本申请是国际申请日为2009年8月20日、申请号为200980123469.1 (国际申请号PCT/JP2009/003981)、发明名称为“隔离器”的发明专利申 请的分案申请。
技术领域
本发明涉及一种隔离器。
背景技术
隔离器是内部具有处于无菌环境的作业室，且用于在作业室中进行要 求无菌环境的作业、例如细胞培养等以来自生物体的材料为对象的作业的 装置。在此，无菌环境是指为避免在作业室进行的作业所需的物质以外的 物质混入而无限接近无尘无菌的环境。
在隔离器中，为了确保作业室的无菌环境，向作业室内供给过氧化氢 等杀菌物质，实施对作业室内进行杀菌的杀菌处理(参照专利文献1及2)。 在专利文献1所记载的隔离器系统中，液态的过氧化氢与干燥的高温空气 接触而气化，将过氧化氢气体供给于隔离器。另外，专利文献2所记载的 净化装置利用加热部使过氧化氢水蒸发而产生过氧化氢气体，将该过氧化 氢气体供给于隔离器。
另外，当杀菌处理中杀菌物质从包括作业室的被杀菌空间大量漏出 时，杀菌物质浓度降低，存在不能够进行充分的杀菌的情况。另外，由于 过氧化氢等杀菌物质对人体有害，因此，优选杀菌物质不漏出到隔离器外 部。因此，在专利文献2所记载的净化装置中，在供给杀菌物质前，实施 隔离器的泄漏试验(漏泄试验)。
另外，在隔离器中，为了确保作业室内的无菌环境，从气体供给部取 入的空气经由设于气体供给部与作业室之间的HEPA过滤器(High Efficiency Particulate Air过滤器)等微粒子捕集过滤器供给于作业室。另 外，作业室内的空气经由设于作业室和气体排出部之间的微粒子捕集过滤 器从气体排出部排出。
另外，在作业室内的一个作业结束后，进行下一个作业时，从杀菌物 质供给部向作业室内喷射例如过氧化氢作为杀菌物质，对作业室内进行杀 菌(参照专利文献3)。
作为隔离器内的杀菌物质的浓度测定方法，已知有实时测定杀菌腔内 的杀菌剂浓度的系统，其目的在于，确认气体浓度推移是否符合实现杀菌 的条件(参照专利文献4)。另外，已知有在作为杀菌气体的过氧化氢气体 产生器的气体流上游和下游分别测定温度和湿度的系统，其目的在于，判 定供给于杀菌腔的过氧化氢气体浓度(参照专利文献5)。
专利文献1：日本特开2006-68122号公报；
专利文献2：日本特开2005-218548号公报；
专利文献3：日本特开2005-312799号公报；
专利文献4：日本特开2008-68088号公报；
专利文献5：日本特开2007-202628号公报。
在如上所述的状况下，本发明人们认识到以下课题。在上述的专利文 献1及2的结构中，为了稳定地生成均匀浓度的过氧化氢气体，需要在对 乾燥空气或过氧化氢水自身进行加热的加热器升温至所期望的温度后，开 始过氧化氢气体的生成。
另一方面，若正在实施隔离器的漏泄试验时开始加热器的升温，则隔 离器内的压力因加热器的热而变动。另外，隔离器内的压力因加热器的热 所引起的加热器周边的空间压力变动而变动。因此，不能够实施可靠性高 的漏泄试验。由此，需要首先实施隔离器的漏泄试验，漏泄试验结束后开 始加热器的升温，并且，在加热器成为所期望的温度后，生成过氧化氢气 体并进行杀菌处理。
然而，在隔离器中，若杀菌处理需要较长时间，则直至能够开始下一 次作业的状态需要长时间，作业效率降低。因此，为了实现隔离器的作业 效率的提高，谋求杀菌处理所需时间的缩短化。在专利文献1及2的结构 中，等待漏泄试验结束后开始加热器的予热，有缩短杀菌处理所需时间的 余地。
另外，在现有的过氧化氢气体的置换工序中，排气量在整个过程中为 一定，不进行排出时的杀菌物质的浓度测定。从而，也不根据排气中的杀 菌物质的浓度控制排气量。因此，当以高排气量进行排气时，在置换工序 的前半部分，通过降低排出气体中的杀菌物质浓度的装置(降低处理部) 不能进行有效的杀菌物质的降低化处理，未反应的杀菌物质向大气中排 出，存在给作业者等带来危险的可能性。另外，当以低排气量进行排气时， 在隔离器中的杀菌物质浓度降低的置换工序的后半部分，存在排气过于消 耗时间的问题。
发明内容
本发明是基于本发明人们的上述认识而作出的，其目的在于，提供一 种能够进一步缩短隔离器的杀菌处理所需的时间的技术。
另外，本发明的另一方案是鉴于上述状况而作出的，其目的在于，提 供一种在隔离器中在上次作业和下次作业之间实施杀菌处理时，能够使隔 离器尽早成为能够开始下次作业的状态的技术，以及降低杀菌物质向大气 中排出的技术。
本发明的一个方案提供一种隔离器。该隔离器的特征在于，具备：作 业室，其用于进行以来自生物体的材料为对象的作业；杀菌物质供给部， 其在包括所述作业室的气体流路中以热方面及压力方面独立的状态设置， 且具有用于加热杀菌物质而使其气化的加热器，并向气体流路供给被气化 后的杀菌物质；气体流路压力调整部，其对气体流路内进行加压或减压； 气体流路压力检测部，其检测气体流路内的压力；控制部，其利用气体流 路压力调整部对气体流路内进行加压或减压，然后，根据气体流路压力检 测部的检测结果，控制对气体流路的气体泄漏进行确认的气体流路漏泄试 验的实施和由杀菌物质供给部进行的杀菌物质的供给，控制部进行控制， 与气体流路漏泄试验并行进行随着杀菌物质的供给的加热器的升温。
根据该方案，能够进一步缩短隔离器的杀菌处理所需的时间。
以上述方案为基础，可以为，隔离器具备：供给部压力调整部，其对 杀菌物质供给部内进行加压或减压；供给部压力检测部，其检测杀菌物质 供给部内的压力，控制部在加热器为常温时，利用供给部压力调整部对杀 菌物质供给部内进行加压或减压，并根据供给部压力检测部的检测结果， 控制对杀菌物质供给部的气体泄漏进行确认的供给部漏泄试验的实施。
本发明的另一方案提供一种隔离器。该隔离器的特征在于，具备：作 业室，其用于进行以来自生物体的材料为对象的作业；气体供给部，其向 作业室内供给气体；气体排出部，其排出作业室内的气体；流通路径，其 具有微粒子捕集过滤器，且连通气体供给部和作业室；杀菌物质供给部， 其向作业室内供给杀菌物质；排气机构，其用于调节从气体排出部排出的 气体的排气量；降低处理部，其降低从气体排出部排出的气体中所含的杀 菌物质的浓度；控制部，其向作业室供给杀菌物质，将作业室内的杀菌物 质的浓度保持为一定并进行杀菌后，使用排气机构开始排气，使排气结束 时的排气量高于杀菌物质的浓度达到最高浓度时的排气量。
根据该方案，当在隔离器中在上次作业和下次作业之间实施杀菌处理 时，可以通过有效的置换工序，使隔离器尽早成为能够开始下次作业的状 态。另外，当排出气体中的杀菌物质达到规定浓度时，排气量被抑制，因 此，能够将没有被杀菌物质降低处理部处理的杀菌物质向大气中的放出抑 制为最小限度。其结果，能够实现作业者安全性的提高。
另外，以上述另一方案为基础，也可以为，所述隔离器还具有浓度测 定部，该浓度测定部设于气体排出部，测定从气体排出部排出的气体中所 存在的杀菌物质的浓度，控制部进行如下控制，即，在由浓度测定部测定 的浓度达到规定的判定浓度之前逐渐增加排气量，在达到判定浓度后将排 气量保持在规定范围，以由浓度测定部测定的浓度的下降率高于规定的阈 值为条件，进一步逐渐增加排气量。
另外，以上述另一方案为基础，也可以为，所述隔离器还具有浓度测 定部，该浓度测定部设于气体排出部，测定从气体排出部排出的气体中所 存在的杀菌物质的浓度，控制部进行如下控制，使排气量逐渐增加至规定 的判定浓度，达到判定浓度后，使用由浓度测定部测定出的浓度来反馈控 制排气量以使排气中的杀菌物质的浓度成为规定范围，并以排气量达到规 定的排气量为条件而固定排气量。
另外，以上述另一方案为基础，也可以为，在浓度测定部设于降低处 理部的气体流下游侧时，所述隔离器还具备设于降低处理部的气体流上游 侧的其他浓度测定部，控制部进行如下控制，以使用浓度测定部测定的、 杀菌物质的降低处理后的排气中的杀菌物质的浓度达到浓度测定部的检 测界限作为条件，使用其他浓度测定部测定降低处理前的排气中的杀菌物 质的浓度，并以其他浓度测定部测定的杀菌物质的浓度达到其他浓度测定 部的检测界限为条件，结束由气体排出部进行的排气。
另外，以上述另一方案为基础，也可以为，所述隔离器具备计测部， 该计测部对作业室内的气体开始从气体排出部排出至达到浓度测定部的 检测界限所需的时间进行计测，在测定的时间超过规定的阈值时，控制部 通知降低处理部的能力降低。
另外，以上述另一方案为基础，杀菌物质可以为过氧化氢。
此外，适当组合上述各要素也包括在由本专利申请请求保护的发明范 围内。
发明效果
根据本发明，能够进一步缩短隔离器中的杀菌处理所需的时间。
另外，根据本发明的另一方案，能够缩短杀菌处理所需的时间，并且， 能够降低杀菌物质向大气中的排出。
附图说明
图1是表示实施方式1的隔离器的结构的简图
图2是表示杀菌物质供给部的结构的简图。
图3是用于说明隔离器的漏泄试验的图。
图4是表示杀菌物质供给时的隔离器的状态的图。
图5是对杀菌物质供给部中的气体泄漏的确认时刻进行说明的图。
图6是表示实施方式2的隔离器的结构的示意图。
图7是杀菌物质送出部的示意图。
图8是表示实施方式2的排气控制的示意图。
图9是表示实施方式2的杀菌物质降低处理部的能力判定的示意图。
图10是表示实施方式3的排气控制的示意图。
图11是表示实施方式4的隔离器的结构的示意图。
图12是表示实施方式4的排气控制的示意图。
图13是放大表示图12的过氧化氢气体的浓度的检测界限区域C的示 意图。
具体实施方式
以下，参照附图说明本发明优选的实施方式。对各附图所示的同一或 同等的结构要件、部件、处理标注同一符号，适当省略重复的说明。另外， 实施方式并没有限定发明只是例示，实施方式所述的全部的特征或其组合 并没有限定本发明本质的结构。
(实施方式1)
图1是表示实施方式1的隔离器100的结构的简图。
如图1所示，实施方式1的隔离器100具备作业室10、气体供给部 20、气体排出部30、杀菌物质供给部40、控制部50。
作业室10是用于进行细胞抽出、细胞培养等以来自生物体的材料为 对象的作业的空间。在作业室10预先设有能够开闭的前面门12，在前面 门12的规定位置设有用于在作业室10内进行作业的作业用手套14。作业 者可以将手从设于前面门12的未图示的开口部插入作业用手套14，通过 作业用手套14在作业室10内进行作业。在此，所谓来自生物体的材料是 包括含有细胞的生物本身、构成生物的物质、或者生物体产生的物质等在 内的材料。另外，在作业室10设有：检测作业室10内的温度的作业室温 度计16；对包括作业室10的气体流路内的压力进行检测的作为气体流路 压力检测部的作业室气压计18。
气体供给部20具备吸气口22和多叶片风扇等吸气风扇24，利用吸气 风扇24从吸气口22取入隔离器100外部的气体并将其供给于隔离器100 内。在气体供给部20的与作业室10的连结部设有HEPA(High Efficiency Particulate Air)过滤器等微粒子捕集过滤器26。在吸气口22设有能够开 闭的吸气阀23，通过吸气阀23的开闭控制外气从吸气口22的取入。另外， 在气体供给部20设有循环口60，在循环口60设有能够开闭的循环路阀 61。
气体排出部30具备排气口32、多叶片风扇等排气风扇34，通过排气 风扇34使作业室10内的气体从排气口32向隔离器100外排出。在气体 排出部30的比排气风扇34靠气体流上游侧的位置设有HEPA过滤器等微 粒子捕集过滤器36。在排气口32设有能够开闭的排气阀33，通过排气阀 33的开闭控制气体从排气口32的排出。另外，在排气口32的比排气阀 33靠气体流上游侧的位置设有包含活性炭、铂催化剂等的杀菌物质除去过 滤器38。在本实施方式的隔离器100中，通过吸气风扇24和排气风扇34 构成用于对包括作业室10的气体流路内进行加压或减压的气体流路压力 调整部。在此，所谓包括作业室10的气体流路是指例如包括气体供给部 20及气体排出部30的从吸气口22至排气口32的区域。
杀菌物质供给部40是用于将被气化后的杀菌物质供给于包括作业室 10的气体流路内的部分，一端部经由杀菌物质供给管42与作业室10连结， 另一端部经由杀菌物质循环路径44连结在作业室10与气体排出部30之 间的气体流路。在杀菌物质供给管42设有阀428，在杀菌物质循环路径 44设有阀474。隔离器100通过从杀菌物质供给部40供给杀菌物质，能 够将包括作业室10的气体流路内设为无菌环境。在此，所谓无菌环境是 指为了避免在作业室进行的作业所需的物质以外的物质混入而无限接近 无尘无菌的环境。
在本实施方式中，杀菌物质为过氧化氢，杀菌物质供给部40具备例 如图2所示的结构。图2是表示杀菌物质供给部40的结构的简图。
如图2所示，杀菌物质供给部40具有由雾化部410及气化部420构 成的杀菌气体生成部402、储存过氧化氢水的过氧化氢水罐460、作为供 给部压力调整部的空气供给风扇470。
雾化部410具有收容部件411、盖部件412、超声波振子413、杯状部 414以及漏斗部件415。
在收容部件411的底面设有超声波振子413。超声波振子413为将电 能变换为超声波区域的机械振动的元件。在盖部件412的上表面设有检测 杀菌物质供给部40内的压力的作为供给部压力检测部的供给部气压计 419。
在收容部件411的上部外周形成有凸缘416。另外，与凸缘416对应， 在盖部件412的下部外周形成有凸缘417。通过利用螺钉等紧固部件418 紧固凸缘416和凸缘417而密封凸缘416与凸缘417之间，在收容部件411 及盖部件412的内部形成空间。
收容部件411及盖部件412的内部空间被杯状部414分隔为上侧的空 间432和下侧的空间434。具体而言，杯状部414的周缘部分插入凸缘416 和凸缘417之间，利用紧固部件418对凸缘416和凸缘417进行紧固而固 定。
在下侧的空间434充满了传播由超声波振子413产生的超声波区域的 机械振动的超声波传播用液440。此外，作为超声波传播用液440，优选 例如像水一样粘性小的物质。另外，在上侧的空间432设有由配管480和 漏斗状部482构成的漏斗部件415。对漏斗部件415在后叙述。
在盖部件412的侧面设有开口450及开口452。另外，在盖部件412 的上表面设有开口454。在开口450插入有用于将储存在过氧化氢水罐460 的过氧化氢水供给于空间432的配管462。在配管462的中途设有用于汲 取储存在过氧化氢水罐460中的过氧化氢水的泵464。泵464优选气密遮 蔽配管462内的通路的例如蠕动泵)等，以能够在后述的供给部漏泄试验 时将杀菌物质供给部内保持为气密。当泵464不气密地遮蔽配管462内的 通路时，例如，在配管462的比泵464靠过氧化氢水罐460侧设有阀等遮 蔽机构，从而可以气密地遮蔽配管462内的通路。
另外，在开口452连接有在途中设有轴流风扇等空气供给风扇470、 并将从空气供给风扇470送出的空气向空间432输送的配管472。配管472 的与开口452相反侧的端部经由隔热性树脂等构成的隔热性连结部475与 杀菌物质循环路径44连接。在杀菌物质循环路径44的隔热性连结部475 侧的端部区域设有阀474。从而，杀菌物质供给部40的杀菌物质循环路径 44侧，通过隔热性连结部475以及阀474相对于包括作业室10的气体流 路以热方面及压力方面独立的状态设置。空气供给风扇470作为以正转将 空气向空间432送出而对杀菌物质供给部40内进行加压、并以反转从空 间432吸引空气而对杀菌物质供给部40内进行减压的供给部压力调整部 发挥作用。另外，空气供给风扇470用于向作业室10内供给杀菌物质。
另外，在开口454插入漏斗部件415的配管480，并以漏斗状部482 的开口484朝向下方的方式固定漏斗部件415。配管480的一端部固定于 气化部420。此外，开口452的位置比漏斗状部482的开口484的位置靠 上方设置。由此，从开口452送入的空气不直接吹入开口484，而在漏斗 状部482的外侧向下方流动后，在漏斗状部482的下方折返后，在漏斗状 部482的内侧流向上方。
在如上构成的雾化部410中，供给于杯状部414的过氧化氢水通过超 声波区域的机械振动而被雾化，被雾化后的过氧化氢通过从空气供给风扇 470送出的空气，经由漏斗状部482的开口484及配管480送入气化部420。 在空间432与气化部420的连结部设有漏斗部件415，开口484为漏斗状， 因此，能够有效地捕集被雾化后的过氧化氢送向气化部420。此时，没有 被雾化而附着在漏斗状部482内侧的比较大的粒子的过氧化氢因重力而下 落到杯状部414，再次被雾化。
气化部420具有加热管421、加热器422、流路形成板423、配管424 以及温度计425。
加热管421以轴向成为铅垂方向的方式与配管480连接。在加热管421 内部形成有使从配管480送出的过氧化氢以及空气从下方向上方流动的流 路426。在加热管421的内部相互不同地设有从加热管421的内表面向与 加热管421的轴垂直的方向突出的流路形成板423。由此，形成于加热管 421内部的流路426蜿蜒，流路426变长。其结果，在流路426中滞留过 氧化氢的时间变长，过氧化氢在流路426内被可靠地气化。
在本实施方式中，加热管421设于空间432的正上方。因此，过氧化 氢在加热管421内没被气化而液化时，液化后的过氧化氢因重力而向空间 432下落。返回空间432的过氧化氢在超声波区域的机械振动的作用下再 次被雾化，送向加热管421。由此，能够以简单的结构使在加热管421内 液化后的过氧化氢返回空间432而再次雾化，从而不会浪费杯状部414内 的过氧化氢水而使其可靠地气化。
在加热管421的中央部分沿加热管421的轴设有用于加热雾化后的过 氧化氢而使其气化的加热器422。加热器422能够使温度上升为例如适于 过氧化氢气化的温度即150℃，通过由控制部50进行的接通断开的控制进 行调温。优选在加热器422设置多个散热片。由此，加热器422与在流路 426中流动的过氧化氢的接触面积增加，能够促进过氧化氢的气化。
在加热管421的上部侧面连接有配管424的一端部。在配管424设有 用于测定配管424的内部温度的温度计425。配管424的另一端部经由隔 热性树脂构成的隔热性连结部427与杀菌物质供给管42连接。在杀菌物 质供给管42的隔热性连结部427侧的端部区域设有阀428。从而，杀菌物 质供给部40的杀菌物质供给管42侧在隔热性连结部427以及阀428的作 用下，相对于包括作业室10的气体流路以热方面及压力方面独立的状态 设置。
对如上构成的杀菌物质供给部40中供给杀菌气体的动作进行说明。
首先，接通加热器422的开关，开始加热器422的升温，并且驱动泵 464来汲取储存在过氧化氢水罐460中的过氧化氢水，向空间432送出过 氧化氢水。
通过接通加热器422的开关，使得配管424的内部温度从常温开始上 升。另外，过氧化氢水通过配管462达到空间432时，开始在杯状部414 的底部储存过氧化氢水，杯状部414内的过氧化氢水量开始上升。
计测配管424的内部温度的温度计425达到过氧化氢气体不再凝结的 温度例如90℃时，开始超声波振子413的驱动，经由超声波传播用液440 向空间432传播超声波区域的机械振动。另外，开始由空气供给风扇470 进行的鼓风，经由杀菌物质循环路径44将气体流路内的空气送入空间 432。由此，在空间432中，过氧化氢气雾化，雾化后的过氧化氢通过来 自空气供给风扇470的鼓风供给于加热管421。供给于加热管421的雾状 的过氧化氢被加热器422加热而气体化(气化)。成为气体状的过氧化氢 经由配管424供给于杀菌物质供给管42。
此外，优选通过泵464调节向空间432送出的过氧化氢水的流量，以 使杯状部414内的过氧化氢水量成为适于由超声波区域的机械振动进行的 雾化的量。由此，能够有效地使杯状部414内的过氧化氢水雾化。
储存在过氧化氢水罐460中的过氧化氢水逐渐被消耗，过氧化氢水罐 460的过氧化氢水的剩余量变少时，停止向空间432补给过氧化氢水。停 止向上侧的空间432补给过氧化氢水后，杯状部414内的过氧化氢水量逐 渐减少，杯状部414内的过氧化氢水的剩余量成为零。
当杯状部414内的过氧化氢水的剩余量成为零时，由于从雾化部410 向气化部420送出的雾状的过氧化氢的量逐渐减少，因此，在加热管421 中，因过氧化氢气化而吸取的热量减少。由此，配管424的内部温度从过 氧化氢的气化温度开始进一步上升。
若由温度计425计测的配管424的内部温度达到规定的判定温度，则 加热器422的开关被断开，停止由加热器422进行的加热。需要说明的是， 该判定温度为加热管421内的过氧化氢的气体化结束，仅空气在加热管 421内开始移动时的配管424的内部温度。即，配管424的内部温度达到 规定的判定温度意味着杯状部414内的过氧化氢水的剩余量成为零，杀菌 物质供给部40中不存在需要气体化的过氧化氢水。加热器422被断开后， 配管424的内部温度逐渐降低而返回常温。
此外，杀菌物质供给部40不限于上述结构，也可以为例如向加热后 的容器内供给过氧化氢水而使其气化、从而产生过氧化氢气体的结构。另 外，杀菌物质并没有限定于过氧化氢，也可以为例如臭氧等包括活性氧种 的物质。
控制部50控制：吸气阀23、排气阀33以及循环路阀61的开闭；吸 气风扇24以及排气风扇34的接通断开；杀菌物质供给部40的泵464的 驱动；阀428、474的开闭；加热器422、空气供给风扇470以及超声波振 子413的接通断开。
接着，对具备上述结构的隔离器100的杀菌处理进行说明。图3是用 于说明隔离器100的漏泄试验的图。图4是表示杀菌物质供给时的隔离器 100的状态的图。
首先，在作业室10实施作业的状态中，如图1所示，控制部50进行 如下控制，即，使吸气阀23及排气阀33处于开状态，循环路阀61处于 闭状态。另外，控制部50驱动吸气风扇24以及排气风扇34。由此，如图 1中的箭头所示，外气从吸气口22供给于作业室10内、作业室10内的气 体从排气口32向隔离器100外排出的气体流路形成在隔离器100内。
在隔离器100中，在初次作业开始前和在作业室10内的作业(上次 作业)结束后、下次作业开始前对包括作业室10的气体流路内进行杀菌 处理。隔离器100的杀菌处理包括前处理工序、杀菌工序、除去工序。
在前处理工序中，首先，基于控制部50的控制，实施对包括过氧化 氢气体充满的作业室10的气体流路中的气体泄漏(漏泄)进行确认的气 体流路漏泄试验。以下，使用图3对气体流路漏泄试验进行说明。
在气体流路漏泄试验中，在吸气阀23成为开状态、排气阀33成为闭 状态时，接通吸气风扇24，将外气取入隔离器100的气体流路内。此时， 阀428、474成为闭状态。由此，气体流路内的压力上升。气体流路内的 压力与作业室10内的压力大致相同，能够通过作业室气压计18进行检测。 控制部50根据作业室气压计18的检测结果检测气体流路内的压力成为漏 泄试验所需的试验压力的情况。若气体流路内的压力成为试验压力，则控 制部50关闭吸气阀23而使吸气风扇24断开。此外，也可以在吸气阀23 处于闭状态、排气阀33处于开状态时，驱动排气风扇34，使气体流路内 成为负压。
接着，隔离器100以规定时间、例如10分钟维持其原来的状态。经 过规定时间后，控制部50基于作业室气压计18的检测结果实施泄漏判定。 经过规定时间后的气体流路内的压力低于允许压力降低量c时(曲线a)、 控制部50继续进行杀菌处理。另一方面，经过规定时间后的气体流路内 的压力低于允许压力降低量c时(曲线b)，控制部50中止杀菌处理，利 用未图示的通知部提示发生气体泄漏并通知作业者中止杀菌处理。通过以 上处理，气体流路漏泄试验结束。
另外，在前处理工序中，加热器422的开关被接通，加热器422开始 升温。在现有的隔离器中，当在气体流路漏泄试验实施中开始加热器422 的升温时，在加热器422的热的作用下气体流路内的压力变化，且因加热 器422的热引起的杀菌物质供给部40内的压力变动使得气体流路内的压 力变化，从而不能够进行准确的气体流路漏泄试验。因此，需要在等待气 体流路漏泄试验结束后开始加热器422的升温。另一方面，在本实施方式 的隔离器100中，气体流路与包括加热器422的杀菌物质供给部40经由 隔热性连结部427、475以及阀428、474以热方面及压力方面独立的状态 连结。因此，能够在正在进行气体流路漏泄试验时开始加热器422的升温。
若加热器422的温度上升到规定温度，则如图4所示，吸气阀23以 及排气阀33处于闭状态、循环路阀61处于开状态时，吸气风扇24接通， 并且，阀428、474处于开状态时，开始过氧化氢气体的生成。生成的过 氧化氢气体从杀菌物质供给管42供给于作业室10内，如图4中的箭头所 示，在气体流路内进行循环。在此，该规定温度是配管424的内部温度为 过氧化氢气体不再凝结的温度。
过氧化氢气体供给于气体流路内，若包括作业室10的气体流路内的 过氧化氢气体浓度成为杀菌处理所需的浓度以上，则开始杀菌工序。在杀 菌工序中，如图4所示，吸气阀23以及排气阀33处于闭状态、循环路阀 61处于开状态时，从杀菌物质供给部40送出的过氧化氢气体在作业室10、 循环口60、排气风扇34、作业室10中循环而进行杀菌。杀菌工序结束后， 杀菌处理进入除去工序。
在除去工序中，停止来自杀菌物质供给部40的过氧化氢气体的供给， 并且，在吸气阀23及排气阀33处于开状态、循环路阀61处于闭状态时， 接通吸气风扇24以及排气风扇34。由此，隔离器100外部的空气从吸气 口22取入而供给于气体流路内，并且，气体流路内的过氧化氢气体被送 向气体排出部30，通过杀菌物质除去过滤器38吸附或分解而除去。
由除去工序将气体流路内的气体置换为空气，气体流路内的过氧化氢 气体浓度成为规定浓度以下时，作业室10成为能够使用的状态，杀菌处 理结束。在此，作业室10成为能够使用的状态的过氧化氢气体的浓度为 不对用于作业的来自生物体的材料赋予作业上无法忽视程度的影响的浓 度。该浓度为例如ACGIH(American Conference of Governmental Industrial Hygienists)所规定的1ppm(TWA：时间加权平均值)以下的浓度。
在此，将阀428、474设为开状态，实施与上述气体流路漏泄试验相 同的工序，从而能够实施对气体流路与杀菌物质供给部40合在一起的空 间的气体泄漏进行确认的统一漏泄试验。此外，也可以构成为使阀428、 474处于开状态，统一漏泄试验实施与后述的供给部漏泄试验相同的工序。
接着，对供给部漏泄试验进行说明。在本实施方式的隔离器100中， 除气体流路漏泄试验以及统一漏泄试验外，实施对杀菌物质供给部40的 气体泄漏与气体流路中的气体泄漏独立确认的供给部漏泄试验。在本实施 方式的隔离器100中，杀菌物质供给部40具备空气供给风扇470以及供 给部气压计419，另外，包括作业室10的气体流路与杀菌物质供给部40 通过阀428、474在压力方面独立。因此，能够与气体流路漏泄试验独立 而实施供给部漏泄试验。
在供给部漏泄试验中，阀428处于闭状态、阀474处于开状态时，空 气供给风扇470接通，空气被取入杀菌物质供给部40内。对于配管462， 通过泵464或上述的遮蔽机构来确保气密性。由此，杀菌物质供给部40 内的压力上升。杀菌物质供给部40内的压力通过供给部气压计419来检 测。控制部50根据供给部气压计419的检测结果检测杀菌物质供给部40 内的压力成为漏泄试验所需的试验压力的情况。杀菌物质供给部40内的 压力成为试验压力后，控制部50关闭阀474而使空气供给风扇470断开。 此外，也可以在阀428处于开状态、阀474处于开状态时，驱动空气供给 风扇470，使杀菌物质供给部40内成为负压。
接着，杀菌物质供给部40以规定时间、例如10分钟维持其原来的状 态。经过规定时间后，控制部50根据供给部气压计419的检测结果与气 体流路漏泄试验相同地实施泄漏判定。控制部50在经过规定时间后的杀 菌物质供给部40内的压力高于允许压力降低量时，继续下次进行的处理， 在低于允许压力低下量时通知作业者。
由统一漏泄试验或供给部漏泄试验进行的杀菌物质供给部40的气体 泄漏确认例如在以下的时刻实施。图5是说明杀菌物质供给部40的气体 泄漏的确认时刻的图。
包括作业室10的气体流路中，由于存在前面门12等利用手动操作而 确保密闭性的部分，因此，优选每次杀菌处理都实施气体流路漏泄试验。 另外，在杀菌物质供给部40中，作为不符合供给部漏泄试验的基准的气 体泄漏产生的原因，只有例如设于开口450、452、454等的未图示的密封 件的时效劣化等。因此，杀菌物质供给部40的气体泄漏的确认不像气体 流路漏泄试验那样频繁地实施，也能够确保隔离器100的安全性。
在此，在本实施方式的隔离器100中，如图5所示，加热器422为常 温时，定期地实施杀菌物质供给部40的气体泄漏的确认。即，例如，在 一日的作业中，开始初次的作业前，实施统一漏泄试验(图5中的时刻I)， 在作业变更时仅实施作业室漏泄试验(图5中的时刻II、III)。需要说明 的是，在图5中的时刻I，也可以代替统一漏泄试验，并行进行气体流路 漏泄试验和供给部漏泄试验。
在如上所述地实施气体流路中的气体泄漏的确认和杀菌物质供给部 40中的气体泄漏的确认时，通过减少杀菌物质供给部40中的气体泄漏的 确认次数，能够在没有实施杀菌物质供给部40中的气体泄漏的确认时与 气体流路漏泄试验并行开始加热器422的加热，因此，能够缩短杀菌处理 所需的时间。另外，可以例如在隔离器100的维护时仅实施供给部漏泄试 验，通过将杀菌物质供给部40与气体流路在热方面及压力方面独立设置， 能够自由地设定供给部漏泄试验。
若概括由以上说明的结构实现的作用效果，则本实施方式的隔离器 100具备在包括作业室10的气体流路中以热方面及压力方面独立的状态 设置的杀菌物质供给部40。并且，与气体流路漏泄试验并行进行加热器 422的升温。因此，能够进一步缩短隔离器100中的杀菌处理所需的时间， 其结果，能够提高隔离器100的使用效率，增大被处理物的生成量。
另外，在隔离器100中，杀菌物质供给部40具备空气供给风扇470 和供给部气压计419，在阀428、474的作用下，杀菌物质供给部40与气 体流路在压力方面独立，因此，能够将对杀菌物质供给部40内的气体泄 漏进行确认的供给部漏泄试验与气体流路漏泄试验独立而实施。由此，增 加供给部漏泄试验的设定自由度，进一步提高隔离器100的使用便利性。 另外，通过独立实施供给部漏泄试验和气体流路漏泄试验，能够容易地确 定气体泄漏部位，因此，进一步提高隔离器100的使用便利性。
(实施方式2)
图6是表示实施方式2的隔离器1100的结构的示意图。实施方式2 的隔离器1100具备：用于进行细胞抽出、细胞培养等以来自生物体的材 料为对象的作业的作业室1010；向作业室1010内供给气体的气体供给部 1040；排出隔离器1100内的气体的气体排出部1050；向作业室1010内供 给杀菌物质的杀菌物质供给部1030；进行这些控制的控制部1090。在此， 来自生物体的材料是指包括含有细胞的生物本身、构成生物的物质或生物 产生的物质等在内的材料。
在气体供给部1040设有吸气口1042、三通阀1044以及风扇1046。 经由吸气口1042从外部取入空气。三通阀1044经由路径1070与吸气口 1042的气体流下游侧连接，并经由路径1080与杀菌物质送出部1036的气 体流下游侧连接。另外，三通阀1044经由路径1072与风扇1046的气体 流上游侧连接。三通阀1044能够进行从路径1070向路径1072方向、或 从路径1080向路径1072方向的气体流路的排他切换。经由吸气口1042 取入后的空气或经由路径1080送出后的包含杀菌物质的气体经由三通阀 1044取入风扇1046。
风扇1046将经由路径1072从三通阀1044方向取入的气体经由路径 1074向作业室1010方向送出。风扇1046能够进行由控制部1090进行的 接通/断开的切换控制。此外，风扇1046能够连续地调节排气量。
在作业室1010设有能够开闭的前面门1012。另外，在前面门1012 的规定位置设有用于在作业室1010内进行作业的作业用手套1014。作业 者能够将手从设于前面门1012的未图示的开口部插入作业用手套1014， 通过作业用手套1014在作业室1010内进行作业。在作业室1010中，从 气体供给口1016取入从风扇1046送出的气体，并将气体从气体排出口 1018排出。在气体供给口1016设有HEPA过滤器1020，在气体排出口1018 设有HEPA过滤器1022。由此，作业室1010的无菌状态被確保。从作业 室1010出来的气体经由气体排出口1018、HEPA过滤器1022以及路径 1076向气体排出部1050送出。
在气体排出部1050中，按照气体流，三通阀1052、杀菌物质降低处 理部1054、浓度测定部1056以及排气口1058以此顺序设置。
三通阀1052经由路径1076与作业室1010的气体流下游侧连接，经 由路径1082与杀菌物质降低处理部1054的气体流上游侧连接。另外，三 通阀1052经由路径1078与杀菌物质送出部1036的气体流上游侧连接。 三通阀1052能够进行从路径1076向路径1082方向、或从路径1076向路 径1078方向的气体流路的排他切换，经由路径1076取入的气体向路径 1082方向或路径1078方向送出。
杀菌物质降低处理部1054对经由三通阀1052送出的气体中所含的杀 菌物质的浓度进行降低化处理。杀菌物质降低处理部1054中含有例如铂 等金属催化剂，但也可以含有活性炭等。
浓度测定部1056设于杀菌物质降低处理部1054的气体流下游，测定 降低处理后的杀菌物质的排出气体中的浓度。测定结果从浓度测定部1056 向控制部1090发送。由杀菌物质降低处理部1054进行降低处理后的气体 从排气口1058向隔离器1100内的外部排出。
在作业室1010的外部设有向作业室1010供给杀菌物质的杀菌物质供 给部1030。杀菌物质供给部1030通过向作业室1010供给杀菌物质而使其 在隔离器1100内循环，从而能够使作业室1010以及路径内成为无菌环境。 在此，无菌环境是指为了避免在作业室进行的作业所需的物质以外的物质 混入而无限接近无尘无菌的环境。在本实施方式中杀菌物质为过氧化氢。
如图6所示，杀菌物质供给部1030位于三通阀1052以及路径1078 的气体流下游侧，且位于路径1080以及三通阀1044的气体流上游侧。杀 菌物质供给部1030具有杀菌物质供给箱1032、泵1034以及杀菌物质送出 部1036。杀菌物质供给箱1032储存过氧化氢水作为杀菌物质。泵1034 经由杀菌物质供给管1033汲取储存在杀菌物质供给箱1032中的过氧化氢 水，并经由杀菌物质供给管1035送出。杀菌物质送出部1036经由路径1078 与三通阀1052的气体流下游侧连接，经由路径1080与三通阀1044的气 体流上游侧连接。杀菌物质送出部1036使被供给的过氧化氢水产生过氧 化氢气体或雾。并将产生的过氧化氢气体或雾向路径1080送出。
图7是杀菌物质送出部1036的示意图。使用本图说明杀菌物质送出 部1036的具体结构。杀菌物质送出部1036具有控制基板1202、过氧化氢 水箱1204、水密封帽1206、过氧化氢水槽1208、超声波振荡器1210。
控制基板1202是用于控制泵1034的基板。过氧化氢水箱1204是暂 时保存过氧化氢水的容器。水密封帽1206是用于调节从过氧化氢水箱 1204向过氧化氢水槽1208的供给量的帽。过氧化氢水槽1208为底部具备 超声波振荡器1210、且暂时保持从过氧化氢水箱1204供给的过氧化氢水 的水槽。超声波振荡器1210为利用超声波振动产生过氧化氢气体或雾的 振荡器。在图6所示的杀菌物质供给箱1032中收容过氧化氢水，例如通 过控制基板1202控制泵1034，由此从杀菌物质供给箱1032经由杀菌物质 供给管1033以及1035向过氧化氢水箱1204供给过氧化氢水。
供给到过氧化氢水箱1204的过氧化氢水在由控制基板1202进行的控 制下、经由水密封帽1206供给于过氧化氢水槽1208。并且，使用超声波 振荡器1210对过氧化氢水槽1208内的过氧化氢水赋予超声波振动，而产 生过氧化氢气体(雾)1203。产生出的过氧化氢气体(雾)1203经由路径 1080向作业室1010送出，但大部分迅速气化，在作业室1010内作为过氧 化氢气体或雾存在。以下，存在包含过氧化氢雾而称作过氧化氢气体的情 况。
此外，杀菌物质送出部1036并不限于本实施方式的产生过氧化氢气 体或雾的结构，例如，也可以为通过使滴下的过氧化氢水与空气接触而气 化，从而产生过氧化氢气体或雾的过氧化氢气体产生器等。另外，杀菌物 质并没有限于过氧化氢，也可以为例如臭氧等包含活性氧种的物质。
返回图6对控制部1090进行说明。控制部1090具备计测部1092及 记录部1094。控制部1090进行由杀菌物质送出部1036进行的杀菌物质的 送出的控制。另外，控制部1090通过控制三通阀1044及1052的阀的开 闭而进行气体流路的切换。
具体而言，控制部1090控制三通阀1044的阀的开闭，对从路径1070 向路径1072方向、或从路径1080向路径1072方向的气体流路的排他切 换进行控制。另外，控制部1090控制三通阀1052的阀的开闭，对从路径 1076向路径1082方向、或从路径1076向路径1078方向的气体流路的排 他切换进行控制。进而，控制部1090从浓度测定部1056接收测定结果， 根据接收到的测定结果与由浓度测定部1056进行的排出气体中的过氧化 氢气体的浓度测定结果对应地调节风扇1046的转速，并连续地控制排气 量。计测部1092计测从杀菌处理开始到结束所需的时间。记录部1094记 录计测的时间。控制部1090使用计测部1092以及记录部1094来进行杀 菌物质降低处理部1054的性能劣化的判定。
(气体流路的切换)
隔离器1100的气体流路中，通过控制部1090控制三通阀1044以及 1052的阀的开闭，进行如下两种切换。即，使过氧化氢气体在隔离器1100 内循环时，三通阀1044仅从路径1080向路径1072方向成为开状态，从 路径1070向路径1072方向成为闭状态。另外，三通阀1052仅从路径1076 向路径1078方向成为开状态，从路径1076向路径1082方向成为闭状态。 由此，形成如下循环路径：过氧化氢气体从杀菌物质送出部1036通过路 径1080、三通阀1044、路径1072、风扇1046、路径1074、HEPA过滤器 1020以及气体供给口1016进入作业室1010，通过气体排出口1018、HEPA 过滤器1022、路径1076、三通阀1052以及路径1078返回杀菌物质送出 部1036。
另一方面，在进行作业室内的空气置换时，三通阀1044仅从路径1070 向路径1072方向成为开状态，从路径1080向路径1072方向成为闭状态。 另外，三通阀1052仅从路径1076向路径1082方向成为开状态，从路径 1076向路径1078方向成为闭状态。由此，形成如下路径：空气从吸气口 1042通过路径1070、三通阀1044、路径1072、风扇1046、路径1074、 HEPA过滤器1020以及气体供给口1016进入作业室1010，通过气体排出 口1018、HEPA过滤器1022、路径1076、三通阀1052、路径1082以及杀 菌物质降低处理部1054从排气口1058排出。
(杀菌处理)
在隔离器1100中，作业室1010内的一个作业(上次作业)结束后， 在下次作业时，进行作业室1010内及上次作业中使用的流通路径的杀菌 处理。杀菌处理包括前处理工序、杀菌工序和置换工序。
在前处理工序中，过氧化氢气体从杀菌物质供给部1030向作业室 1010内供给，作业室1010内的过氧化氢气体的浓度维持在作业室1010 内的杀菌所需的浓度以上。在前处理工序中，作业室1010内的过氧化氢 气体成为规定浓度以上后，开始杀菌工序。
在杀菌工序中，通过如下循环进行杀菌：过氧化氢气体被从杀菌物质 供给部1030向作业室1010输送，经由三通阀1052而再次返回杀菌物质 供给部1030。更具体而言，在杀菌工序中，三通阀1044切换为仅从路径 1080向路径1072方向为开状态，从路径1070向路径1072方向为闭状态。 另一方面，三通阀1052切换为仅从路径1076向路径1078方向为开状态， 从路径1076向路径1082方向为闭状态。由此，在隔离器1100内，形成 从杀菌物质送出部1036出来的气体经由三通阀1044进入作业室1010内， 经由三通阀1052返回杀菌物质送出部1036的气体流路，过氧化氢气体在 隔离器1100内循环。
在置换工序中，将经由吸气口1042取入的空气供给于作业室1010内， 压出作业室1010内的气体，从而置换作业室1010内的气体。更具体而言， 在置换工序中，控制部1090将三通阀1044切换为仅从吸气口1042向作 业室1010方向为开状态，将三通阀1052切换为仅从作业室1010向排气 口1058方向为开状态。另外，控制部1090使风扇1046接通。由此，在 隔离器1100内，形成从吸气口1042取入的空气从路径1070通过HEPA 过滤器1020达到作业室1010内，从作业室1010内通过HEPA过滤器1022 从排气口1058排出的气体流路。其结果，将作业室1010内的气体置换为 空气，将作业室1010内的过氧化氢气体从作业室1010除去。
此时，通过杀菌物质降低处理部1054对从作业室1010压出的过氧化 氢气体进行降低处理，由此，降低从排气口1058向隔离器1100外部的过 氧化氢气体的流出。此时，控制部1090根据浓度测定部1056中的浓度测 定结果调节风扇1046进行的排气量。另外，在置换工序中，除去残留在 隔离器1100内的作业室1010以外的区域、例如气体供给部1040内的过 氧化氢气体和吸附于上次作业所使用的流通路径内的HEPA过滤器1020 以及1022上的过氧化氢。
在置换工序中，当作业室1010内的过氧化氢气体成为规定浓度以下 时，可以开始下次作业。在此，能够开始下次作业的过氧化氢气体的浓度 为不对下次作业所使用的来自生物体的材料赋予作业上无法忽视程度的 影响的浓度。该浓度由例如ACGIH(American Conference of Governmental Industrial Hygienists)规定的1ppm(TWA：时间加权平均值)以下的浓度。 或者，也可以试验性求出作业室1010内的过氧化氢气体变成规定浓度以 下的时间，可以在经过求出的时间后开始下次作业。
(置换工序的排气量的控制)
其次，说明置换工序中的过氧化氢气体的浓度以及排气量的变化。图 8是表示实施方式2的排气控制的示意图。上段、中段、下段分别表示实 施方式2的隔离器1100的置换工序中的过氧化氢气体的浓度、作为该浓 度的变化率的微分成分、排气量的继时性变化。
如图8的下段所示，利用设于杀菌物质降低处理部1054的气体流下 游侧的浓度测定部1056测定过氧化氢气体的浓度。以其为基础，通过控 制部1090的指令增减风扇1046的转速，由此如下控制气体排出部1050 的排气量，以使排气允许浓度不超过规定的阈值。首先，在排气开始(I) 后，通过增大风扇1046的转速，逐渐增加排气量(II)。其次，排气中的 过氧化氢气体的浓度达到规定的判定浓度A(III)后，将风扇1046的转 速保持在规定范围内，由此如图8的上段所示，将排气量维持在规定范围 内(IV)。如图8的下段所示，排气中的过氧化氢气体的浓度在时刻Ta达 到最高浓度后，进而持续排气，如图8的中段所示，在时刻Tb，确认过 氧化氢气体的浓度的微分成分(减少率)高于规定的阈值后(V)，再次增 大风扇1046的转速，由此，如图8的上段所示，逐渐增加排气量(VI)。 进而，如图8的下段所示，排气中的过氧化氢气体的浓度下降至规定的判 定浓度A(VII)后，如图8的上段所示，以最大排气量继续排出直至排 气结束(VIII)。排气允许浓度可以通过试验确定。优选规定的判定浓度A 为排气允许浓度的约40％，但也可以通过试验确定。另外，过氧化氢气体 浓度的减少率的微分成分通常以负的特定的值为阈值，但不限于此，也可 以通过试验确定。在此，如图8的上段所示，排气量达到最大输出，且如 图8的下段所示，过氧化氢气体的浓度低于浓度计测部的检测界限而不进 行计测时，通过控制部1090使风扇1046的转速降低，结束排气。在作业 室1010的容积设为Xm3、风扇1046的排气能力设为Ym3/sec的情况下， 也可以在达到上述检测界限后，进而经过X/Y×5～X/Y×10sec后，即，进 而经过将作业室1010内的气体更换5次～10次的时间后，结束排气。
(针对杀菌物质降低处理部的性能劣化的对策)
图9是表示杀菌实施次数与杀菌处理时间的关系，表示实施方式2的 杀菌物质降低处理部1054的能力判定的示意图。
计测部1092对从杀菌处理的开始至结束、即从杀菌处理开始至达到 浓度测定部1056的检测界限后经过了规定的时间时的时间(处理时间) 进行计测。记录部1094将该计测结果与杀菌次数对应进行记录。将在此 得到的各杀菌处理时间(纵轴)相对于杀菌实施次数(横轴)进行绘制而 得到图9的图(a)。在此，控制部1090利用计测部1092进行计测，并判 定由记录部1094记录的处理时间是否高于规定的阈值(b)，当处理时间 高于该阈值时，进行杀菌物质降低处理部1054的性能降低的通知。由此， 能够在适当的时期进行该处理部的更换，始终使用性能为规定的水准以上 的杀菌物质降低处理部1054，从而能够实现过氧化氢气体的浓度降低。此 外，杀菌处理所需的时间的阈值(b)可以由试验确定，另外，也可以不 仅通知杀菌物质降低处理部1054的性能降低，还具备自动地进行更换的 装置等。
在现有的隔离器中，置换工序开始之后，作业室内的过氧化氢气体的 浓度迅速降低，但其后，过氧化氢气体的浓度的下降率显著减少。这是由 于以固定的排气量进行排气，在隔离器内的过氧化氢气体成为低浓度的置 换工序的后半部分，不能够进行有效的排气。由此，其结果为置换工序消 耗时间，直至作业室成为能够使用的状态需要长时间。另一方面，如图6 所示的实施方式2的隔离器1100在置换工序中逐渐增加排气量，作业室 1010内的过氧化氢气体达到规定浓度后，将排气量保持在规定范围内，确 认过氧化氢气体的浓度下降率成为规定的阈值以上后，再次逐渐增加排气 量。由此，在置换工序的前半部分，由于能够将未分解的过氧化氢向大气 中的排出抑制为最小限度，因此，能够进行确保作业者等的安全性且有效 地排气。另外，在置换工序的后半部分，现有技术以固定的排气量排出过 氧化氢气体，因此不能进行有效地排气，但利用本实施方式的排气量的控 制，能够有效进行排出的过氧化氢气体为低浓度时的排气。利用该排气量 的控制，当在上次作业和下次作业之间进行杀菌处理时，能够缩短置换工 序所需的时间，能够使隔离器1100尽早成为能够开始下次作业的状态。
另外，根据由计测部1092测出的计测结果，通知杀菌物质降低处理 部1054的性能降低，由此能够更可靠地确保免受上述排出气体的影响的 安全性及缩短杀菌时间。
(实施方式3)
在实施方式3中，通过反馈来控制排气量这一点与实施方式2不同。 此外，隔离器1100的结构以及杀菌处理的动作等与实施方式2相同，因 此，使用同一附图并且适当省略说明。
图10是表示实施方式3的排气控制的示意图。具体而言，表示隔离 器1100的反馈引起的置换工序的过氧化氢气体浓度以及排气量的继时性 变化。
利用气体排出部1050中设于气体流下游侧的对过氧化氢气体的浓度 进行测定的浓度测定部1056测定过氧化氢气体的浓度(参照图10的下 段)。以该测定结果为基础，利用由控制部1090发出的指令增减风扇1046 的转速，从而控制气体排出部1050的排气量。
如图10的上段所示，首先，在排气开始后增大风扇1046的转速，从 而逐渐增加排气量(I)。其次，如图10的下段所示，排气中的过氧化氢气 体的浓度达到规定的判定浓度B(II)，增减转速，从而反馈控制排气量。 在此，如图10的上段所示，根据利用浓度测定部1056测定出的过氧化氢 气体的浓度的上下变动增减风扇1046的转速，从而控制排气量(III)。
即，当排气中的过氧化氢气体的浓度超过规定的判定浓度B时，降低 风扇1046的转速，使排气量减少。另一方面，当排气中的过氧化氢气体 的浓度低于规定的判定浓度B时，提高风扇1046的转速，增加排气量。 由此，如图10的下段所示，将排出气体中的过氧化氢气体的浓度保持在 规定范围。以后，如图10上段所示，稍微增减排气量并同时逐渐增加， 使排气量为最大输出，并维持该状况(IV)。由浓度测定部1056测定出达 到检测界限后，如图10上段所示，以最大排气量进而继续排出(V)，之 后结束排气(VI)。优选规定的判定浓度B为排气允许浓度的约50％，但 也可以通过试验确定。另外，判定浓度B不是特定的值，也可以为上限和 下限所确定的特定的范围。此时，可以控制为排气中的过氧化氢气体的浓 度高于上限值时降低排气量，低于下限值时升高排气量。此外，本实施方 式也能够获得与实施方式2相同的效果。
(实施方式4)
在实施方式4中，在杀菌物质降低处理部1054的气体流上游侧还设 有测定过氧化氢气体的浓度的其他浓度测定部1060(参照图11)，这一点 与实施方式2不同。除此之外的隔离器1300的结构、以及杀菌处理的动 作等与实施方式2以及3相同，因此，使用同一标号且适当地省略说明。
图11是表示实施方式4的隔离器的结构的示意图。图12是表示实施 方式4的排气控制、即置换工序中的过氧化氢气体浓度以及排气量的继时 性变化的示意图。在图12中示意性示出浓度1(高浓度)、浓度2(中浓 度)、浓度3(低浓度)这三个模式。图13是放大表示图12的过氧化氢气 体的浓度的检测界限区域C的示意图。M表示使用杀菌物质降低处理部 1054的气体流下游侧的浓度测定部1056测定的、过氧化氢气体的浓度的 继时性变化。另外，N表示使用设于杀菌物质降低处理部1054的气体流 上游侧的其他浓度测定部1060测定的、过氧化氢气体的浓度的继时性变 化。
在本实施方式中，如图13所示，由设于杀菌物质降低处理部1054的 气体流下游侧的浓度测定部1056测出的测定值(M)在时刻T1达到检测 界限后，使用设于杀菌物质降低处理部1054的气体流上游侧的浓度测定 部1060(N)进行浓度测定直至浓度测定部1060在时刻T2达到检测界限， 结束排气。根据由浓度测定部1060测定的测定结果可知，通过在杀菌物 质降低处理部1054的气体流下游侧的过氧化氢气体的浓度达到浓度测定 部1056的检测界限后进行，能够得到与降低浓度测定部1056的检测界限 的情况相同的效果。此外，也可以不具备设于气体流下游侧的浓度测定部 1056，只具备浓度测定部1060。此时，根据由浓度测定部1060测定的测 定结果可知，通过控制部1090进行控制从而实现与实施方式2以及3相 同的效果即可。
本发明并不限于上述实施方式1至4，根据本领域技术人员的知识可 以进行各种设计变更等变形，进行了这种变形的实施方式也包含在本发明 的范围中。
例如，上述各实施方式的隔离器1100可以具备未图示的加热器作为 使HEPA过滤器1020升温的加热机构。由此，更容易剥离吸附于HEPA 过滤器1020的过氧化氢。另外，当过氧化氢以液体状态吸附于HEPA过 滤器1020时，能够避免液体状态的过氧化氢气化时吸收热量作为气化热， 使温度降低而抑制过氧化氢的气化这种状态。加热器的接通/断开以及加热 量可以通过控制部控制。优选由加热器进行的HEPA过滤器1020的加热 量为将加热器的加热引起的作业室1010内的温度变化抑制在例如5℃以 下的程度。另外，例如在置换工序中将气体流路切换为上次作业中没有使 用的流通路径后，对上次作业中使用的流通路径的HEPA过滤器进行由加 热器进行的HEPA过滤器1020的加热。
此外，在上述实施方式2至4中，HEPA过滤器1020及1022设置于 作业室1010的侧面，但这些过滤器的位置也可以远离作业室1010。
需要说明的是，在上述实施方式2至4中，仅使用作为吸气风扇的风 扇1046，该风扇具有作为排气风扇的功能，但风扇不限于吸气风扇，也可 以是排气风扇，也可以同时具备吸气风扇和排气风扇。为后一种情况时， 利用控制部1090进行控制，使得吸气风扇的排气量与排气风扇的排气量 为相同程度即可。
需要说明的是，在上述实施方式2至4中，隔离器中没有设置传递箱 及用于控制传递箱内的空气的三通阀及风扇，但是也可以为具备这些结构 的隔离器。在此，传递箱是指设于作业室的壁面，当在前室和作业室之间 交接工具和物品时，避免尘埃等的出入，将尘埃向作业室的进入抑制为最 小限度的装置。
此外，在上述实施方式2至4中，只要获得与这些实施方式相同的效 果即可，可以使用多个阀切换流路，也可以不为三通阀。
符号说明
10、1010作业室、16作业室温度计、18作业室气压计、20、1040 气体供给部、22、1042吸气口、23吸气阀、24吸气风扇、26微粒 子捕集过滤器、30、1050气体排出部、32、1058排气口、33排气阀、 34排气风扇、36微粒子捕集过滤器、38杀菌物质除去过滤器、40、 1030杀菌物质供给部、42、1033、1035杀菌物质供给管、44杀菌物 质循环路径、50、1090控制部、60循环口、61循环路阀、100、1100、 1300隔离器、402杀菌气体生成部、410雾化部、413超声波振子、 414杯状部、419供给部气压计、420气化部、421加热管、422加 热器、423流路形成板、424配管、425温度计、427、475隔热性 连结部、428、474阀、460过氧化氢水罐、462配管、464、1034泵、 470空气、1012前面门、1014作业用手套、1016气体供给口、1018 气体排出口、1020、1022HEPA过滤器、1032杀菌物质供给箱、1036 杀菌物质送出部、1044、1052三通阀、1046风扇、1054杀菌物质降 低处理部、1056、1060浓度测定部、1070、1072、1074、1076、1078、 1080、1082路径、1092计测部、1094记录部、1202控制基板、1203 过氧化氢气体(雾)、1204过氧化氢水箱、1206水密封帽。