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本发明的滑动零件的制造方法及其滑动零件,利用UBM溅射(Unbalanced Magnetron Sputtering)而在与基材(27)的表面的滑动部(28)对应的部位连续地形成Cr被膜(29)和DLC被膜(Diamond Like Carbon)(30),在遮蔽工序中,将具有多个圆形的孔(35)的遮蔽构件(34)大致密接状地外嵌在所述DLC被膜(30)的表面上,在蚀刻工序中,用等离子蚀刻将从遮。