液滴喷出装置、点形成方法、标识码形成方法及电光学装置的制造方法.pdf

本发明提供一种液滴喷出装置，具备向被喷出面上的规定的点形成区域喷出包含点形成材料的液滴的喷出部，以及照射部，为了至少部分地抑制落在所述点形成区域后的所述液滴的润湿展开，而向所述被喷出面上照射能量束。因此，可以提高通过干燥液滴而形成的点的形状控制性。

1.  一种液滴喷出装置(20)，该装置(20)，具备：
喷出部(30)，用于向被喷出面(2b)上的规定的点形成区域(C、67)喷出包含点形成材料的液滴；
照射部(36)，为了至少部分地抑制落在所述点形成区域(C、67)上后的所述液滴的润湿展开，而向所述被喷出面(2b)照射能量束(B1)。

2.  如权利要求1所述的液滴喷出装置(20)，
用框线划分所述点形成区域(C、67)，
所述能量束(B1)，照射落在所述点形成区域(C、67)上后润湿展开的液滴中的最初接近所述框线的部分(Fb1)。

3.  如权利要求2所述的液滴喷出装置(20)，所述点形成区域(C、67)为四边形，所述能量束(B1)照射在所述四边形的各边的中心部(Fb1)。

4.  如权利要求3所述的液滴喷出装置(20)，所述能量束(B1)的截面形成为十字状。

5.  如权利要求1所述的液滴喷出装置(20)，
所述点形成区域(C、67)为四边形，至少对其一边照射所述能量束(B1)。

6.  如权利要求1所述的液滴喷出装置(20)，
所述能量束(B1)由光构成。

7.  如权利要求1所述的液滴喷出装置(20)，
所述能量束(B1)由相干光构成。

8.  如权利要求1所述的液滴喷出装置(20)，
所述能量束是第1能量束(B1)，
所述照射部(36)，为使所述液滴干燥，对所述液滴照射第2能量束(B2)。

9.  如权利要求8所述的液滴喷出装置(20)，
所述第2能量束(B2)，覆盖整个所述点形成区域(C、67)。

10.  如权利要求1所述的液滴喷出装置(20)，
所述能量束是第1能量束(B1)，
所述点形成区域(C、67)被用框线划分，
所述第1能量束(B1)，照射落在所述点形成区域(C、67)上后润湿展开的液滴中的最初接近所述框线的多个部分(Fb1)，
当所述液滴中的所述多个部分(Fb1)间的部分(Fb2)接近所述框线时，所述照射部(36)为使所述液滴干燥而照射第2能量束(B2)。

11.  如权利要求3所述的液滴喷出装置(20)，
所述能量束是第1能量束(B1)，
当所述弹落后的液滴接近所述四边形的角部时，所述照射部(36)为使所述液滴干燥而对所述液滴照射第2能量束(B2)。

12.  如权利要求1～11中任何一项所述的液滴喷出装置(20)，
所述点形成区域(C、67)能相对于所述喷出部(30)移动，
所述装置(20)还具备扫描部(62)，其为了对落在所述点形成区域(C、67)上后的液滴，照射相对静止的能量束(B1、B2)而扫描所述能量束(B1、B2)。

13.  如权利要求12所述的液滴喷出装置(20)，
所述扫描部(62)，包括与所述点形成区域(C、67)的移动同步旋转的多面反射镜(62)。

14.  如权利要求1～11中任何一项所述的液滴喷出装置(20)，
所述被喷出面(2b)相对于所述液滴具有亲液性。

15.  一种点形成方法，该方法具备以下步骤：
向被喷出面(2b)上喷出包含点形成材料的液滴的步骤；
为了至少部分地抑制落在所述被喷出面(2b)上后的所述液滴的润湿展开，而向所述被喷出面(2b)照射能量束(B1)的步骤；
通过干燥落在所述被喷出面(2b)上后的所述液滴，形成点(D)的步骤。

16.  如权利要求15所述的方法，
在向所述被喷出面(2b)喷出所述液滴之前，对所述被喷出面(2b)照射所述能量束(B1)。

17.  如权利要求15所述的方法，所述能量束是第1能量束(B1)，
所述方法，还具备在所述第1能量束(B1)照射后，向所述液滴照射使所述液滴干燥的第2能量束(B2)的步骤。

18.  如权利要求15所述的方法，
所述被喷出面(2b)规定在基板(2)上，在所述被喷出面(2b)上规定代码形成区域(S)，向从分割所述代码形成区域(S)而形成的多个数据单元(C)中选择的规定的数据单元(C1)喷出所述液滴，
所述能量束(B1)，为了抑制落在所述数据单元(C1)上后的液滴从数据单元(C1)润湿展开，而照射所述数据单元(C1)，
通过在所述数据单元(C1)上形成所述点，在所述代码形成区域(S)上形成标识码(10)。

19.  如权利要求15所述的方法，
所述点形成材料是着色层形成材料，所述被喷出面(2b)规定在基板(2)上，在所述被喷出面(2b)上规定多个着色层形成区域(67)，向各形成区域(67)喷出所述液滴，
所述能量束(B1)，为了抑制落在所述形成区域(67)上后的液滴从所述形成区域(67)润湿展开，而照射所述形成区域(67)，
通过在所述形成区域(67)上形成所述点，在所述基板(2)上形成着色层(68R、68G、68B)。

20.  如权利要求15所述的方法，
所述点形成材料是用于形成电光学装置的发光层的材料，所述被喷出面(2b)规定在所述电光学装置的基板(2)上，在所述被喷出面(2b)上规定多个发光层形成区域(C)，向各形成区域(C)喷出所述液滴，
所述能量束(B1)，为了抑制落在所述形成区域(C)上后的液滴从所述形成区域(C)润湿展开，而照射所述形成区域(C)，
通过在所述形成区域(C)上形成所述点，在所述基板(2)上形成发光层。

液滴喷出装置、点形成方法、标识码形成方法 及电光学装置的制造方法
技术领域
本发明涉及液滴喷出装置、点形成方法、标识码形成方法及电光学装置的制造方法。
背景技术
以往，在液晶显示装置或有机场致发光显示装置(有机EL显示装置)等电光学装置中，具备用于显示图像的透明玻璃基板(以下，简称为基板)。在此种基板上，以质量管理或制造管理为目的，形成使其制造单位或制品号码等制造信息代码化的标识码(例如，二维代码)。如此的标识码，在配列的多个点形成区域(数据单元)的一部上，具备用于再生代码整体所需的、可识别形状(例如，有色的薄膜或凹部)的点。根据该点的有无，使所述基板的信息代码化。
关于该标识码的形成方法，提出了对金属箔照射激光束，溅射成膜代码的激光溅射法，或对基板等喷射含有研磨材料的水而刻印代码的喷水法(参照日本国专利申请公开平11-77340号公报及日本国专利申请公开2003-127537号公报)。
但是，在上述激光溅射法中，为得到所希望的尺寸的点，必须将金属箔和基板的间隙调整到几μm～几十μm。即，对基板及金属箔的表面要求非常高的平坦性，而且必须以μm级的精度调整两者间的间隙。其结果，能够形成标识码的基板受到限制，存在通用性低的问题。此外，在喷水法中，在基板上刻印时，因水、尘埃、研磨剂等飞散，存在污染基板的顾虑。
近年来，作为解决如此的生产上的问题的标识码形成方法，喷墨法引人注目。喷墨法，从液滴喷出装置喷出含有金属微粒子的液滴，通过使该液滴干燥形成点。因此，能够扩大可形成标识码的基板的选择范围，能够避免基板的污染等而形成标识码。
此外，喷墨法，从能够形成与液滴的尺寸相符的点的方便性考虑，也能够用作在上述液晶显示装置或有机EL显示装置的像素区域具备的滤色器或发光元件的制造方法。即，向滤色器的着色的形成区域喷出含有各色的着色层形成材料的液滴，通过干燥弹落的液滴形成滤色器。此外，通过向发光元件形成区域喷出含有发光层形成材料的液滴，使弹落后的液滴干燥而形成发光元件。由此，能够削减用于形成点的掩模、或用于形成该掩模的光刻蚀工序，能够提高点的生产性。
但是，上述数据单元、着色层形成区域及发光元件形成区域的形状，根据其使用用途，有椭圆形状或矩形状等多种。因此，在上述喷墨法中，有以下顾虑。
即，弹落后的液滴，在点形成区域润湿展开，定影成大致半球面状。其结果，有形成从点形成区域溢出的点的顾虑。
为解决如此的问题，考虑以围住整个点形成区域的方式形成对液滴赋予疏液性的隔壁。但是，增加用于形成隔壁的图形加工工序，有点的制造工序数增加的顾虑。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种提高通过干燥液滴形成的点的形状控制性的液滴喷出装置、点形成方法、标识码形成方法及电光学装置的制造方法。
根据本发明的第1视点，提供一种液滴喷出装置。该装置具备喷出部，用于向被喷出面上的规定的点形成区域喷出包含点形成材料的液滴。照射部，可至少局部抑制落在所述点形成区域上后的所述液滴的润湿展开，向所述被喷出面上照射能量束。
根据本发明地第2视点，提供一种点形成方法。该方法具备向被喷出面上喷出包含点形成材料的液滴的步骤。为了至少局部抑制落在所述被喷出面上后的所述液滴的润湿展开，向所述被喷出面上照射能量束。通过干燥落在所述被喷出面上后的所述液滴，形成点。
附图说明
图1是液晶显示模块的主视图。
图2是形成在图1的液晶显示模块的背面上的标识码的主视图。
图3是图2的标识码的侧视图。
图4是图2的标识码的构成的说明图。
图5是实施本发明的第1实施方式的液滴喷出装置的立体图。
图6是从下方看图5的液滴喷出装置具有的喷头的立体图。
图7是表示来自图6的喷头的液滴喷出的状况的剖面图。
图8是从图5的液滴喷出装置照射的光束点的俯视图。
图9是表示对液滴照射第1光束点的状态的俯视图。
图10是表示对液滴照射第2光束点的状态的俯视图。
图11是图5的液滴喷出装置的电路框图。
图12是图7所示的压电元件和半导体激光器的驱动时序图。
图13是表示本发明的第2实施方式中的激光头的剖面图。
图14是表示图13的激光头的作用的剖面图。
图15是具有图13的激光头的液滴喷出装置的电路框图。
图16是图13所示的压电元件和半导体激光器的驱动定时图。
图17是表示本发明的第3实施方式的滤色器基板的立体图。
图18是表示图17的滤色器基板的制作过程的侧视图。
图19是表示图17的滤色器基板的剖面图。
图20是光束点的变更例的俯视图。
具体实施方式
以下，参照图1～图12，具体说明实施本发明的第1实施方式。
首先，说明具有使用本发明的液滴喷出装置形成的标识码的作为电光学装置的液晶显示装置。
在图1中，组装在液晶显示装置中的液晶显示模块1，具备形成四角形状的光透过性的透明玻璃基板2(以下简称为基板2)。在本实施方式中，在图1中，将基板2的长方向(横向方向)规定为X方向，将与X方向正交的方向规定为Y方向。
在基板2的表面2a的大致中央，形成四角形状的显示部3s。在显示部3s上贴合滤色器基板3(参照图17)，在滤色器基板3和基板2之间的间隙中封入液晶分子。
在显示部3s的外侧，形成扫描线驱动电路4及数据线驱动电路5。另外，液晶显示模块1，基于扫描线驱动电路4供给的扫描信号及数据线驱动电路5供给的数据信号，控制所述液晶分子的取向状态。另外，液晶显示模块1，根据液晶分子的取向状态，调谐从未图示的照明装置照射的平面光，在显示部3s显示所希望的图像。
对基板2的作为被喷出面的背面2b，赋予对微小的液滴Fb的亲液性，在图1的右角上，形成液晶显示模块1的标识码10。如图2所示，标识码10由形成在代码形成区域S内的多个点D构成。代码形成区域S，如图4所示，被均等地假想分割成16行×16列的合计256个作为点形成区域的数据单元(以下简称为单元C)。如果详细说明，本实施方式中的代码形成区域S是一边为2.24mm的正方形的区域，代码形成区域S被假想分割成为一边140μm的正方形的256个单元C。另外，在单元C上有选择地形成点D，根据点D的分布方式决定标识码10，能够识别液晶显示模块1的制品号码或批量号码。
在本实施方式中，将该单元C的一边的尺寸称为单元尺寸Ra。此外，将形成点D的单元C称为黑色单元C1，将未形成点D的单元C称为白色单元C0。此外，在图4中，从左至右，即朝反X方向，依次称为第1列单元C、第2列单元C、...、第16列单元C，在图4中，从上往下，即朝反Y方向，依次称为第1行单元C、第2行单元C、...、第16行单元C。
点D，如图2所示形成平面视与黑色单元C1匹配的四角形状，如图3所示形成侧视与基板2紧密粘接的半球状。该点D由喷墨法形成。
如果详细叙述，为形成点D，图5所示的液滴喷出装置20，从图6及图7所示的喷嘴N，向单元C(黑色单元C1)喷出液滴Fb。该液滴Fb，含有作为点形成材料的金属微粒子，例如镍粒子等。如果干燥落在单元C(黑色单元C1)上的液滴Fb，烧结金属微粒子，就形成点D。
下面，详细说明用于形成所述标识码10的所述液滴喷出装置20。图5是表示液滴喷出装置20的构成的立体图。
在图5中，液滴喷出装置20，具备长方形状的基座21和基板载置台23。在基座21的上面，贯通基座21的总长地形成1对导向凹槽22，所述基板载置台23由未图示的直动机构支持在所述导向凹槽22上。以在基板载置台23上载置所述基板2的状态，使基座21的长方向及基板载置台23的移动方向与所述X方向一致。基板载置台23的直动机构，例如是旋转式直动机构，其具备沿着导向凹槽22向X方向延伸的作为驱动轴的螺旋轴、和与该旋转轴螺合的螺母，所述驱动轴通过由步进电动机而构成的X轴电机MX(参照图11)驱动。如果向X轴电机MX输入相对于规定步长数的驱动信号，X轴电机MX就正转或反转，基板载置台23以相当于该步长数的程度，沿着X方向，以规定的输送速度Vx往复运动。
在本实施方式中，图5中实线所示的基板载置台23的位置是往动开始位置，图5中2点虚线所示的基板载置台23的位置是复动开始位置。
在由基板载置台23的上面构成的载置面24上，设置未图示的吸引式的基板吸盘机构。另外，如果以背面2b(代码形成区域S)朝上侧的状态，将基板2载置在载置面24上，背面2b就被定位在载置面24上，将第1列单元C配置在复动开始位置上。由该状态，以输送速度Vx，使基板载置台23向X方向往动。
在基座21的Y方向的两侧部，立设一对支持架25a、25b，在该一对支持架25a、25b上架设向Y方向延伸的导向部件26。导向部件26的长方向尺寸，比基板载置台23的Y方向尺寸加长地形成，导向部件26的一端从支持架25a突出。在该支持架25a的突出部分的正下方，配设用于擦拭且清洗喷头30的喷嘴形成面31a(参照图6)的未图示的维护装置。
在导向部件26的上面，设置收容罐27。在该收容罐27中收容分散有所述金属微粒子的功能液F(参照图7)，该功能液F，可向喷头30的喷嘴N导出。
在导向部件26的下部，形成向Y方向延伸的上下一对导轨28，在该导轨28上可使滑架29往复动地支持滑架29。滑架29，通过具有沿着导轨28向Y方向延伸的旋转轴(驱动轴)、和与旋转轴螺合的螺母的旋转式直动机构，向Y方向往复动。所述驱动轴与由步进电机而构成的Y轴电机MY(参照图11)连接。
在本实施方式中，使滑架29可在图5中实线所示的位置(支持架25a附近的位置)、和图5中2点虚线所示的位置(支持架25b附近的位置)的之间往复动。
在图5所示的滑架29的下面，设置喷头30。图6表示在使该喷头30的下面，即朝基板载置台23的面朝上方时的立体图。图7是用于说明该喷头30的内部结构的剖面图。
如图7所示，在喷头30的下面具备喷嘴板31，在由该喷嘴板31的下面形成的喷嘴形成面31a上，用于喷出液滴Fb的16个喷嘴N，形成向Y方向延伸的一列，相互按等间隔配置。
喷嘴N，为按与单元C的尺寸Ra相同的尺寸形成的圆形孔。喷嘴N，在基板2的代码形成区域S向X方向往复直线移动时，分别与单元C对峙地配置。如图7所示，各喷嘴N，与喷嘴形成面31a垂直地延伸。即，喷嘴N，向基板2的背面2b的法线方向即Z方向延伸。
如图7所示，在喷头30上，形成与喷嘴N连通的作为压力室的空腔32。从各空腔32分别延伸连通孔33，这些连通孔33与一条供给路34连通，该供给路34与所述收容罐27连通。因此，能够向各空腔32导入收容罐27内的功能液F。空腔32，将导入的功能液F分别供给对应的喷嘴N。
喷头30，具有区分空腔32的振动板35。振动板35，例如，是大约厚2μm的聚苯硫醚(PPS)薄膜，可振动地贴装在Z方向，扩大及缩小空腔32的容积。
以与振动板35邻接，与各喷嘴N对应的方式，配设16个压电元件PZ。各压电元件PZ，根据压电元件驱动信号COM1(参照图11)收缩及伸张，使所述振动板35向Z方向振动。
如果压电元件PZ收缩及伸张，空腔32内的容积就扩大及缩小，相当于缩小量的功能液F，从喷嘴N作为液滴Fb喷出。喷出的液滴Fb，如果落在背面2b上，因背面2b的亲液性，就一边呈现半球面状，一边朝径向外侧润湿展开。由于因背面2b的亲液性，容易润湿展开液滴Fb，所以直到单元C1的角部都能无间隙地形成点D。
在本实施方式中，将背面2b上且喷嘴N的正下方，即刚落在背面2b上后的液滴Fb的位置，称为落点位置Pa。
如图5所示，在滑架29的下侧，即在所述喷头30的X方向侧，并设作为激光照射部的激光头36。
如图6及图7所示，在激光头36的下面，形成与所述16个喷嘴N对应的16个出射口37。
如图7所示，在激光头36的内部具备半导体激光器阵列LD，该半导体激光器阵列LD具有与所述16个出射口37对应的16个半导体激光器L。半导体激光器阵列LD，输出作为能量束的激光束B。本实施方式中的激光束B，是能够蒸发液滴Fb的分散剂、能够烧成液滴Fb内的金属微粒子的波长区域(例如，800nm)的光，是相干光。
在激光头36的内部，从半导体激光器阵列LD朝出射口37依次，16个半导体激光器L，每个具备准直器36a、衍射元件36b、反射镜36c和物镜36d。准直器36a，将从半导体激光器阵列LD出射的激光束B形成平行光束，导入衍射元件36b。根据闭锁点信号SB1(参照图11)及干燥强度信号SB2(参照图11)，机械驱动或电驱动衍射元件36b，向所述激光束B赋予规定的相位调谐。聚光镜36c，将通过衍射元件36b的激光束B导入物镜36d。物镜36d，向落点位置Pa聚集由反射镜36c反射的激光束B。
通过根据闭锁点强度信号SB1及干燥强度信号SB2驱动衍射元件36b，在落点位置Pa，照射作为图8所示的第1光束点的闭锁点B1、和作为第2光束点的干燥点B2。十字状的闭锁点B1，包含沿着X方向比单元尺寸Ra若干加长延伸的带状的点、和沿着Y方向比单元尺寸Ra若干加长延伸的带状的点。干燥点B2，覆盖单元C(黑色单元1)整体。
另外，本实施方式的激光头36，是由准直器36a、衍射元件36b、反射镜36c和物镜36d构成的光学系，但也不局限于此，只要能够成形1种激光束截面(闭锁点B1及干燥点B2)就可以，例如也可以是由掩模及衍射光栅等构成的光学系。
在液滴Fb落在落点位置Pa上后，液滴Fb的外径扩大。如图9所示，如果液滴Fb的外径增大到比单元尺寸Ra若干小的作为规定外径的照射径Re，就向液滴Fb照射闭锁点B1。于是，闭锁点B1，照射最接近黑色单元C1的框线的液滴Fb的作为外缘的部分的抑制部Fb1、和在液滴Fb内通过所述抑制部Fb1的作为十字状区域的被照射部Fs1。由此，闭锁点B1，干燥抑制部Fb1和被照射部Fs1的功能液，使其定影在单元C上。
因此，闭锁点B1，在抑制部Fb1抑制液滴Fb的向径向外侧的润湿展开，将液滴Fb封闭，即闭锁(pinning)在黑色单元C1内。
另外，未被照射闭锁点B1的液滴Fb的部分，因背面2b的亲液性，继续向图10的虚线方向，即向径向外侧的润湿展开。其结果，液滴Fb的润湿展开量，在抑制部Fb1相互间的中间部，即最远离抑制部Fb1的伸出部Fb2达到最大。
因此，如图10所示，按所述伸出部Fb2在黑色单元C1的角部附近，与黑色单元C1的框线接触的时序，对液滴Fb照射干燥点B2的激光束B。于是，以覆盖与黑色单元C1的框线匹配的液滴Fb的整体的方式，照射干燥点B2，干燥并烧成液滴Fb整体。
因此，干燥点B2，通过在整个黑色单元C1区域干燥并烧成液滴Fb整体，形成与黑色单元C1的框线匹配的点D。
在本实施方式中，将从压电元件PZ开始喷出动作时，到弹落后的液滴Fb的外径增大到照射径Re时即照射闭锁点B1时的时间，称为第1待机时间T1。此外，将从压电元件PZ开始喷出动作时，到伸出部Fb2到达黑色单元C1的框线时即照射干燥点B2时的时间，称为第2待机时间T2。在本实施方式中，用超高速度摄像机等观测弹落后的液滴Fb，计测上述的第1待机时间T1和第2待机时间T2。
下面，根据图11说明如此构成的液滴喷出装置20的电构成。
在图11中，在控制装置40中，具备，由CPU等构成的控制部41、由DRAM及SRAM构成的用于存储各种数据的RAM42、存储各种控制程序的ROM43。此外，在控制装置40中，具备，生成所述压电元件驱动信号COM1的驱动信号生成电路44、生成所述激光器驱动信号COM2的电源电路45、生成用于使各种信号同步的时钟信号CLK的振荡电路46等。
另外，在控制装置40中，经由未图示的总线连接上述控制部41、RAM42、ROM43、驱动信号生成电路44、电源电路45、振荡电路46。
在控制装置40上连接输入装置51。输入装置51，具有起动开关及停止开关等操作开关，将利用各开关的操作信号输出给控制装置40(控制部41)。此外，输入装置51，作为既定形式的描绘数据Ia，向控制装置40输出，按公知的方法使基板2的制品号码或批量号码等识别数据二维代码化的标识码10的图像。控制装置40，根据来自输入装置51的描绘数据Ia、和存储在ROM43等中的控制程序(例如，标识码制作程序)，移动基板载置台23，进行基板2的输送处理，通过驱动喷头30的各压电元件PZ，进行液滴喷出处理。此外，控制装置40，按照标识码制作程序，驱动半导体激光器阵列LD，进行干燥及烧成液滴Fb的干燥及烧成处理。
如果详细说明，控制部41，对来自输入装置51的描绘数据Ia，实施规定的展开处理，在二维描绘平面(代码形成区域S)上的各单元C，生成表示是否喷出液滴Fb的位图数据BMD，将生成的位图数据BMD存储在RAM中。该位图数据BMD，是与16×16个所述单元对应的16×16位的数据，根据各位的值(0或1)，规定所述压电元件PZ的接通或断开(是否喷出液滴Fb)。
此外，控制部41，对来自输入装置51的描绘数据Ia实施与所述位图数据BMD的展开处理不同的展开处理，生成与描绘条件相符的压电元件驱动信号COM1的波形数据，输出给驱动信号生成电路44。驱动信号生成电路44，将来自控制部41的波形数据存储在未图示的波形存储器中。另外，驱动信号生成电路44，通过数字/模拟变换存储的波形数据，放大模拟信号的波形信号，生成对应的压电元件驱动信号COM1。
另外，控制部41，与来自振荡电路46的时钟信号CLK同步，作为喷出控制数据SI，向喷头驱动电路57(移位寄存器57a)串行转送位图数据BMD。此外，控制部41，输出用于闩锁喷出控制数据SI的闩锁信号LAT。
另外，控制部41，与来自振荡电路46的时钟信号CLK同步地，向喷头驱动电路57(开关电路57d)输出所述压电元件驱动信号COM1。此外，控制部41，向喷头驱动电路57(开关电路57d)输出选择信号SEL，选择压电元件驱动信号COM1，向各压电元件PZ(PZ1～PZ16)外加压电元件驱动信号COM1。
如图11所示，在控制装置40上连接X轴电机驱动电路52，向X轴电机驱动电路52输出X轴电机驱动信号。X轴电机驱动电路52，应答来自控制装置40的X轴电机驱动信号，使X轴电机MX正转或反转，往复移动所述基板载置台23。例如，如果使X轴电机MX正转，基板载置台23就向X方向移动，如果使其反转，基板载置台23就向反X方向移动。
在控制装置40上连接Y轴电机驱动电路53，向Y轴电机驱动电路53输出Y轴电机驱动信号。Y轴电机驱动电路53，应答来自控制装置40的Y轴电机驱动信号，使Y轴电机MY正转或反转，往复移动所述滑架29。例如，如果使Y轴电机MY正转，滑架29就向Y方向移动，如果使其反转，滑架29就向反Y方向移动。
在控制装置40上，连接基板检测装置54。基板检测装置54，用于检测基板2的端边缘，通过控制装置40计算通过喷头30(喷嘴N)的正下方的基板2的位置。
在控制装置40上，连接X轴电机旋转检测器55，输入来自X轴电机旋转检测器55的检测信号。控制装置40，基于来自X轴电机旋转检测器55的检测信号，检测X轴电机MX的旋转方向及旋转量，运算基板载置台23的X方向的移动量和移动方向。
在控制装置40上，连接Y轴电机旋转检测器56，输入来自Y轴电机旋转检测器56的检测信号。控制装置40，基于来自Y轴电机旋转检测器56的检测信号，检测Y轴电机MY的旋转方向及旋转量，运算滑架29的Y方向的移动量和移动方向。
在控制装置40上，连接喷头驱动电路57及激光头驱动电路58。
在喷头驱动电路57上，具备移位寄存器57a、闩锁电路57b、电平移位器57c及开关电路57d。移位寄存器57a，与16个压电元件PZ(PZ1～PZ16)对应地，串行/并行变换与时钟信号CLK同步的来自控制装置40的喷出控制数据SI。闩锁电路57b，与来自控制装置40的闩锁信号LAT同步地，闩锁并行变换后的16位的喷出控制数据SI，输出给电平移位器57c及激光头驱动电路58(延迟电路58a)。电平移位器57c，将闩锁后的喷出控制数据SI升压到开关电路57d的驱动电压，生成与各压电元件PZ(PZ1～PZ16)对应第1开关信号GS1(参照图12)。
在开关电路57d上，具备与各压电元件PZ对应的未图示的16个开关元件。向各开关元件的输入部，输入与所述选择信号SEL对应的压电元件驱动信号COM1，在输出部，连接对应的压电元件PZ(PZ1～PZ16)。向开关电路57d的各开关元件，分别输入来自电平移位器57c的第1开关信号GS1，确定是否向对应的压电元件PZ供给压电元件驱动信号COM1。
即，本实施方式的液滴喷出装置20，向对应的各压电元件PZ外加由驱动信号生成电路44生成的压电元件驱动信号COM1，同时根据来自控制装置40的喷出控制数据SI(第1开关信号GS1)控制该压电元件驱动信号COM1的外加。如果对与关闭状态的开关元件对应的压电元件PZ外加压电元件驱动信号COM1，就从与该压电元件PZ对应的喷嘴N喷出液滴Fb。
图12是表示上述闩锁信号LAT、喷出控制数据SI及第1开关信号GS1的脉冲波形的时序图。
如图12所示，如果输入给喷头驱动电路57的闩锁信号LAT下降，则基于16位程度的喷出控制数据SI，生成第1开关信号GS1，在第1开关信号GS1升高时，向对应的压电元件PZ供给压电元件驱动信号COM1。然后，通过基于压电元件驱动信号COM1的压电元件PZ的伸缩运动，从对应的喷嘴N喷出液滴Fb。如果第1开关信号GS1下降，就结束液滴Fb的喷出工作。
在激光头驱动电路58上，具备延迟电路58a、衍射元件驱动电路58b及开关电路58c。
延迟电路58a，生成使闩锁电路57b闩锁的喷出控制数据SI只延迟所述第1待机时间T1的规定时间幅度的脉冲信号(第2开关信号GS2及点形成信号GS3a)。此外，延迟电路58a，生成使闩锁电路57b闩锁的喷出控制数据SI只延迟所述第2待机时间T2的规定时间幅度的脉冲信号(点切换信号GS3b)。
另外，延迟电路58a，向衍射元件驱动电路58b输出点形成信号GS3a及点切换信号GS3b。此外，延迟电路58a，向开关电路58c输出第2开关信号GS2。
衍射元件驱动电路58b，收到来自延迟电路58a的点形成信号GS3a，向对应的衍射元件36b输出闭锁强度信号SB1。此外，衍射元件驱动电路58b，收到来自延迟电路58a的点切换信号GS3b，向对应的衍射元件36b输出干燥强度信号SB2。然后，衍射元件驱动电路58b，按接收点形成信号GS3a及点切换信号GS3b的时序，分别驱动各衍射元件36b，成形闭锁点B1及干燥点B2。
在开关电路58c上，具备与各半导体激光器L对应的未图示的16个开关元件。在各开关元件的输入侧，输入电源电路45生成的激光器驱动信号COM2，在输出侧连接对应的各半导体激光器L(L1～L16)。另外，分别向开关电路58c的各开关元件输入来自延迟电路58a的对应的第2开关信号GS2，根据各第2开关信号GS2，控制是否向半导体激光器L供给激光器驱动信号COM2。
即，本实施方式的液滴喷出装置20，共通地向对应的各半导体激光器L，外加电源电路45生成的激光器驱动信号COM2，同时通过来自控制装置40(喷头驱动电路57)的喷出控制数据SI(第2开关信号GS2)控制该激光器驱动信号COM2的外加。然后，如果基于喷出控制数据SI，向与关闭状态的开关元件对应的半导体激光器L供给激光器驱动信号COM2，就从对应的半导体激光器L出射激光束B，向落点位置Pa，照射闭锁强度信号SB1或干燥强度信号SB2的激光束B。
另外，如图12所示，如果在将闩锁信号LAT输入给喷头驱动电路57后，经过第1待机时间T1，就通过延迟电路58a生成点形成信号GS3a及第2开关信号GS2，将该点形成信号GS3a及第2开关信号GS2，分别供给衍射元件驱动电路58b及开关电路58c。
另外，在点形成信号GS3a升高时，衍射元件驱动电路58b向衍射元件36b输出闭锁强度信号SB1，进行基于闭锁强度信号SB1的驱动。在第2开关信号GS2升高时，闩锁电路58c，向对应的半导体激光器L外加激光器驱动信号COM2，从半导体激光器L出射激光束B。
因此，如果经过第1待机时间T1，则向照射径Re的液滴Fb一齐照射闭锁点B1。
如果经过第2待机时间T2，则通过延迟电路58a生成点切换信号GS3b，将该点切换信号GS3b供给衍射元件驱动电路58b。在点切换信号GS3b升高时，衍射元件驱动电路58b向衍射元件36b输出干燥强度信号SB2。
因此，如果经过第2待机时间T2，就向照射径Re的液滴Fb一齐照射干燥点B2。
另外，如果第2开关信号GS2下降，就遮断激光驱动信号COM2的供给，结束利用半导体激光器L的干燥及烧成处理。
下面，说明采用液滴喷出装置20，形成标识码的方法。
首先，如图5所示，在往动开始位置上的基板载置台23上，以背面2b为上侧地配置基板2。此时，基板2不超过导向部件26。此外，滑架29(喷头30)，移动到导向部件26的中央部，沿着其正下方通过基板2的代码形成区域S。
控制装置40，驱动X轴电机MX，经由基板载置台23，以输送速度Vx向X方向输送基板2。随即，如果基板检测装置54检测出基板2的端边缘，控制装置40就基于来自Y轴电机旋转检测器56的检测信号，运算是否将第1列单元C(黑色单元C1)的中心部输送到落点位置Pa。
此间，控制装置40，按照代码制作程序，向喷头驱动电路57输出，基于存储在RAM42中的位图数据BMD的喷出控制信号SI、和在驱动信号生成电路44生成的压电元件驱动信号COM1。此外，控制装置40，向激光驱动电路58输出在电源电路45生成的激光器驱动信号COM2。另外，控制部41，等待向喷头驱动电路57输出闩锁信号LAT的时序。
然后，如果第1列单元C(黑色单元C1)被输送到落点位置Pa，控制装置40就经由X轴电机驱动电路52停止基板2的输送，向喷头驱动电路57输出闩锁信号LAT。如果喷头驱动电路57收到闩锁信号LAT，就基于喷出控制数据SI，生成第1开关信号GS1，向开关电路57d输出该第1开关信号GS1。另外，向与关闭状态的开关元件对应的压电元件PZ，供给与选择信号SEL对应的压电元件驱动信号COM1，从对应的喷嘴N一齐喷出液滴Fb。喷出的液滴Fb落在对应的黑色单元C1上。
另外，如果向喷头驱动电路57输入闩锁信号LAT，激光驱动电路58(延迟电路58a)，收到来自闩锁电路57b的喷出控制数据SI，开始点形成信号GS3a、点切换信号GS3b及第2开关信号GS2的生成，等待分别向衍射元件驱动电路58b及开关电路58c输出点形成信号GS3a、点切换信号GS3b及第2开关信号GS2的时序。
另外，如果从压电元件PZ开始喷出动作时，即从控制装置40输出闩锁信号LAT时开始，经过第1待机时间T1，激光头驱动电路58，就向衍射元件驱动电路58b输出点形成信号GS3a，向开关电路58c输出第2开关信号GS2。
于是，衍射元件驱动电路58b，向衍射元件36b输出闭锁强度信号SB1，进行衍射元件36b的驱动。此外，开关电路58c，基于第2开关信号GS2，向与关闭状态的开关元件对应的半导体激光器L，供给激光器驱动信号COM2，从半导体激光器L一齐出射激光束B。
落在黑色单元C1上的液滴Fb，通过经过第1待机时间T1，润湿展开到外径达到照射径Re。
因此，对落点位置Pa的液滴Fb，按外径增大到照射径Re的时序，照射闭锁点B1。因此，在抑制部Fb1抑制液滴Fb的朝径向外侧的润湿展开。即，液滴Fb被闭锁在黑色单元C1内。
如果从控制装置40输出闩锁信号LAT时开始，仅经过第2待机时间T2，激光驱动电路58就向衍射元件驱动电路58b输出点切换信号GS3b。
于是，衍射元件驱动电路58b，向衍射元件36b输出干燥强度信号SB2，进行基于该干燥强度信号SB2的衍射元件36b的驱动。
通过经过第2待机时间T2，液滴Fb的伸出部Fb2，在黑色单元C1的角部附近润湿展开到到达黑色单元C1的框线。
因此，对液滴Fb，按伸出部Fb2到达黑色单元C1的框线的定时照射干燥强度信号SB2，以与黑色单元C1的框线匹配的状态(液滴Fb埋没黑色单元C1的状态)干燥及烧成液滴Fb。即，形成与黑色单元C1的框线匹配的第1列点D。
以后，同样，控制装置40，每当在落点位置Pa配置各列的单元C，就从喷嘴N一齐喷出液滴Fb，在经过第1待机时间T1时照射闭锁点B1，在经过第2待机时间T2时照射干燥点B2。
如果标识码10的形成结束，则控制装置40就驱动X轴电机MX，从喷头30的下方送出基板2。
下面，说明如上所述构成的本实施方式的效果。
(1)按落在落点位置Pa上后的液滴Fb的外径，增大到比单元尺寸Ra若干小的照射径Re的时序，半导体激光器L向液滴Fb照射十字状的闭锁点B1。闭锁点B1，由在落点位置Pa的区域，比单元尺寸Ra向X方向若干加长延伸的带状的点、和比单元尺寸Ra向Y方向若干加长延伸的带状的点构成。
其结果，能够干燥、定影液滴Fb的抑制部Fb1和被照射部Fs1，能够在抑制部Fb1抑制液滴Fb向径向外侧的润湿展开，能够将液滴Fb闭锁在黑色单元C1内。因此，能够防止点D从单元C溢出。
(2)在落点位置Pa，照射覆盖单元C(黑色单元C1)整体的大致四角形状的干燥点B2。能够按闭锁的液滴Fb的伸出部Fb2在黑色单元C1的角部附近到达黑色单元C1的框线的时序，向液滴Fb照射干燥点B2。
因此，能够按液滴Fb的形状与黑色单元C1的框线匹配的时序，干燥及烧成液滴Fb的整体。即，能够形成与黑色单元C1的框线匹配的形状的点D。因此，能够防止在点形成区域残留未形成点的部位。
(3)基于闭锁强度信号SB1及干燥强度信号SB2驱动衍射元件36b，动态成形上述的闭锁点B1和干燥点B2。因此，能够按所要求的时序分别进行液滴Fb的闭锁及干燥，能够高精度地控制点D的形状。
(4)根据上述实施方式，利用从半导体激光器L照射的激光束B，成形闭锁点B1和干燥点B2。能够利用与液滴Fb的干燥及烧成条件对应的波长区域的光，高精度地成形闭锁点B1及干燥点B2。因此，能够高精度地形成与黑色单元C1的框线匹配的形状的点D。
接着，根据图13～图16说明实施本发明的第2实施方式。在第2实施方式中，变更激光头36的光学系。
如图13所示，在激光头36上，除半导体激光器阵列LD、准直器36a及衍射元件36b外，配置圆柱面透镜61、多面反射镜62及扫描透镜63。多面反射镜62具有作为光束扫描部的功能。图13表示多面反射镜62的旋转角θp为0°的状态。
只具有单面曲率的圆柱面透镜61，进行有关多面反射镜62的所谓“倒角修正”，将激光束B导入多面反射镜62。正三十六角形的多面反射镜62具有合计36面的反射面M，通过多面电机MP(参照图15)，使这些反射面M向图13所示的箭头方向(顺时针旋转方向)旋转。即，每当多面反射镜62的旋转角θp向箭头R方向前进10°，就切换导入激光束B的反射面M。由多面反射镜62反射的激光束B，照射在基板2的背面2b上。扫描透镜63，是用于使激光束B在基板2上的扫描速度固定的所谓fθ透镜。另外，fθ透镜的像高Y与入射角θ成正比，如果设焦点距离为f，则Y＝fθ的关系成立。fθ透镜，用于简化等速度扫描。
如图13所示，激光束B，如果在反射面M(Ma)的箭头R方向端部反射，就相对于扫描透镜63的光轴63A，在与半导体激光器阵列LD的相反侧，以第1偏向角θ1偏向。在本实施方式中，第1偏向角θ1为5°。
圆柱面透镜61，相对于与图13的纸面垂直的方向，调整激光束B的光轴，将激光束B导入多面反射镜62。在多面反射镜62的旋转角θp为0°时，多面反射镜62的反射面Ma，相对于光轴63A，在与半导体激光器阵列LD的相反侧，以第1偏向角θ1偏向激光束B，使其通过扫描透镜63，导入在背面2b上。
将在旋转角θp为0°时被照射激光束B的背面2b上的位置称为照射开始位置Pe1。该照射开始位置Pe1，设定成从落点位置Pa朝X方向离开规定距离。该规定距离，以落在基板2上后的液滴Fb的外径在照射开始位置Pe1达到照射径Re的方式设定。
因此，如图13所示，在多面反射镜62的旋转角θp为0°时，在照射开始位置Pe1，对照射径Re的液滴Fb，照射被反射面Ma反射的闭锁点B1。
另外，如果向箭头R方向旋转多面反射镜62，旋转角θp达到大致10°，如图14所示，反射面Ma的反箭头R方向侧的端部，相对于光轴63A，向第2偏向角θ2(θ2＝-5°)的方向反射激光束B。如此反射的激光束B，通过扫描透镜63，达到背面2b上。
在本实施方式中，将在旋转角θp为10°时被照射激光束B的背面2b上的位置称为照射结束位置Pe2。将该照射结束位置Pe2和前述照射开始位置Pe1之间的区域规定为扫描区域Ls。按单元尺寸Ra设定该扫描区域Ls的X方向尺寸，即扫描尺寸。
即，激光头36，以通过由多面反射镜62形成的偏向反射，按单元c(单元尺寸Ra)单位扫描激光束B(光束点)的方式构成。如此，多面反射镜62使激光束B从照射开始位置Pe1移动到照射结束位置Pe2。
基板载置台23(黑色单元C1)的输送速度Vx，按在一次扫描光束点的期间，黑色单元C1的中心部从照射开始位置Pe1输送到照射结束位置Pe2的速度设定。而且，输送速度Vx，以在各液滴Fb通过所述扫描区域Ls时分别经过第2待机时间T2(照射干燥点B2的时序)的方式设定。
如此，通过在液滴Fb经过扫描区域Ls时以单元C为单位扫描激光束B，能够以相对的静止状态，依次对液滴Fb照射闭锁点B1及干燥点B2。
下面，参照图15说明如此构成的液滴喷出装置20的电气构成。
在激光头驱动电路58中，具备多面驱动电路58d。多面驱动电路58d，接收来自控制装置40的多面驱动开始信号SSP，将多面驱动信号SMP输出给多面电机MP，使多面电机MP旋转。
控制装置40，基于来自基板检测装置54的检测信号，开始多面电机MP的旋转。如果详细叙述，则控制装置40，以在第1列黑色单元C1的中心部位于所述照射开始位置Pe1时，多面反射镜62的旋转角θp为0°的方式，向所述激光头驱动电路58输出多面驱动开始信号SSP。
图16表示多面驱动开始信号SSP、闩锁信号LAT、第1开关信号GS1、第2开关信号GS2、点形成信号GS3a、点切换信号GS3b及旋转角θp的时序图。另外图16表示位于扫描区域Ls的单元C的列编码。在图16中，表示第1、2、4、6列的单元C是黑色单元C1，第3、5列的单元C是白色单元C0的例子。
如果以输送速度Vx输送基板2，基板检测装置54检测出基板2的端边缘，则如图16所示，控制装置40就按规定的时序，生成多面驱动开始信号SSP。在多面驱动开始信号SSP升高时，多面驱动电路58d生成多面驱动信号SMP，使多面反射镜62向箭头R方向旋转。由此，在第1列的黑色单元C1的中心部到达所述照射开始位置Pe1时，多面反射镜62的旋转角θp为0°。
接着，与第1实施方式同样，如果将第1列单元C(黑色单元C1)输送到落点位置Pa，闩锁信号LAT下降，则生成第1开关信号GS1，从对应的喷嘴N一齐喷出液滴Fb。喷出的液滴Fb，一齐落在第1列的黑色单元C1上。
如果从闩锁信号LAT下降时(相对于第1列的黑色单元C1的喷出开始时)开始，经过第1待机时间T1，弹落后的液滴Fb的外径达到照射径Re，液滴Fb到达照射开始位置Pe1。即，第1列的黑色单元C1的中心部，侵入扫描区域Ls。与此同时，激光头驱动电路58生成第2开关信号GS2及点形成信号GS3a，在上述第2开关信号GS2及点形成信号GS3a升高时，从对应的出射口37，一齐出射闭锁点B1。
此时，如图16所示，由于多面反射镜62的旋转角θp为0°，所以闭锁点B1，向照射开始位置Pe1的液滴Fb照射。
在液滴Fb被送到扫描区域Ls内时，对该液滴Fb，通过激光束B的扫描，以相对静止的状态继续照射闭锁点B1。
随即，如果从闩锁信号LAT下降时开始经过第2待机时间T2，则激光头驱动电路58就生成点切换信号GS3b，在该点切换信号GS3b升高时，激光束B的光束点从闭锁点B1切换到干燥点B2。
如此，对以输送速度Vx输送的液滴Fb，通过扫描激光束B，照射相对静止状态的闭锁点B1和干燥点B2。因此，与黑色单元C1的框线匹配地形成第1列点D。
随即，如果第2开关信号GS2下降，就停止来自半导体激光器阵列LD的激光束B的出射，结束第1列的液滴Fb的干燥及烧成处理。
接着，如果从对第2列的黑色单元C1的喷出动作的开始时起，经过第1待机时间T1，第2列的黑色单元C1的中心部侵入扫描区域Ls，第1列的黑色单元C1的中心部脱离扫描区域Ls。激光头驱动电路58生成第2开关信号GS2及点形成信号GS3a，在上述第2开关信号GS2及点形成信号GS3a升高时，从对应的出射口37，一齐出射闭锁点B1。
此时，如图16所示，多面反射镜62的旋转角θp为10°。因此，闭锁点B1，向位于照射开始位置Pe1的第2列的液滴Fb照射。
以后，同样，每当落在后续的单元C(黑色单元C1)上的液滴Fb通过扫描区域Ls时，对液滴Fb照射相对静止的闭锁点B1和干燥点B2，形成与黑色单元C1的框线匹配的点D。
上述第2实施方式具有以下的优点。
(5)能够对输送的液滴Fb照射相对静止的闭锁点B1和干燥点B2。因此，能够提高标识码10的生产性。
(6)由于能够通过点切换信号GS3b动态切换闭锁点B1和干燥点B2，所以能够按不依赖基板2的输送速度Vx的时序，变更光束点。因此，能够与弹落后的液滴Fb的形状变化非常对应地变更光束点，能够提高点D的形状控制性。
接着，参照图17～图19说明实施本发明的第3实施方式。在第3实施方式中，将标识码具体化为所述滤色器基板3的着色层。以下，详细说明滤色器基板3。图17是表示滤色器基板3的立体图，图18是表示滤色器基板3的制作过程的说明图，图19是图17的A-A剖面图。
如图17所示，滤色器基板3，具有由无碱玻璃构成的四角形状的透明玻璃基板65。透明玻璃基板65具有朝基板2的着色形成面65a，在着色形成面65a上形成遮光层66。遮光层66，由含有铬或碳黑等遮光性材料的树脂形成，具有XY平面上的格子形状。
该格子状的遮光层66，划分多个着色层形成区域67。四角形状的着色层形成区域67，矩阵状排列在着色形成面65a的整面上。
在各着色层形成区域67上，通过液滴喷出装置20，形成红色着色层68R、绿色着色层68G及蓝色着色层68B中的对应的着色层。
如果详细叙述，在形成各色的着色层68R、68G、68B时，如图18所示，向对应的着色层形成区域67喷出含有各色的着色层形成材料的液滴Fb。对落在着色层形成面65a上的液滴Fb，照射闭锁点B1和干燥点B2。
因此，如图19所示，能够不从对应的着色层形成区域67溢出地，形成厚度比遮光层66的厚度(Z方向尺寸)厚的各色着色层68R、68G、68B，即，可防止各色的着色层68R、68G、68B的混色。
上述第3实施方式具有以下的优点。
(7)能够以不在弹落后的液滴Fb的周围，另外形成用于防止溢出的隔壁的方式，形成与着色层形成区域67的框线匹配的着色层68R、68G、68B。
上述各实施方式也可以按以下变更。
在上述实施方式中，将闭锁点B1规定为十字状，但也不局限于此，例如，如图20所示，也可以形成为具有只与各抑制部Fb1对应地分布的多个圆的形状。或者，也可以将闭锁点B1形成为沿着黑色单元C1或着色层形成区域67的框线的四角形状。
在上述实施方式中，按在落在落点位置Pa上后扩径的液滴Fb的外径与照射径一致的时序，对液滴Fb照射闭锁点B1。但也不局限于此，例如，也可以在液滴Fb的外径达到照射径Re之前，预先照射闭锁点B1。或者，以液滴Fb的外径与单元尺寸Ra一致的时序照射闭锁点B1。即，只要在液滴Fb的外缘收束在单元C(黑色单元C1)内部中时照射闭锁点B1就可以。
在上述实施方式中，采用电驱动或机械驱动的衍射元件36b，成形闭锁点B1和干燥点B2。但也不局限于此，例如，也可以利用衍射光栅、掩模、分支元件等，成形闭锁点B1或干燥点B2。
在上述实施方式中，在照射闭锁点B1后，照射干燥点B2。但也不局限于此，也可以通过照射在干燥点B2上重叠闭锁点B1的激光束B，同时进行闭锁和干燥。
在上述第1实施方式中，在落点位置Pa照射闭锁点B1和干燥点B2。但也不局限于此，例如，也可以分别在与落点位置Pa相比在X方向更靠近前方照射闭锁点B1和干燥点B2，液滴Fb在第1待机时间T1通过闭锁点B1，液滴Fb在第2待机时间T2通过干燥点B2。
在上述第1及第2实施方式中，将点D的平面视形状规定为正方形状，但也不局限于此，例如，也可以是椭圆形，或也可以如构成条形码的条一样是线状。
在上述第2实施方式中，通过多面反射镜62构成用于扫描激光束B的光学系。但也不局限于此，例如，也可以用电流反射镜构成扫描光学系。所谓电流反射镜，是对反射镜附加轴，可根据电信号变更反射镜的旋转角的偏向器
在上述实施方式中，将激光输出部具体化为半导体激光器阵列LD，但也不局限于此，例如也可以是CO₂激光器或YAG激光器。即，只要是在黑色单元C1内输出能够干燥或烧成的波长区域的激光束的激光器就可以。
在上述实施方式中，将能量束具体化为激光束，但也不局限于此，例如，也可以是非相干透镜光、离子束以及等离子光或电子束。即，只要是能够在黑色单元C1干燥或烧成弹落后的液滴Fb的能量束就可以。
在上述实施方式中，按喷嘴N的数量设置半导体激光器L，但也不局限于此，也可以通过衍射元件等分支元件，16份分割从激光光源射出的单一的激光束B。
在上述实施方式中，将点具体化为标识码10的点D及滤色器基板3的着色层。但也不局限于此，例如，也可以具体化为形成在绝缘膜或金属布线上的点。在此种情况下，也能够与上述实施方式同样地控制点的形状。
在上述实施方式中，将电光学装置具体化为具有点D或着色层的液晶显示装置。但也不局限于此，例如，也可以将电光学装置具体化为场致发光显示装置，也可以喷出含有发光元件形成材料的液滴Fb，形成发光元件。即使在该构成中，也能够控制发光元件的形状，提高场致发光显示装置的生产性。
在上述实施方式中，形成了液晶显示模块1的标识码10。但也不局限于此，例如也可以形成有机场致发光显示装置的显示模块，或者也可以形成具有场效应型装置(FFD或SED等)的显示模块，该场效应型装置采用基于从平面状的电子放出元件放出的电子而形成的荧光物质的发光。
此处，只记载了多个实施方式，但在不脱离本发明的宗旨的范围内，也可以以其它特有的方式实施本发明，这对于本领域的技术人员是清楚的。本发明并不局限于此处所述的内容，也可以在所述的权利保护范围内进行各种改进。