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本发明公开了一种电镀清洗工艺及其装置,所述工艺包括如下步骤:一、电镀件从电镀槽进入清洗槽之前先经过回收空槽,用微量雾化水喷射装置对电镀件喷射水雾帘进行清洗,控制单位时间内所述微量雾化水喷射装置喷射水量与单位时间内所述电镀槽中电镀液的蒸发量大体相同;二、将所述回收空槽中的回收液适时补充到所述电镀槽中;所述装置用于实现上述工艺,其特征在于电镀槽和清洗槽之间置有回收空槽,所述电镀槽、清洗槽和回收空槽之间。