硅棒加工用轮刷.pdf

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摘要
申请专利号:

CN201010551562.7

申请日:

2010.11.11

公开号:

CN101972997A

公开日:

2011.02.16

当前法律状态:

授权

有效性:

有权

法律详情:

专利权的转移IPC(主分类):B24D 13/10变更事项:专利权人变更前权利人:林云彩变更后权利人:宁波兴宝华刷业有限公司变更事项:地址变更前权利人:315600 浙江省宁波市宁海县科技园区科园北路228号变更后权利人:315600 浙江省宁波市宁海县科技园区科园北路228号登记生效日:20140620|||授权|||实质审查的生效IPC(主分类):B24D 13/10申请日:20101111|||公开

IPC分类号:

B24D13/10

主分类号:

B24D13/10

申请人:

林云彩

发明人:

林德元

地址:

315600 浙江省宁波市宁海县科技园区科园北路228号

优先权:

专利代理机构:

宁波天一专利代理有限公司 33207

代理人:

张莉华

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内容摘要

一种硅棒加工用轮刷,包括固定在带有进水孔底盘上的刷毛,刷毛通过胶水和胶体层固化成整体,所述刷毛被分割成有间隙槽的刷毛块,刷毛块外周边有和刷毛块固化成整体的箍带,胶体层与底盘固定成整体,底盘上进水孔和刷毛块一一对应。冷却水通过间隙槽流入刷毛,渗透、降温效果好,刷毛不易结块,同时冷却水沿着间隙槽集中定向流动到刷毛块工作面上,能及时冲刷抛光产生的污物或颗粒及刷毛块上的污垢,箍带保证刷毛高速转动时刷毛不倒伏、不松散始终成束状,抛光去毛刺效果好,不会发生硅棒塌角现象,提高加工硅片的成品率、质量和档次;刷毛块为双重固定连接牢靠,刷毛不易脱落,底盘下有导向槽,冷却水沿轮刷转动切线方向进入导向槽集中利用。

权利要求书

1: 一种硅棒加工用轮刷, 包括固定在带有进水孔 (6) 的底盘 (4) 上的刷毛, 其特征在 于所述刷毛通过胶水和胶体层 (1) 固化成整体, 所述刷毛被分割成有间隙槽 (7) 的刷毛块 (3), 所述刷毛块 (3) 外周边还有和刷毛块 (3) 固化成整体的箍带 (2), 所述胶体层 (1) 与所 述底盘 (4) 固定成整体, 所述底盘 (4) 上的进水孔 (6) 和刷毛块 (3) 一一对应。
2: 根据权利要求 1 所述的硅棒加工用轮刷, 其特征在于所述底盘 (4) 的下端面上有环 凹槽为导向槽 (5), 导向槽 (5) 底面上有均布的进水孔 (6), 导向槽 (5) 的两侧壁为分别向 内、 向外倾斜一角度并平行的弧面。
3: 根据权利要求 1 所述的硅棒加工用轮刷, 其特征在于所述胶体层 (1) 中间有螺母嵌 件 (8), 底盘 (4) 用螺钉、 螺母嵌件 (8) 和带有刷毛块 (3) 的胶体层 (1) 固定成整体。

说明书


硅棒加工用轮刷

    技术领域 本发明涉及一种刷子, 特别是一种用于加工硅棒使其表面光洁度高, 减少下道工 序切片制作硅片的报废率使用的硅棒加工用轮刷。
     背景技术 随着经济的蓬勃发展, 人们生活水平的提高, 人们对赖以生存的空间和环境的要 求也越来越高, 需要低碳生活环境, 使用无污染的能源, 为此有关太阳能能源的开发利用的 专利也应运而生。
     单 ( 多 ) 硅晶片是太阳能行业上使用的重要、 关键原料, 硅晶片的生产原材料主要 为单晶硅棒或多晶硅锭经开方——磨面——滚圆 ( 倒角 )——端面——多线切片, 上述加 工工序中还需对硅棒的表面作抛光去毛刺处理, 磨面和滚圆所用工具就是磨头 ( 毛刷 ), 仅 对硅块表面进行研磨精加工, 并且要求硅棒表面的加工越光滑越好, 否则会发生用硅棒作 切片加工时硅片因周边蹦边、 碎裂报废的现象, 而且报废率还很高, 造成很大的经济损失。
     若硅棒的截面为矩形不需剖方, 但同样需进行表面处理, 使其表面光洁度达到切 片的要求。
     但现市场上销售、 使用的用于处理硅棒表面光洁度的轮刷, 仅由用胶水固化固定 在金属盘周边上的环形刷毛构成, 不仅连接不牢靠刷毛还易脱落, 在高速运转时若冷却水 压力不稳定还会造成刷毛结块的现象, 而轮刷质量的好坏将直接影响加工产品硅片的加工 质量和成品率。
     专利号 200710040834.5“用于清洗硅片的刷片头” 能有效提高硅片表面颗粒的去 除率, 减少停留于刷子毛间的颗粒对硅片表面产生的划伤和二次沾污, 但此专利也未公开 所使用刷片头的结构。
     专利申请号 200910095528.0 “一种太阳能级单晶硅棒的抛光处理方法” , 仅提到用 抛光设备对太阳能级单晶硅棒表面进行机械打磨抛光, 但也未公开所用具体的抛光设备。
     发明内容 本发明所要解决的技术问题是 : 提供一种硅棒加工用轮刷, 其结构简单易制作, 而 且刷毛不会结块、 不易脱落, 能提高产品的加工质量和加工档次, 延长使用寿命, 降低使用 成本。
     本发明解决上述问题所采用的技术方案 : 硅棒加工用轮刷, 包括固定在带有进水 孔的底盘上的刷毛, 所述刷毛通过胶水和胶体层固化成整体, 所述刷毛被分割成有间隙槽 的刷毛块, 所述刷毛块外周边还有和刷毛块固化成整体的箍带, 所述胶体层与所述底盘固 定成整体, 所述底盘上的进水孔和刷毛块一一对应。
     与现有技术相比, 本发明的优点在于 : 1、 因将刷毛分割成均布的刷毛块, 各刷毛 块间留有间隙槽, 冷却水可流入到刷毛中间, 因此渗透效果好、 降温快、 刷毛又不易结块, 同 时冷却水只能沿着间隙槽为导向集中定向流动, 直到刷毛块的工作端面上, 除降温效果好
     外, 还因每个进水孔都对应一个刷毛块, 水程短、 水压大、 分布均匀, 能及时冲刷掉抛光所产 生的污物或颗粒, 刷毛块上的污垢, 避免二次污染和划伤硅棒的表面, 提高硅块的表面光洁 度, 具有镜面抛光功能, 表面粗糙度可达 Ra0.1μm ~ Ra0.04μm ;
     2、 在刷毛块的外表面上打箍, 保证刷毛在高速转动时刷毛不倒伏、 不松散开始终 成束状, 因此抛光去毛刺效果好, 可修正硅块在开方加工时表面上产生的显微裂纹, 大大的 减少了在后工序切片中产生蹦边, 同时可对原硅锭的四边平面垂直度起到修正作用, 确保 硅锭四面及棱边的损伤层有效去除, 也不会将硅棒的边棱抛洗掉, 若将硅棒的边棱抛掉即 造成硅棒的塌角, 而由有塌角的硅棒切片加工硅片只能是 B 级产品, 仅能使用在民用产品 或要求不高的地方, 否则为 A 级产品用在军工和要求高、 重要的地方使用, 因此可提高加工 硅片的成品率和档次 ;
     3、 刷毛块是直接固定在由胶水构成的胶体层内, 不会松散、 不受外界影响, 并胶体 层用预埋螺母和螺钉固定在金属底盘上, 因此刷毛块为双重固定, 连接牢靠, 刷毛不易脱 落, 延长了使用寿命, 降低了生产成本 ;
     4、 金属底盘的下表面上还加工有环凹槽导向槽, 环凹槽的两侧壁分别为向外、 向 内倾斜并平行的弧面, 便于冷却水沿轮刷转动的切线方向上的导向槽进入轮刷内部, 充分 集中利用了冷却水的压力冲洗刷毛块和工作面, 并减少冷却水的用量节约使用成本。 附图说明
     图 1、 本发明的结构示意图。 图 2、 图 1 的俯视图。 图 3、 本发明的结构剖示图。具体实施方式
     下面结合附图对本发明的实施例作进一步描述 :
     底盘 4 为中间有通孔的金属圆盘, 周边有安装用的均布的沉头通孔, 上端面边缘 有内止口, 下端面上有一环凹槽为导向槽 5, 环凹槽的底面上有均布的进水孔 6, 导向槽的 两侧壁为分别向内、 向外倾斜一角度并平行的斜弧面。
     用液体胶水作原料用模具加工胶体层 1, 将刷毛放入上层模具各均布的格子中, 根 据需要设计格子的数量, 下层模具放入胶水, 模具下方的空腔内放入螺母嵌件 8, 再将上层 模具反转扣合在下层模具上, 然后将整个上、 下层模具加热, 使胶水、 刷毛、 固化成整体, 再 拿掉上、 下层模具, 这时胶水已制作成了胶体层 1, 刷毛在格子中粘结固定成整体的刷毛块 3 并延伸到胶体层 1 外, 刷毛块 3 间有间隔槽 7, 并使每个进水孔 6 都对准相对应的刷毛块 3, 再将制成的带刷毛块 3 的胶体层 1 利用其上的螺母嵌件 8 用螺钉和底盘 4 连接成整体。
     最后在刷毛块 3 的外周边用绑带打箍构成箍带 2, 箍的宽度为使刷毛块 3 端面露出 3-8mm, 并加胶水将箍带 2 与刷毛块 3 固化成整体, 轮刷制作成。
     上述所用胶水都为环氧树脂胶水。
     使用时, 将此轮刷通过底盘 4 中间的螺孔安装在抛光机的连接轴上就可使用, 冷 却水从底盘 4 沿轮刷转动的切线方向进入导向槽 5, 然后通过进水孔 6 流入轮刷的内侧, 并 经相邻的间隙槽 7 流入刷毛块 3 的加工端面, 进行冷却和及时冲刷掉抛光时留下的污物或颗粒, 因刷毛块外周边已打箍有箍带 2, 使刷毛成整体的束状, 不会松散, 因此对所加工硅棒 的边棱不会造成损伤, 不会发生塌角现象, 延长了使用寿命, 并轮刷抛光去毛刺效果好, 大 大提高了加工效率, 避免切片加工时硅片边缘蹦边现象的发生, 从而大大提高了硅片的成 品率, 并使其质量上一个档次。

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1、10申请公布号CN101972997A43申请公布日20110216CN101972997ACN101972997A21申请号201010551562722申请日20101111B24D13/1020060171申请人林云彩地址315600浙江省宁波市宁海县科技园区科园北路228号72发明人林德元74专利代理机构宁波天一专利代理有限公司33207代理人张莉华54发明名称硅棒加工用轮刷57摘要一种硅棒加工用轮刷,包括固定在带有进水孔底盘上的刷毛,刷毛通过胶水和胶体层固化成整体,所述刷毛被分割成有间隙槽的刷毛块,刷毛块外周边有和刷毛块固化成整体的箍带,胶体层与底盘固定成整体,底盘上进水孔和刷毛块一。

2、一对应。冷却水通过间隙槽流入刷毛,渗透、降温效果好,刷毛不易结块,同时冷却水沿着间隙槽集中定向流动到刷毛块工作面上,能及时冲刷抛光产生的污物或颗粒及刷毛块上的污垢,箍带保证刷毛高速转动时刷毛不倒伏、不松散始终成束状,抛光去毛刺效果好,不会发生硅棒塌角现象,提高加工硅片的成品率、质量和档次;刷毛块为双重固定连接牢靠,刷毛不易脱落,底盘下有导向槽,冷却水沿轮刷转动切线方向进入导向槽集中利用。51INTCL19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书3页附图2页CN101972999A1/1页21一种硅棒加工用轮刷,包括固定在带有进水孔6的底盘4上的刷毛,其特征在于所述刷毛通。

3、过胶水和胶体层1固化成整体,所述刷毛被分割成有间隙槽7的刷毛块3,所述刷毛块3外周边还有和刷毛块3固化成整体的箍带2,所述胶体层1与所述底盘4固定成整体,所述底盘4上的进水孔6和刷毛块3一一对应。2根据权利要求1所述的硅棒加工用轮刷,其特征在于所述底盘4的下端面上有环凹槽为导向槽5,导向槽5底面上有均布的进水孔6,导向槽5的两侧壁为分别向内、向外倾斜一角度并平行的弧面。3根据权利要求1所述的硅棒加工用轮刷,其特征在于所述胶体层1中间有螺母嵌件8,底盘4用螺钉、螺母嵌件8和带有刷毛块3的胶体层1固定成整体。权利要求书CN101972997ACN101972999A1/3页3硅棒加工用轮刷技术领域。

4、0001本发明涉及一种刷子,特别是一种用于加工硅棒使其表面光洁度高,减少下道工序切片制作硅片的报废率使用的硅棒加工用轮刷。背景技术0002随着经济的蓬勃发展,人们生活水平的提高,人们对赖以生存的空间和环境的要求也越来越高,需要低碳生活环境,使用无污染的能源,为此有关太阳能能源的开发利用的专利也应运而生。0003单多硅晶片是太阳能行业上使用的重要、关键原料,硅晶片的生产原材料主要为单晶硅棒或多晶硅锭经开方磨面滚圆倒角端面多线切片,上述加工工序中还需对硅棒的表面作抛光去毛刺处理,磨面和滚圆所用工具就是磨头毛刷,仅对硅块表面进行研磨精加工,并且要求硅棒表面的加工越光滑越好,否则会发生用硅棒作切片加工。

5、时硅片因周边蹦边、碎裂报废的现象,而且报废率还很高,造成很大的经济损失。0004若硅棒的截面为矩形不需剖方,但同样需进行表面处理,使其表面光洁度达到切片的要求。0005但现市场上销售、使用的用于处理硅棒表面光洁度的轮刷,仅由用胶水固化固定在金属盘周边上的环形刷毛构成,不仅连接不牢靠刷毛还易脱落,在高速运转时若冷却水压力不稳定还会造成刷毛结块的现象,而轮刷质量的好坏将直接影响加工产品硅片的加工质量和成品率。0006专利号2007100408345“用于清洗硅片的刷片头”能有效提高硅片表面颗粒的去除率,减少停留于刷子毛间的颗粒对硅片表面产生的划伤和二次沾污,但此专利也未公开所使用刷片头的结构。00。

6、07专利申请号2009100955280“一种太阳能级单晶硅棒的抛光处理方法”,仅提到用抛光设备对太阳能级单晶硅棒表面进行机械打磨抛光,但也未公开所用具体的抛光设备。发明内容0008本发明所要解决的技术问题是提供一种硅棒加工用轮刷,其结构简单易制作,而且刷毛不会结块、不易脱落,能提高产品的加工质量和加工档次,延长使用寿命,降低使用成本。0009本发明解决上述问题所采用的技术方案硅棒加工用轮刷,包括固定在带有进水孔的底盘上的刷毛,所述刷毛通过胶水和胶体层固化成整体,所述刷毛被分割成有间隙槽的刷毛块,所述刷毛块外周边还有和刷毛块固化成整体的箍带,所述胶体层与所述底盘固定成整体,所述底盘上的进水孔和。

7、刷毛块一一对应。0010与现有技术相比,本发明的优点在于1、因将刷毛分割成均布的刷毛块,各刷毛块间留有间隙槽,冷却水可流入到刷毛中间,因此渗透效果好、降温快、刷毛又不易结块,同时冷却水只能沿着间隙槽为导向集中定向流动,直到刷毛块的工作端面上,除降温效果好说明书CN101972997ACN101972999A2/3页4外,还因每个进水孔都对应一个刷毛块,水程短、水压大、分布均匀,能及时冲刷掉抛光所产生的污物或颗粒,刷毛块上的污垢,避免二次污染和划伤硅棒的表面,提高硅块的表面光洁度,具有镜面抛光功能,表面粗糙度可达RA01MRA004M;00112、在刷毛块的外表面上打箍,保证刷毛在高速转动时刷毛。

8、不倒伏、不松散开始终成束状,因此抛光去毛刺效果好,可修正硅块在开方加工时表面上产生的显微裂纹,大大的减少了在后工序切片中产生蹦边,同时可对原硅锭的四边平面垂直度起到修正作用,确保硅锭四面及棱边的损伤层有效去除,也不会将硅棒的边棱抛洗掉,若将硅棒的边棱抛掉即造成硅棒的塌角,而由有塌角的硅棒切片加工硅片只能是B级产品,仅能使用在民用产品或要求不高的地方,否则为A级产品用在军工和要求高、重要的地方使用,因此可提高加工硅片的成品率和档次;00123、刷毛块是直接固定在由胶水构成的胶体层内,不会松散、不受外界影响,并胶体层用预埋螺母和螺钉固定在金属底盘上,因此刷毛块为双重固定,连接牢靠,刷毛不易脱落,延。

9、长了使用寿命,降低了生产成本;00134、金属底盘的下表面上还加工有环凹槽导向槽,环凹槽的两侧壁分别为向外、向内倾斜并平行的弧面,便于冷却水沿轮刷转动的切线方向上的导向槽进入轮刷内部,充分集中利用了冷却水的压力冲洗刷毛块和工作面,并减少冷却水的用量节约使用成本。附图说明0014图1、本发明的结构示意图。0015图2、图1的俯视图。0016图3、本发明的结构剖示图。具体实施方式0017下面结合附图对本发明的实施例作进一步描述0018底盘4为中间有通孔的金属圆盘,周边有安装用的均布的沉头通孔,上端面边缘有内止口,下端面上有一环凹槽为导向槽5,环凹槽的底面上有均布的进水孔6,导向槽的两侧壁为分别向内。

10、、向外倾斜一角度并平行的斜弧面。0019用液体胶水作原料用模具加工胶体层1,将刷毛放入上层模具各均布的格子中,根据需要设计格子的数量,下层模具放入胶水,模具下方的空腔内放入螺母嵌件8,再将上层模具反转扣合在下层模具上,然后将整个上、下层模具加热,使胶水、刷毛、固化成整体,再拿掉上、下层模具,这时胶水已制作成了胶体层1,刷毛在格子中粘结固定成整体的刷毛块3并延伸到胶体层1外,刷毛块3间有间隔槽7,并使每个进水孔6都对准相对应的刷毛块3,再将制成的带刷毛块3的胶体层1利用其上的螺母嵌件8用螺钉和底盘4连接成整体。0020最后在刷毛块3的外周边用绑带打箍构成箍带2,箍的宽度为使刷毛块3端面露出38M。

11、M,并加胶水将箍带2与刷毛块3固化成整体,轮刷制作成。0021上述所用胶水都为环氧树脂胶水。0022使用时,将此轮刷通过底盘4中间的螺孔安装在抛光机的连接轴上就可使用,冷却水从底盘4沿轮刷转动的切线方向进入导向槽5,然后通过进水孔6流入轮刷的内侧,并经相邻的间隙槽7流入刷毛块3的加工端面,进行冷却和及时冲刷掉抛光时留下的污物或说明书CN101972997ACN101972999A3/3页5颗粒,因刷毛块外周边已打箍有箍带2,使刷毛成整体的束状,不会松散,因此对所加工硅棒的边棱不会造成损伤,不会发生塌角现象,延长了使用寿命,并轮刷抛光去毛刺效果好,大大提高了加工效率,避免切片加工时硅片边缘蹦边现象的发生,从而大大提高了硅片的成品率,并使其质量上一个档次。说明书CN101972997ACN101972999A1/2页6图1图2说明书附图CN101972997ACN101972999A2/2页7图3说明书附图CN101972997A。

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