PECVD用硅片载片器的变换装置 【技术领域】
本发明涉及一种太阳能光伏产业工艺设备，具体地说是用于平板炉PECVD(等离子增强化学气相沉积)中的配套装置。
背景技术
太阳能电池主要有125型(即125x125)、156型(即156x156)等规格，相应的硅片载片器也有125型、156型等规格。在进行平板炉PECVD的工艺时，硅片是放在同一规格的硅片载片器的挂钩上，由于平板炉是连续生产，配置的硅片载片器至少要10只以上。因其价格很贵，有些厂家只配置了156规格的硅片载片器，如果要生产125规格的产品就需要另外配备125型的，从而增加了采购成本。
【发明内容】
本发明针对上述问题，提供一种PECVD用硅片载片器的变换装置，该装置安装于156型硅片载片器上，可将156型变换成125型的硅片载片器，可大幅度降低采购成本。
按照本发明的技术方案：一种PECVD用硅片载片器的变换装置，包括板体，其特征是：所述板体的角部以板体的中心为中心呈辐射状向外延伸有四个支臂，使所述板体成十字形；板体的一面设置与所述十字形对应的十字槽；所述十字槽的宽度与第一种规格的硅片载片器的框杆宽度相等，支臂的宽度为第一种规格的硅片载片器的边长与第二种规格的硅片载片器的边长之差再加上第一种规格的框杆宽度之和。
各个相邻的支臂的交叉处设置有过渡圆弧。所述支臂的两个外侧面上对称地设置有半腰圆槽，半腰圆槽的对称线垂直于所述支臂的边线，所述支臂上设置有圆孔，圆孔的中心线在半腰圆槽的对称线上。在处于同一直线上的两个支臂中，一个支臂的外端与所述十字槽的同侧设置有第一台肩，另一个支臂的外端与所述十字槽的相反侧设置有第二台肩。
本发明的技术效果在于：本发明安装于第一种规格的硅片载片器交叉处，将第一种规格的硅片载片器转换为第二种规格的硅片载片器，用于生产第二种规格的产品，可以节省采购成本；拆除本发明后，又可以生产第一种规格的产品，转换方便；支臂的交叉处设置有过渡圆弧，可组装成第二种规格的单晶硅片载片器，可以用来生产单晶硅片。
【附图说明】
图1为156型硅片载片器中的一个方框的结构示意图；
图2为本发明的结构示意图；
图3为本发明安装于156型硅片载片器上的结构示意图。
【具体实施方式】
本发明是一种PECVD用硅片载片器的变换装置，具体实施例是将156型硅片载片器变换为125型硅片载片器。图1为156型硅片载片器中的一个方框1的结构示意图。
如图2所示，本发明PECVD用硅片载片器的变换装置2，包括十字形的板体3，所述板体3的角部以板体3的中心为中心呈辐射状向外延伸有四个支臂10，板体3的一侧表面设置有十字槽4，十字槽4的宽度与第一种规格的C/C框的框杆宽度相等，支臂10的宽度为第一种规格的硅片载片器的边长与第二种规格的硅片载片器的边长之差再加上第一种规格的硅片载片器地框杆宽度之和。
各个相邻的支臂10的交叉处设置有过渡圆弧6。所述支臂10的两个外侧上分别设置有半腰圆槽7，半腰圆槽7的对称线垂直于所述支臂10的边线，所述支臂10内设置有圆孔9，圆孔9的中心线在半腰圆槽7的对称线上。半腰圆槽7与圆孔9相配合用来安装挂钩。
处于同一直线上的两个支臂10，一个支臂10的外端与所述十字槽4的同侧设置有第一台肩8，另一个支臂10的外端与所述十字槽4的相反侧设置有第二台肩5。如图3所示，四个PECVD用硅片载片器变换装置2安装于156型硅片载片器的方框1的四个交叉处，十字槽4嵌入方框1的框杆内，第一台肩8与第二台肩5相搭接，将156型硅片载片器转换为125型的硅片载片器，生产125型多晶产品。支臂10的交叉处设置有过渡圆弧6，可组装成125型单晶硅片载片器，可以用来生产单晶硅片。使用本发明，可节省2/3的硅片载片器成本。
拆除本发明后又可进行156规格产品的生产。本发明装卸方便，使用效果好。