排出量修正方法以及涂布装置 技术领域 本发明涉及一种针对液体材料因经时粘度变化等因素所导致的排出量变化进行 修正的方法以及涂布装置， 更具体而言， 例如关于一种测定在基板上所涂布的液滴量， 并根 据该测定值对排出量进行修正的方法以及涂布装置。
背景技术 先前以来， 就液体材料的定量排出而言， 当经长时间施行排出时， 液体材料便会发 生经时的粘度变化， 导致排出量发生变动的问题。
近年来， 伴随芯片的小型化、 高密度安装化、 或者涂布作业的多样化， 要求持续施 行微量精密的涂布， 而必须将排出量的变动抑制更少。 尤其在填底步骤中， 要求更微量并且 更精密的涂布。
对于液体材料排出量的变动， 使用专用的测定机器测定所排出的液体材料量， 并 根据该结果将排出量加以调整， 作为此技术， 有例如使用电子天秤测定液体材料的重量的 排出量修正方法 ( 专利文献 1)、 以及根据拍摄液滴的影像而测定滴量的装置 ( 专利文献
2)。 在专利文献 1 中揭示有一种排出量修正方法， 其中， 定期测定所排出的材料的重 量并比较实测重量与指定重量， 当不同的时候， 便修正脉冲电动机泵驱动用的脉冲数与脉 冲频率， 执行控制使实测重量接近指定重量。
在专利文献 2 中揭示有一种涂布量调整方法， 其包括有 ： 登录目标涂布量的步骤 ； 对注射器赋予气体压而从喷嘴排出粘着剂并试涂布的步骤 ； 辨识经试涂布的粘着剂， 而计 算出涂布量的大小的步骤 ； 以及比较所计算出的试涂布量与目标涂布量， 并判定其差值是 否在容许误差以内的步骤 ； 当不在容许误差以内时， 则变更对注射器赋予的气体压的大小 或者时间， 并重复上述步骤。
( 专利文献 1) 日本专利特开 2002-303275 号公报
( 专利文献 2) 日本专利特开平 11-97829 号公报
发明内容 ( 发明要解决的问题 )
然而， 在专利文献 1 所记载的发明中， 因为由接收皿承接液体材料， 因此至液面摇 晃结束为止前计测值无法保持稳定， 而有至得到测定结果为止需要较长时间的问题。 并且， 因装置的振动或者降流 ( 为了保持装置内的洁净度而设置于装置上部的来自空调机的空 气流 ) 影响， 也会有同样的不良情况。
并且， 在专利文献 2 所记载的发明中， 因为通过摄像机所辨识到的液体材料上方 的轮廓来计算出液滴量， 因而无法辨识高度， 无法正确地计算出液滴量。
本发明目的在于提供一种正确地计测所涂布的液滴量， 而能够精度佳地修正排出 量的排出量修正方法以及涂布装置。
( 解决技术问题的技术方案 )
本发明第 1 方面的排出量修正方法， 测定从喷嘴所排出的液体材料的量而修正排 出量， 所述排出量修正方法的特征为， 在被涂布面的附近设置与被涂布面具有既定角度的 镜子， 并经由镜子从侧边拍摄在被涂布面所形成的液滴， 根据所拍摄到的液滴的影像计算 出液滴的体积， 再根据所计算出的体积修正排出量。
本发明第 2 方面的排出量修正方法的特征为， 在本发明第 1 方面中， 所述镜子为垂 直或者对称配置的多片镜子， 从水平方向的不同角度拍摄液滴多次， 根据所拍摄到的多个 液滴的影像， 来计算出液滴的体积。
本发明第 3 方面的排出量修正方法的特征为， 在本发明第 1 方面中， 使形成在所述 被涂布面的液滴或者所述镜子进行转动， 从水平方向的不同角度拍摄液滴多次， 根据所拍 摄到的多个液滴的影像， 来计算出液滴的体积。
本发明第 4 方面的排出量修正方法的特征为， 在本发明第 1 至第 3 方面的任一方 面中， 液滴的体积根据液滴侧边的轮廓面积而计算出。
本发明第 5 方面的排出量修正方法的特征为， 在本发明第 1 至 3 方面的任一方面 中， 液滴的体积根据液滴侧边的轮廓高度以及宽度而计算出。
本发明第 6 方面的排出量修正方法的特征为， 在本发明第 4 或第 5 方面中， 在拍 摄液滴的平面轮廓而平面轮廓的真圆度超过容许范围的情况下， 在被涂布面上再度形成液 滴。
本发明第 7 方面的排出量修正方法的特征为， 在本发明第 1 至第 6 方面的任一方 面中， 将在被涂布面形成液滴前的被涂布面经由镜子从侧边进行拍摄， 根据所拍摄到的被 涂布面的影像， 而储存被涂布面的边界线， 在所述所拍摄到的液滴的影像中， 由边界线靠上 方的区域计算出液滴的体积。
本发明第 8 方面的排出量修正方法的特征为， 在本发明第 1 至第 7 方面的任一方 面中， 所述既定角度为 45 度。
本发明第 9 方面的液体材料的涂布装置， 具备有储存液体材料的储存容器、 具有 排出液体材料的喷嘴的排出装置、 对涂布在被涂布面的液滴进行拍摄的摄像装置、 与被涂 布面具有既定角度地被设置在被涂布面附近的镜子、 以及控制部， 所述液体材料的涂布装 置的特征为， 所述摄像装置以及所述镜子被配置在能够从侧边拍摄到在被涂布面所形成的 液滴的位置处。
本发明第 10 方面的涂布装置的特征为， 在本发明第 9 方面中， 具备有与所述镜子 相对向设置的光源。
本发明第 11 方面的涂布装置的特征为， 在本发明第 9 或第 10 方面中， 所述镜子为 垂直或者对称配置的多片镜子， 所述摄像装置位于能够经由镜子从水平方向的不同角度拍 摄到液滴的位置处。
本发明第 12 方面的涂布装置的特征为， 在本发明第 9 至第 11 方面的任一方面中， 具备有使形成在所述被涂布面的液滴进行转动的平台。
本发明第 13 方面的涂布装置的特征为， 在本发明第 9 至第 11 方面的任一方面中， 具备有相对于形成在所述被涂布面的液滴进行转动的镜子。
本发明第 14 方面的涂布装置的特征为， 在本发明第 9 或第 10 方面中， 具备有使所述基板在一方向移动自如的搬送机构， 所述镜子被设置于搬送机构的附近。
本发明第 15 方面的涂布装置的特征为， 在本发明第 9 至第 14 方面的任一方面中， 所述既定角度为 45 度。
( 发明的效果 )
根据本发明， 因为可以正确地测定液滴量， 因而能够精度佳地修正排出量。
再者， 本发明在原理上可简易地测定液滴量。 附图说明
图 1 为实施例 1 的涂布装置的概略立体图。 图 2 为说明实施例 1 的镜子的设置样式的说明图。 图 3 为实施例 1 的排出装置的重要部分剖视图。 图 4 为表示实施例 1 的修正步骤的流程图。 图 5 为表示实施例 1 的修正步骤的变化例的流程图。 图 6 为说明实施例 1 的体积计算方法的说明图。 图 7 为说明实施例 1 的体积计算方法的说明图。 图 8 为说明实施例 2 的镜子的设置例的说明图。 图 9 为说明实施例 3 的镜子的设置例的说明图。 图 10 为说明实施例 4 的镜子的设置例的说明图。 图 11 为说明实施例 5 的拍摄方法的说明图。 符号说明 以下示出图中使用的主要符号的凡例。 101 涂布装置 102XYZ 驱动机构 103 搬送机构 104 控制部 105 调整用平台 106 调整用基板 107 镜子 108 摄像装置 109 基板 110 摄像装置的物镜面 111 光源 201 液滴 301 排出装置 302 活塞 303 储存容器 304 喷嘴 305 排出控制部 306 排出信号线6101952049 A CN 101952054
说压缩气体供应线 调整机构 旋转轴 旋转驱动机构 面积 高度 半径 直径 角度明书4/10 页307 401 601 901 S h r d α具体实施方式
以下， 针对实施本发明的最佳方式， 以调整喷射式排出装置的 “排出压力 P” 的方式 的例子进行说明。另外， 所谓 “涂布长度” 是指喷嘴与基板的相对移动量的总长， 所谓 “排出 量” 是指通过单一排出作业所排出的液体材料的量。
[1] 初期参数的设定 首先， 设定所希望涂布的目标体积 V0 以及目标涂布长度 L0。 接着， 以一定速度施行 涂布， 由目标涂布长度 L0 与所希望的涂布速度设定排出时间 T。此时， 预先由试验等方式求 取将最初所设定的排出时间固定时的 “排出压力与排出体积的关系” ， 以式子或者对应表的 数据形式储存于控制部 104 中。根据该 “排出压力与排出体积的关系” ， 设定排出压力 P 作 为排出目标体积所希望的控制参数。在控制部 104 中所储存的这些数据， 在计算修正量时 被利用为控制用数据。
再者， 作为液体材料使用时间的极限值， 最好与上述各数据具关联性地储存根据 制造商所规定的适用时间 (pot life) 计算出的数值。
[2] 修正周期的设定
设定作为修正排出量的周期的修正周期。作为修正周期， 可设定例如使用者所输 入的时间信息、 应处理基板 109 的片数等。在以时间设定修正周期的情况下， 设定假想液体 材料的排出量变化从作业开始超出容许范围的时间。在设定片数的情况下， 从处理一片基 板 109 的时间 ( 搬入→涂布→搬出的时间 )、 与上述既定的时间求取处理片数， 而设定。
在设定修正周期时， 必须考虑随时间的经过、 温度的变化等因素而造成的液体材 料的粘度变化， 以下对仅随时间经过产生粘度变化为前提进行说明。
另外， 通过对具有喷嘴的排出部进行调整温度而控制液体材料的粘度的现有技 术， 当然可并用于本发明中。
[3] 修正量的计算 ( 形状的测定以及体积的计算 )
以所设定的修正周期， 计算出与因液体材料的粘度变化所产生的排出量变化对应 的修正量。
首先， 使喷嘴 304 朝基板 (106 或者 109) 的上方移动， 根据在上述 [1] 中作为控制 用数据储存于控制部 104 中的排出压力 P 与排出时间 T， 而排出液体材料。由此， 在基板的 涂布面形成滴状的液滴 201。接着， 拍摄在基板上所涂布的液滴 201 的水平方向的形状， 从 所拍摄到的影像数据计算出所排出的液滴的计测体积 V1。更详细地说， 使摄像装置 108 朝
镜子 107( 其在基板 (106 或者 109) 的附近被设置成相对于基板的被涂布面具有角度 ) 的 上方进行移动， 并从与被涂布面平行的方向拍摄液滴 201 的形状。此时， 最好在镜子 107 的 正面设置具有既定面积的平面光源、 或者作为背景的平面构件。 然后， 根据所拍摄到的影像 数据， 计算出水平方向 ( 与涂布面平行的方向 ) 的投影面几何学量， 根据该水平方向的投影 面几何学量， 计算出所排出的液滴的计测体积 V1。
从上述所测得的计测体积 V1、 与依上述 [1] 所设定的目标体积 V0 的比对， 求取修正 量。更详细地说， 首先， 从计测体积 V1 与目标体积 V0 计算出变化率 R( ＝ (V1-V0)/V0×100)。 当计测体积 V1 小于目标体积 V0 时， 变化率 R 为负， 而当计测体积 V1 大于目标体积 V0 时， 变 化率 R 为正。
当变化率 R 为负时， 便从上述 [1] 所储存的 “排出压力与排出体积的关系” ， 求取经 加权与变化率 R 对应的排出量增加的排出压力的设定。
当变化率 R 为正时， 便从上述 [1] 所储存的 “排出压力与排出体积的关系” ， 求取经 加权与变化率 R 对应的排出量减少的排出压力的设定。
排出量的修正最好不是在体积差 (V1-V0) 或者变化率 R 不是为零的情况下经常实 施， 而是仅当所计算出的体积差或者变化率 R 超过容许范围 ( 例如 ±5％ ) 时才实施。设定 容许范围的修正的较佳样式， 在本案申请人所提出申请的日本专利第 3877038 号中有详细 说明。即， 设计判断是否进行修正的容许范围， 仅当差值或者变化率 R 超过上述所容许范围 的情况时才修正排出压力。 [4] 修正的执行
当在上述 [3] 判断出必须修正排出量时， 便由上述 [1] 所储存的 “排出压力与排出 体积的关系” ， 求取经加权与变化率 R 对应的排出量增加或者减少部分的排出压力的设定。 然后， 通过变更控制参数 ( 排出压力 P) 的设定而修正排出量。
上述 [3] 与 [4] 的步骤在上述 [2] 所设定的修正周期中、 或者基板 109 的种类 ( 大 小或者形状 ) 变化时等才实行。由此， 与液体材料的经时粘度变化无关， 均可以经常涂布最 佳的排出量。
[ 排出装置的变化例 ]
本发明的排出装置并不受限于上述所说明的喷射式排出装置， 凡是排出液体材料 的各种排出装置均可以实施。所调整的控制参数并不受限于排出压力， 例如， 有如下情况。
在喷射式排出装置中， 也可以调整活塞上升的时间与下降的时间。
在利用螺杆的旋转来排出液体材料的螺杆式排出装置中， 也可以调整螺杆的旋转 数。
在使在前端具有喷嘴的储存容器的内面上进行密接滑动的柱塞以所希望量移动 而进行排出的柱塞式排出装置中， 也可以调整柱塞的移动量。
以下， 利用实施例详细说明本发明， 但是本发明并不受这些实施例的任何限制。
实施例 1
[ 涂布装置 ]
本实施例的涂布装置 101 如图 1 所示， 其具备有 ： 排出装置 301、 摄像装置 108、 XYZ 驱动机构 102、 搬送机构 103、 位于搬送机构 103 附近的调整机构 401、 以及控制这些动作的 控制部 104。
排出装置 301 具备有 ： 储存液体材料的储存容器 303、 以及排出液体材料的喷嘴 304。排出装置 301 安装在 XYZ 驱动机构 102 上， 可以朝涂布对象基板 109 或者调整用基板 106 上移动。
摄像装置 108 是用于拍摄朝基板上排出的液滴的装置。在本实施例中， 考虑对所 拍摄到的影像数据实施影像处理， 而使用 CCD 摄像机。摄像装置 108 以捕捉影像的物镜面 110 与基板 (106、 109) 的被涂布面相对向的方式安装于 XYZ 驱动机构 102， 与排出装置 301 同样地， 可以朝涂布对象基板 109、 调整用基板 106、 以及镜子 107 的上方移动。此外， 摄像 装置 108 可以朝 Z 方向移动自如， 由此能够调节焦点距离。
再者， 在本实施例中， 摄像装置 108 兼用作后述的基板位置辨识用摄像机。这样构 成可以节约设置空间， 可以使涂布装置 101 更加小型化。
另外， 当将摄像装置 108 设置于 XYZ 驱动机构 102 时， 如图 1 所示， 可在排出装置 301 的旁边一体设置， 也可以与排出装置 301 独立设置。
[ 调整机构 ]
调整机构 401 具备有 ： 调整用基板 106、 载置调整用基板 106 的调整用平台 105、 在 调整用基板 106 附近设置的镜子 107、 以及光源 111。
调整用基板 106 为用于测量从喷嘴 304 的排出量的基板。调整用基板 106 载置成 与涂布对象基板 109 位于相同的高度处。理由是在将摄像装置 108 兼用作基板位置辨识用 摄像机的情况下， 在定位时的基板辨识与计算体积时的拍摄中不需要调节焦点距离。 即， 因 为 Z 方向位置设定可以共通， 能够省却对基板 106 与 109 分别设定的步骤。
镜子 107 如图 2 所示， 在调整用基板 106 附近以角度 α 设置。更具体而言， 镜子 107 以显示影像的面对于调整用基板 106 的被涂布面 ( 摄像装置 108 的物镜面 110) 成角 度 α 的方式设置。这样， 通过具有角度 α 地设置镜子 107， 可以将基板 (106、 109) 上所涂 布的液滴 201 的侧边影像利用镜子 107 反射， 能够由摄像装置 108 进行拍摄。镜子 107 被 设置于在其中心部分可以显示出液滴 201 的高度 ( 参照图 2)。光源 111 为隔着调整用基板 106 而与镜子 107 相对向配置的平面光源， 可由 LED 等现有的光源构成。通过光源 111 朝镜 子 107 照射光， 可以使液滴 201 的轮廓鲜明。
如本实施例， 在摄像装置 108 的物镜面 110 与基板 (106、 109) 的被涂布面相对向 的构成中， 最好将镜子 107 显示影像的面相对于基板 (106、 109) 的被涂布面的角度 α 设为 45 度。理由是通过将角度 α 设为 45 度， 可以将基板 (106、 109) 上所涂布的液滴 201 的水 平方向的影像朝垂直方向反射， 能够在不会发生倾斜等歪曲的情况下拍摄形状。
另外， 在本实施例中， 由 1 片镜子将液滴的侧边影像入射至摄像装置中， 但是也可 以构成由多镜子将液滴的侧边影像传送至摄像装置。
在开始涂布时， 首先， 将作为涂布对象物的基板 109 由搬送机构 103 搬送至排出装 置 301 的下方。当基板 109 被搬送至喷嘴 304 的下方， 而定位基板 109 后， 开始使排出装置 301 涂布。喷嘴 304 的涂布动作的轨迹 ( 即涂布图案 ) 被预先储存在控制部 104 内的储存 装置 ( 内存等 ) 中。
当涂布结束时， 基板 109 便由搬送机构 103 从涂布装置 101 搬出到外部。接着， 搬 入下个基板 109， 并重复施行涂布作业。这样， 搬入、 涂布以及搬出成为一个循环， 至对所希 望片数的基板 109 结束涂布为止前， 重复施行涂布作业。在上述循环的途中， 以预设的修正周期的时序来修正排出量。 即， 对因液体材料的 粘度变化而发生变化的排出量进行修正。修正量的计算通过利用 XYZ 驱动机构 102 将喷嘴 304 移动至调整用基板 106 的上方， 并从对调整用基板 106 上所涂布的液滴 201 进行拍摄的 影像数据计算出液滴 201 的体积的方式进行。关于修正步骤的详细内容， 将在后面叙述。
[ 排出装置 ]
作为排出装置 301 可以利用各种装置， 在本实施例中使用如图 3 所示的喷射式排 出装置。
图 3 所示的排出装置 301 具备有 ： 内设成可上下移动自如的活塞 302、 储存液体材 料的储存容器 303、 以及与储存容器相连通的喷嘴 304。
储存容器 303 内的液体材料被从排出控制部 305 通过压缩气体供应线 307 供应的 调压过的压缩气体加压。 从储存容器 303 朝活塞室供应的液体材料 210， 根据来自排出控制 部 305 的排出信号， 通过使活塞 302 朝上下进行往复动作而从喷嘴 304 以液滴状排出。从 喷嘴 304 排出的液滴 201 以点状涂布在被定位于喷嘴 304 的下方的基板 (106、 109) 上。
[ 修正步骤 1]
针对本实施例的修正步骤 1， 参照图 4 的流程图进行说明。 首先， 计算出为了排出从排出压力与排出体积的关系所求得的目标体积的适当排 出时间， 在适当排出时间的期间， 在基板上排出液体材料 ( 步骤 11)。 接着， 将从水平方向所 观看到液滴 201 的形状 ( 从对于基板的被涂布面成平行的方向所观看到的形状 )， 经由对基 板的被涂布面以角度 α 设置的镜子 107 进行拍摄， 并根据该影像计算出液滴 201 的计测体 积 V1( 步骤 12)。接着， 比较目标体积 V0 与计测体积 V1( 步骤 13)， 根据体积差是否超过容 许范围来判定有无需要修正 ( 步骤 14)。
当在步骤 14 中判断需要修正时， 便由目标体积 V0 与计测体积 V1 计算出变化率 R( ＝ (V1-V0)/V0×100)( 步骤 15)， 判断变化率 R 的正负 ( 步骤 16)。
当变化率 R 为负时， 因为计测体积 V1 小于目标体积 V0， 因而从事先储存于控制部 104 中的控制用数据中， 计算出经加权与该变化率 R 对应的计测体积 V1 的增加部分的控制 参数， 再度设定排出压力 ( 步骤 17)。
当变化率 R 为正时， 因为排出体积 V1 多于目标体积 V0， 因而从储存于控制部 104 中 的控制用数据中， 计算出经加权与该变化率 R 对应的排出体积 V1 的减少部分的设定参数， 再度设定排出压力 ( 步骤 18)。
另外， 上述中， 也可以不计算出体积差， 而是仅计算出变化率 R， 来判断有无需要修 正。在该情况下， 不执行步骤 14 的判定， 而是在步骤 13 起至步骤 15 与步骤 16 之间执行判 定。
另外， 也可以附加计算出从垂直方向所观看液滴 201 的投影面形状 ( 平面轮廓 ) 的真圆度， 再判定算出值是否在容许范围内的步骤。
[ 修正步骤 2]
针对本实施例的修正步骤 2， 参照图 5 与图 4 的流程图进行说明。
首先， 与步骤 11 同样地， 在适当排出时间的期间， 在基板上排出液体材料 ( 步骤 21)。接着， 拍摄所排出的液滴 201 从基板被涂布面的垂直方向所观看到的形状 ( 从被涂布 面的上方观看液滴 201 的形状 )， 并根据该影像来计算出液滴 201 的真圆度 ( 步骤 22)。在
此， 真圆度在基板的被涂布面上， 从垂直方向所看到的液滴 201 的投影面形状中， 由通过重 心的直线的最大长度与最小长度的差进行求取。
在步骤 23 中判定真圆度是否超过容许范围。当判定真圆度在容许范围内时， 便朝 图 4 所示的步骤 12 前进， 并计算出液滴 201 的体积， 修正排出量。当判定真圆度在容许范 围外时， 便重返步骤 21， 并再度施行排出。此时， 也可以设定重返步骤 21 的次数， 当超过设 定次数时便视为 “错误” 而发出警报。
[ 体积计算方法 ]
体积计算方法有各种方法， 此处示出以下二个例子。
(A) 由水平方向的投影面形状的面积进行计算的方法
如图 6 所示的斜线部 S， 从基板 (106、 109) 上所涂布的液滴 201 的影像中， 考虑具 有水平方向投影面形状的一半面积的平面 ( 斜线部 S)， 并将该平面以图 6 中所示的轴 601 为中心进行旋转所成的立体， 视为所涂布的液滴 201 的体积。即， 首先从基板 (106、 109) 上 所涂布的液滴 201 的影像中， 利用影像处理求取水平方向投影面形状的一半面积 S( 中心角 90 度的扇形面积 )， 并利用将所求得的面积 S 进行旋转的积分而计算出体积。
(B) 由底边等的长度进行计算的方法 将基板 (106、 109) 上所涂布的液滴 201 近似于半球或者缺损球 ( 高度短于球半径 的球的一部分。例如圆屋顶形状。)， 由几何学体积计算式计算出体积。即， 如图 7 所示， 从 基板 (106、 109) 上所涂布得液滴 201 的影像中， 将水平方向投影面形状的底边长度设为直 径 d， 或者将其二分之一的值设为半径 r， 并将垂直方向的最大长度设为高度 h， 由下式进行 计算。
[ 数 1]( 半球的体积 )
[ 数 2]( 缺损球的体积 )如上述， 本实施例的涂布装置通过镜子 107 取得从侧边拍摄到液滴 201 的影像， 能 够更加正确地捕捉液滴 201 的形状， 因而可精度佳地计测液滴 201 的体积。
本实施例的涂布装置通过使用镜子 107， 不必另外设置用于从侧边拍摄液滴 201 的摄像装置， 因而可以实现设置空间节约、 装置小型化。
实施例 2
[ 具备二片镜子的构成 ]
本实施例的涂布装置在调整机构 401 具备二片镜子 107 这点， 不同于实施例 1 的 涂布装置。
本实施例的涂布装置如图 8 所示， 设置有二片镜子 107， 能够拍摄从基板被涂布面 的平行以及相互垂直的二方向所看到的液滴 201 的形状。此处， 二片镜子 107 分别以与实 施例 1 相同的角度 α 而设置。并且， 二片镜子 107 被设置成其显示影像的面的方向对于调 整用基板 106 成相互垂直的方向。
在本实施例中， 因为镜子 107 为二片， 因此光源 111 也需要二个。光源 111 可以由
实体二个光源所构成， 也可以为将来自一个光源的光利用光学系统分割为 2 个光而照射的 构成。
当拍摄基板 106 上所涂布的液滴 201 时， 首先使摄像装置 108 移动至其中一个镜 子 107 的上方， 并拍摄液滴 201 在水平方向的投影面形状 ( 侧边影像 )。接着， 将摄像装置 108 移动至另一个镜子 107 的上方， 从最初所拍摄的投影面的垂直方向拍摄投影面形状。 然 后， 将由所拍摄到的二个影像的底边长度所计算出的值 (r 或者 d) 进行比较， 当长度相同时 便视为半球而计算出体积， 当长度不同时便视为椭圆体的一半而计算出体积。
如上述， 在本实施例的具备有成垂直的二片镜子 107 的构成中， 可以取得从相互 垂直的二方向所拍摄到的液滴 201 的影像。由此， 可以正确地捕捉液滴 201 的形状， 因而能 够精度更佳地计测液滴 201 的体积。
实施例 3
[ 具备有旋转平台的构成 ]
本实施例的装置在对于基板的被涂布面具有角度地设置于基板 106 附近的镜子 107 为一片这点， 以及以角度 α 设置这点与实施例 1 相同， 但是在具有使调整平台 105 进行 旋转的旋转驱动机构 901 这点， 则与实施例 1 的装置不同。 本实施例的调整机构 401 如图 9 所示， 通过设在调整用平台 105 的下方的旋转驱 动机构 901， 使调整平台 105 相对于镜子 107 旋转。因为调整平台 105 会旋转， 因此能够从 二个以上的方向拍摄液滴 201 的水平方向的影像。
涂布在基板 106 上的液滴 201 的拍摄， 首先将摄像装置 108 移动至所设置的镜子 107 的上方， 并拍摄对基板被涂布面成水平方向的投影面形状。接着， 在摄像装置 108 的位 置保持固定的情况下， 使调整用平台 105 进行旋转。调整用平台 105 的旋转量可以任意调 整， 例如将旋转量设定为 90 度 ( 拍摄次数 2 次 )、 或者 120 度 ( 拍摄次数 3 次 )。然后， 停 止旋转后， 拍摄液滴 201 的不同位置的侧边影像。从所拍摄到的二个以上的影像计算出体 积的方法， 与前述实施例 2 相同。
如上述， 在本实施例的具备有旋转的调整平台 105 的构成中， 通过取得从二个以 上的方向所拍摄到的影像， 可以更加正确地捕捉液滴 201 的形状， 因此能够精度更佳地计 测液滴 201 的体积。
另外， 也可以是不使基板转动， 而使镜子相对于基板进行旋转的构成。但是， 此种 构成需要追踪镜子的转动而将光入射至镜子的光源或者光学系统。
实施例 4
[ 设置可使基板朝一方向移动的搬送机构的构成 ]
本实施例的涂布装置如图 10 所示， 具备有邻接可使基板 109 朝一方向移动的搬送 机构 103 而配设的镜子 107。镜子 107 配设于载置于平台上的涂布对象基板 109 被定位的 位置附近。此外， 未图示的光源 111 被配置成隔着平台而与镜子 107 相对向。
在基板 106 上所涂布的液滴 201 的拍摄以与实施例 1 相同的步骤进行， 关于液滴 201 的体积计算方法也与实施例 1 相同。
在本实施例的构成中， 拍摄涂布对象基板 109 上所涂布的液滴 201 而计算体积。 因 此， 不需要对调整用基板 106 的涂布时间和拍摄调整用基板 106 的时间， 因此能够缩短修正 所耗费的时间。
实施例 5
由于作为摄像装置的摄像机所附设的透镜的景深 (depth offield)， 在对焦于液 滴时， 会有在基板上焦点不一致， 导致与液滴间的边界 ( 即基板上面的边缘 ) 无法鲜明拍摄 的情况 ( 图 11(a))。即， 会有边界线模糊， 导致影像辨识时或者体积计算时出现误差的情 况。
在该情况下， 为了施行更精密的测定， 而实施以下方法。
首先， 在准备上， 拍摄液滴涂布前的基板， 并对基板上面的边界线进行影像辨识而 加以储存 ( 图 11(b))。然后， 当在基板上涂布液滴， 并拍摄该液滴而进行测定时， 便根据于 上述准备中所储存的边界线， 进行影像辨识与体积计算。 更详细地说， 仅针对上述准备中所 储存的边界线更靠上方区域的影像进行影像辨识， 而计算体积 ( 图 11(c))。
如上述， 通过执行影像辨识与体积计算， 能够更精密地执行液滴的排出量的测定。
此处， 在液滴涂布前的基板的摄影时， 最好使 Z 驱动机构动作而调整焦点。此外， 液滴涂布前的基板的摄影只要基板、 摄像机等的位置未改变， 则基本上只要进行一次摄影 便可。
( 产业上的可利用性 )
本发明可在排出液体材料的各种装置中实施。
作为在液体材料离开排出装置前便接触到基板的类型的排出方式， 可以例示出 如： 对前端设有喷嘴的注射器内的液体材料以所希望时间施加调压空气的气动式 ； 具有平 面配管机构或者旋转配管机构的配管式 ； 使在前端设有喷嘴的储存容器的内面进行密接滑 动的柱塞移动所希望量而排出的柱塞式 ； 利用螺杆的旋转而排出液体材料的螺杆式 ； 利用 阀的开闭， 对经过施加所希望压力的液体材料进行排出控制的阀式等。
再者， 作为在液体材料离开排出装置后才接触到基板的类型的排出方式， 可例示 出如 ： 使阀体碰撞阀座， 而使液体材料从喷嘴前端飞散排出的喷射式 ； 使柱塞式柱塞进行 移动， 接着急遽停止， 而同样地从喷嘴前端飞散排出的柱塞喷射式 ； 连续喷射方式或者按需 方式的喷墨式等。
再者， 本发明在涂布规定涂布量的液体材料的各种涂布装置中均可以实施。可列 举例如在液晶面板制造步骤中的密封涂布装置和液晶滴下装置、 或者对印刷电路基板的焊 锡膏涂布装置等。