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本发明提供一种绝缘导热金属基板上真空溅镀形成导电线路的方法,其特征在于包括以下步骤:提供一金属基材;将金属基材进行前处理,以使金属基材的表面清洁;将经前处理的金属基材配置于一真空腔体内;将惰性气体通入该腔体中,启动溅镀不锈钢靶材,进行离子冲击并植入不锈钢;同步调整不锈钢靶材的电流密度及基板偏压,关闭不锈钢靶材的电流;将惰性气体通入该腔体中,启动溅镀铝靶材,并逐步通入氮气,生成氮化铝薄膜;于生成有氮。