一种切割硅片用夹具的夹紧装置.pdf

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摘要
申请专利号:

CN201010518416.4

申请日:

2010.10.25

公开号:

CN101973085A

公开日:

2011.02.16

当前法律状态:

终止

有效性:

无权

法律详情:

未缴年费专利权终止IPC(主分类):B28D 7/04申请日:20101025授权公告日:20121121终止日期:20161025|||授权|||实质审查的生效IPC(主分类):B28D 7/04申请日:20101025|||公开

IPC分类号:

B28D7/04; B28D5/00

主分类号:

B28D7/04

申请人:

镇江市港南电子有限公司

发明人:

聂金根

地址:

212132 江苏省镇江市新区大港机电工业园东方路

优先权:

专利代理机构:

上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258

代理人:

季萍

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内容摘要

本发明提供了一种切割硅片用夹具的夹紧装置,包括固定块、夹紧块、第一夹紧构件、第二夹紧构件,夹紧块可活动的设置在所述固定块内,第一夹紧构件一端纵向穿过固定块一端,并与固定块螺纹连接成一体;第二夹紧构件一端横向插入所述固定块另一端,并与固定块螺纹连接;第二夹紧构件一端的凸缘与所述夹紧块一端的凹槽相配合,且凸缘外周面与凹槽的内周面间隙配合,本夹具使用比较方便,且夹紧由人工操作,夹紧力均匀,避免将硅晶片夹坏;且当单个夹紧装置损坏后,可个别更换,大大降低了成本。

权利要求书

1: 一种切割硅片用夹具的夹紧装置, 其特征在于, 包括固定块、 夹紧块、 第一夹紧构件、 第二夹紧构件, 所述夹紧块可活动的设置在所述固定块内, 所述第一夹紧构件一端纵向穿 过所述固定块一端, 并与所述固定块螺纹连接成一体 ; 所述第二夹紧构件一端横向插入所 述固定块另一端, 并与所述固定块螺纹连接 ; 所述第二夹紧构件一端的凸缘与所述夹紧块 一端的凹槽相配合, 且所述凸缘外周面与所述凹槽的内周面间隙配合。
2: 如权利要求 1 所述一种切割硅片用夹具的夹紧装置, 其特征在于, 所述凹槽底面与 所述凸缘的端面之间设有滚珠。

说明书


一种切割硅片用夹具的夹紧装置

    技术领域 本发明涉及一种夹紧装置, 特别涉及一种切割硅片用夹具的夹紧装置, 属于硅片 加工工具的技术领域。
     背景技术 硅片加工前, 要先将硅晶板切割分体成块状。现有的硅片切割设备中, 对硅晶板 的夹紧方式, 普遍采用固定气缸夹紧、 移动气缸夹紧或无杆气缸夹紧等方式。上述夹紧方 式中, 固定夹紧方式应用最为普遍, 但其成本高 ; 无杆气缸移动速度慢, 且由于是单边夹紧, 夹紧力不均匀, 容易使硅晶板划损, 且出现加工的硅晶块不规范, 如切缝与表面不垂直等现 象; 移动气缸夹紧虽然克服了上述现象, 但存在成本高的问题。
     发明内容
     本发明所要解决的技术问题是提供一种夹紧力均匀, 成本低廉的切割硅片用夹具 的夹紧装置。
     为了解决上述技术问题, 本发明一种切割硅片用夹具的夹紧装置, 包括固定块、 夹 紧块、 第一夹紧构件、 第二夹紧构件, 所述夹紧块可活动的设置在所述固定块内, 所述第一 夹紧构件一端纵向穿过所述固定块一端, 并与所述固定块螺纹连接成一体 ; 所述第二夹紧 构件一端横向插入所述固定块另一端, 并与所述固定块螺纹连接 ; 所述第二夹紧构件一端 的凸缘与所述夹紧块一端的凹槽相配合, 且所述凸缘外周面与所述凹槽的内周面间隙配 合。
     上述一种切割硅片用夹具的夹紧装置, 其中, 所述凹槽底面与所述凸缘的端面之 间设有滚珠。
     本发明可实现以下有益效果 : 1、 由于本发明包括固定架、 设置在所述固定架上的夹紧装置, 所述夹紧装置包括固定 块、 夹紧块、 第一夹紧构件、 第二夹紧构件, 夹紧时, 将夹紧装置移到适当位置, 将第一夹紧 构件拧紧, 通过第一夹紧构件的端面压紧在固定架上, 将夹紧装置定位 ; 再拧动第二夹紧构 件, 通过第二夹紧构件推动夹紧块, 将硅晶板夹紧 ; 拆卸时, 只要将第二夹紧构件反向拧动, 将夹紧块向后移动, 将硅晶板松开即可, 因此, 本发明使用比较方便, 且夹紧由人工操作, 夹 紧力均匀, 避免将硅晶片夹坏 ; 且当单个夹紧装置损坏后, 可个别更换, 大大降低了成本 ; 另外, 本发明由少数零部件组成, 成本低廉。
     2、 由于所述凹槽底面与所述凸缘的端面之间设有滚珠, 当第二夹紧构件转动时, 第二夹紧构件与夹紧块的摩擦为滚动摩擦, 摩擦力较小, 避免第二夹紧构件及夹紧块的损 坏, 从而, 延长了夹具的使用寿命。
     附图说明 图 1 是本发明的结构示意图。
     图 2 是本发明固定块的结构示意图。具体实施方式
     下面结合附图对本发明作进一步说明。
     如图所示, 为了解决上述技术问题, 本发明一种切割硅片用夹具, 包括固定块 21、 夹紧块 22、 第一夹紧构件 23、 第二夹紧构件 24, 第一夹紧构件 23 为杆件, 杆件的外周面上 设有外螺纹 ; 固定块 21 为整体构件, 固定块 21 表面上设有第一槽 211, 该第一槽 211 与固 定架 1 相连, 固定块 21 一端设有安装夹紧块 22 的通道 212 及安装第二夹紧构件 24 的横向 螺纹孔 214、 通道 212 与螺纹孔 214 相通, 固定块 21 的另一端设有安装第一夹紧构件 23 的 纵向通孔 213, 纵向通孔 213 的内周面上设有内螺纹 ; 第二夹紧构件 24 为杆件, 该杆件外周 面上设有外螺纹, 杆件的一端设有凸缘 241 ; 夹紧块 22 为长方形块状构件, 夹紧块 22 的一 端设有凹槽 221, 所述夹紧块 22 设置在所述固定块 21 内, 夹紧块 22 与固定块 21 可活动连 接, 所述第一夹紧构件 23 一端穿过所述固定块 21 一端的纵向通孔 213, 并与所述固定块 21 螺纹连接成一体 ; 所述第二夹紧构件 24 一端插入所述固定块 21 的螺纹孔内, 并与所述固定 块螺纹连接 ; 所述第二夹紧构件 24 一端的凸缘 241 与所述夹紧块 22 一端的凹槽 221 相配 合, 且所述凸缘 241 外周面与所述凹槽 221 的内周面间隙配合。本发明使用比较方便, 且夹 紧由人工操作, 夹紧力均匀, 避免将硅晶片夹坏 ; 且当单个夹紧装置损坏后, 可个别更换, 大 大降低了成本 ; 另外, 本发明由少数零部件组成, 成本低廉。 为了延长本发明的使用寿命, 可在所述凹槽 221 底面与所述凸缘 241 的端面之间 设有滚珠 25, 由于所述凹槽 221 底面与所述凸缘 241 的端面之间设有滚珠 25, 当第二夹紧 构件 24 转动时, 第二夹紧构件 24 与夹紧块 22 的摩擦为滚动摩擦, 摩擦力较小, 避免第二夹 紧构件 24 及夹紧块 22 的损坏, 从而, 延长了夹具的使用寿命。
     夹紧时, 将固定块 21 移到适当位置, 将第一夹紧构件 23 拧紧, 通过第一夹紧构件 23 的端面压紧在固定架上, 将夹紧装置定位 ; 再拧动第二夹紧构件 24, 通过第二夹紧构件 24 推动夹紧块 22, 将硅晶板夹紧 ; 拆卸时, 只要将第二夹紧构件 24 反向拧动, 将夹紧块 22 向后移动, 将硅晶板松开即可。
     综上所述, 本发明具有夹紧力均匀, 成本低廉、 安装方便、 灵活且结构简单的优点。
     这里本发明的描述和应用是说明性的, 并非想将本发明的范围限制在上述实施例 中, 因此, 本发明不受本实施例的限制, 任何采用等效替换取得的技术方案均在本发明保护 的范围内。
    

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1、10申请公布号CN101973085A43申请公布日20110216CN101973085ACN101973085A21申请号201010518416422申请日20101025B28D7/04200601B28D5/0020060171申请人镇江市港南电子有限公司地址212132江苏省镇江市新区大港机电工业园东方路72发明人聂金根74专利代理机构上海海颂知识产权代理事务所普通合伙31258代理人季萍54发明名称一种切割硅片用夹具的夹紧装置57摘要本发明提供了一种切割硅片用夹具的夹紧装置,包括固定块、夹紧块、第一夹紧构件、第二夹紧构件,夹紧块可活动的设置在所述固定块内,第一夹紧构件一端纵向穿过。

2、固定块一端,并与固定块螺纹连接成一体;第二夹紧构件一端横向插入所述固定块另一端,并与固定块螺纹连接;第二夹紧构件一端的凸缘与所述夹紧块一端的凹槽相配合,且凸缘外周面与凹槽的内周面间隙配合,本夹具使用比较方便,且夹紧由人工操作,夹紧力均匀,避免将硅晶片夹坏;且当单个夹紧装置损坏后,可个别更换,大大降低了成本。51INTCL19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书2页附图1页CN101973087A1/1页21一种切割硅片用夹具的夹紧装置,其特征在于,包括固定块、夹紧块、第一夹紧构件、第二夹紧构件,所述夹紧块可活动的设置在所述固定块内,所述第一夹紧构件一端纵向穿过所述固。

3、定块一端,并与所述固定块螺纹连接成一体;所述第二夹紧构件一端横向插入所述固定块另一端,并与所述固定块螺纹连接;所述第二夹紧构件一端的凸缘与所述夹紧块一端的凹槽相配合,且所述凸缘外周面与所述凹槽的内周面间隙配合。2如权利要求1所述一种切割硅片用夹具的夹紧装置,其特征在于,所述凹槽底面与所述凸缘的端面之间设有滚珠。权利要求书CN101973085ACN101973087A1/2页3一种切割硅片用夹具的夹紧装置技术领域0001本发明涉及一种夹紧装置,特别涉及一种切割硅片用夹具的夹紧装置,属于硅片加工工具的技术领域。背景技术0002硅片加工前,要先将硅晶板切割分体成块状。现有的硅片切割设备中,对硅晶板。

4、的夹紧方式,普遍采用固定气缸夹紧、移动气缸夹紧或无杆气缸夹紧等方式。上述夹紧方式中,固定夹紧方式应用最为普遍,但其成本高;无杆气缸移动速度慢,且由于是单边夹紧,夹紧力不均匀,容易使硅晶板划损,且出现加工的硅晶块不规范,如切缝与表面不垂直等现象;移动气缸夹紧虽然克服了上述现象,但存在成本高的问题。发明内容0003本发明所要解决的技术问题是提供一种夹紧力均匀,成本低廉的切割硅片用夹具的夹紧装置。0004为了解决上述技术问题,本发明一种切割硅片用夹具的夹紧装置,包括固定块、夹紧块、第一夹紧构件、第二夹紧构件,所述夹紧块可活动的设置在所述固定块内,所述第一夹紧构件一端纵向穿过所述固定块一端,并与所述固。

5、定块螺纹连接成一体;所述第二夹紧构件一端横向插入所述固定块另一端,并与所述固定块螺纹连接;所述第二夹紧构件一端的凸缘与所述夹紧块一端的凹槽相配合,且所述凸缘外周面与所述凹槽的内周面间隙配合。0005上述一种切割硅片用夹具的夹紧装置,其中,所述凹槽底面与所述凸缘的端面之间设有滚珠。0006本发明可实现以下有益效果1、由于本发明包括固定架、设置在所述固定架上的夹紧装置,所述夹紧装置包括固定块、夹紧块、第一夹紧构件、第二夹紧构件,夹紧时,将夹紧装置移到适当位置,将第一夹紧构件拧紧,通过第一夹紧构件的端面压紧在固定架上,将夹紧装置定位;再拧动第二夹紧构件,通过第二夹紧构件推动夹紧块,将硅晶板夹紧;拆卸。

6、时,只要将第二夹紧构件反向拧动,将夹紧块向后移动,将硅晶板松开即可,因此,本发明使用比较方便,且夹紧由人工操作,夹紧力均匀,避免将硅晶片夹坏;且当单个夹紧装置损坏后,可个别更换,大大降低了成本;另外,本发明由少数零部件组成,成本低廉。00072、由于所述凹槽底面与所述凸缘的端面之间设有滚珠,当第二夹紧构件转动时,第二夹紧构件与夹紧块的摩擦为滚动摩擦,摩擦力较小,避免第二夹紧构件及夹紧块的损坏,从而,延长了夹具的使用寿命。0008附图说明图1是本发明的结构示意图。0009图2是本发明固定块的结构示意图。说明书CN101973085ACN101973087A2/2页4具体实施方式0010下面结合附。

7、图对本发明作进一步说明。0011如图所示,为了解决上述技术问题,本发明一种切割硅片用夹具,包括固定块21、夹紧块22、第一夹紧构件23、第二夹紧构件24,第一夹紧构件23为杆件,杆件的外周面上设有外螺纹;固定块21为整体构件,固定块21表面上设有第一槽211,该第一槽211与固定架1相连,固定块21一端设有安装夹紧块22的通道212及安装第二夹紧构件24的横向螺纹孔214、通道212与螺纹孔214相通,固定块21的另一端设有安装第一夹紧构件23的纵向通孔213,纵向通孔213的内周面上设有内螺纹;第二夹紧构件24为杆件,该杆件外周面上设有外螺纹,杆件的一端设有凸缘241;夹紧块22为长方形块状。

8、构件,夹紧块22的一端设有凹槽221,所述夹紧块22设置在所述固定块21内,夹紧块22与固定块21可活动连接,所述第一夹紧构件23一端穿过所述固定块21一端的纵向通孔213,并与所述固定块21螺纹连接成一体;所述第二夹紧构件24一端插入所述固定块21的螺纹孔内,并与所述固定块螺纹连接;所述第二夹紧构件24一端的凸缘241与所述夹紧块22一端的凹槽221相配合,且所述凸缘241外周面与所述凹槽221的内周面间隙配合。本发明使用比较方便,且夹紧由人工操作,夹紧力均匀,避免将硅晶片夹坏;且当单个夹紧装置损坏后,可个别更换,大大降低了成本;另外,本发明由少数零部件组成,成本低廉。0012为了延长本发明。

9、的使用寿命,可在所述凹槽221底面与所述凸缘241的端面之间设有滚珠25,由于所述凹槽221底面与所述凸缘241的端面之间设有滚珠25,当第二夹紧构件24转动时,第二夹紧构件24与夹紧块22的摩擦为滚动摩擦,摩擦力较小,避免第二夹紧构件24及夹紧块22的损坏,从而,延长了夹具的使用寿命。0013夹紧时,将固定块21移到适当位置,将第一夹紧构件23拧紧,通过第一夹紧构件23的端面压紧在固定架上,将夹紧装置定位;再拧动第二夹紧构件24,通过第二夹紧构件24推动夹紧块22,将硅晶板夹紧;拆卸时,只要将第二夹紧构件24反向拧动,将夹紧块22向后移动,将硅晶板松开即可。0014综上所述,本发明具有夹紧力均匀,成本低廉、安装方便、灵活且结构简单的优点。0015这里本发明的描述和应用是说明性的,并非想将本发明的范围限制在上述实施例中,因此,本发明不受本实施例的限制,任何采用等效替换取得的技术方案均在本发明保护的范围内。说明书CN101973085ACN101973087A1/1页5图1图2说明书附图CN101973085A。

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