体；其中该前段过滤床110包含一填充材9，容置于该过滤床10之中，且该填充材9为一多孔性填充材；而该后段吸附床120则包含一吸附床20，用于吸附气体中所含的酸性。

25、气体；一吸附滤材19，容置于该吸附床之中，且该吸附滤材19为一经改质多孔性吸附材，其材质可为活性碳、活性氧化铝、奈米碳管、多孔性树酯或沸石，以吸附空气中所含的低浓度酸性污染分子。0092本发明中用于气体中悬浮微粒及酸性气体的净化装置200的运作如下，首先，经由该前段过滤床110进行气体中悬浮微粒的净化，一待处理气体经由一阀门7控制而流经一气体入口3进入该过滤床10之中，并流经该填充材9时，该待处理气体中的悬浮微粒为该填充材9所吸附，再经由该过滤床10之一气体出口4由一阀门8所排出；当该待处理气体自该前段过滤床110的阀门8流出后，则进入该后段吸附床120进行气体中酸性气体的净化，经初步净化悬浮。

26、微粒的气体经一阀门17进入该后段吸附床120之一气体入口13而进入一吸附床20之中，以吸附气体中所含的酸性气体，且流经其内之一吸附滤材19，借由该吸附滤材19而吸附空气中所含的无机酸、NOX、SOX或醋酸等污染分子，再经由一气体出口14而自一阀门18将经净化后的气体排出该后段吸附床120。0093上述该前段过滤床110中填充材9的多孔性填充材可为活性碳、活性氧化铝、陶瓷或沸石，且该多孔性填充材的形式可为球形、发泡形、蜂巢形、圆柱形、马鞍形、纤维状或颗粒状；而该后段吸附床120吸附滤材19为一经改质多孔性吸附材，其材质可为活性碳、活性氧化铝、奈米碳管、多孔性树酯或沸石，以吸附空气中所含的低浓度酸。

27、性污染分子。0094实施例40095其中该前段过滤床110填充材9中的多孔性填充材采用1012MM的亲水性活性氧化铝球，填充高度为15公分，而该后段吸附床120吸附滤材19则为经3MKOH改质23MM的圆柱活性碳，填充高度为15公分，填充层空塔面风速为10M/S。0096以上述实施例4进行实场测试，检测的状况为将工厂气体流经本发明的用于气体中悬浮微粒及酸性气体的净化装置200，监测其净化前后的酸性气体浓度，其结果如下表4所示0097表40098说明书CN102451592A7/8页100099实施例50100其中该前段过滤床110填充材9中的多孔性填充材采用1012MM的亲水性活性氧化铝球，填。

28、充高度为60公分，而该后段吸附床120吸附滤材19则为经3MKOH改质23MM的圆柱活性碳，填充高度为60公分，填充层空塔面风速为03M/S。0101以上述实施例5进行测试，其分析结果如下表5所示0102表501030104由实施例5的结果可知，本发明的用于净化气体中悬浮微粒及酸性气体的装置可有效净化气体中的悬浮微粒达90以上，不论是PM10、PM25或PM10都有相当良好的净化效果；且针对酸性气体中的HF、HCL、HNO3及H2SO4亦可有效净化，其移除率皆可达9成以上，可有效移除气体中的酸性气体，排放口并未出现白烟或是臭味现象。0105实施例60106其中该前段过滤床110填充材9中的多孔。

29、性填充材采用级配方式，分别使用10，20，20及10公分的1012MM，35MM，23MM及35MM的亲水性活性氧化铝球，填充高度为60公分，而该后段吸附床120吸附滤材19则为经3MKOH改质23MM的圆柱活性碳，填充高度为60公分，填充层空塔面风速为03M/S。将含有NO2的工厂气体导入过滤床及吸附说明书CN102451592A108/8页11床，经检测发现进口气体含有3PPM的NO2，设备出口的气体含NO2浓度小于05PPM，其去除效率高于80，排放口并未出现黄烟现象。0107图4为本发明中用于气体中悬浮微粒及酸性气体的净化装置200的后段吸附床120在线再生装置具体实施例的一示意图。0。

30、108该后段吸附床120包含一吸附床20，其容置一吸附滤材19、一加药桶12，用以贮放所欲使用的还原或是改质再生溶液；并该吸附床20进一步包含一气体入口13及一气体出口14，用于提供风干及再风干处理的空气流通、一喷头15及一洒水头16，其用于提供该还原溶液或是改质溶液进入该吸附床20、一出水阀门21，其用于排出该还原溶液及该改质溶液。0109该吸附滤材的在线再生改质经如下的操作0110还原步骤吸附床20的吸附滤材19由一供水阀门23供给水或稀释碱溶液如01MKOH、KMNO4或CUSO4进入该吸附床20之中，以浸泡该吸附滤材19，还原时间依气体浓度而有差别，一般至少为30分钟，以还原该吸附滤材。

31、成为吸附前的状态。0111风干步骤将还原反应后的浸泡水经该出水阀门19排出，开启该阀门17及阀门18，使该气体入口13及气体入口14开启，以通入空气进行吸附滤材的风干步骤，一般而言，该空气的相对湿度小于80RH。0112改质步骤于风干步骤完成后，由加药桶12提供一改质再生溶液如3MKOH、KMNO4或CUSO4、20公升经该洒水头16以浸泡该风干后的吸附滤材19，其改质反应作用时间至少为30至60分钟，以改质该吸附滤材，使该滤材呈可吸附酸性气体状态。0113再风干步骤将改质反应后的浸泡溶液经该出水阀门21排出，开启该阀门17及该阀门18，使该气体入口13及气体入口14开启，以通入空气进行吸附滤。

32、材的再风干步骤，一般而言，该空气的相对湿度小于80RH。0114于该再风干步骤完成后，即完成该吸附滤材的改质。若是处理低浓度气体时，可以直接进行改质步骤与再风干步骤即可。0115实施例70116其中该前段过滤床110填充材9中的多孔性填充材采用1012MM的亲水性活性氧化铝球，填充高度为15公分，而该该前段过滤床110填充材9则为经3MKOH改质23MM的圆柱活性碳，填充高度为15公分，填充层空塔面风速为10M/S，于一个月的操作的后分别使用水及KOH溶液再生。0117以上述实施例7进行实场测试，检测的状况为将工厂气体流经本发明的用于气体中悬浮微粒及酸性气体的净化装置200，监测其经一个月操作。

33、再生前后的压损变化情形，其结果显示再生后的用于气体中悬浮微粒及酸性气体的净化装置200可有效降低压损情形，表示再生结果良好。0118经由上述本发明中吸附滤材的在线再生装置，可以独立作业或一在线操作即在操作移除气体的装置内操作，用以再生吸附滤材，以重复使用该吸附滤材，以降低除去气体中酸性气体污染所需的成本，而延长吸附滤材寿命，为一种相当符合环保及能源需求的优良技术。说明书CN102451592A111/4页12图1说明书附图CN102451592A122/4页13图2说明书附图CN102451592A133/4页14图3说明书附图CN102451592A144/4页15图4说明书附图CN102451592A15。