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本发明提供一种激光加工装置、加工控制装置以及加工装置,该激光加工装置在由多个部位的支撑点支撑被加工物的工件支撑台上载置被加工物,并且一边使加工头相对于被加工物在水平方向上移动,一边利用加工头对工件支撑台上的被加工物进行激光加工,具有:倾斜判定部(15),其基于在对被加工物进行了激光加工的情况下从被加工物分离的预定的制品基片与支撑点之间的位置关系,对制品基片是否在高度方向上发生倾斜而向与激光加工前的。