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本发明提供一种跟踪装置,该跟踪装置即使在多个运送台间移动的运送材料产生滑动时,也可以使运送材料与其跟踪位置高精度地一致。为此,在相邻配置的运送台的任意的边界位置设置传感器,检测有无运送材料。另外,产生运送材料的前后端跟踪,以预定的运送台的运送速度为速度基准,算出前后端跟踪的位置。然后,根据传感器的检测信号及前后端跟踪的位置,判定运送材料有无滑动,在判定为有滑动时,以预定的传感器的检测位置为基准,停。